【課題】製造および動作信頼性の改善と共に必要とされる性能特性をもたらす、シングルチップ上に製造された１つまたは複数のセンサを提供すること。
【解決手段】センサ製造方法が開示され、一実施形態では、ダブルシリコンオンインシュレータのウェーハを備えるエッチング済み半導体基板ウェーハ（１３０）を、エッチング済みデバイスウェーハ（１４２）に接着して懸垂構造体を作製し、同構造体の撓みが、埋め込まれた圧電抵抗センサ素子（１５０）によって検知される。一実施形態では、センサは加速度を測定する。他の実施形態では、センサは圧力を測定する。 （もっと読む）

【課題】支持部において撓み変形が生じるのを抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｘ方向光走査部１０（ミラー１１）と、接続部４１ｃを含み、Ｙ方向に沿って直線状に延びるとともに、変形可能な駆動部４１と、駆動部４１の接続部４１ｃと端部４２ａ側で接続され、Ｙ方向に沿って直線状に延びる連結支持部４２とを備え、連結支持部４２の厚みｔ２は、駆動部４１の厚みｔ１よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部の磁石を設置するためのスペースを小さくする。
【解決手段】 可動部の上面に上部磁石が設置されており、下面に下部磁石が設置されている。上部磁石は、可動部から突出して可撓梁の上方または側方に可撓梁と離間して延在している上部延在部を有しており、下部磁石は、可動部から突出して可撓梁の下方または側方に可撓梁と離間して延在している下部延在部を有している。可動部が設置されていない領域（可撓梁の上方、下方、側方）に磁石（上部磁石、下部磁石）が突出しているので、磁石の平面方向の面積に対して、可動部の磁石を設置する部分の面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一方向の寸法を小さくすることができる、レーザ光等の２次元走査が可能なＭＥＭＳアクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１軸線Ｘ周りに揺動する第１可動部２１を支持する第１固定部２２、２３が積層された第２軸線Ｙ周りに揺動する第２可動部３１を支持する第２固定部３２、３３を、第２可動部３１の内側に配置、又は、第２可動部３１の狭小部分３１２Ａと連結して配置することで、第１可動部２１の法線方向から見たときのＭＥＭＳアクチュエータ１の寸法を小さくすることを可能としている。 （もっと読む）

【課題】ミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光偏向装置において、ミラー密着力とフィルファクターとを同時に高めることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と可動部とコア部と表面部材を備えている。可動部は、基板に対して揺動可能に支持されている。コア部は、可動部の一部から反基板側に伸びている。表面部材は、コア部の頂面を覆う部分と、可動部から立設しているとともにコア部を一巡するループに沿って伸びている側面部分と、その側面部分の上端から外側に向けて可動部の上面と平行に伸びている展開部を備えている。その表面部材は、コア部を形成するコア部形成材料と異なるとともに光を反射する材料で形成されている。その表面部材の少なくとも一部が、可動部を垂直方向から見たときに、可動部の輪郭の外側に至っている。 （もっと読む）

【課題】可動部の機械振れ角に応じて出力が変化する受光素子を備えながらも、小型化を図れ且つ可動部の機械振れ角を大きくできるＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有する可動部形成基板１と、可動部形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、可動部形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。可動部形成基板１の可動部２０のミラー面２１側に回折格子５が形成されている。第１のカバー基板２は、入射光を透過させる入射光透過部２０３、および、０次の回折光である反射光からなる走査光を透過させる走査光透過部２０４が形成されるとともに、０次以外の規定次数の回折光を受光する受光素子６が可動部形成基板１側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】センサパッケージにおいて、小型化、優れたセンサ特性、及び安定した特性維持の実現を図る。
【解決手段】センサパッケージ１は、センサ素子１１と、センサ素子１１を内部に実装するように底面及び四周側面を備えてなる箱状基板１２と、箱状基板１２内部に実装したセンサ素子１１からの電気信号を処理する集積回路チップ１３と、を備えている。集積回路チップ１３は、箱状基板１２の上部開口を覆うように箱状基板１２に実装されている。 （もっと読む）

