超仕上げ方法及び超仕上げ装置

【課題】第１溝と第２溝とを有するワークに対して互いに対応した高精度の超仕上げ加工を連続してスムーズになし得るようにする。
【解決手段】アンギュラの方向が互いに異なる第１溝と第２溝とを有するワークＷを駆動装置に装着し、ワークＷを駆動しながら第１溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第１溝仕上げ工程と、ワークＷを駆動しながら第２溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第２溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダの傾斜角度が第１溝から第２溝に適合するように揺動リンクを角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石を第１溝から第２溝に対向するようにリンク部材と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられている。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超仕上げ方法及び超仕上げ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超仕上げ装置には、平行な一対のリンク部材と、この一対のリンク部材に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンクと、一対のリンク部材の先端側に連結されていて前記揺動リンクに対して平行な砥石ホルダとを備え、一対の揺動リンクの基部が機体側に揺動軸廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダに超仕上げ砥石が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段が組み込まれ、砥石ホルダの超仕上げ砥石側が一対のリンク部材から揺動リンクの基部側と平行に突出され、前記一対の揺動リンクの一方を揺動軸廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダを超仕上げ砥石先端側の揺動中心廻りに（揺動角度±βだけ）オシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに角度変更させることにより砥石ホルダを前記揺動中心廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角αを変更するようにした超仕上げユニットを具備したものがある。
【０００３】
この種の従来の超仕上げユニットによる超仕上げ方法では、例えばワークが、アンギュラの方向が互いに異なる第１溝と第２溝とを有するアンギュラ玉軸受け等である場合に、これら第１溝と第２溝とを超仕上げする場合には、超仕上げユニットを一対のリンク部材と平行なＸ方向と超仕上げ砥石をワークの溝に向けて前後させるＹ方向とに大きく正確に移動させる移動手段が設けられていなかったこともあって、ワークを駆動装置に装着してワークを駆動しながら第１溝に超仕上げ砥石を押し当ててオシレーションして超仕上げし、次に第２溝を超仕上げするときには、ワークの第２溝が超仕上げ砥石に適合するようにワークを駆動装置に装着し直し、その後に、ワークを駆動しながら第２溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションして第２溝を超仕上げ加工していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２６９１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、従来の場合、第１溝を超仕上げ加工するときと第２溝を超仕上げ加工するときとでは、ワークの駆動装置への装着状態が微妙に異なっているため、第１溝と第２溝とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことが困難になった。また、第１溝と第２溝とに連続したスムーズな超仕上げをなすことができなかった。
本発明は上記問題点に鑑み、第１溝と第２溝とを有するワークに対して互いに対応した高精度の超仕上げ加工を連続してスムーズになし得る超仕上げ方法及び超仕上げ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この技術的課題を解決する本発明の技術的手段は、平行な一対のリンク部材と、この一対のリンク部材に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンクと、一対のリンク部材の先端側に連結されていて前記揺動リンクに対して平行な砥石ホルダとを備え、一対の揺動リンクの基部が機体側に揺動軸廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダに超仕上げ砥石が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段が組み込まれ、砥石ホルダの超仕上げ砥石側が一対のリンク部材から揺動リンクの基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンクの一方を揺動軸廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダを超仕上げ砥石先端側の揺動中心廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに角度変更させることにより砥石ホルダを前記揺動中心廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角を変更するようにした超仕上げユニットを具備し、
アンギュラの方向が互いに異なる第１溝と第２溝とを有するワークを駆動装置に装着し、ワークを駆動しながら第１溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第１溝仕上げ工程と、ワークを駆動しながら第２溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第２溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダの傾斜角度が第１溝から第２溝に適合するように揺動リンクを角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石を第１溝から第２溝に対向するようにリンク部材と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられている点にある。
【０００７】
また、本発明の他の技術的手段は、前記ワークが第１溝と第２溝と溝間小径部とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記第１溝仕上げ工程は、第１溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石を第１溝から僅かに離間させるべく後退させる工程とされ、この第１溝仕上げ工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、砥石ホルダの傾斜角度が第２溝に適合するように揺動リンクを角度変更させかつその後に溝間小径部よりも超仕上げ砥石を後退させる工程とされている点にある。
