【課題】効率良く基板を研磨する研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨装置が、研磨パッドと、ターンテーブルと、供給ノズルと、振動供給部と、壁面部と、を備えている。研磨パッドは、被加工基板の被研磨面が押し当てられて前記被研磨面の化学的機械的研磨を行う。ターンテーブルは、前記研磨パッドを載置する。供給ノズルは、前記研磨パッド上に研磨剤を滴下する。振動供給部は、前記研磨パッドに振動エネルギを与える。壁面部は、前記研磨パッドの外周部に立設され、前記研磨パッドの上面よりも高い高さの壁面で前記研磨パッドの側面を囲う。 （もっと読む）

【課題】管状の研磨工具を回転させ、被加工物に圧接して研磨液を吐出しながら研磨する研磨装置において、吐出する研磨液の圧力が変化して研磨除去量が不正確となるのを防ぐ。
【解決手段】研磨液を吐出しながら被加工物２０を研磨する管状の研磨工具１は、隙間９をもってハウジング１０の穴に嵌挿され、回転モーター５によって回転駆動される。研磨液は、ハウジング１０の穴と研磨工具１の間の隙間９に供給され、管状穴７を介して被加工部２１に吐出される。ハウジング１０の穴の側面に設けられた溝である研磨液調整部位１１ａは、研磨液調整圧力計１８を有する流路を経て研磨液調整ポンプ１６に接続され、隙間９に満たされた研磨液の圧力を一定に保つ。 （もっと読む）

【課題】薄板状の被加工物の端面を的確且つ安全に研削加工を行うことができる研削装置を提供する。
【解決手段】外周に被加工物Ｗの端面を研削可能な研削面を有し回転する砥石６１と、この研削面で被加工物Ｗの端面を研削するよう砥石６１及び被加工物Ｗを相対的に移動する移動手段と、砥石６１の周囲に略等角度間隔に配設され研削面に液体を微粒子化して噴射する複数の噴射ノズル１１２と、被加工物Ｗに接触する砥石６１の研削加工位置を基準として砥石６１の回転方向後方に液体が噴射されるよう複数の噴射ノズル１１２の噴射を制御する制御手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光電材料や半導体など機能性硬脆材料を高能率でダメージフリーの鏡面に加工するための環境にやさしい加工技術を提供する。
【解決手段】加工工具の２次元超音波微振動がヘッドの加工面に垂直な方向の縦振動と加工面に平行な方向の横振動の同時発生によって引き起こされる加工法において、固定砥粒加工工具を貼り付けた２次元超音波振動加工ヘッドを用いて定圧か定切込加工を行う。加工工具は工作物材料と化学反応を示す砥粒と添加剤およびこれら粒子を固めるための結合剤から構成されるものであって、各構成成分の種類と混合比率は、工作物と化学反応が発生しやすいように決定され、加工工具は薄い円盤形、四角形、リング状などの形状を有する。 （もっと読む）

【課題】短時間で所定量の研削加工を行うことができ、次の研削工程における取代が少なくて済むように所定の表面粗さで研削可能なダイヤモンド皿型砥石を提案すること。
【解決手段】球面レンズ加工用のダイヤモンド皿型砥石６０は、加工対象のレンズ球面とは相補的な球状表面６１を備えた工具皿本体６２と、球状表面６１に積層されている一定厚さの砥材層６３とを有している。砥材層６３の表面６３ａから突出しているダイヤモンド砥粒６５には共擦り修正加工が施されて、ダイヤモンド砥粒６５の最大突出量Ｈ１と最小突出量Ｈ２の差ΔＨが所定値以下となっている。これにより、ダイヤモンド皿型砥石６０の切削速度を低下させることなく、当該ダイヤモンド皿型砥石６０による研削面の切削傷を小さくして切削面の面精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 従来提案されている、マシニングセンタ−、ホ−ニングマシ−ン、ボアフィニッシングマシン等で工具の回転数並びに送り速度を変えても、途中に横穴、若しくは横溝がある深穴の、真円度１μ、円筒度１μと言う高い加工精度は得られなかった。
【解決手段】 途中に複数個の横穴、若しくは横溝があり、直径が３．０〜５０ｍｍで、深さ１００ｍｍ〜３００ｍｍの深穴を、加振装置を備えたマシニングセンタ−、ホ−ニングマシ−ン、ボアフィニッシングマシン等で精密加工する加工装置に於いて、上記ホ−ニングマシ−ン等のＮＣ操作部に複数個の横穴若しくは横溝を持つ深穴の横穴若しくは横溝間寸法に合わせ、選定される選定要因を上記加工装置に加工条件として入力することが出来るようにした精密加工装置。 （もっと読む）

