【課題】 ワークを搬送する搬送ベルトの搬送面やワーク吸着用の透孔に粉塵や油等の異物が残ることを防ぎ、次のワークに悪影響を与えないバリ取り装置を提供する。
【解決手段】 搬送面４ａからその裏面に貫通する無数の透孔４ｂが形成された無端の搬送ベルト４を有し、この搬送ベルト４の搬送面４ａの上に、バリが上面に形成されたワークを載せて搬送するベルトコンベア１と、このベルトコンベア１の上方に配置されて搬送ベルト４上のワークのバリを取るバリ取りヘッドと、搬送ベルト４の裏面側から透孔４ｂを通じてエアを吸引し、ワークを搬送面４ａに吸着させるエア吸引手段６と、エア吸引手段６のエア吸引用ブロア４１の排気の一部を搬送ベルト４の搬送面４ａに吹き付ける排気吹付け手段４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属製品または非金属製品の成形または切断作業時に発生するバリを自動で除去するだけでなく、デバーリング作業時に発生する騒音及び異質物による作業空間汚染を最小化することができるデバーリング装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明に係るデバーリング装置は、ベースの上に設けられてデバーリング対象物を移送する移送経路を形成する移送モジュール、ベースの上のデバーリング対象物の移送経路の上に設けられてデバーリング対象物をデバーリングするデバーリングモジュール、及びベースの上に往復動可能に設けられて移送モジュール及びこの移送モジュールの上のデバーリング対象物が外部に露出することを選択的に遮断するだけでなく、デバーリングモジュールを用いたデバーリング対象物のデバーリング作業時に発生する粉塵及び騒音が外部に伝えられることを防止する遮断カバーを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の固定砥粒ワイヤーソー装置においては、高速走行している固定砥粒ワイヤーに向けて高圧流体や超音波振動を与えた流体を噴射する噴射手段を設け、ワイヤー表面に詰まったスラッジ等を吹き飛ばす技術や、高速走行するワイヤー列に空気あるいは加工液を介して超音波振動を付加する装置があるが、いずれも十分な洗浄効果が得られないという問題がある。
【解決手段】固定砥粒ワイヤーの走行路中に超音波振動発生装置を配置し、その超音波振動発生装置に設けた印加子を、走行する固定砥粒ワイヤーに接触させて超音波振動を固定砥粒ワイヤーに直接印加させるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨中に研磨テープから砥粒が脱落してしまうことを極力防止し、また、たとえ基板の表面外周部を研磨中に研磨テープから砥粒が脱落したとしても、この脱落した砥粒が基板の中心部の素子形成領域等に入り込まないようにする。
【解決手段】表面に砥粒を固着した研磨テープ２０を一方向に走行させつつ、該研磨テープ２０の表面を基板Ｗの表面に押圧して該基板Ｗの表面を研磨する研磨ヘッド１２と、研磨テープ２０の走行方向に沿った研磨ヘッド１２の上流側に配置され、研磨テープ２０の表面から研磨中に砥粒が脱落するのを防止するように該表面を予めコンディショニングするコンディショニング装置（洗浄装置）３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】研磨液を研磨工具と被加工面の間に介在させて研磨加工を施す研磨装置において、研磨工具が研磨液に水没して浮力を発生するのを防ぐ。
【解決手段】研磨工具３は回転しながら被加工物５の被加工面５ａに圧接され、被加工面５ａの研磨加工を行う。研磨液は、研磨液供給手段１９によって研磨工具３の加工部３ａに供給され、研磨液排出手段２０によって排出される。研磨液供給手段１９及び研磨液排出手段２０は、回転ステージ１７ａ及び上下ステージ１７ｂによって研磨工具３に対する相対位置を変化させ、常時、研磨工具３の下側から研磨液を排出することで、研磨工具３が研磨液に水没するのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置を提供する。
【解決手段】
研磨装置１は、第１の面１１を有する第１定盤１０と、第１の面１１に対向し、第２の面２１を有するとともに、第２の面２１に交差する方向に突出する保持部２２を有する第２定盤２０とを備えている。第１の面１１は、グリーンボール９１を研磨する研磨面となっている。また、グリーンボールの研磨装置１は、研磨により生じた研磨粉を上記研磨面から除去する吸引部材４０をさらに備えている。グリーンボール９１は第１の面１１と第２の面２１との間において挟持される。そして、第１定盤１０および第２定盤２０は、それぞれ軸αおよび軸β周りに回転することによってグリーンボール９１を公転および自転させる。 （もっと読む）

【課題】表面処理により生じた切屑などを簡単な構成で回収するとともに、処理対象の形状に関わらず効率良く処理できる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１０は、回転ブラシ２２を備えたワークスペース２０，モータ収納部４０，回収部８０により構成される。回収部８０には、回転ブラシ２２の後方に配置されたフィルタ９４と、底面側に設けられた回収トレー８４が着脱可能に保持され、上面カバー９８には通気孔１００が形成されている。回転ブラシ２２の後方には、上面カバー９８とフィルタ９４の間を塞ぐ遮蔽板９９が設けられる。回転ブラシ２２にワークを押し当てると、表面処理によって生じた切屑は、回転ブラシ２２の回転によって生じた気流に乗り、大きなものは回収トレー８４に落下する。一方、細かい切屑は、吹き上げられた気流がフィルタ９４を通過する際に分離し、回収トレー８４に落下する。 （もっと読む）