【０００８】
また、本発明の他の技術的手段は、前記ワークが第１溝と第２溝と溝間小径部とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記溝変更工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、超仕上げ砥石を溝間小径部よりも後退した位置から第２溝に近い位置に前進させかつその第２溝近接位置で砥石ホルダの傾斜角度が第２溝に適合するように揺動リンクを角度変更させる工程とされ、第２溝仕上げ工程は、第２溝から僅かに離間した状態から第２溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石が第１溝から後退させる工程とされている点にある。
【０００９】
また、本発明の他の技術的手段は、前記角度変更工程は、砥石ホルダの傾斜角度を第１溝又は第２溝に対するオシレーションの揺動中心角よりも大きくなるように変更するものである点にある。
また、本発明の他の技術的手段は、前記砥石ホルダの傾斜角度を、オシレーションの揺動中心角にオシレーションの揺動角度を加算した加算角度以下に設定した点にある。
【００１０】
また、本発明の他の技術的手段は、駆動装置に第１溝を第２溝より奥側に配置してワークを装着し、第１溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダの傾斜角度を第１溝に対するオシレーションの揺動中心角よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダをリンク部材と平行な方向に移動してワーク内に砥石ホルダを入れて超仕上げ砥石を第１溝側に移動させるツールイン工程が設けられている点にある。
【００１１】
また、本発明の他の技術的手段は、駆動装置に第２溝を第１溝より奥側に配置してワークを装着し、第２溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダの傾斜角度を第２溝に対するオシレーションの揺動中心角よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダをリンク部材と平行な方向に移動してワーク内から砥石ホルダを出すツールアウト工程が設けられている点にある。
また、本発明の他の技術的手段は、平行な一対のリンク部材と、この一対のリンク部材に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンクと、一対のリンク部材の先端側に支持軸を介して連結されていて前記揺動リンクに対して平行な砥石ホルダとを備え、一対の揺動リンクの基部が機体側に揺動軸廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダに超仕上げ砥石が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段が組み込まれ、砥石ホルダの超仕上げ砥石側が一対のリンク部材から揺動リンクの基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンクの一方を揺動軸廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダを超仕上げ砥石先端側の揺動中心廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに角度変更させることにより砥石ホルダを前記揺動中心廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角を設定変更するようにした超仕上げユニットを具備した超仕上げ装置であって、
前記一対のリンク部材と平行なＸ方向と超仕上げ砥石をワークの溝に向けて前後させるＹ方向とに超仕上げユニットを移動させる移動機構を具備した点にある。
【００１２】
また、本発明の他の技術的手段は、前記一対のリンク部材の支持軸を支持する軸受部分に互いに対向する軸受突出部が突出され、前記一方の揺動リンクを揺動軸廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材の軸受突出部同士がＸ方向にずれて噛み合うようにした点にある。
また、本発明の他の技術的手段は、一対のリンク部材のうちの砥石ホルダの基部側を支持する支持軸に、シリンダ手段に流体を供給するための供給流路が設けられている点にある。
【００１３】
また、本発明の他の技術的手段は、前記供給流路は、支持軸の軸心に穿孔されていてシリンダ手段のシリンダに連通する第１連通孔と、第１連通孔に連通しかつリンク部材の外面に沿う第２連通孔とをＬ字状に有し、シリンダに流体を供給するためのホースが第２連通孔に連結されてリンク部材の長手方向に沿って配置されている点にある。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、第１溝仕上げ工程と第２溝仕上げ工程との間に、揺動リンクを角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石をリンク部材と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられているので、第１溝を超仕上げ加工するときと第２溝を超仕上げ加工するときとでは、ワークの駆動装置への装着が変更されることがなくなるため、第１溝と第２溝とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第１溝を超仕上げ加工するときと第２溝を超仕上げ加工するときとに、ワークを駆動装置に装着し直す必要がなくなり、第１溝と第２溝とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。
【００１５】
また、本発明によれば、Ｘ方向とＹ方向とに超仕上げユニットを移動させる移動機構を具備しているので、第１溝を超仕上げ加工するときと第２溝を超仕上げ加工するときとでは、ワークの駆動装置への装着を変更する必要がなくなり、ワークを駆動装置に装着したままで、第１溝の超仕上げ加工から第２超仕上げ加工に簡単に砥石ホルダ乃至超仕上げ砥石を移動させることができ、第１溝と第２溝とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第１溝を超仕上げ加工するときと第２溝を超仕上げ加工するときとに、ワークを駆動装置に装着し直す必要がなくなり、第１溝と第２溝とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態を示す超仕上げ装置の側面図である。
【図２】同超仕上げ装置の平面図である。
【図３】同超仕上げユニットの側面断面図である。
【図４】同超仕上げユニットの平面図である。
