【課題】廃棄する砥粒の量を低減するとともに、研磨処理の質を向上できるようにする。
【解決手段】新品砥粒群の切断処理による粒度分布変化を低減するための粒度分布を有する追加用砥粒群を用意し、切断処理に使用した砥粒群に、追加用砥粒群を所定量加えて混合し（ステップＳ４）、混合した砥粒群について砥粒の大きさが第１砥粒径以上かつ第２砥粒径以下となるよう分級処理を行うようにする（ステップＳ５）。これにより、混合された砥粒群の粒度分布を新品砥粒群の粒度分布又はそれに近い粒度分布にすることができ、これにより、混合した砥粒群を用いて、新品の砥粒群と同様な質の研磨処理を施すことができ、従来に比して研磨処理の質を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑えながら、停電等の発生時により確実かつ正常に切断用ワイヤの走行を停止させる。
【解決手段】ワイヤソーは、切断用ワイヤを駆動するための駆動モータ２５、これを制御するサーボアンプ４２等を含む。サーボアンプ４２は、電源４０から供給される交流電力を直流電力に変換するコンバータ部４４と、直流電力を平滑化するとともに蓄積する平滑部４６と、直流電力を交流電力に変換して駆動モータ２５に供給するインバータ部４８と、停電時等に平滑部４６に蓄積された電力を用いて駆動モータ２５を減速動作に移行すべくインバータ部４８を制御する制御部５０を含む。平滑部４６は、電気二重層キャパシタ４６ａ及び電解コンデンサ４６ｂからなり、停電時には、この電気二重層キャパシタ４６ａ等に蓄積された電力が駆動モータ２５に供給される。 （もっと読む）

【課題】加工効率が高く、捻り強度が高く、切断加工中に断線し難いワイヤー工具を提供する。
【解決手段】ワイヤー工具１０は、金属芯線１１の外周に施された多孔質のニッケルメッキ層１２と、ニッケルメッキ層１２の表面にレジンボンド１３で固着された超砥粒１４と、を備えている。ワイヤー工具１０においては、レジンボンド１３の一部が、ニッケルメッキ層１２の多孔質部分に浸透した状態で硬化しているので、アンカー効果により、金属芯線１１とレジンボンド１３との固着力が高く、超砥粒１４が脱落し難い。また、レジンボンド１３がニッケルメッキ層１２の多孔質部分に浸透して硬化することにより、レジンボンド１３表面が金属芯線１１側へ大きく収縮するので、レジンボンド１３表面からの超砥粒１４の突き出し量が増し、優れた切れ味を発揮し、加工効率が高まる。 （もっと読む）

【課題】ワイヤー溝の仕切壁の剛性を高めて、切断精度を向上させ、加工品の歩留まりを向上させることができ、加工品の薄膜化に対しても、仕切壁の剛性を維持し歩留まりを高いレベルで維持すると共に、ワイヤー溝の早期摩耗を抑制して寿命を大幅に延ばすことのできるワイヤーソー用メインローラの提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、少なくとも外層がウレタン系樹脂で構成され、複数のワイヤー溝が外周面の周方向に形成されたワイヤーソー用メインローラであって、このウレタン系樹脂が、［Ａ］１，５−ナフタレンジイソシアネート、［Ｂ］ポリエステル系ポリオール及び［Ｃ］［Ｂ］ポリエステル系ポリオールの分子量より小さい分子量を有する硬化剤を含む組成物の硬化体であり、［Ｃ］成分が、（Ｃ１）ジオール、及び（Ｃ２）トリオールを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの断線をより正確に検出できるようにする。
【解決手段】ワイヤソーであって、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に形成されるワイヤ群と、スラリ供給用のノズル２６Ａ、２６Ｂと、ワイヤＷの断線を検知する断線検知手段とを備える。断線検知手段は、検出部材３６Ａ，３６Ｂと、これら検出部材とワイヤＷとの間に電圧を印加しながら当該検出部材とワイヤＷとの通電状態を監視するための断線検知用回路４０等と、その通電状態に基づき断線の有無を判定する制御装置３８（判定部３８ａ）とを含む。各検出部材３６Ａ，３６Ｂは、ガイドローラの各中心位置よりも当該ガイドローラの並び方向外側の位置に配置される。判定部３８ａは、切断領域におけるワイヤ群の走行方向上流側に位置する検出部材を判定用検出部材としてこれとワイヤＷとの通電状態に基づきワイヤＷの断線の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＣ単結晶インゴットを切断するときに、ＳｉＣ単結晶インゴットが割れることを抑制することができるＳｉＣ単結晶基板の製造方法を提供する。
【解決手段】側面を有する炭化珪素単結晶インゴット１を用意する工程と、炭化珪素単結晶インゴット１の少なくとも側面を樹脂３で覆う工程と、張設したワイヤを用い、ワイヤを走行させた状態で、樹脂３をワイヤに押し付けることにより樹脂３を切断しつつ、炭化珪素単結晶インゴット１の側面をワイヤに押し付けることにより、炭化珪素単結晶インゴット１を切断して複数の炭化珪素単結晶基板４を形成する工程と、を含む工程を行う。 （もっと読む）