【課題】複数の加工テーブルで並行してウェーハを面取り加工し、スループットを向上させるとともに、砥石の総数を抑えて装置全体のコストやサイズを低減させ、維持管理も容易であるウェーハの面取り装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ１を戴置する複数の加工テーブル２と、上記ウェーハ１の周縁部を面取りするための複数種類の加工工程にそれぞれ対応した異なる加工特性を有する複数の砥石３、４、５、６と、上記各砥石３、４、５、６をそれぞれ上記加工テーブル２間で移動させる砥石移動手段とを有し、上記各砥石３、４、５、６が、それぞれ一つの加工テーブル２に接近してウェーハ１を面取り加工し、次いで他の加工テーブルに順次移動して加工することを繰り返すことにより、複数の上記ウェーハ１、…１を上記複数の砥石３、４、５、６が同時並行して面取りする。 （もっと読む）

【課題】書籍・本の表裏紙等の装丁が書籍本体に比しやや大きく、肉厚で硬度がある、いわゆるハードカバー本における書籍本体の小口部、天地部等を研磨し、体裁を整える。
【解決手段】９０度毎に間欠旋回する平面でほぼ正方形状の旋回テーブル１２を備えた旋回搬送装置１０と、研磨すべき書籍Ｂを各別にチャック保持し、解除するチャック部２９を備えて旋回テーブル１２の各辺に配装したチャック装置２０と、旋回して送るようチャック保持した書籍Ｂの小口部を研磨する小口部研磨ブラシ９１を備えた小口部研磨装置６０と、旋回して送るようチャック保持した書籍Ｂの天地部を研磨する天部研磨ブラシ１２２、地部研磨ブラシ１４２それぞれを備えた天地部研磨装置１００と、研磨終了後の書籍Ｂのチャック保持を解除し、排出する排出装置１５０とを備えて成る。 （もっと読む）

【課題】ワークの大きさや形状等に制限を受けることなく、しかも機械サイズをコンパクトにすることが出来るレンズ加工装置を提供する。
【解決手段】ホイールヘッド７に円弧状の研削面を備えた砥石等の研削工具８を着脱可能に装着した少なくとも一軸以上のスピンドル９と、該スピンドル９と同一軸線上にレンズ素材Ｗを着脱可能に装着するワークホルダ１０を備えた回転アダプター１１ａ及び、ワーク軸１１を保持するワーク軸ベース部材１２とが設けられ、このレンズ加工室３ａ，３ｂの背面側には、前記ワーク軸ベース部材を旋回させると同時に左右に揺動運動させる旋回・揺動駆動装置及びワーク軸ベース部材を上下運動させる上下駆動装置とが設置される。レンズ加工装置１は、前記ワークホルダ１０に装着したレンズ素材Ｗを研削面に対して揺動運動，旋回運動，上下運動をさせながら一定の押圧力で押圧させて所定の曲率の曲面加工を行うものである。 （もっと読む）