【図５】同図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】同図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】同砥石ホルダ及びホース部分の側面断面図である。
【図８】同砥石ホルダ及びホース部分の底面図である。
【図９】同リンク部材の前部の拡大平面図である。
【図１０】同リンク部材の後部の拡大平面図である。
【図１１】同超仕上げ砥石部分の拡大平面図である。
【図１２】同制御装置のブロック図である。
【図１３】同フローチャートである。
【図１４】同超仕上げの工程を示す工程図である。
【図１５】同超仕上げの工程を示す工程図である。
【図１６】他の超仕上げの工程を示す工程図である。
【図１７】同超仕上げの工程を示す工程図である。
【図１８】同超仕上げの工程を示す工程図である。
【図１９】他の超仕上げの工程を示す工程図である。
【図２０】同超仕上げの工程を示す工程図である。
【図２１】同超仕上げの工程を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２において、超仕上げ装置は、超仕上げユニット１と超仕上げユニット１をＸ方向（前後方向、後述する一対のリンク部材１４と平行な方向）とＹ方向（左右方向、後述する超仕上げ砥石４１をワークＷの溝に向けて前後させる方向）とに移動させる移動機構２と図１２に示す制御装置３とを具備している。
【００１８】
移動機構２は、下部支持台５と、下部支持台５に対してＹ方向（左右方向）に移動自在に組み込まれた第１移動体６と、第１移動体６に対してＸ方向（前後方向）に移動自在に組み込まれた第２移動体７と、第１移動体６をＹ方向に往復駆動するサーボモータにより構成した第１モータ８と、第２移動体７をＸ方向に往復駆動するサーボモータにより構成した第２モータ９とを備え、第２移動体７上に超仕上げユニット１が取り付けられている。従って、第１モータ８と第２モータ９との駆動制御により超仕上げユニット１がＸ方向及びＹ方向に正確に往復移動されるようになっている。
【００１９】
図３及び図４において、超仕上げユニット１は、ユニット支持台１１と、サーボモータにより構成した揺動モータ１２と、ユニット支持台１１上に固定されたリンク台１３と、平行な左右一対のリンク部材１４と、この一対のリンク部材１４に交差して連結されていて互いに平行な前後一対の揺動リンク１５と、揺動リンク１５に対して平行な砥石ホルダ１６とを備える。
【００２０】
揺動モータ１２はユニット支持台１１上に取り付けられ、その駆動軸１８はユニット支持台１１の上壁から下方突出され、駆動軸１８の下方突出部に駆動プーリ１９が固着されている。
図５にも示すように、リンク台１３は断面コの字状に形成されて上部支持壁２１と下部支持壁２２と連結壁２３とを有している。上下方向の前後一対の揺動軸２５がリンク台１３の上部支持壁２１と下部支持壁２２と間でそれぞれベアリング２６を介して軸心廻り回転自在に支持され、この一対の揺動軸２５に揺動リンク１５の基部が固着され、これにより一対の揺動リンク１５の基部はリンク台１３（機体側）にそれぞれ揺動軸２５廻りに揺動自在に枢支されている。
【００２１】
後側の揺動軸２５は下部支持壁２２から下方に突出されており、この揺動軸２５の下方突出部に従動プーリ２８が固着されている。従動プーリ２８と駆動プーリ１９とにタイミングベルト２９が巻回されており、揺動モータ１２の駆動により後側の揺動軸２５乃至後側の揺動リンク１５が揺動軸２５の軸心廻りに往復揺動するように構成されている。
図３〜図６に示すように、前記一対のリンク部材１４は、それぞれ一対の揺動リンク１５と砥石ホルダ１６とを厚み（上下）方向に挟む一対の挟持杆３１，３２を有し、各一対の挟持杆３１，３２は互いに上下方向に間隔をおいてボルトナット等の連結部材３３，３４により連結固定されている。また、一対の挟持杆３１，３２間にスペーサ３５，３８が設けられている。
【００２２】
一対の揺動リンク１５は一対のリンク部材１４にそれぞれ支軸３６廻りに相対揺動自在に連結されている。各支軸３６は上下一対の挟持杆３１，３２に挿通されると共に、それぞれベアリング３７を介して一対の揺動リンク１５に対して軸心廻りに回動自在に支持されている。これにより、一対のリンク部材１４と一対の揺動リンク１５とが支軸３６廻りに相対回動自在に連結されている。
【００２３】
一対のリンク部材１４の先端側に砥石ホルダ１６が上下方向の支持軸（トラニオン軸）３９を介して連結されており、一対のリンク部材１４と一対の揺動リンク１５と砥石ホルダ１６とで６節の平行リンク機構を構成している。
図６〜図９に示すように、砥石ホルダ１６に、超仕上げ砥石４１が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石４１を先端側に向けて流体圧力（実施形態では空気圧力）にて押圧するシリンダ手段４２が組み込まれている。砥石ホルダ１６は円筒状のシリンダ４３とシリンダカバー４４とロッドカバー４５とを有し、シリンダ手段４２のロッドは超仕上げ砥石４１で形成されている。砥石ホルダ１６の超仕上げ砥石４１側が一対のリンク部材１４から揺動リンク１５の基部側と平行に突出されている。超仕上げ砥石４１はロッドカバー４５にガイド部材４６を介して出退移動自在に保持されている。
【００２４】
４本の各支持軸３９は頭部３９ａと軸部３９ｂとを有し、各支持軸３９の頭部３９ａはリンク部材１４の長手方向に長く形成されていて、頭部３９ａは２本の止ねじ４７よって軸部３９ｂを挟んで一対のリンク部材１４の各挟持杆３１，３２に締め付け固定されている。各支持軸３９の軸部３９ｂは左右一対のリンク部材１４の各挟持杆３１，３２に挿通されると共に、砥石ホルダ１６のシリンダ４３にベアリング４８を介して軸心廻りに回動自在に支持されている。ただし、４本の支持軸３９のうちのシリンダ４３の後部側に位置する１本の支持軸３９（支持軸３９Ａ）は、他の３本の支持軸３９に比べて頭部３９ａがやや厚くかつリンク部材１４の挟持杆３１，３２の先端（前側）側に向けて長く形成されており、頭部３９ａの前側のみが前記２本の止ねじ４７よって挟持杆３１，３２に締め付け固定され、頭部３９ａの後側には後述する供給流路６４が形成されている。
【００２５】
図９に示すように、前記一対のリンク部材１４（各挟持杆３１，３２）の支持軸３９を支持する軸受部分に互いに対向する方向に軸受突出部５１が突出されており、これによりリンク部材１４における軸受部分の幅を確保してリンク部材１４の所定の剛性を維持し、揺動リンク１５を揺動軸２５廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材１４の軸受突出部５１同士がＸ方向にずれて噛み合うようにしている。
【００２６】
図１０に示すように、前記一対のリンク部材１４の支軸３６を支持する部分に、互いに対向する方向に噛合凸部５４が突出されており、これによりリンク部材１４における軸受部分の幅を確保して、揺動リンク１５を揺動軸２５廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材１４の噛合凸部５４同士がＸ方向にずれて噛み合うようにしている。
また、揺動軸２５の基部側（右側）のリンク部材１４の支軸３６を支持する軸受部分には、嵌合凸部５５と該嵌合凸部５５を挟む一対の嵌合凹部５６とが又は嵌合凸部５５と嵌合凹部５６とが設けられ、揺動リンク１５が大きく揺動した際に嵌合凹部５６が揺動軸２５に嵌合するように構成されている。これにより、狭いスペースで、リンク部材１４の所定の剛性を維持したままで揺動リンク１５の揺動範囲が広くとれるようにしている。