【課題】給水ノズルから当接部に供給される冷却水の飛沫が広範囲に亘って飛散するのを防止し、これにより、飛沫が板材の表面に付着し難くすること。
【解決手段】 板材の端面加工装置１は、回転砥石１０の外周面に凹に周設された研磨溝１１に加工対象である板材Ｂの外周端部を挿入して当接させ、当該圧接加工部１７へ冷却水を供給する装置において、給水ノズル１２の水出口１２１を、回転砥石１０の径方向の外側から研磨溝１１の溝底に向けて冷却水を供給するように配向し、給水ノズル１２の下流側に水出口１２１から圧接加工部１７まで回転砥石１０の外周に沿って延伸する水ガイド１５を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周方向に形状変化がある非対称レンズであっても、適切な拭き取りを行うことが可能なレンズクリーニング装置の制御方法等を提供する。
【解決手段】周方向においてコバ厚が変化する非対称レンズＬを回転させながら、あてがった払拭部材２を、非対称レンズＬに対し略径方向に相対的に移動させて非対称レンズＬを払拭するレンズクリーニング装置１の制御方法であって、非対称レンズＬに追従する払拭部材２の刻々の変位、および払拭部材２が非対称レンズＬから受ける刻々の反力を検出する変位・反力検出工程Ｓ１と、刻々の変位の検出結果および刻々の反力の検出結果に基づいて、払拭部材２の非対称レンズＬに対する押圧力Ｆ´が一定になるように制御する押圧力制御工程Ｓ２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】軸受付カムシャフトのカム駒の外周形状の精度をより向上させるとともに、軸受付カムシャフトの軸受への研削屑の浸入を防止することができる、研削盤を提供する。
【解決手段】シャフトＳＴの外周面の軸方向に単数または複数のカム駒ＣＡと単数または複数の軸受ＢＲが嵌合された軸受付カムシャフトＷのカム駒の外周を研削する研削盤１であって、軸受付カムシャフトＷを主軸回転軸ＣＺ回りに回転可能に支持する一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃと、カム駒の外周面を研削可能な砥石Ｔと、砥石Ｔを砥石回転軸ＴＺ回りに回転可能に支持し、一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃに支持された軸受付カムシャフトＷに対して相対的に主軸回転軸ＣＺに交差する方向に進退移動可能な砥石台１０と、一対の支持手段３０Ｃ、４０Ｃに支持された軸受付カムシャフトＷに嵌合されている軸受ＢＲを覆うマスキング装置６０と、を備えた研削盤１。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム環境下において、低コストで迅速かつ確実にガラス板のエッジを自動で研磨する。
【解決手段】本発明は、クリーンルーム環境下においてガラス板のエッジを自動で研磨する装置及び方法に関し、以下の構成を含む。ａ）ガラス板（１１）を受け取るために、複数の吸引ユニット（１０）を有する吸引フレーム（９）を保持したグリッパアームを備えた多軸ロボット（２）、ｂ）ロボット（２）のグリッパアームの回転範囲内に導入され、少なくとも１つの回転可能な研磨輪（１３）を備え、固定された様式で設置された研磨ユニット（１）、ｃ）研磨ユニット（１）の操作により生じた研磨塵を排出する排出システム、ｄ）検知機器に連結され、研磨輪（１３）の摩耗の程度及び状態を監視する較正機器（１８）、並びに本方法を実行するためのコンピュータプログラム。 （もっと読む）

【課題】基板のデバイス領域に研磨屑が付着することを防止して、歩留まりを向上させることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、基板Ｗをその表面（デバイスが形成されている面）が下を向くように真空吸着などにより保持し、基板Ｗを回転させる基板保持機構３と、基板保持機構３に保持された基板Ｗの周縁部に研磨具２３を押圧する研磨機構３０とを備える。基板Ｗを回転させることにより基板Ｗの周縁部と研磨具２３とが摺接し、これにより基板Ｗの周縁部が研磨具２３によって研磨される。使用される研磨具としては、研磨テープや固定砥粒が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】 坏土供給穴とこの坏土供給穴に連通する成形溝とを有する成形用金型の加工装置及び加工方法であって、金型素材に坏土供給穴を形成した後、治具に取り付けた金型素材に、円形薄刃砥石により成形溝を加工するにあたり、（ａ）成形溝の形成に伴って次々と発生する研削屑を成形溝の底部に残すことがなく、（ｂ）研削屑を除去するために大型のポンプを必要とせず、しかも研削屑がポンプ内に詰まることがなく、（ｃ）金型の製作効率を向上する、成形用金型の加工装置及び加工方法を得る。
【解決手段】 成形溝を形成する溝形成面と前記坏土供給穴を設ける穴加工面とを表裏に有する金型素材をセットする治具台を有し、前記治具台は、加圧室を有するとともに、前記加圧室を切削水で充満し前記切削水を０．０１〜１ＭＰａで加圧する加工装置。 （もっと読む）

