マイクロフォンが、シリコンウェハまたはＳＯＩウェハから形成される。マイクロフォン用の固定感知電極が、ウェハの上面シリコン層から形成される。様々なポリシリコンのマイクロフォン構造が、少なくとも１つの酸化物層を堆積させ、構造を形成して、上面シリコン層を介して形成されたトレンチを介して、上面シリコン層の裏側から構造の下にある酸化物の一部を除去することによって、上面シリコン層の表側上に形成される。トレンチは、音波が、上面シリコン層の裏側からダイヤフラムに到達することを可能にする。ＳＯＩウェハにおいて、空洞が、底面シリコン層および中間酸化物層を介して形成されて、酸化物の除去および音波のダイヤフラムへの到達を可能にすることの両方のためにトレンチを露出させる。慣性センサが、同一のウェハ上に形成され得、様々な慣性センサが、実質的に同時に、対応するマイクロフォン構造と実質的に同一の工程を用いて形成される。
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微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）を基礎にした電気振動信号を生成するための電子デバイスを開示する。電子デバイスは、一般に基板（１０４）と、この基板（１０４）に対して移動可能な可動素子（１０２）と、アクチュエータ手段と、センサとを備える。アクチュエータ手段は、可動素子（１０２）の振動を誘導するために使用し、２個の誘導素子、すなわち基板（１０４）に固定して設けた第１誘導素子および可動素子（１０２）に固定して設けた第２誘導素子を備える。誘導された可動素子（１０２）の振動はセンサを用いて検知し、電気振動信号に変換する。この信号は増幅して少なくとも部分的にアクチュエータ手段の電力として使用することができ、これにより安定した共振周波数および一定の振幅を有する振動信号を得ることができる。異なるコンポーネントをチップ上に高度に集積することができる。
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【課題】エネルギーを産生する改良型のエネルギーハーベスト装置およびその使用方法を提供し、特にマイクロスケールのエネルギーハーベスト装置を提供する。
【解決手段】質量体と、少なくとも２つのテザーと、を含むエネルギーハーベスト装置であって、テザーの少なくとも１つが、テザーの撓みに対して機械的応力を発生させる圧電材料を含み、テザーが、質量体に連結する端部である第１の端部と、リファレンスに連結する端部である第２の端部と、を有し、質量体が、リファレンスに対して、実質的に直線経路において移動可能なように、テザーが、質量体に対して配置され、質量体の運動によって、テザーにおいて撓みが生じることにより、電荷を発生させる。 （もっと読む）

光電子デバイスまたはマイクロマシン技術（ＭＥＭｓ）デバイスのようなマイクロコンポーネントを覆う（housing)ための比較的薄いパッケージを製作するための技術が開示される。このパッケージはウェハーレベルのバッチプロセスで製作され得る。このパッケージは、前記マイクロコンポーネントをそのパッケージの外表面上の電気接点と結合させる密封されたフィードスルー電気接続を含み得る。 （もっと読む）

本発明では、微小流体システム、そのような微小流体システムを製作する方法、およびそのような微小流体システムの微小チャネルを通る流体の流れを制御しまたは操作する方法が提供される。微小チャネルの壁の内側には、アクチュエータ素子が設置され、この素子は、外部刺激に応答して、形状および配向を変化させることができる。この形状および配向の変化を通じて、微小チャネルを通る流体の流れが制御され、操作される。

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【解決手段】 加速度計（１０）は、基板（１２）表面に堅く取り付けられている一対の導電性プレート（３６、３８）、基板の表面に連結され、導電性プレートの上方に掛けられている構造体、及び、基板の表面に取り付けられている少なくとも１つの保護シールド（４４、４６）を含んでいる。構造体は、総モーメントが異なり、それぞれの導電性プレートの上方に配置されており、可撓軸（２６）によって分離されている２つの領域（２８、３０）を含んでおり、基板に垂直に加速度が掛かっている間は、構造体が可撓軸周りに回転するようになっており、各領域（２８、３０）は、実質的に平らな外側表面と、第１の起伏（３２、３４）が形成されている内側表面を有している。２つの領域それぞれにおいて、内側の間隙は、第１の起伏と、相対する導電性プレートの間に存在し、外側の間隙は、実質的に平らな外側表面と、相対する導電性プレートの間に存在しており、外側の間隙は、内側の間隙よりも大きい。少なくとも１つの保護シールド（４４、４６）が、導電性プレート（３６、３８）の何れかから離して配置されている。 （もっと読む）