【課題】加工液の劣化を抑制しながら加工液をより有効的に再使用する。
【解決手段】ワイヤソーは、スラリ供給用のノズル１８と循環用タンク２０との間でスラリを循環させるスラリ循環装置２を有する。循環装置２は、切断領域の下方位置でスラリを回収する第１回収ボックス２４及び第１回収配管２８と、第１回収ボックス２４の両側の位置でスラリを回収する第２回収ボックス２６Ａ，２６Ｂ及び第２回収配管２９と、タンク２０内のスラリをノズル１８に供給するポンプ２１及び供給配管２２とを含む。タンク２０は、第１回収配管２８が接続される第１貯溜部４０と、第２回収配管２９が接続される第２貯溜部４２と、スラリを撹拌する撹拌装置とを備える。第１貯溜部４０と第２貯溜部４２とは互いに内底部で連通しておりかつ第１貯溜部４０の内底面４０ａは傾斜している。供給配管２２等は、第２貯溜部４２内のスラリのみをノズル１８に供給する。 （もっと読む）

【課題】所望の切断角度に合わせて原石を確実に固定できるウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】貼付板１１上に紫外線硬化型接着剤１５を介して原石１２を載置する載置工程と、原石１２を所望の切断角度となるように角度調整を行う調整工程と、原石１２の角度調整を行いながら、紫外線硬化型接着剤１５を硬化させる硬化工程とを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】全ての原石の切断面に研磨砥液を十分に行き渡らせることにより、原石を精度良く切断することができるウエハ製造方法およびウエハ製造装置を提供する。
【解決手段】Ｘ方向（第１方向）に並んだ複数の原石１０を、Ｘ方向に走行するワイヤで切断することにより、各原石１０から同時にウエハを切り出すウエハ製造方法であって、各原石１０のＸ方向の両外側においてワイヤ２２に研磨砥液３５を吐出しつつ、ワイヤ２２で各原石１０を切断することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨砥液の吐出位置を容易に変更でき、かつ全ての原石の切断面に研磨砥液を十分に行き渡らせて、各原石を精度良く切断することができるウエハ製造装置を提供する。
【解決手段】吐出手段５は、各原石１０の上方で研磨砥液３５を貯留する貯留部４０と、貯留部４０を開口しワイヤ２２に研磨砥液３５を吐出するスリット４２（吐出部）と、を備え、第１方向に沿って複数のスリット４２が形成され、少なくとも一部のスリット４２が閉塞部材５０により閉塞されることで、各原石１０の第１方向の両外側においてワイヤ２２に研磨砥液３５を吐出しうるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鋼線の表面に樹脂を被覆した樹脂被覆ソーワイヤを用いてワークを切断したときに、加工変質層深さが浅く、平滑な表面の切断体が得られる樹脂被覆ソーワイヤの設計方法を提供する。
【解決手段】（１）所定の硬さの樹脂で鋼線を被覆し、（２）得られた樹脂被覆ソーワイヤでワークを切断し、（３）ワークの切断面における加工変質層深さを調べ、（４）加工変質層深さの合否を確認し、（５）不合格の場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆し、上記（２）〜（４）を繰り返すことによってワークの切断面における加工変質層深さが合格となるように樹脂の硬さを調節する。 （もっと読む）

