【課題】 加工時間を長引かせることなく「軸ずれ」を効果的に抑えることを可能にする。
【解決手段】 眼鏡レンズを保持するレンズチャック軸を回転するレンズ回転手段と、粗砥石が取り付けられた砥石回転軸を回転する砥石回転手段と、レンズチャック軸と砥石回転軸との軸間距離を変動させる軸間距離変動手段と、レンズ前面及びレンズ後面のカーブ形状を測定又は入力するレンズ形状測定・入力手段と、測定又は入力されたレンズ前面及びレンズ後面のカーブ形状に基づいてレンズの回転中心から加工点までの加工距離に応じて変化するレンズの回転角毎のレンズ厚を求め、レンズを単位回転角だけ回転したときのレンズ回転角での加工点の加工距離と加工点でのレンズ厚とに基づいてレンズチャック軸に掛かるトルクが略一定となる切り込み量を求める演算手段と、演算された切り込み量に従って軸間距離変動手段を制御してレンズを加工制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ねじのリード角や深さが大きい場合であっても、特に雌ねじの形成に際しては雌ねじの内径が小さい場合にも、工作物の内周面または外周面にねじを形成する研削加工が可能な研削盤および研削方法を提供する。
【解決手段】砥石車３３は、基部３３ａと、基部３３ａの外周面に砥石軸方向に螺旋状に形成され、ねじのリード角γと異なるリード角に設定された凸条３３ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 力センサなどのセンサを使用することなく、しかも、精度よく砥石とワークとの接触を検知することができる研削装置を提供する。
【解決手段】 接触前からインプロセスゲージを使用して(S1)、インプロセスゲージ値を収集する(S2)。このインプロセスゲージ信号は、ＬＰＦ処理され(S3)、インプロセスゲージ信号の振幅量が閾値と比較される(S4)。インプロセスゲージ信号の振幅は、最初は大きくて徐々に小さくなっていくので、ある時点で閾値よりも小さくなり、これによって、砥石がワークに接触したと判定される(S5)。 （もっと読む）

【課題】煩雑な加工条件の設定および制御を必要とすることなく、簡単な構成で加工工具からワークに作用する圧力分布の均等化を図り、高精度な加工品を得る。
【解決手段】ステー６に揺動アーム支持部１４を介して水平に支持されたコの字形状の揺動アーム１１の両端部に、アッパーアーム支持部１３ａ、アッパーアーム支持部１３ｂを介してコの字形状のアッパーアーム１２を支持し、アッパーアーム１２の中央に被加工レンズ３を支持するワーク軸支持部４を配置した構成のワーク保持装置１において、揺動アーム１１とアッパーアーム１２の両端の接続部の各々に、Ｌ字型磁性体２０ａおよびＬ字型磁性体２０ｂを配置し、被加工レンズ３に対向する研磨工具との間に、軸線Ｚに交差する任意の傾斜方向に作用する加工圧を制御し、加工圧の総和が被加工レンズ３の半径方向に均等化されるようにした。 （もっと読む）

【課題】隣接する太陽電池セル間に形成される分離溝で、隣接する太陽電池セルとの接続抵抗が大きくなったり、接続を確保できなくなったりすることを抑えることが可能な薄膜太陽電池を得ること。
【解決手段】透光性絶縁基板２上に、表面電極層１１と、バンドギャップの異なる半導体層を基板面に垂直な方向に複数含む光電変換層１２と、裏面電極層１３と、を含むユニットセル１０が複数配列して形成され、ユニットセル１０の光電変換層１２を隣接する一方のユニットセルの光電変換層と分離する分離溝２１で、ユニットセル１０の裏面電極層１３が隣接するユニットセルの表面電極層１１と接続され、ユニットセル１０が直列に接続されてなる薄膜太陽電池において、分離溝２１を構成する光電変換層１２の側面は、基板面に対して０°よりも大きく４５°以下の角度を有する。 （もっと読む）