集積空間光変調器を製造する方法。該方法は、ボンディング表面を含む第１の基板を提供するステップと、デバイス基板を処理して少なくとも１つの電極層を形成するステップであって、該電極層が複数の電極を含むステップと、該電極層上にスタンドオフ層を堆積するステップとを含んでいる。該方法はさらに、該スタンドオフ層からスタンドオフ構造を形成するステップと、該第１の基板の該ボンディング表面を該デバイス基板の該スタンドオフ構造に接合するステップとを含んでいる。具体的な実施形態では、該方法はさらに、スタンドオフ層を堆積する該ステップの後に、該スタンドオフ層の化学的機械的研磨を実行して該スタンドオフ層の上部表面を平坦化するステップを含んでいる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの電子的な構成部分（１２）またはマイクロマシニング型の構成部品（１２）を保持するための担体ストリップ（１１，３１）から出発する。本発明の核心は、担体ストリップ（１１，３１）が少なくとも１つの第１の領域（２１）で、他の領域（２３）よりも僅かな厚さを有していることにある。
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本発明は、例えば加熱を目的として、マイクロ流体素子にマイクロ波放射線を供給する方法及びシステムに関する。本発明のマイクロ流体素子は、マイクロ流体素子内の特定の領域にマイクロ波放射線を供給するためのマイクロ波集積回路（ＭＭＩＣ）を有する。この回路は、好ましくは、マイクロ流体素子の一表面上の伝送路と、対向する表面上の基平面とを有する。本発明の方法は、マイクロ領域と該マイクロ領域上に配置されるマイクロ波回路とを有するマイクロ流体素子を提供する段階と、前記マイクロ領域内に試料を提供する段階と、前記マイクロ領域に約５００ＭＨｚから１０ＧＨｚの周波数でマイクロ波放射線を加える段階と、を含む。
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直流的に絶縁された信号条件付けシステムは、集積回路チップ上の信号条件付け回路と、フライイング・コンデンサと、１つの状態において一対の入力端子を横切ることから、もう１つの状態において前記信号条件付け回路の入力端子を横切ることに、前記フライイング・コンデンサを選択的にスイッチングするための集積回路チップ上の直流的に絶縁するＭＥＭＳスイッチング装置と、を含む。
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カソードからのとるに足らないスパッタリングと、その後のキャビティ内の不活性ガスを葬ることを最小にすることにより、検出器の長い寿命を生じさせ、高圧キャビティ（２６）を可能にし、カソード（１８）とアノード（１５）との間の小さなギャップを備えた光検出器（１０）を有するセンサ。検出器は、ＭＥＭＳ技術で作られる。センサは、光センサ（１０）のアレイを包含しうる。検出器のいくつかは、ＵＶ検出器であって良い。
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【課題】本発明はマイクロチャンネルリアクターに関し、より詳しくは分配板によって分配された異種流体が分岐ポートによって噴射されて互いに衝突することで混合するようにして、異種流体を上下で繰返し移動されるように形成された流路を通過するようにして互いに衝突しながら反応するようにするマイクロチャンネルリアクターに関する。
【解決手段】混合する流体が投入される投入管がそれぞれ具備された流体投入部と、投入された流体が混合する流体混合部と、混合した流体が排出される流体排出部とを有している。前記流体投入部は、前記投入管から投入された流体が連通される連通部と、前記連通部で前記流体混合部で排出されて所定の間隔で排出口が形成された分配板をそれぞれ具備している。前記流体混合部は、前記排出口とそれぞれ貫通された通孔と連通された多数の微細チャンネルと、前記微細チャンネルの排出側端部に形成されながら隣接した微細チャンネルを通過する互いに違う流体が互いに衝突して混合するように分岐ポートとを具備している。前記流体排出部は、前記分岐ポートによって衝突して混合した流体を収容する収容部と、前記収容部で排出される排出口とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳと受動素子が集積化されたモジュールを提供する。
【解決手段】 第１基板、第１基板に接合された１以上のＭＥＭＳ、第１基板に接合された第２基板、第２基板に接合された１以上の受動素子を備える装置を提供するとしてもよい。１以上のＭＥＭＳが接合された第１基板と、１以上の受動素子が接合された第２基板を位置合わせすることと、位置合わせされた第１基板と第２基板を接合することとを含む方法を提供するとしてもよい。 （もっと読む）