【課題】インゴットからなるワークをソーマークやチッピングのない複数のウエハに切断するワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】ワーク１１０を切断するワイヤＷを保持するワイヤ保持部材を外周に設けたワイヤ保持ローラ１２０，１３０と、ワークを切断するワイヤを保持するワイヤ保持部材を外周に設けた補助ローラ１４０を有し、これらローラの外周に備わったワイヤ保持部材は、その外周面にワイヤずれ防止用の溝が所定間隔隔てて複数形成され、各ワイヤ保持ローラのワイヤ保持部材の溝から補助ローラのワイヤ保持部材の溝に掛けられたワイヤのなす角が一定の角度となるように、補助ローラのワイヤ保持ローラに対する突出し量を調整する補助ローラ位置調整手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの走行安定性やガイドローラの耐久性を高める。
【解決手段】ガイドローラ２４Ａ〜２４Ｄと、これらの外側から巻回される切断用ワイヤＷにより形成されてその軸方向に走行するワイヤ群とを備え、一対のガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間を切断領域としとワイヤ群に対してワーク２８が相対的に切断送りされるワイヤソー。このワイヤソーは、ワイヤ群に対して外側から接触して連れ回りする補助ローラ２６を備える。補助ローラ２６は、互いに隣接するガイドローラ２４Ａ，２４Ｄ同士、及びガイドローラ２４Ｂ，２４Ｃ同士の間の位置で当該ガイドローラ２４Ａ，２４Ｄ、及びガイドローラ２４Ｂ，２４Ｃの各共通接線よりも内側に入り込んだ位置でワイヤ群に接触することによりワイヤ群の軌道を共通接線よりも内側にシフトする。 （もっと読む）

【課題】鋼線の表面に樹脂を被覆した樹脂被覆ソーワイヤを用い、樹脂被覆ソーワイヤに砥粒を吹き付け、ワークを樹脂被覆ソーワイヤで切断するにあたり、樹脂被覆ソーワイヤを長期に亘って使用できる切断体の製造方法を提供する。
【解決手段】鋼線の表面に樹脂を被覆した樹脂被覆ソーワイヤに砥粒を吹き付け、ワークを前記樹脂被覆ソーワイヤで切断して切断体を製造するにあたり、前記樹脂の厚みｔと前記砥粒の平均粒径ｄの比（ｔ／ｄ）を０．７〜２．５としてワークを切断する。 （もっと読む）