【００２７】
なお、本実施形態では図９に示すように揺動リンク１５乃至砥石ホルダ１６の傾斜角度θは最大で±５５°に設定されている。また、超仕上げ砥石４１の揺動中心Ｏは、一対の揺動軸２５の軸心を結ぶ直線上にあって、揺動軸２５の軸心とこれに近接する支軸３６の軸心との離間幅と、揺動中心Ｏとこれに近接する支持軸３９の軸心との離間幅とが同一になる位置にある。
【００２８】
図１１に示すように超仕上げ砥石４１の先端側は、超仕上げ砥石４１の揺動中心Ｏを中心とした円弧面状の先端接当面４１ａとされ、その先端接当面４１ａの幅Ｄ１は、ワークＷのボール溝（後述する第１溝６９、第２溝７０）の円弧面の幅Ｄ２よりも大に設定されている。
そして、砥石ホルダ１６のオシレーションの揺動中心角αはボール溝のアンギュラと一致するように設定され、オシレーションにより超仕上げ砥石４１を揺動中心Ｏを中心として揺動させても超仕上げ砥石４１の先端接当面４１ａがボール溝の円弧面全体に接当した状態を保持する最大の揺動角に砥石ホルダ１６乃至超仕上げ砥石４１の揺動角度（±β）が設定される。つまり、砥石ホルダ１６の傾斜角度θが、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）内に設定されていれば、ボール溝の円弧面全体が超仕上げ砥石４１の先端接当面４１ａの一部に接触した状態を常に保持する。従って、後述する角度変更工程やツールイン工程等では、砥石ホルダ１６の傾斜角度（θ）を、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）以下に設定するのである。
【００２９】
而して、一方（後側）の揺動リンク１５を揺動軸２５廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダ１６を揺動中心Ｏ廻りに（揺動角度±βだけ）オシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンク１５を揺動軸２５廻りに角度変更させることにより砥石ホルダ１６を前記揺動中心Ｏ廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角αを変更するように構成されている。
【００３０】
図６に示すように、砥石ホルダ１６が一対のリンク部材１４に直交する直交状態から傾斜揺動した傾斜状態で、リンク部材１４先端側の砥石ホルダ１６、超仕上げ砥石４１及び砥石ホルダ１６の取付部分並びにシリンダ手段４２に流体を供給する供給流路６４が、一対のリンク部材１４間の中央Ｐ１から超仕上げ砥石４１先端までの突出距離を半径ｒ１とした円Ｃ１内に略納められている。
【００３１】
即ち、一対のリンク部材１４の各挟持杆３１，３２の角部に斜めに切り欠かれた切欠部５９が設けられ、支持軸３９（トラニオン軸）の頭部３９ａの外周部に斜めに切り欠かれた切欠部６０が設けられ、更に、砥石ホルダ１６先端側（ロッドカバー４５）の左右の角部に斜めに切り欠かれた切欠部６１が設けられている。
また、一対のリンク部材１４のうちの砥石ホルダ１６の基部側を支持するリンク部材１４の支持軸３９（トラニオン軸）に、シリンダ手段４２に流体を供給するための供給流路６４が設けられている。
【００３２】
図６及び図７に示すように、前記供給流路６４は、支持軸３９の軸心に穿孔されていてシリンダ手段４２のシリンダ４３に連通する第１連通孔６５と、第１連通孔６５に連通しかつリンク部材１４の外面に沿う第２連通孔６６とをＬ字状に有し、シリンダ手段４２のシリンダ４３に流体を供給するためのホース６７が第２連通孔６６に連結されている。ホース６７はリンク部材１４の長手方向に沿ってリンク部材１４基部側（後方側）に向けて配置されている。
【００３３】
これらにより、砥石ホルダ１６が一対のリンク部材１４に直交する直交状態から傾斜揺動した傾斜状態で、リンク部材１４先端側の砥石ホルダ１６部分が、一対のリンク部材１４の長手方向に直交する面内において、砥石ホルダ１６の中心軸における一対のリンク部材１４間の中央Ｐ１を中心とし該中央Ｐ１から超仕上げ砥石４１先端までの長さを半径ｒ１とした円Ｃ１（実施形態ではφ６１．６ｍｍ）内に納められている。
【００３４】
より厳密に言えば、砥石ホルダ１６が傾斜揺動した傾斜状態で、リンク部材１４先端側の砥石ホルダ１６、超仕上げ砥石４１及び砥石ホルダ１６の取付部分並びにシリンダ手段４２に流体を供給する供給流路６４（ホース６７を含む）が、中央Ｐ１から超仕上げ砥石４１の先端側にＬ（２ｍｍ程度）だけずれた中心Ｐ２から超仕上げ砥石４１先端までの突出距離を半径ｒ２とした円Ｃ２（実施形態ではφ５７．６ｍｍ）内に納められている。なお、円Ｃ２は円Ｃ１内にある。
【００３５】
従って、例えばワークＷがアンギュラの方向が互いに異なる第１溝６９と第２溝７０とを有する小径のアンギュラ玉軸受けハブである場合でも、供給流路６４を形成した支持軸３９（トラニオン軸）及びシリンダ４３に流体を供給するためのホース６７を含めて、リンク部材１４先端側の砥石ホルダ１６部分が、砥石ホルダ１６がワークＷの軸心に直交する面に対して傾斜した状態で通過可能となり、砥石ホルダ１６がワークＷの軸心に直交する面に対して平行になった状態で通過不能になるような小径（実施形態では内径がφ５７．６ｍｍ）のワークＷに対しても超仕上げ加工が施せるように構成されている。
【００３６】
また、シリンダ手段４２乃至砥石ホルダ１６の小型化のために図示省略の増圧弁を使用してホース６７から高圧エアー（例えば１２〜１５ｋｇ／ｃｍ²）をシリンダ手段４２に送るようにしている。
図１２において、制御装置３は、コントローラ７１およびサーボアンプ７２，７３，７４等からなる。
【００３７】
コントローラ７１は、種々の演算処理を行うＣＰＵ、超仕上げ加工条件の記憶およびサーボアンプ７２，７３，７４を制御するためのプログラム等を記憶するＲＡＭ、大容量磁気ディスク等の記憶装置、超仕上げ加工条件等を入力しかつ超仕上げ加工の状況を表示させる入出力装置（タッチパネル）および異常を知らせる警報装置等からなる。
コントローラ７１は、予め入力された超仕上げ砥石４１のオシレーションの揺動中心角α、オシレーションの揺動角度β、揺動数および加工時間等に従って、サーボアンプ７２に対し揺動モータ１２の制御を指示する。また、コントローラ７１は、揺動モータ１２だけではなく、圧力制御部に対して超仕上げ砥石４１がワークＷの被研削面を押圧する圧力を指示し、予め入力された加工時間等に従ってＸ方向の移動をサーボアンプ７３に対して第２モータ９の制御を指示し、Ｙ方向の移動をサーボアンプ７４に対して第１モータ８の制御を指示する。
【００３８】
次に、ワークＷが、アンギュラの方向が互いに異なる第１溝６９と第２溝７０とを有しこれら溝間に溝間小径部７７を有するアンギュラ玉軸受けハブである場合について、第１溝６９と第２溝７０とを超仕上げ加工をする場合の動作を、図１３のフローチャート及び図１４及び図１５の工程図を参照しながら説明する。