マイクロリアクタ内のミキサのための一群の設計であって、その設計の原理が、少なくとも２つの流体が、最初に上流で接触する連続流路内の少なくとも１つの注入区域（４１０）および流路内に一連のミキサ要素（４３０）を収容する効果的な混合区域（すなわち、適切な流体の流動および最適な圧力降下）を含む設計が提供される。各ミキサ要素に、障害物（４５０）が配置されている（それによって、チャンバの典型的な内寸が減少している）各端部にあるチャンバおよびチャンネル区域内の随意的な制限要素（４６０）が設計されることが好ましい。これらの障害物は、円柱体であることが好ましいが、ある寸法範囲内で任意の形状を有していて差し支えなく、所望の流量、混合および圧力降下を提供するために、流路に沿って並列または直列になっていてもよい。注入区域は、二つ以上の界面を有していてもよく、また混合前に流体を調節するための１つ以上のコアを含んでいてもよい。
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本発明は、複数の空洞を備えた微細構造の構成要素に関し、この場合に空洞は微細構造の構成部分及びキャップによって画成されており、空洞内に互いに異なる気圧を形成してある。さらに本発明は、複数の空洞を備えた構成要素の製造のための方法に関し、空洞は微細構造の構成部分及びキャップによって画成されている。この場合に、微細構造の構成部分とキャップとは所定の第１の気圧の下で互いに気密に結合される。次いで少なくとも１つの空洞への通路を形成し、次いで該通路は所定の第２の気圧の下で気密に閉鎖される。
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【課題】 ２段階の可動性を実現する電子機械駆動体。
【解決手段】 物体および複数の駆動体を備える電子機械システムであって、駆動体は物体に対して２段階の可動性を実現するべく協調的に動作するよう構成されている電子機械システムを開示する。 （もっと読む）

マイクロ流体デバイスにおいて流体の流れを制御するための弁が提供される。弁は基板２４上に形成されたチャンバ２６と加熱コイル４２とチャンバ２６内に収容された弁材料３０とを具備する。弁が閉じられるとき、加熱コイルが作動されて、弁材料をチャンバから外へ、ネック部２８を通って主流路２２内へ膨張させてそれを閉塞させる。好適には、弁材料はパラフィンワックスであり、また加熱コイル４２によって溶融を引き起こされる。溶融するとき、溶融されたパラフィンワックスは主流路内に流れ込み、そこでそれは冷えて再凝固する。カラー３６を有する狭窄部３４が冷却表面を備え、その冷却表面上に凝固するワックスが堆積する。
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高性能ＭＥＭＳスキャナが開示される。いくつかの実施形態では、スキャナミラーは、回転ポリゴン面に類似の広く短いアスペクト比を有する。長いねじりアームにより、２０°以上の大きな片振機械的回転角が可能になる。サスペンションは、走査ミラーをねじりアームに結合し、トルク負荷を広げることによって動的なミラー変形を低減する。ねじりアームの遠位端の「てこ部材」は、応力集中を低減する助けとなる。取付フレームを排除することで、デバイスの歩留まりが増加する。ヒーターリード線により、スキャナの共振周波数を正確に調整することが可能になる。圧縮力のあるマウントは、取付構造に対して取付パッドを保持する。
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