【課題】パッケージの小型化が可能であり且つ生産効率の良い半導体装置の製造方法の提供。
【解決手段】ＭＥＭＳを備える半導体装置の製造方法であって、電導層が絶縁層で被覆されたキャップ基板に、該絶縁層の上に少なくとも２つの電極を互いに離間させて形成するステップと、前記キャップ基板において前記少なくとも２つの電極間に電圧を印加することで、マイグレーションを起こして前記絶縁層を破壊させ、これにより、前記少なくとも２つの電極のうちの少なくとも一方を前記電導層に導通させるステップと、前記キャップ基板によりＭＥＭＳを覆うステップと、前記電導層に導通された電極を所定電位に接続することで、前記キャップ基板の電導層を所定電位に接続するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】形状の自由度が高く、薄型化・軽量化が容易で、配線形成コストが低く、且つ、寸法変動が小さい振動ミラー用台座およびこれを用いた光走査装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を走査して被投影面に映像を投影する振動ミラーと、該振動ミラーを支持する台座とを備える光走査装置において、台座を液晶ポリエステルから構成する。台座の成形方法としては、例えば射出成形を使用することができるが、他の方法でもよい。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ光の走査角度の広角化を図れるＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。外側フレーム部１０に形成された固定電極１２と可動部２０に形成された可動電極２２とで、可動部２０を駆動する駆動手段を構成している。第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１側に、第１のカバー基板２を通して入射し１つのミラー面２１で反射した光を当該ミラー面２１側へ反射する複数の固定ミラー６が並設されている。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体圧力センサ及びその製造方法に係り、Ｓｉ基板の開口部のダイヤフラム側壁すべてをその基板面に対して垂直な面とすることにある。
【解決手段】半導体圧力センサは、単結晶シリコン基板と、前記単結晶シリコン基板を裏面側からエッチングすることによって形成されたダイヤフラム及び４面のダイヤフラム側壁と、前記単結晶シリコン基板の表面側に形成されたリード導体及び歪ゲージ抵抗からなるブリッジ回路と、を備え、前記ダイヤフラムは、面方位が（１１０）面であり、かつ、平面形状が平行四辺形であり、前記ダイヤフラム側壁は、４面とも面方位が（１１１）面であり、かつ、２面ずつ互いに平行に向かい合っており、圧力印加に伴う前記ダイヤフラムの撓み量に応じて前記ブリッジ回路の出力値が変動することを利用して、前記ダイヤフラムに印加される被検出対象の圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸の周りに電磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させる。
【解決手段】光学装置は、ミラー部と、第１電磁石と、第２電磁石とを備えている。このミラー部は２軸駆動型であって、第１磁性体および第２磁性体を備えている。第１電磁石と第２電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部がミラー部設置領域内に存在しているため、電磁石を小さくしても、可動部を揺動させるための駆動力を確保できるために、コイル巻き数、コイルに通電する駆動電流を大きくする必要がない。電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ねじれモードおよび垂直モードの動作を同時に行わせることで装置の小型化を可能とするプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】一対のトーションバー３を介して枠状の固定部２に固定された可動部４を揺動してねじれモードで駆動するための可動部４上に形成された駆動コイル５と、可動部４を垂直モードで駆動するための、前記一対のトーションバー３上に設置された垂直駆動用圧電体６とを備えた構造にすることで、垂直方向の往復動とトーションバー３を回動軸としたねじれ運動を同時に行わせることを可能にする。 （もっと読む）

フィルタ装置は基板(302)と基板の第1表面に設けられた複数の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ(GCA)装置とを有する。複数のGCA装置は1つ以上のGCAバラクタ(700)を有する。複数の水平GCA装置の各々は、少なくとも1つのドライブくし形構造(602a、602b、702a、702b)と、少なくとも1つの入力/出力(I/O)くし形構造(616a、616b、716a、716b)と、ドライブくし形構造及びI/Oくし形構造に互いに入り込んだ少なくとも1つのトラスくし形構造(604、704)とを有する。トラスくし形構造は、トラスくし形構造及びドライブくし形構造の間に印加されるバイアス電圧に基づいて、少なくとも第1の嵌合位置及び第2の嵌合位置の間の移動軸方向に沿って動くように形成されている。
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本発明は、ある軸（１１）を中心に回転できる可動プレート（１）であって、この回転軸（１１）に対して当該プレートの両側部に整列配置された２つのアーム（７，９）により静止フレーム（３）に連結され、外周部に導電性のループ（１３）を備える可動プレート（１）と、静止フレーム及び可動プレートにより形成された組立体の下側に、フレームの面において、可動プレートに関し、回転軸に対して斜めである横向きの磁場（５７）を形成するような態様で配列された、それぞれ異なる磁気方向を有する複数の磁石（５１，５３，５５）からなる磁石集合体と、を備える電磁駆動型マイクロシャッターに関する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ機構と、バルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスの小型化及び製造容易化を図る。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、基板１０の第１の主面１０ａ上に、第１のマイクロ流路１１の端部１１ａを覆うように粘着している第１のガス発生フィルム１７ｅと、第１のマイクロ流路１１の端部１１ｂと、第２のマイクロ流路１５の端部１５ａとを覆うように粘着している第２のガス発生フィルムと、第１のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第１の外部刺激付与機構２０ａと、第２のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第２の外部刺激付与機構２０ｂとを備えている。 （もっと読む）

ガラス製、セラミック製、またはガラスセラミック製のマイクロ流体モジュール（２０）を、少なくとも２つ含むマイクロ流体デバイス（１０）であって、このマイクロ流体モジュール（２０）が、流体的に相互接続されかつ概して４つの相対的に薄いエッジ（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ）と２つの対向する相対的に大きい面（２２、２４）とを画成する実質的に板状のものであり、各マイクロ流体モジュール（２０）が、少なくとも一部分においてマイクロチャンバ（３２）を画成する少なくとも１つのマイクロ流体チャネル（３０）と、少なくとも１つの流体注入口（５０）および少なくとも１つの流体排出口（６０）とを含み、さらに前記マイクロ流体モジュールが、クランピング構造すなわちクランピング手段（９５、９７）を少なくとも１つ有する少なくとも１つの密着保持コネクタ（９０）を通る、流体導管（１２０）と、密着して相互接続されており、さらに、少なくとも１つのクランピング手段（９５、９７）が、球形状部材（１６０）とカップ状部材（１７０）とを備えた接合部（１５０）を含むことを特徴とする。
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