【課題】プローブ先端形状が変化しても針入抵抗の変化を小さくでき、研磨層（クリーナ層）に対する針入量のバラツキを小さくして全てのテストプローブを均一にクリーニングする。また表面での付着物捕捉作用を増大させてテストの信頼性向上と製品の歩止まり向上を可能にする。
【解決手段】微細な研磨剤が混入されかつテストプローブ（１６，１８）の先端が進入可能な研磨層（４２）と、この研磨層（４２）の少なくとも一方の表面に積層され高分子ゲルから成る表面層（４４）とを備え、テストプローブ（１６，１８）の先端を表面層（４４）から研磨層（４２）に進入させることによりクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】環境に多くの負荷を掛けることなくＵＶ硬化型コーティングの光沢復元ができ、効率的にＵＶ硬化型コーティングの床の掃除及びメンテナンスが行うことができるコーティング光沢復元用フロアパッドを提供する。
を提供する。
【解決手段】本発明にかかるコーティング光沢復元用フロアパッドは、合成繊維を構成繊維とする不織布の構成繊維表面に、研磨粒子を含有する熱硬化性樹脂を固着することにより研磨粒子を担持したコーティング光沢復元用フロアパッドである。 （もっと読む）

【課題】研磨シートを用いた研磨ディスクに、ワーク表面の研磨・研削に最適な性能と、ワークコーナ部内側の研磨・研削に適した性能を兼ね備えさせることを課題としている。
【解決手段】二つ折りにした第１研磨シート３を、対向二片のうちの一片３ａが基板２の前面側に、他片３ｂが背面側にそれぞれ配置され、対向二片の一部が基板から径方向外側に突出するように基板の外周に設けられたスリット７に差し込み、ディスク回転方向前後の一片３ａ、３ａ間に第２研磨シート４を挿入し、この第２研磨シートの根元部４ａを基板２の前面に、第１研磨シート３のスリット７に対する差し込み部近傍を基板２に、第１研磨シートの他片３ｂの内面を基板２の背面と隣り合う他片との重ね面にそれぞれ接着剤５で接着して研磨ディスク１を構成した。 （もっと読む）

マトリックスポリマーと、前記マトリックスポリマーの中に分散された両親媒性ブロックコポリマーとを含むバインダーを用いて結合された研磨粒を含む、アブレーシブ物品。そのアブレーシブ物品は、バッキングを含む、コーテッドアブレーシブ物品、たとえば形状設計アブレーシブ物品であることが可能である。そのバインダーが、研磨粒をバッキングに結合させることを可能とする。

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【課題】内部が密に充填され、研磨粒子が均一に分散された構造を有する焼成凝集体を製造する方法であって、焼成凝集体内への異物の混入が少ない、焼成凝集体の製造方法を提供すること。
【解決手段】ガラスフリット１１２、研磨粒子１１１及び水溶性の多糖類を含有するスラリーを金属塩含有溶液と接触させて得られる凝集体１０８を焼成する、焼成凝集体１２０の製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】特定の起毛層を安定化して製造することが可能となり、得られる研磨パッドはスクラッチの発生が少なく、高い研磨レートを有し、ブラシによるコンディショニングとの組み合せに適する研磨パッドを提供する。
【解決手段】長繊維絡合体と高分子弾性体とから形成された研磨パッドの表面加工方法において、砥粒番手が４０番〜８０番の砥粒を含むシートを用いて研削処理を行い、研削処理後の表面が、平均直径５〜４０μｍ、平均起毛長５０〜３００μｍの極細繊維束からなる起毛層を形成することを特徴とする研磨パッドの表面加工方法。 （もっと読む）