【課題】ＣＯ_２の発生を間接的に抑えた環境対応型の固液分離システムを提供する。
【解決手段】環境対応型の固液分離システム１００は、製造ライン５で使用したクーラント液を回収する原液タンク１と、第１電動ポンプＰ１から原液が送給管２１により送給される遠心分離機２と、遠心分離機２により分離され、分離液が送給される膜ろ過装置３と、膜ろ過装置３により分離したろ過液が貯蔵されるろ過液タンク４と、ろ過液タンク４のろ過液を前記製造ライン５へ送給する第２電動ポンプＰ２と、製造ライン５から原液タンク１にクーラント液の使用済液を送給する第３電動ポンプＰ３と、膜ろ過装置３より分離した濃縮液が回収路２５により回収される濃縮液タンク６と、濃縮液タンク６に設けられた第４電動ポンプＰ４と、を有し、送給管２１に設けられたバルブ７と、第４電動ポンプＰ４との間に送給管３０を配設し、濃縮液タンク６の濃縮液を遠心分離機２に供給する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおいてワークを精度良く多数本切りする。
【解決手段】ワイヤソーにおいて、１対の溝ローラを複数組設け、これら複数組の各１対の溝ローラ１０ａ、１０ｂ間に１本宛のワイヤ４を多列状に巻き掛けることによってワイヤ列が各１対の溝ローラ１０ａ、１０ｂ間のそれぞれに形成された少なくとも２組のワーク切断部１１ａ、１１ｂを設けておき、各１対の溝ローラ１０ａ、１０ｂ間のそれぞれにワイヤ供給機構とワイヤ巻取機構とをワーク切断部１１と同数設ける。更にワーク切断部１１と同数のワーク保持テーブル３０を設け、これらワーク保持テーブル３０を、ワイヤ列に対する昇降動が自在なベース板３１と、ベース板３１に併設され、ワークＷを保持すると共にワークＷの縦軸方向に設けた回動軸回りに回動自在に設けたワーク保持枠３５とから構成し、ワーク保持枠３５を往復回転させることによりワークＷ自体を揺動円弧運動させる。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤが長寿命であり、且つ加工精度が高く、信頼性の高いワイヤソー装置を提供すること。
【解決手段】 約１２０μｍの直径のワイヤ２と約１ｍｍの間隔を置いて磁石２０をエポキシ樹脂により接合したランジュバン型超音波振動子１３を位置させる。そして、ワイヤ２を挟んでランジュバン型超音波振動子１３に対向する位置にスラリまたは切削液１１を噴出する供給装置１０を設置する。供給装置１０から噴出されるスラリまたは切削液１１は、ワイヤ２及び磁石２０の表面を点線で示すように貯まる。そして、ランジュバン型超音波振動子１３の超音波振動は磁石２０に伝搬し、確実にスラリまたは切削液１１を伝搬してワイヤ２に到達してワイヤ２を超音波振動させる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハのワイヤ切断のための新規の方法を提供する。
【解決手段】長手方向軸線及び横断面を有する半導体材料から成る結晶から多数のウェハを切断する方法において、テーブルに固定された結晶が該テーブルとワイヤソーのワイヤ群との相対移動によって案内され、切断ワイヤによって行われる進入切断が結晶の引上げエッジの近くにおいて行われるか又は切断ワイヤによって行われる退出切断が結晶の引上げエッジの近くにおいて行われるように、前記相対移動が、結晶の長手方向軸線に対して垂直な方向に、切断ワイヤによって形成されたワイヤ群を通過するように方向付けられる。 （もっと読む）

【課題】ハウジング内に軸受が保持されたガイドローラにおいて、ハウジング内への軸孔からの砥粒混合液の侵入を防止して軸受の寿命向上を実現する。
【解決手段】ハウジング４内に軸受２，３が保持されたガイドローラ１において、ハウジングは、軸受に取り付けられる支持軸６が挿入される軸孔５０を有し、当該軸孔は、テーパ状の孔壁を有し、ハウジングの内側に向けて連続的に縮径しており、ハウジングには、軸孔の開口を外囲すると共に、支持軸の反挿入方向に突出する環状突出部９１が設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明はシリコンインゴットの切削工程において、従来品より加工装置のワイヤの金属部分に対する耐腐食性が良好であるため、切削加工効率を向上させることができ、また、水とシリコンの反応による引火性の水素発生が抑制されるため、安全性に優れる水溶性切削液を提供する。
【解決手段】
水混和性溶媒（Ａ）、下記数式（１）で表されるΔｐＫａが０．９〜２．３である多価カルボン酸（Ｂ）、および水（Ｗ）を必須成分とし、水（Ｗ）を５〜９０重量％含有し、ｐＨが４．０〜７．０であることを特徴とするシリコンインゴットスライス用水溶性切削液。
ΔｐＫａ ＝ （ｐＫａ_２） − （ｐＫａ_１） （１）
ただし、ｎ塩基酸Ｈ_ｎＡである多価カルボン酸（Ｂ）がＨ_ｎ−１Ａ ＋ Ｈ^＋となる解離段を１としたときの酸解離定数をｐＫａ_１；Ｈ_ｎ−２Ａ ＋ Ｈ^＋となる解離段を２としたときの酸解離定数をｐＫａ_２と表す。 （もっと読む）