【課題】一対の給油孔を備えたドリル用ワークの当該一対の給油孔の孔中心を結ぶ線分の中点位置と、加工中心位置とが一致するように芯出しして、刃付面である先端テーパー面を研削して得られる製品の孔配置バランスを最適にする。
【解決手段】偏芯しているドリル用ワークＷ₁の切刃面を研削するための芯出しする方法であって、研削盤のスピンドル軸が回転しないように固定した状態で、中点Ｋの位置が偏芯軸を中心とする加工中心を通る特定円弧上に配置されるように、偏芯クランプ装置で仮固定されたドリル用ワークＷ₁をワーク回転装置により指令角度だけ回転させる第１芯出し工程と、前記偏芯軸を中心にして、ドリル用ワークＷ₁の前記中点Ｋの位置が前記スピンドル軸の軸芯である加工中心上に配置されるように、当該偏芯軸を指令角度だけ指令方向に回転させる第２芯出し工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】サブストレートを損傷させることなくウエーハ外周の面取り部を除去することが可能なサブストレート付きウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】外周に表面から裏面に至る円弧状の面取り部３を有するウエーハ２のが表面に貼り合わされたサブストレート付きウエーハの加工方法であって、回転可能な保持テーブル１８でサブストレート１４の裏面側を保持する保持ステップと、ウエーハとサブストレートの界面位置を検出する界面位置検出ステップと、サブストレート付きウエーハの面取り部の半径方向内側の所定位置に切削ブレードを位置づける切削ブレード位置付けステップと、前記界面位置検出ステップで検出した界面位置に基づいて、切削ブレードをサブストレートに切り込むことなくウエーハに十分切り込ませた状態で、保持テーブルを少なくとも１回転させて面取り部を切削除去する面取り部除去ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ウェーハの厚みのばらつきや反りに影響されず、精度の高いウェーハ面取り幅を実現する面取り加工方法及び面取り加工装置を提供すること。
【解決手段】
ウェーハＷ端部の各回転角度における厚さと厚み方向位置に基づき砥石とウェーハＷの各回転角度における相対的位置を算出し、加工点における相対的位置に基づき砥石とウェーハＷとの位置を調整しながら面取り加工を行う。 （もっと読む）

【課題】面だれを発生させることなくウェハの一面を斜めに研磨可能な試料ウェハの研磨方法の提供。
【解決手段】試料ウェハＷのウェハ鏡面加工面Ｗ２に、ダミーウェハＤを積層する状態で設けた被研磨体Ｈを作製している。そして、ウェハ鏡面加工面Ｗ２がダミーウェハＤを介して装置研磨面２３Ａと略対向し、かつ、ウェハ鏡面加工面Ｗ２と装置研磨面２３Ａとのなす角度が鋭角となるように、被研磨体Ｈを装置研磨面２３Ａおよび砥粒２４に接触させて、この接触部分のダミーウェハＤ側に砥粒２４を滞留させるように被研磨体Ｈと装置研磨面２３Ａとを相対移動させて、ウェハ鏡面加工面Ｗ２を斜めに研磨している。 （もっと読む）