【課題】破断跡への研磨具の接触を容易にして、破断跡を効率よく研磨することができるトルシア形高力ボルトのボルト軸のピンテール破断跡研磨装置を提供する。
【解決手段】回転体１０と、回転体の回転軸１１に脱着可能なアダプタ１２と、アダプタを介して前記回転軸に脱着可能な研磨具１３と、基端側が回転体に脱着可能であり先端側がボルトに締め付けられたナット６の外周に被せることができるホルダー１６を備え、前記研磨具は前記回転軸の回転によりホルダー内で回転可能であり、ホルダーの先端側を前記ナットの外周に被せて研磨具を回転させると研磨具が破断跡７に接触してその破断跡を研磨できるものである。ホルダーを主ホルダー３１と連結ホルダー３２とが着脱可能に連結されてなるものとし、その連結長を調整してホルダーの長さを調整できるようにすることもできる。ホルダーの先端側に脱着可能な被覆具１７を備えることもできる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の加工品質のばらつきを生じることなく、高精度な摺動加工を行うことが可能な摺動加工技術を提供する。
【解決手段】カバー９を備えたタライ４の中において、ノズル７から研磨液８を供給しつつ、工具基体２を介してモータ３に駆動される研磨工具１の研磨機能面１ａとレンズ受け工具６に支持されたレンズ５の光学機能面５ａを摺動させる研磨加工装置Ｍ１において、タライ４の側面に設けられた排気口１１にエジェクタポンプ機構１２を接続し、研磨加工中におけるタライ４の内部の作業空間の雰囲気４ａに籠もるミストや熱気を強制的に吸引して排気することにより、タライ４の内部に外気を導入し、作業空間の雰囲気４ａにおける温度や湿度等の加工条件を一定に保って、レンズ５の加工品質のばらつきを生じることなく、高精度な研磨加工を行う。 （もっと読む）

【課題】 加工精度や加工屑の洗い流しの低下を損なうことなく、水の使用量を抑えることができる装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡レンズを加工用の砥石が配置された加工室と、レンズ加工部分に水を供給する研削水供給手段と、加工室の壁側に水を供給する洗浄水供給手段と、レンズ材質選択手段と、を備え、プラレンズが選択されたときには粗／仕上げ加工時に研削水を供給し、加工に熱を要する材質が選択されたとき，仕上げ段階では研削水の供給を停止し、艶だし段階では研削水を供給する眼鏡レンズ周縁加工装置で、プラレンズが選択されたときには、粗加工開始から最終加工終了まで洗浄水の供給を停止したままとするか、加工途中又は最終加工終了時に一時的に研削水を供給させ、加工に熱を要する材質が選択されたときには、少なくとも粗加工では洗浄水を供給する制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 下定盤と下定盤支持部との間隙に研磨液が浸入し、この間隙で研磨剤が凝集することによって発生する上定盤と下定盤の合致度の低減を防止する。
【解決手段】 上定盤及び下定盤との間に研磨液を供給する研磨液供給部とを備えた遊星歯車式の研磨装置において、下定盤１０と下定盤支持部１２との間隙へ前記研磨液が浸入するのを防止するため、太陽歯車３０と下定盤１０の間にシール手段１５を設けた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】ベベル部の汚染に起因する基板の処理不良の発生を防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、ベベル処理ブロック１０、反射防止膜用処理ブロック１１、レジスト膜用処理ブロック１２、現像処理ブロック１３、レジストカバー膜用処理ブロック１４およびインターフェースブロック１５を含む。ベベル研磨部５０では、ベベル研磨ユニットにより基板Ｗのベベル部に研磨処理が施される。それにより、基板のベベル部に付着する汚染物が確実に取り除かれる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの洗浄時間を短縮し、効率的で高品質な面取り加工を可能にするウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハＷの一端を入れることが可能な開口部２Ａが形成されているケース２により砥石の周囲を囲い、開口部２Ａの前にノズル６により液体３を平面状に噴射して砥石の設けられているケース２の内部と、ウェーハＷがウェーハテーブルに保持されているケース２の外部とを隔離しながらウェーハＷの外周面を切削する。 （もっと読む）

【課題】ガラスやセラミックスなどのワークを安定的かつ高品質な球体に加工する。
【解決手段】球体加工装置１０は、第１のモータ３８と、第１のモータ３８により回転駆動されてワーク３３を載置する円板２８と、円板２８と同軸上に配置され該円板２８とともに加工槽３２を形成する円筒側壁３０と、加工槽３２に投入されたワーク３３を衝突させてワーク３３の移動方向を強制的に変更し、円筒側壁３０との接触部位を変更させる方向変更部材３４と、円板２８と円筒側壁３０との間に形成されて粉塵を排出する隙間空間３１と、円板２８及び円筒側壁３０に付着されてワーク３３を加工する砥粒とを備える。 （もっと読む）