まず、図１４（ａ）に示すように駆動装置７９に第１溝６９を第２溝７０より奥側に配置してワークＷを図３に示すベアリング８０を介して軸心廻りに回転自在に装着し、図１３のステップＳ１（以下図１３を省略する）に示す如く砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第１溝６９に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）以下に設定した状態、例えば砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）に設定した状態で、ステップＳ２及び図１４（ｂ）に示すように砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向に（Ｘ方向）移動してワークＷ内に砥石ホルダ１６を入れ、超仕上げ砥石４１を第１溝６９側に移動させる（ツールイン工程）。
【００３９】
その後、ステップＳ３及び図１４（ｃ）に示すようにワークＷを駆動しながら第１溝６９に超仕上げ砥石４１を前進して押し当てかつステップＳ４に示す如くシリンダ手段４２により超仕上げ砥石４１を加圧してオシレーションし、ステップＳ５に示す如くシリンダ手段４２による超仕上げ砥石４１の加圧を停止する。その後にステップＳ６及び図１４（ｄ）に示すように超仕上げ砥石４１を第１溝６９からに後退させる（第１溝仕上げ工程）。
【００４０】
次に、ステップＳ７に示す如く砥石ホルダ１６の揺動を停止して、ステップＳ８及び図１５（ｅ）に示すように、砥石ホルダ１６の傾斜角度θが第１溝６９から第２溝７０に適合するように揺動リンク１５を角度変更する（角度変更工程）と共に、ステップＳ９に示す如く超仕上げ砥石４１を第１溝６９から第２溝７０に対向するようにリンク部材１４と平行な方向（Ｘ方向）に移動する（溝変更工程）。なお、上記角度変更工程と溝変更工程とはどちらを先にしてもよいし、ワークＷが大きい場合には角度変更工程をしながら溝変更工程をなすことも可能である。
【００４１】
次に、ステップＳ１０及び図１５（ｆ）に示すようにワークＷを駆動しながら第２溝７０に超仕上げ砥石４１を前進（Ｙ方向に移動）して押し当てかつステップＳ１１に示す如くシリンダ手段４２により超仕上げ砥石４１を加圧してオシレーションし、ステップＳ１２に示す如くシリンダ手段４２による超仕上げ砥石４１の加圧を停止する。その後に図１５（ｇ）に示すように超仕上げ砥石４１を第２溝７０から後退させる（第２溝仕上げ工程）。
【００４２】
その後、ステップＳ１４に示す如く砥石ホルダ１６の揺動を停止して、ステップＳ１５及び図１５（ｈ）に示すように砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向（Ｘ方向）に移動してワークＷ内から砥石ホルダ１６を出す（ツールアウト工程）。その後、ステップＳ１６に示す如く砥石ホルダ１６の傾斜角度θを０°に戻す。
上記実施形態では、砥石ホルダ１６が一対のリンク部材１４に直交する直交状態から傾斜揺動した傾斜状態で、小径のワークＷ内に、リンク部材１４先端側の砥石ホルダ１６、超仕上げ砥石４１及び砥石ホルダ１６の取付部分並びにシリンダ手段４２に流体を供給する供給流路６４を入れることができるようになり、自動車のハブ等の小さなワークＷのボール溝にも超仕上げ加工を施すことができる。
【００４３】
しかも、シリンダ手段４２に流体を供給するための供給流路６４は、支持軸３９の軸心に穿孔されていてシリンダ手段４２のシリンダ４３に連通する第１連通孔６５と、第１連通孔６５に連通しかつリンク部材１４の外面に沿う第２連通孔６６とをＬ字状に有し、シリンダ４３に流体を供給するためのホース６７が第２連通孔６６に連結されてリンク部材１４の長手方向に沿って配置されているので、シリンダ４３に流体を供給するためのホース６７も含めて、一対のリンク部材１４の先端側をコンパクトに構成して、一対のリンク部材１４間の中央から超仕上げ砥石４１先端までの突出距離を半径ｒ１とした円Ｃ１内に略納めることができ、極力小さな径のワークＷに対してもそのボール溝等に超仕上げ加工を簡単かつ良好に施すことができる。
【００４４】
また、上記実施の形態では、第１溝仕上げ工程と第２溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダ１６の傾斜角度が第１溝６９から第２溝７０に適合するように揺動リンク１５を角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石４１を第１溝６９から第２溝７０に対向するようにリンク部材１４と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられているので、第１溝６９を超仕上げ加工するときと第２溝７０を超仕上げ加工するときとでは、ワークＷの駆動装置７９への装着を変更する必要がないため、第１溝６９と第２溝７０とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第１溝６９と第２溝７０とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。
【００４５】
また、角度変更工程では、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第１溝６９又は第２溝７０に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きくなるように変更するので、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第１溝６９又は第２溝７０に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きくして、ワークＷの径がより小さい場合でも、一対のリンク部材１４の先端側のＸ方向の幅を小さくした状態で、ワークＷ内をＹ方向によりスムーズに移動可能になる。
【００４６】
また、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）以下に設定したので、溝変更工程の後に砥石ホルダ１６をＹ方向に前進させて超仕上げ砥石４１を溝に押し付ければ、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを揺動調整することなくそのままオシレーション動作に移ることができ、超仕上げをよりスムーズになすことができる。
【００４７】
また、第１溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第１溝６９に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向に移動してワークＷ内に砥石ホルダ１６を入れて超仕上げ砥石４１を第１溝６９側に移動させるツールイン工程が設けられているので、ワークＷの内径が砥石ホルダ１６の長さよりも多少小さい場合であっても、リンク部材１４の先端側をワークＷ内に挿入して超仕上げ工程を施すことができる。
【００４８】