【課題】球面等の曲面加工をより長期的に連続して精度良く行う。
【解決手段】研削装置は、ワーク２８を保持するチャック２６を備えた主軸と、加工ヘッド４０と、これをワーク２８に対して相対的に移動させる手段とを備える。加工ヘッド４０は、一対のガイドローラ４６と、これらガイドローラ４６に掛け渡される研削ベルト４８と、ガイドローラ４６を介して研削ベルト４８を駆動する（周方向に走行させる）駆動モータ５２等を備え、研削ベルト４８を走行させながら当該ベルト４８のうちガイドローラ４６に掛け渡された部分の外周面をワーク２８に接触させて当該ワーク２８を加工する。研削ベルト４８は、外向きに凸となる断面円弧状の外周面を備えかつこの外周面上に結合材により砥粒が固定されたものである。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードを径方向に伝達される超音波振動によるスピンドルシャフトの破損を防止しつつ、被切削物の加工を効果的に行うことができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削ブレード２７と、先端側に切削ブレード２７が取り付けられたスピンドルシャフト２６と、スピンドルシャフト２６の軸方向に超音波振動を発生させる超音波振動子４３と、切削ブレード２７とスピンドルシャフト２６との間に介在されたスペーサ部材２８とを備え、スピンドルシャフト２６は、スペーサ部材２８側の端面３６を超音波振動の軸方向圧力が最小となる最大振動振幅点Ｐ１に位置付けており、スペーサ部材２８は、スピンドルシャフト２６の端面３６に当接して、切削ブレード２７を振動変換点となる最小振動振幅点Ｐ２に位置付ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】
ハニカム押出ダイをダイ本体から作製する方法の改善。
【解決手段】
ハニカム押出ダイをダイ本体から作製する方法は、押出スロットを少なくとも１つの砥石車で機械加工し、押出スロットのハニカムパターンを提供する工程を有してなる。さらなる例では、押出スロットのハニカムパターンの複数の押出スロットは、前記押出スロットのハニカムパターンの複数の押出スロットを、前記砥石車で機械加工した後、ワイヤー放電加工法で機械加工されうる。 （もっと読む）

【課題】 第１溝と第２溝とを有するワークに対して互いに対応した高精度の超仕上げ加工を連続してスムーズになし得るようにする。
【解決手段】 アンギュラの方向が互いに異なる第１溝と第２溝とを有するワークＷを駆動装置に装着し、ワークＷを駆動しながら第１溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第１溝仕上げ工程と、ワークＷを駆動しながら第２溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第２溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダの傾斜角度が第１溝から第２溝に適合するように揺動リンクを角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石を第１溝から第２溝に対向するようにリンク部材と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ワーク搬入出装置の構成を簡素化でき、ワークの搬入出時間及び加工時間を短縮して作業能率を向上できる加工システムにおけるワーク搬入出装置を提供する。
【解決手段】ワーク位置切換機構２１のインデックステーブル２５を旋回することによって、クランプ機構３１を搬入位置Ｐ１、加工位置Ｐ２及び搬出位置Ｐ３に順次移動する。ワーク位置切換機構２１及びワーク搬送装置４１の上方にワーク搬入出装置５１を設ける。ワーク搬入出装置５１のアーム６３の先端部に搬入用クランプ機構６４及び搬出用クランプ機構６５を設ける。アーム６３を昇降動作又は旋回動作させ、搬入ステーションＳ１にあるパレット４７に保持された未加工ワークＷを搬入位置Ｐ１に搬入する動作と、搬出位置Ｐ３にあるクランプ機構３１に保持された加工済みワークを搬出ステーションＳ２の搬出用パレット４７に搬出する動作を同期して行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来の被加工物のエッジ仕上げにおせるバリ取りと研磨仕上げにおける課題の解決を図り、よって角部の曲率半径の小さな鋭利性の高いエッジの仕上げを、機械的接触研磨と通電による電解研磨を併用して行うエッジ仕上げ工具とその工法を提供する。
【解決手段】同軸回転する２種の回転面（１１、２１）を備えた回転体Ｔａであって、該２種の回転面（１１、２１）の母線（ｍｒ、ｍａ）同士の交角θを、被加工物のエッジの峡み角に一致させて配設すると共に、各回転面（１１、２１）の異なる位相位置にそれぞれ研磨具（４、５）を配設してなり、かつこれらの研磨具（４、５）の少なくとも一方側をエッジｅへの接触時にエッジｅを超える位置となるように配設する。これらの研磨具（４、５）の配設構成は、ゴム材や弾性樹脂材や撓みバネ材などの弾性手段（４２）を介して行っている。 （もっと読む）

