【課題】本発明の目的は、定砥粒ワイヤーを用いて、確実にシリコンインゴットを切断でき、さらに、固定砥粒ワイヤーに要するコストを低減できるシリコンインゴットの切断方法を提供することにある。
【解決手段】直径が150mm以上の複数本のシリコンインゴット２０を切断する第１切断工程と、その後、第１切断工程に用いた使用済みのワイヤー１１を再利用し、該ワイヤー１１の送り出し速度を第１切断工程の送り出し量よりも大きくして、第１切断工程のシリコンインゴット２０よりも直径Ｌ２が小さい複数本のシリコンインゴット２１を切断する第２切断工程とを具えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スラリのワーク上面への飛散を有効に防止し、ナノトポグラフィ及びＷａｒｐの増大が有効に抑制されたワイヤソー装置を安価にて提供する。
【解決手段】ワイヤソー装置１は、離間する複数のローラ２間を、ワイヤ３をローラ軸方向に対し直交する方向に走行可能かつ並列に張り渡した多条ワイヤ群４と、ワークＷを保持し、多条ワイヤ群４に対しワークＷを押し込む方向に移動するワーク保持部５と、ワイヤ３のワークＷを押し込む側よりも少なくとも走行方向上流側から、多条ワイヤ群４にスラリを供給するノズル６とを具える。また、多条ワイヤ群４の並列方向に延びる遮蔽板７を、少なくともノズル６を設けた側であって、多条ワイヤ群４の上方にて、多条ワイヤ群側を基点としてワークＷの押し込み経路側に倒れ込み可能に設置している。 （もっと読む）

【課題】目的部分と残余部分とを完全に切り離した後でも、残余部分がすぐに切り落とされることがないようにし、残余部分を割れや欠けが無い状態で再生工程に送る。
【解決手段】切断刃１８を用いて対象物１２を切断して目的部分１４と残余部分１６とに切り分けるために、対象物１２を仮固定面２２上に固定するベース２０を備え、ベース２０の仮固定面２２には、対象物１２の被支持面２４に密着し吸気孔２６を有する複数の吸着口２８と、切断刃１８が目的部分１４と残余部分１６とを完全に切り離した直後に仮固定面２２まで食い込むように形成された逃し溝が設けられ、吸着口２８は、目的部分１４の支持面に密着するもの及び残余部分１６の支持面に密着するものを含む。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットを所定形状に切断するバンドソー装置を小型化できるようにする。
【解決手段】２つの並設されたブレードホイール６と、これら２つのブレードホイール６に掛け回された環状のバンドソー７と、ブレードホイール６を介してバンドソー７を回転駆動する駆動源としてのモータ８と、回転駆動されているバンドソー７に対してシリコンインゴット２を上昇させる昇降装置１０とを備え、柱フレーム４と梁フレーム５とからなる門型の保持フレームの空間部Ｓに、バンドソー７及びこのバンドソー７の掛け回される２つのブレードホイール６を配置するとともに、保持フレームに設けた水平な梁フレーム５の下部にバンドソー７の掛け回された２つのブレードホイール６を吊り下げるようにして保持させる。これにより、バンドソー７及び２つのブレードホイール６を保持する保持フレームの剛性力を高めることなく保持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ外周面に対して効率良くブラシめっきを施すめっき方法、及び、めっきが施されたワイヤ外周面に対して砥粒を効率良く供給して電着させることにより、電着ワイヤ工具の生産性を向上させる電着ワイヤ工具製造方法を提供する。
【解決手段】 ワイヤをめっき液内で擦過する擦過部材により当該めっき液を流動させながら前記ワイヤ表面にめっきを施す。また、前記ワイヤと前記擦過部材の擦過部分が前記めっき液に覆われるようにする。 （もっと読む）

【課題】 加工精度が高くかつ生産性の高いワイヤソーを提供すること。
【解決手段】カーボン系の材料からなるスライス台１９の曲面側にシリコンインゴットを、エポキシ系接着剤を用いて接合する。そして、スライス台１９の曲面側と対向する面に超音波振動子２３である円板状の圧電セラミックを、エポキシ樹脂を用いて接合する。円板状の圧電セラミックは厚さ方向に分極してある。圧電セラミックの形状は３種類あり、圧電セラミックの円盤の拡がり振動モードの固有振動数は、約３５ＫＨｚ、約４５ＫＨｚ、約５５ＫＨｚである。そしてワークプレート１８をスライス台１９にエポキシ系樹脂を用いて接合する。なお、３種類の圧電セラミックは、同数使用している。 （もっと読む）

【課題】煩雑な作業をしないで、刃厚が薄く、かつ、耐久性が高いバンドソーを提供する。
【解決手段】バンドソー１０はエンドレス状のベルト１２を含む。ベルト１２の幅方向の一端側には、間隔を隔てて、複数のＵ字状の切込部１４が形成されている。これらのＵ字状の切込部１４の間には、切削刃１８が固着されている。切削刃１８は、たとえば平面形状が矩形の切削刃用シート材を略コ字形に折り曲げることによって形成されている。切削刃用シート材は、基材の上面に薄い金属層によって砥粒子を多層ないしは重層に結着したものである。切削刃用シート材は、その下面中央部をベルト１２の幅方向の一端側（上側）端面に当てられた後、ベルト１２の端部形状に沿って折り曲げられながら、ロウ付けなどによってベルト１２に固着される。 （もっと読む）