また、上記実施の形態では、超仕上げ装置は一対のリンク部材１４と平行なＸ方向と超仕上げ砥石４１をワークＷの溝に向けて前後させるＹ方向とに超仕上げユニット１を移動させる移動機構２を具備しているので、第１溝６９を超仕上げ加工するときと第２溝７０を超仕上げ加工するときとでは、ワークＷの駆動装置７９への装着を変更する必要がなくなり、ワークＷを駆動装置７９に装着したままで、第１溝超仕上げ加工から第２溝超仕上げ加工に簡単に砥石ホルダ１６乃至超仕上げ砥石４１を移動させることができ、第１溝６９と第２溝７０とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができる。また、第１溝６９を超仕上げ加工するときと第２溝７０を超仕上げ加工するときとに、ワークＷを駆動装置７９に装着し直す必要がなくなり、第１溝６９と第２溝７０とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。
【００４９】
図１６〜図１８は、ワークＷが、アンギュラの方向が互いに異なる第１溝６９と第２溝７０とを有し、これら溝間に溝間小径部７７を有するより小径のアンギュラ玉軸受けハブである場合について、第１溝６９側で超仕上げ砥石４１をターンさせて、第１溝６９と第２溝７０とを超仕上げ加工する場合の他の動作を示している。この動作を図１６〜図１８の工程図を参照しながら説明する。
【００５０】
まず、図１６（ａ）に示すように駆動装置７９に第１溝６９を第２溝７０より奥側に配置してワークＷを装着し、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第１溝６９に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）以下に設定した状態で、図１６（ｂ）に示すように砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向に（Ｘ方向）移動してワークＷ内に砥石ホルダ１６を入れ、超仕上げ砥石４１を第１溝６９側に移動させる（ツールイン工程）。ここまでは、前記図１４及び図１５の動作と同様である。
【００５１】
その後、図１６（ｃ）（ｄ）に示すようにワークＷを駆動しながら第１溝６９に超仕上げ砥石４１を前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図１７（ｅ）に示すように超仕上げ砥石４１を第１溝６９から僅かに離間させるべく後退させる（第１溝仕上げ工程）。
この第１溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダ１６の揺動を停止して、図１７（ｆ）に示すように、砥石ホルダ１６の傾斜角度が第１溝６９から第２溝７０に適合するように揺動リンク１５を角度変更する。この場合、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第２溝７０に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）以下に設定した状態、例えば砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）に設定した状態にする。その後に図１７（ｇ）に示すように溝間小径部７７よりも超仕上げ砥石４１を後退させる（角度変更工程）。
【００５２】
次に、図１７（ｈ）に示すように、超仕上げ砥石４１を第１溝６９から第２溝７０に対向するようにリンク部材１４と平行な方向に移動する（溝変更工程）。
これ以降は前記図１４及び図１５の動作と同様であって、図１８（ｉ）（ｊ）に示すようにワークＷを駆動しながら第２溝７０に超仕上げ砥石４１を前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図１８（ｋ）に示すように超仕上げ砥石４１を第２溝７０から後退させる（第２溝仕上げ工程）。
【００５３】
その後、砥石ホルダ１６の揺動を停止して、図１８（ｌ）に示すように砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向（Ｘ方向）に移動してワークＷ内から砥石ホルダ１６ーを出す（ツールアウト工程）。その後、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを０°に戻す。
上記実施形態では、前記図１４及び図１５の実施形態の場合と同様に、第１溝６９と第２溝７０とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができ、また、第１溝６９を超仕上げ加工するときと第２溝７０を超仕上げ加工するときとに、ワークＷを駆動装置７９に装着し直す必要がなくなり、第１溝６９と第２溝７０とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。これに加えて、第１溝仕上げ工程は、第１溝６９に超仕上げ砥石４１を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石４１を第１溝６９から僅かに離間させるべく後退させる工程とされ、この第１溝仕上げ工程の後に角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、砥石ホルダ１６の傾斜角度が第２溝７０に適合するように揺動リンク１５を角度変更させかつその後に溝間小径部７７よりも超仕上げ砥石４１を後退させる工程とされているので、ワークＷが第１溝６９と第２溝７０と溝間小径部７７とを有する小径のアンギュラ玉軸受けであっても、砥石ホルダ１６の基端部がワークＷの衝当することなく角度変更させることができるし、その後に溝間小径部７７よりも超仕上げ砥石４１を後退させる工程があるため、溝変更工程の際に超仕上げ砥石４１が溝間小径部７７に接触しないで済む。
【００５４】
図１９〜図２１はワークＷがアンギュラの方向が互いに異なる第１溝６９と第２溝７０とを有し、これら溝間に溝間小径部７７を有するより小径のアンギュラ玉軸受けハブについて、第２溝７０側で超仕上げ砥石４１をターンさせて、第１溝６９と第２溝７０とを超仕上げ加工する場合の他の動作を示している。この動作を図１９〜図２１の工程図を参照しながら説明する。
【００５５】
まず、図１９（ａ）に示すように駆動装置７９に第１溝６９を第２溝７０より奥側に配置してワークＷを装着し、第１溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダ１６の傾斜角度（θ）を第１溝６９に対するオシレーションの揺動中心角（α）よりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）以下に設定した状態で、図１９（ｂ）に示すように砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向に（Ｘ方向）移動してワークＷ内に砥石ホルダ１６を入れ、超仕上げ砥石４１を第１溝６９側に移動させる（ツールイン工程）。
【００５６】
その後、図１９（ｃ）（ｄ）に示すようにワークＷを駆動しながら第１溝６９に超仕上げ砥石４１を前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図２０（ｅ）に示すように超仕上げ砥石４１を第１溝６９からに後退させる（第１溝仕上げ工程）。