【課題】アライニング機能を有するウェハ周辺部研磨装置であって、研磨対象となるウェハが大口径ウェハであっても、装置を小型化できるとともに、製造コストの上昇を抑制することが可能な周辺部研磨装置を提供する。
【解決手段】ノッチ位置検出センサ７３の光学式センサ７３１がワークＷのノッチｄを検出すると、チャック手段２１の回転が減速される。ノッチ位置決めピン７４をワークＷの半径方向内側に移動し、ばね７４６の付勢力によって、スライダー７４３を、ワークＷの半径方向内側に移動する。ピン部７４１の先端がワークＷの円筒面ｂに当接し、ピン部７４１の先端がワークＷの円筒面ｂに押し付けられる。この状態で、さらにワークＷを回転すると、ピン部７４１の先端がワークＷのノッチｄに侵入して係合する。その結果、ノッチｄは、ノッチ用研磨ユニット６と対向する角度位置に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の固定時における位置ずれ等を生じることなく、短時間で高精度な心出しにより、高精度に効率よく心取り加工を行う。
【解決手段】レンズ保持軸１のレンズヤトイ４に真空吸着にて被加工レンズ５を仮固定し、移動テーブル９に搭載された偏心検出装置Ｌ１による被加工レンズ５に対する出射光１８ａおよび反射光１８ｂの観察によってレンズ保持軸１の軸心と被加工レンズ５の中心軸を一致させる心出しを行った後に、レンズ保持軸１とレンズ固定軸６の間に被加工レンズ５を挟持して回転させ、研削砥石２１を被加工レンズ５の外周部に押圧して心取り加工を行う。従来のようにヤニによって被加工レンズ５をレンズヤトイ４に固定する場合に比較して、位置ズレを生じることなく、短時間に正確に被加工レンズ５をレンズ保持軸１に対して同軸状態に固定して高精度な心取り加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの外周部に形成された面取り部だけを確実に除去することができるウエーハの面取り部除去方法および面取り部を除去するための研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハの外周部に表面から裏面に渡り面対称に形成された面取り部を除去するウエーハの面取り部除去方法であって、ウエーハを保持するチャックテーブルを回転するとともに研削砥石を回転しつつ研削砥石の外周面をウエーハの外周部に形成された面取り部に接触させて研削送りする際に、電動モータに供給する電力の負荷電流値を検出し、検出された負荷電流値に基づいて研削砥石がウエーハに接触して研削を開始した時点から最大負荷電流値に達するまでの第１の研削時間または第１の研削送り量を求め、最大負荷電流値に達した時点から第１の研削時間または第１の研削送り量と同じ第２の研削時間または第１の研削送り量まで研削送りを実施する。 （もっと読む）

【課題】周方向に形状変化がある非対称レンズであっても、適切な拭き取りを行うことが可能なレンズクリーニング装置の制御方法等を提供する。
【解決手段】周方向においてコバ厚が変化する非対称レンズＬを回転させながら、あてがった払拭部材２を、非対称レンズＬに対し略径方向に相対的に移動させて非対称レンズＬを払拭するレンズクリーニング装置１の制御方法であって、非対称レンズＬに追従する払拭部材２の刻々の変位、および払拭部材２が非対称レンズＬから受ける刻々の反力を検出する変位・反力検出工程Ｓ１と、刻々の変位の検出結果および刻々の反力の検出結果に基づいて、払拭部材２の非対称レンズＬに対する押圧力Ｆ´が一定になるように制御する押圧力制御工程Ｓ２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】段取り作業を簡略化しつつ高精度の研削加工を実現するとともに、多様な形状の被加工物の研削加工における生産効率の向上を実現する。
【解決手段】ワーク軸２に保持されたワーク１を、ワーク軸２に水平面内で交差するツール軸１３に保持された研削砥石１１に押圧して研削加工する研削装置Ｍにおいて、ワーク軸２およびツール軸１３の可動範囲における鉛直方向（矢印Ｚ方向）の変位を計測して記憶し、任意のワーク１に加工における段取りにおいて、この計測結果に基づいてツール軸１３の矢印Ｚ方向の位置をサーボモーター２４および送りねじ２３で補正することで、加工中におけるワーク軸２およびツール軸１３の水平面内における位置ずれを防止し、段取り作業の簡略化および高精度の研削加工を可能にした。 （もっと読む）

【課題】そこで本発明は、被加工物の加工面のうねりや加工具の摩耗等に拘らず、レンズ成型用凹部を均一に加工形成することができる。
【解決手段】本発明は、回転する被加工物Ｅに加工具Ｄ１を押圧することにより、その被加工物Ｅにレンズ成型用凹部２０を加工形成するレンズ型の加工装置において、上記加工具Ｄ１に、被加工物Ｅに対する押圧力が一定となるように弾性変形する弾性変形部３０を設けたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】翼研磨のための視覚フィードバックのシステム（１００）および方法を提供すること。
【解決手段】 加工物（１１５）の研磨操作中に視覚フィードバックを提供するためのシステム（１００）がある。このシステム内には、加工物（１１５）の目標形状の表示を有するモデル（１３５）がある。走査システム（１２５）は、研磨操作中の処理の最中に加工物（１１５）の現在の形状の表示を生成する。コンパレータ（２０５）は、加工物（１１５）の現在の形状を加工物（１１５）の目標形状と比較する。照明システム（１４０）は、研磨操作中に加工物（１１５）を可視光でハイライトする。加工物（１１５）を可視光でハイライトする操作は、現在の形状と目標形状との間の比較に応じて行われる。照明システム（１４０）は、目標形状に適合するために追加研磨を必要とする加工物（１１５）の部分をハイライトする。 （もっと読む）