コーティングされた研磨物品（１）は、片面に研磨コーティング（５）を有する裏材（３）、裏材の反対側の取付層（７）、及び研磨コーティング（５）の前面を貫通しない脆弱線（９）を含む。レーザービームを用いて形成され得る脆弱線は、取付層（７）中の切断部（１１）、及び裏材（３）中の穿孔（１３）を含み、研磨物品（１）の一部を別の部分から分離できるようにする。あるいは、研磨物品をその元の形態で用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 被研磨物の外周部分に発生する欠けを低減可能な研磨パッドを提供することである。
【解決手段】 被研磨物を研磨する研磨面に複数の溝が形成された研磨パッドであって、前記複数の溝のうち少なくとも一部の溝の該研磨パッドの回転方向後側のエッジ部に、被研磨物と該溝のエッジ部との衝突を緩衝する緩衝部が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨テープの圧力を被研磨面に好適に分散できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】研磨装置１は、スリット３３が形成された研磨テープ３の、スリット３３を含む所定の範囲ＡＲ（２つの案内ローラ１３間の範囲）に、ウェハＷの主面Ｗａに交差する方向において張力を付与する。そして、研磨装置１は、範囲ＡＲに張力を付与した状態で、研磨テープ３とウェハＷの端面Ｗｂとを摺動させて端面Ｗｂを研磨する。 （もっと読む）

【課題】スクラッチの発生を抑えた、平滑性の高い仕上げ研磨が可能となる研磨フィルム及びこれを使用した研磨方法の提供。
【解決手段】研磨フィルム１０ａの基材である基材フィルム１１と、基材フィルム１１上に形成された研磨層１５ａとを備え、研磨層１５ａは、研磨粒子１２と、研磨粒子１２を固着するバインダー樹脂１４とを含んで成り、バインダー樹脂１４が、水溶性のバインダー樹脂１４であることを特徴とする研磨フィルム及びこれを使用した研磨方法。 （もっと読む）

【課題】研磨部の基材に対する接着強度が増大され、過酷な高荷重負荷研磨作業、長時間研磨作業にも耐える磨材料を提供すること
【解決手段】基材と、該基材から突出する複数の成形構造を有する研磨部とを含む研磨材製品であって、該研磨部は、（１）樹脂中に分散された研磨粒子を含有する混合物の硬化物からなる上層と、（２）放射線硬化性のモノマー及び／又はオリゴマー及び熱硬化性樹脂を含有する結合剤の硬化物からなる下層とを有する、研磨材製品。 （もっと読む）

【課題】全体精度を高められ、使用寿命を延長でき、生産コストを減らせ、加工効率を高められる研磨工具及びその製造方法の提供。
【解決手段】本発明の研磨工具の製造方法は、（Ａ）研磨薄板、型、及び背板を提供し、該研磨薄板は工作面と非工作面を有し、且つ該型は制御面を有するものとするステップ、（Ｂ）該研磨薄板の該工作面と該型の該制御面を接合し、並びに接合剤で固定するステップ、（Ｃ）接着層を該研磨薄板の該非工作面上に形成するステップ、（Ｄ）該背板を該接着層の表面に固定するステップ、（Ｅ）該接合剤を除去し、該型と該研磨薄板を分離するステップ、を有する。 （もっと読む）

【課題】
セラミック粉末の突き出し高さが略一定であり、研磨に有効なセラミック粉末の割合が充分に高く、さらには外来異物の混入が少なく、安定した研磨を行うことができる研磨テープを提供する。
【解決手段】
基材フィルム１０１と樹脂層１０２とセラミック粉末１０３と接着剤１０４とを備える研磨テープであって、上記樹脂層１０２は上記基材フィルム１０１上に積層され、表面に複数の窪み１０５を有し、上記窪み１０５に上記セラミック粉末１０３が載置され、上記セラミック粉末１０３は上記樹脂層１０２に対して上記接着剤１０４によって固定され、上記セラミック粉末の平均粒子径が上記窪みの底部から上記接着剤の表面までの平均高さよりも大きいことを特徴とする研磨テープ１０６が提供される。 （もっと読む）

【課題】木炭微粉末入りの楮紙を研磨紙として用いて、包丁の刀身を磨くために、木炭微粉末を十分に含む木炭微粉末入り楮紙及び当該楮紙の製造方法を提供する。
【解決手段】木炭微粉末入り楮紙は、楮の繊維１０と繊維１０に付着した木炭の微粉末とを備える木炭微粉末入りの楮紙である。木炭の微粉末１２は、アルカリ性水溶液中で楮の皮とともに煮ることによって楮の繊維１０に付着させられたことを特徴とする木炭微粉末入り楮紙。 （もっと読む）