次に、砥石ホルダ１６の揺動を停止して、図２０（ｆ）に示すように超仕上げ砥石４１を第１溝６９から第２溝７０に対向するようにリンク部材１４と平行な方向（Ｘ方向）に移動する（溝変更工程）。この場合、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第２溝７０に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定し、かつ砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）以下に設定した状態、例えば砥石ホルダ１６の傾斜角度θを、オシレーションの揺動中心角αにオシレーションの揺動角度βを加算した加算角度（α＋β）に設定した状態で、溝変更する。ここまでは、前記図１４及び図１５の動作と同様である。
【００５７】
次に、前記図２０（ｆ）に示す溝変更工程の後に、図２０（ｇ）に示すように、超仕上げ砥石４１を溝間小径部７７よりも後退した位置から第２溝７０に近い位置に前進させ、かつ図２０（ｈ）に示すようにその第２溝７０近接位置で砥石ホルダ１６の傾斜角度が第２溝７０に適合するように揺動リンク１５を角度変更させる（角度変更工程）。
これ以降は前記図１４及び図１５の動作と同様であって、図２１（ｉ）（ｊ）に示すようにワークＷを駆動しながら第２溝７０に超仕上げ砥石４１を小さく前進して押し当てかつオシレーションし、その後に図２１（ｇ）に示すように超仕上げ砥石４１を第２溝７０から後退させる（第２溝仕上げ工程）。
【００５８】
その後、砥石ホルダ１６の揺動を停止して、図２１（ｌ）に示すように砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向（Ｘ方向）に移動してワークＷ内から砥石ホルダ１６ーを出す（ツールアウト工程）。その後、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを０°に戻す。
上記実施形態では、前記図１４及び図１５の実施形態の場合と同様に、第１溝６９と第２溝７０とに互いに対応した高精度の超仕上げをなすことができ、また、第１溝６９を超仕上げ加工するときと第２溝７０を超仕上げ加工するときとに、ワークＷを駆動装置７９に装着し直す必要がなくなり、第１溝６９と第２溝７０とを連続したスムーズな超仕上げをなすことができる。これに加えて、図１６〜図１８の場合と同様に、ワークＷが第１溝６９と第２溝７０と溝間小径部７７とを有するアンギュラ玉軸受けであっても、砥石ホルダ１６の基端部がワークＷの衝当することなく角度変更させることができるし、その後に溝間小径部７７よりも超仕上げ砥石４１を後退させる工程があるため、溝変更工程の際に超仕上げ砥石４１が溝間小径部７７に接触しないで済む。
【００５９】
なお、前記実施の形態では、ワークＷがアンギュラの方向が互いに異なる第１溝６９と第２溝７０とを有するよりアンギュラ玉軸受けハブについて、第１溝６９と第２溝７０とを超仕上げ加工する場合について適用実施しているが、本願発明が適用されるワークＷはアンギュラ玉軸受けに限定されず、リニアガイドのレールに設けられた玉転動溝、深溝玉軸受け、スラスト玉軸受の玉の軒道として設けられた第１溝６９と第２溝７０との超仕上げ加工にも適用実施することができる。
【００６０】
また、前記実施の形態では、駆動装置７９に第１溝６９を第２溝７０より奥側に配置してワークＷを装着し、奥側の第１溝６９から超仕上げ加工をし、その後に手前側の第２溝７０を超仕上げ加工しているが、これに代え、駆動装置７９に第２溝７０を第１溝６９より奥側に配置してワークＷを装着し、手前側の第１溝６９から超仕上げ加工をし、その後に奥側の第２溝７０を超仕上げ加工するようにしてもよく、この場合には、第２溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダ１６の傾斜角度θを第２溝７０に対するオシレーションの揺動中心角αよりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ１６をリンク部材１４と平行な方向に移動してワークＷ内から砥石ホルダ１６を出すツールアウト工程を設けるようにすればよい。これにより、ワークＷの内径が砥石ホルダ１６の長さよりも多少小さい場合であっても、超仕上げ工程を施した後にリンク部材１４の先端側をワークＷ内からワークＷに接触させることなくスムーズに取り出すことができる。
【００６１】
また、前記実施の形態では、一対のリンク部材１４を左右に離間させて前後方向に配置しているが、一対のリンク部材１４の配置方向はこれに限定されず、上下方向、左右方向又は斜め方向に配置するようにしてもよい。
また、前記実施の形態では、平行な一対のリンク部材１４と互いに平行な一対の揺動リンク１５とこれに平行な砥石ホルダ１６とで６節の平行リンク機構を構成しているが、これに代え、平行な一対のリンク部材１４に加えてさらに１又は複数のリンク部材を平行に設けるようにしてもよいし、互いに平行な一対の揺動リンク１５に加えてさらに１又は複数の揺動リンクを平行に設けるようにしてもよい。
【００６２】
また、前記実施の形態では、一対のリンク部材１４は直線状であるが、一対のリンク部材１４は直線状でなくてもよく、例えばクランク状に屈曲していてもよい。
【符号の説明】
【００６３】
１超仕上げユニット
２移動機構
１４リンク部材
１５揺動リンク
１６砥石ホルダ
２５揺動軸
３１挟持杆
３２挟持杆
３９支持軸
４１超仕上げ砥石
４２シリンダ手段
４３シリンダ
５１軸受突出軸
６４供給流路
６５第１連通孔
６６第２連通孔
６７ホース
６９第１溝
７０第２溝
７７溝間小径部
Ｗワーク
Ｏ揺動中心
α 揺動中心角
ｒ１半径
Ｐ１中央

【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行な一対のリンク部材（１４）と、この一対のリンク部材（１４）に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンク（１５）と、一対のリンク部材（１４）の先端側に連結されていて前記揺動リンク（１５）に対して平行な砥石ホルダ（１６）とを備え、一対の揺動リンク（１５）の基部が機体側に揺動軸（２５）廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダ（１６）に超仕上げ砥石（４１）が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石（４１）を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段（４２）が組み込まれ、砥石ホルダ（１６）の超仕上げ砥石（４１）側が一対のリンク部材（１４）から揺動リンク（１５）の基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンク（１５）の一方を揺動軸（２５）廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダ（１６）を超仕上げ砥石（４１）先端側の揺動中心（Ｏ）廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンク（１５）を揺動軸（２５）廻りに角度変更させることにより砥石ホルダ（１６）を前記揺動中心（Ｏ）廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角（α）を変更するようにした超仕上げユニット（１）を具備し、