【課題】円盤状ガラスの内外周面をＮＣ制御された回転式砥石を用いて研削する場合において、回転式砥石の表面磨耗を考慮することなく当初設定のままＮＣ制御し続けると、円盤状ガラスの処理枚数に比例して回転式砥石の磨耗量が増加して、結果として同一の回転式砥石を用いて研削した円盤状ガラスであっても、処理枚数の増加に従って内径が小さく、かつ、外径が大きくなる問題がある。
【解決手段】円盤状ガラスを固定するワーク台と円盤状ガラスの内外周面を研削する研削工具とを有する情報記録媒体用ガラス基板の製造装置において、研削工具の磨耗量を測定して、その磨耗量の測定値に応じて円盤状ガラスと研削工具との相対位置をフィードバック制御するようにした。これにより、同一の研削工具による円盤状ガラスの処理枚数が増えても、その寸法精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】可視光及び赤外光を用いて窒化物半導体基板の端部を認識できる窒化物半導体基板及び窒化物半導体基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る窒化物半導体基板１は、窒化物半導体からなる基板であって、基板は、表面１０と、表面１０の反対側の裏面２０と、基板の表面１０側の縁が面取り加工されて形成される第１のエッジ部とを備え、第１のエッジ部の平均表面粗さに対する表面１０の平均表面粗さの比が０．０１以下である。 （もっと読む）

【課題】カムの外周面に形成された凹状部及び凸状部を有するカム面を、正確に研削することができるカム面の研削方法を提供する。
【解決手段】外周面にカム面Ｆを形成するとともに、そのカム面Ｆに凹状部Ｆｂ１〜Ｆｂ３及び凸状部Ｆａ１〜Ｆａ３を設けたカムＣを、その回転軸線Ｌ１を中心に回転させながら、回転砥石２４をカム面Ｆに接触させて、そのカム面Ｆを研削する。このカム面Ｆの研削時には、回転砥石２４の回転軸線Ｌ２をカムＣの回転軸線Ｌ１に対して傾斜させた状態で、回転砥石２４をカムＣの回転軸線Ｌ１と交差する方向（Ｘ軸方向）へ進退移動させるとともに、その進退移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）へ往復移動させる。カム面Ｆの凹状部Ｆｂ１〜Ｆｂ３を研削する際のカムＣの回転方向を、同カム面Ｆの凸状部Ｆａ１〜Ｆａ３を研削する際の回転方向に対して逆転させる。 （もっと読む）

【課題】 教示プログラムをティーチングする際の研削中に、砥石車と加工物の間に光を通過させて「加工物における研削形状、および加工物を研削する砥石車の研削部」をスクリーンに投影させる。
【解決手段】 教示プログラムをティーチングする際に、外周縁に切欠部１３が形成された砥石車１を用いることで、研削中に切欠部１３を通過した光がスクリーンＳに届くようになり、スクリーンＳには、加工物Ｗの投影像Ｗ’と、砥石車１の投影像１’とが、それぞれ明確に映し出される。このため、教示プログラムのティーチングを行なう際に、作業者は砥石車１を加工物Ｗから離す「確認工程」を実行することなく、スクリーンＳ上に明確に投影された投影像に基づいて加工物Ｗの研削を進めることができる。この技術により、教示プログラムを行なう作業者に対して熟練が要求されなくなる。 （もっと読む）