【課題】半導体結晶等、特に硬脆性のＧａ含有窒化物結晶などの半導体結晶等をスライスする際の加工ダメージを低減させる手法を提供すること。
【解決手段】先ず、マルチワイヤーソー（１）で結晶をスライスするため、ＧａＮ結晶（１００）とツルーイング用砥石（２０）を接着させたカーボン台座（２００）が固定されている金属台座（４００）を切削装置内にセットする。続いて、ワイヤー（１０）を揺動させ、板状のＧａＮ結晶（１００）の切削時の揺動角度を決定し、ワイヤー（１０）の揺動を繰り返しながら該ワイヤー（１０）をＧａＮ結晶（１００）の端部から中心部に向かう方向に走行させ、かつ、金属台座（４００）を昇降モータで上昇させることにより、切削が進行する。 （もっと読む）

細長い物体と、細長い物体の表面上を覆う結合層と、約０．０２ｃｔ／ｍと約０．３０ｃｔ／ｍの間の範囲内の平均砥粒集中度で結合層内に含まれる砥粒とを含む研磨物品。
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【課題】ワークの切断に用いられるマルチワイヤソーのワイヤの断線の予兆を検知するようにしたマルチワイヤソーのワイヤ断線予防装置を得る。
【解決手段】スラリ供給弁４からスラリが供給され、シリコンインゴッドのワーク３を切断中のワイヤ１の反射光をビジョンセンサ５によって撮像し、この撮像された画像をワイヤ異常検知部１２により、グレイレベル化し、このグレイレベル化された画像を解析し、平均値と標準偏差が設定閾値内であり、かつグレイレベルの強度が閾値を超えたとき、ワイヤの乱れ線として検出するとともに、この検出された乱れ線を時系列に蓄積して出現頻度が閾値を超えたとき、断線の予兆と判断して、ワイヤによる切断作業を制御する加工制御装置２０へ制御信号を出力して、断線を予防するようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体結晶等、特に硬脆性のＧａ含有窒化物結晶などの半導体結晶等のする際の加工ダメージを低減させることが可能な結晶スライス方法を提供すること。
【解決手段】ワイヤーは「正転」と「逆転」を繰り返しながら走行するが、板状の結晶を切削する状態にあるワイヤーは必ず、ＧａＮ結晶の端部から中心部に向かう方向に走行する。なお、「正転」から「逆転」、或いは、「逆転」から「正転」への変化は、ワイヤーの走行速度が実質的にゼロとなる時点で生じさせるから、結晶を切削する状態にあるワイヤーがＧａＮ結晶の中心部から端部に向かう方向に走行することはない。このため、結晶に対する加工ダメージは低減され、クラック等の発生要因が抑制される。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤードラムへのワイヤー巻き付け状態の異常を検出する装置を提供する。
【解決手段】
ワイヤードラムのワイヤー巻き付け面に螺旋状のワイヤー溝が設けられ、該ワイヤー溝にワイヤーが導入され一層をなして巻き付けられ、導出されるようにしたワイヤー巻き付け装置と、前記ワイヤードラムの外円周面の近くで、ドラムの溝から露出するワイヤーの高さの範囲内で、ドラム回転軸線に平行な仮想直線上を進む光線を発射する投光器と、該光線を受ける受光器と、前記投光器と受光器とを取付けるセンサー取付部材を備える。 （もっと読む）

【課題】表面の反り形状が等方的に凹面である単結晶サファイア基板を製造する際に好適なワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法と単結晶サファイア基板を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの回転ローラＡ，Ｂ間に互いに所定の間隔を介して平行に張設された複数のワイヤ10から成るワイヤ列を、円柱形状若しくは略円柱形状を有しかつ長手方向の中心軸を回転中心として回転するサファイア単結晶20に対し、相対的に押し付けながら各ワイヤを一方向あるいは往復方向へ走行させて切断し、複数枚のサファイア単結晶ウェハを得るワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法であって、上記ワイヤの線速度が３００ｍ／ｍｉｎ以上５００ｍ／ｍｉｎ以下の条件下、サファイア単結晶の回転数を１５ｒｐｍ以上１５０ｒｐｍ以下とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーの溝飛びを抑制しつつ、ローラーの再利用を可能とする溝を有するワイヤーソー用ローラーを提供する。
【解決手段】周方向に複数の周方向溝が形成されたワイヤーソー用ローラーであって、該ローラーの周面と、前記周方向溝の溝壁とのなす角度が、ローラーの回転軸線を含む平面で見て９０度であり、該周方向溝の深さが、周方向溝の溝幅の０．８３〜３倍であることを特徴とするワイヤーソー用ローラーである。ここで、周方向溝は、断面がＵ字状であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】特にアズグロンインゴットのような座り精度の悪いインゴットの切断においても、カケ、チップ及びクラックの発生を抑制でき、製品歩留りを向上させることができるインゴット切断装置及び切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】上面がＶ字形状に形成され、インゴットが水平に載置される切断テーブルと、前記インゴットを切り出しブロック部と保持部に切断するためのブレードとを有し、前記インゴットの保持部をクランプによって保持しながら前記ブレードを相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴット切断装置であって、切断時の前記インゴットへの衝撃を緩和する緩衝材が前記切断テーブルの上面に設けられ、該緩衝材は、前記インゴットの切り出しブロック部が載置される部分の硬度が前記インゴットの保持部が載置される部分の硬度より小さいものであることを特徴とするインゴット切断装置。 （もっと読む）