【課題】壁面に沿って移動しながら壁面に溶接によって生起している溶接ビードを切削する自走式溶接ビード切削装置の作業効率、切削能力を向上させる。
【解決手段】溶接ビードに隣接して壁面に敷設されているガイドレールに掛合しながら回転して溶接ビード切削装置をガイドレールに沿って前進移動及び後退移動させる駆動輪。駆動輪に支持されているフレームに取り付けられていて駆動輪に対して前進移動用の前進方向回転駆動力及び後退移動用の後退方向回転駆動力を与える自走用モータ。フレームに取り付けられていて溶接ビードの切削を行う回転エアーサンダー。フレームに取り付けられていて、回転エアーサンダーが溶接ビードに押し付けられる圧力を調整する押付圧力調整手段と、回転エアーサンダーをガイドレールが延びる方向に対して交叉する方向に移動させる横シフト手段を備えている。 （もっと読む）

本発明は工具（７）を有する装置（１）に関しており、フィーラーデバイス（１１）は、該加工物（５）が該工具（７）により前記加工物のエッジ（３）に沿い加工、例えば調整されるよう、加工物（５）のエッジに沿って移動可能にガイドされる。該装置（１）は該加工物（５）の面に直角に調整され、例えばベルヌーイディスク（１３）として設計された該フィーラーデバイス（１１）は該加工物（５）から一定距離を有するので、工具（７）も又該加工物（５）のエッジ（３）に対し正しい位置に常にガイドされる。かくして例え目標位置から逸れる加工物（５）、例えば平らでない加工物についても、工具は該工具が加工物（５）の中央面に対し正しく配向される仕方で常にガイドされ、例えば、加工物（５）のエッジ（３）での境界の調整が信頼性高く行われる。 （もっと読む）

【課題】高い加工レートを実現できると共に、表面の平滑化が可能な加工方法を提供する。
【解決手段】過酸化水素水を含んだ水酸化カリウム溶液２中にＳｉＣ基板８を配置し、ＳｉＣ基板８の表面に紫外光を照射する。紫外光の照射によってＳｉＣ基板８の表面に形成されたＳｉＯ_２層９を水酸化カリウム溶液によって化学的に除去すると共に、合成石英定盤３ａによってもＳｉＯ_２層９を除去する。 （もっと読む）

【課題】硬質脆性材料からなる円盤状ワークの外周角の面取装置に関し、面取面と表裏面との間の角に生ずるチッピングの発生を可及的に防止することにより、面取加工後の２次研削加工を省略できるようにする。
【解決手段】
鉛直方向の回転ワーク軸で保持された円盤状ワークの上面側及び下面側の外周角を摺擦するカップ状の上下の砥石と、上下の砥石を装着する上下の面取砥石軸と、砥石軸を回転駆動する砥石モータとを備えている。上下の砥石軸は、これに装着した上下の砥石の周縁が円盤状ワークの上下の面取面にそれぞれ一箇所で接触するように、ワーク軸の軸心と斜めに立体交差する方向で設けられている。砥石モータは、砥石と円盤状ワークとの接触箇所における上下の砥石の摺擦方向が共に円盤状ワークの内側から外側へと向かう方向となる回転方向にこれらの砥石を回転駆動している。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ精度良く、ウエハの外周面を加工できるウエハ加工装置及びウエハ加工方法を提供する。
【解決手段】積層体Ｓにおけるウエハの積層方向両側を保持した状態で、積層体Ｓを回転させる回転機構１６と、回転する積層体Ｓの外周面に接触可能に設けられ、積層体Ｓの外周面を円柱形状に研削する研削回転砥石１４と、積層体Ｓの外周面に沿って設けられ、回転する積層体Ｓとの間に研磨材Ｗを介在させた状態で、積層体Ｓの外周面を研磨する研磨手段１５とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）