【課題】ポリッシャーによる研磨作業における研磨傷を消失して鏡面反射レベルの塗装面を形成することができる、研磨用パッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨用パッドは、被研磨面を摺接するバフ単体のみから構成される研磨用パッドであり、前記バフが密度３０ｋｇ／ｍ^３の軟質ポリウレタンフォームを熱プレス成形によって、その切出し厚み６０ｍｍを２０ｍｍに圧縮成形し、更に垂直方向の断面が扁平な台形となるように切削加工されたものを採用した。 （もっと読む）

【課題】 凹凸面、入り組んだ箇所、狭隘部等の複雑な箇所の清掃や研磨作業を容易にするための、研磨具を提供する。
【解決手段】 把手と、少なくとも一方の表面にあたる位置に配置された研磨シート材と複数の補助シート材とよりなる研磨層材と、前記研磨層材を前記研磨層材の開放端部を露出した状態で前記把手の一端に着脱可能に固定する着脱固定機構部よりなる研磨具であって、前記研磨層材は利用対象物の凹凸面、入り組んだ箇所及び狭隘部等の複雑な箇所の清掃や研磨に耐える可撓性を有する。また、前記補助シート材は少なくとも研磨シート材先端部の研磨作用に支障をきたさない大きさ及び形状とする。さらに、前記補助シート材は研磨性シート材よりなり、且つ、着脱固定機構部に研磨層材の露出長を調整する長さ調整手段を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研磨シートの各研磨砥粒の切り刃出しと、各切り刃を揃えることと同時に研磨残渣を効率的に排出する。
【解決手段】 基材４と、基材４の表面上に接着樹脂５により固着される単一粒子層を形成する砥粒３１〜３３と、を備えてなる研磨シートであって、砥粒３１〜３３が、それぞれ被研磨体に当接する先端部を同一平面状に揃えると共に、離間して分布することを特徴とする。本発明は、研磨傷を発生せず、かつ効率的に面粗さの良好な研磨が行える。 （もっと読む）

【課題】 研磨シートの研磨層に研磨材粒子を単一粒子層に配置し、研磨シートに配置した研磨材粒子の平坦性を向上させ、被研磨物表面にスクラッチや凹凸を減少させた、精密な研磨に適した研磨シートの製造方法及び研磨シートを提供する。
【解決手段】 基材シート３１と、基材シート３１の表面に形成される研磨層３４とを備えた研磨シート３０であって、研磨層３４は、研磨粒子３２と研磨粒子３２を固定するバインダー樹脂３３とで形成されるとともに、研磨粒子３２が単一層に配置されるとともに、バインダー樹脂３３の表面よりその一部を突出してなり、又はバインダー樹脂３３の表面よりその一部を前記バインダー樹脂３３の薄膜で被覆された状態で突出してなる、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】取替作業を不要にできる研磨シートを提供すること。
【解決手段】研磨装置の回転テーブル上に貼り付けて用いられる、研磨シート１であって、円形の第１研磨シート片１２と、第１研磨シート片１２の表面に同心円状に設けられた、３個の研磨領域１１Ａ、２１Ａ、３１Ａと、を備えており、各々の研磨領域１１Ａ、２１Ａ、３１Ａは、均一な粒度の研磨材で構成されており、研磨材の粒度は、内側の研磨領域ほど小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】被研磨物に微細な溝を形成することができるだけでなく、被研磨物表面の欠点（スクラッチ）発生率を低減させることが可能な研磨布用織物およびその製造方法および研磨布を提供する。
【解決手段】研磨布用織物であって、単繊維径５０〜１５００ｎｍのポリエステルマルチフィラメント糸Ａが経糸および緯糸のうちどちらか一方のみに配され、他方には単繊維径が３μｍ以上のポリエステルマルチフィラメント糸Ｂが配され、該織物のカバーファクターＣＦが２０００〜４５００の範囲内であり、かつ織物の厚みが０．１５〜０．８０ｍｍの範囲内であることを特徴とする研磨布用織物。 （もっと読む）