【課題】低コストで簡単にウェーハの厚さむらを抑制でき、ドレッシングによる生産性の低下を抑制することができるワークの切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の溝付きローラに巻掛けされ、表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させ、ワークを前記往復走行する固定砥粒ワイヤに押し当てて切り込み送りし、前記ワークをウエーハ状に切断するワイヤソーによるワークの切断方法であって、前記切断するワークの切断開始位置に砥粒を含有した当て板を接着し、前記往復走行する固定砥粒ワイヤに前記当て板を押し当てて切り込み送りし、前記当て板を切断することによって前記固定砥粒ワイヤをドレッシングした後、前記ワークを切断することを特徴とするワークの切断方法。 （もっと読む）

【課題】現場に搬入が容易な大きさのワイヤソーユニットを複数台組み合わせ使用して切断能力を増大させることにより施工時間を短縮する。
【解決手段】第一ワイヤソーユニット１ａと第三ワイヤソーユニット１ｃが直線的に配列され、第二ワイヤソーユニット１ｂが、第一と第三ワイヤソーユニット１ａ、１ｃを結ぶ直線から外れた位置に設置され、第二ワイヤソーユニット１ｂと第一及び第三ワイヤソーユニットの間に配置された連結用のキャスタープーリ５ａ、５ｂがワイヤ３の走行方向を自在に変換するのでワイヤソーユニットのレイアウトを変更することができる。ワイヤ３が複数のワイヤソーユニットに駆動されるので切断力が増大され、切断時間が短縮される。 （もっと読む）

交換可能なコンクリート切断チェーンソー切断アセンブリ(500)は、取り外された異なるタイプの切断ヘッドアセンブリの代わりに駆動アセンブリ(112)に取り付けるように構成される。チェーンソー切断アセンブリは、設置形態の駆動アセンブリにハウジングを解放可能に取り付ける留め具を有するハウジング(703)を含む。比率変速機(525)は、複数の相互接続された回転可能な部材(533,535)を有し、各回転可能な部材は、軸受けアセンブリ(640,642)によってハウジングの固定位置に配置された取り付け軸(641,643)を有する。被駆動部材(533)は、設置形態の駆動アセンブリ(112)の駆動軸(372)に相互接続する受け部を有し、被駆動部材は、駆動アセンブリによって回転される。切断チェーン駆動部材は、駆動スプロケット(707)に動作可能に相互接続され、切断チェーン駆動部材は、駆動スプロケットを回転させる。チェーンソー切断アセンブリは、駆動アセンブリに対して枢動可能である。
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【課題】切断部が可能な限り滑らかになるとともにいかなる傷も現れないワークの切断方法及びそれを実現可能なワイヤソーを提供すること。
【解決手段】本発明の方法において、切断部上において切断スリットに沿ってワークから取付ビーム（２２）への移行点で傷または段が形成されることが完全に防止される。そのため、ワーク（２１）は、切断作業時において、ワイヤソー内で取付ビーム（２２）により、２つの貫通点（２９；３０）の一方がワーク（２１）の表面上に位置すると同時に、２つの貫通点（２９，３０）の他方（３０）が取付ビーム（２２）の表面上に位置し、ワークの表面上に位置する前記貫通点が侵入側貫通点となるように保持される。 （もっと読む）

【課題】局所的な早期摩耗や剛性低下を抑制可能なローラの円筒状外層体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のローラの円筒状外層体は、ウレタン系樹脂によって形成されたローラの円筒状外層体であって、内部に包含される微細気泡の密度が、中心軸から外周面方向に向かって漸進的に疎になることを特徴とするローラの円筒状外層体である。当該円筒状外層体は、周方向に形成された複数のワイヤー溝を外周面に有するワイヤーソー用ローラの円筒状外層体であってよい。また、当該円筒状外層体は、外周面から厚さ５ｍｍの表層部分において直径２０μｍ以上の微細気泡が存在しないことが好ましい。さらに、当該円筒状外層体はウレタン系樹脂の硬化前に遠心成形を行うことによって得ることができる。この遠心成形は、１０以上３０００以下の重力効果Ｇを生じるように行うことができる。 （もっと読む）