アンギュラの方向が互いに異なる第１溝（６９）と第２溝（７０）とを有するワーク（Ｗ）を駆動装置（７９）に装着し、ワーク（Ｗ）を駆動しながら第１溝（６９）に超仕上げ砥石（４１）を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第１溝仕上げ工程と、ワーク（Ｗ）を駆動しながら第２溝（７０）に超仕上げ砥石（４１）を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第２溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダ（１６）の傾斜角度が第１溝（６９）から第２溝（７０）に適合するように揺動リンク（１５）を角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石（４１）を第１溝（６９）から第２溝（７０）に対向するようにリンク部材（１４）と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられていることを特徴とする超仕上げ方法。
【請求項２】
前記ワーク（Ｗ）が第１溝（６９）と第２溝（７０）と溝間小径部（７７）とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記第１溝仕上げ工程は、第１溝（６９）に超仕上げ砥石（４１）を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石（４１）を第１溝（６９）から僅かに離間させるべく後退させる工程とされ、この第１溝仕上げ工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、砥石ホルダ（１６）の傾斜角度が第２溝（７０）に適合するように揺動リンク（１５）を角度変更させかつその後に溝間小径部（７７）よりも超仕上げ砥石（４１）を後退させる工程とされていることを特徴とする請求項１に記載の超仕上げ方法。
【請求項３】
前記ワーク（Ｗ）が第１溝（６９）と第２溝（７０）と溝間小径部（７７）とを有するアンギュラ玉軸受けであり、前記溝変更工程の後に前記角度変更工程が設けられ、この角度変更工程は、超仕上げ砥石（４１）を溝間小径部（７７）よりも後退した位置から第２溝（７０）に近い位置に前進させかつその第２溝（７０）近接位置で砥石ホルダ（１６）の傾斜角度が第２溝（７０）に適合するように揺動リンク（１５）を角度変更させる工程とされ、第２溝仕上げ工程は、第２溝（７０）から僅かに離間した状態から第２溝（７０）に超仕上げ砥石（４１）を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に超仕上げ砥石（４１）が第１溝（６９）から後退させる工程とされていることを特徴とする請求項１に記載の超仕上げ方法。
【請求項４】
前記角度変更工程は、砥石ホルダ（１６）の傾斜角度（θ）を第１溝（６９）又は第２溝（７０）に対するオシレーションの揺動中心角（α）よりも大きくなるように変更するものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の超仕上げ方法。
【請求項５】
前記砥石ホルダ（１６）の傾斜角度（θ）を、オシレーションの揺動中心角（α）にオシレーションの揺動角度（β）を加算した加算角度（α＋β）以下に設定したことを特徴とする請求項４に記載の超仕上げ方法。
【請求項６】
駆動装置（７９）に第１溝（６９）を第２溝（７０）より奥側に配置してワーク（Ｗ）を装着し、第１溝仕上げ工程の前に、砥石ホルダ（１６）の傾斜角度（θ）を第１溝（６９）に対するオシレーションの揺動中心角（α）よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ（１６）をリンク部材（１４）と平行な方向に移動してワーク（Ｗ）内に砥石ホルダ（１６）を入れて超仕上げ砥石（４１）を第１溝（６９）側に移動させるツールイン工程が設けられていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の超仕上げ方法。
【請求項７】
駆動装置（７９）に第２溝（７０）を第１溝（６９）より奥側に配置してワーク（Ｗ）を装着し、第２溝仕上げ工程の後に、砥石ホルダ（１６）の傾斜角度（θを第２溝（７０）に対するオシレーションの揺動中心角（α）よりも大きく設定した状態で、砥石ホルダ（１６）をリンク部材（１４）と平行な方向に移動してワーク（Ｗ）内から砥石ホルダ（１６）を出すツールアウト工程が設けられていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の超仕上げ方法。
【請求項８】
平行な一対のリンク部材（１４）と、この一対のリンク部材（１４）に交差して連結されていて互いに平行な一対の揺動リンク（１５）と、一対のリンク部材（１４）の先端側に支持軸（３９）を介して連結されていて前記揺動リンク（１５）に対して平行な砥石ホルダ（１６）とを備え、一対の揺動リンク（１５）の基部が機体側に揺動軸（２５）廻りに揺動自在に枢支され、砥石ホルダ（１６）に超仕上げ砥石（４１）が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石（４１）を先端側に向けて流体圧力にて押圧するシリンダ手段（４２）が組み込まれ、砥石ホルダ（１６）の超仕上げ砥石（４１）側が一対のリンク部材（１４）から揺動リンク（１５）の基部側と平行に突出され、
前記一対の揺動リンク（１５）の一方を揺動軸（２５）廻りに往復揺動させることにより、砥石ホルダ（１６）を超仕上げ砥石（４１）先端側の揺動中心（Ｏ）廻りにオシレーションさせると共に、前記一方の揺動リンク（１５）を揺動軸（２５）廻りに角度変更させることにより砥石ホルダ（１６）を前記揺動中心（Ｏ）廻りに角度変更させてオシレーションの揺動中心角を設定変更するようにした超仕上げユニット（１）を具備した超仕上げ装置であって、
前記一対のリンク部材（１４）と平行なＸ方向と超仕上げ砥石（４１）をワーク（Ｗ）の溝に向けて前後させるＹ方向とに超仕上げユニット（１）を移動させる移動機構（２）を具備したことを特徴とする超仕上げ装置。
【請求項９】
前記一対のリンク部材（１４）の支持軸（３９）を支持する軸受部分に互いに対向する軸受突出部（５１）が突出され、前記一方の揺動リンク（１５）を揺動軸（２５）廻りに大きく揺動したときに、一対のリンク部材（１４）の軸受突出部（５１）同士がＸ方向にずれて噛み合うようにしたことを特徴とする請求項８に記載の超仕上げ装置。
【請求項１０】
一対のリンク部材（１４）のうちの砥石ホルダ（１６）の基部側を支持する支持軸（３９）に、シリンダ手段（４２）に流体を供給するための供給流路（６４）が設けられていることを特徴とする請求項８又は９に記載の超仕上げ装置。
【請求項１１】
前記供給流路（６４）は、支持軸（３９）の軸心に穿孔されていてシリンダ手段（４２）のシリンダ（４３）に連通する第１連通孔（６５）と、第１連通孔（６５）に連通しかつリンク部材（１４）の外面に沿う第２連通孔（６６）とをＬ字状に有し、シリンダ（４３）に流体を供給するためのホース（６７）が第２連通孔（６６）に連結されてリンク部材（１４）の長手方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の超仕上げ装置。

【図１】