【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、反射面を有するミラー部１と、トーションバー２ａ、２ｂに一端が連結され他端が支持部１０に連結されて支持された圧電アクチュエータ８ａ、８ｂとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部１と支持部１０との間の空隙に設けられる衝撃緩和部９ａ、９ｂは、支持部１０のトーションバーと直交する方向のミラー部１と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 （もっと読む）

【課題】撓み部に発生する浅いクラックを感知する感知基板およびそれを用いた加速度センサを提供する。
【解決手段】フレーム部１１と、フレーム部１１の内側に設けられた錘部１２と、フレーム部１１と錘部１２との間をつなぎ錘部１２が変位することで撓む撓み部１３と、撓み部１３に形成され錘部１２の揺動に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗１４と、フレーム部１１に配置されピエゾ抵抗１４からの信号を取り出すピエゾ抵抗用電極パッド１５ａと、ピエゾ抵抗１４とピエゾ抵抗用電極パッド１５ａとの間をつなぐ拡散配線による拡散配線部１６と、を備える感知基板２０である。撓み部１３の表面には、金属でなる金属配線部１７を備え、金属配線部１７は、フレーム部１１に配置され金属配線部１７からの信号を取り出す金属配線部用電極パッドにつながっている。 （もっと読む）

【課題】信頼性のより高い力学量センサーを提供する。
【解決手段】基板に固定されたアンカーおよび固定電極と、前記アンカーと前記固定電極の間において前記基板から離れて形成され、前記固定電極と接触すると前記固定電極と導通する可動電極と、前記アンカーに一端が接続され、前記可動電極に他端が接続され、前記基板から離れて形成されたビームとを有し、前記ビームは、複数の直線ビームと前記複数の直線ビームのうち隣接する２つの直線ビームの長手方向を異ならせて前記２つの直線ビームを接続するビーム接続部とを有する力学量センサーを提供する。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する故障発生の低減を図ることのできるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置３０は、枠部材１と、枠部材１に梁部材３を介して回動可能に支持された可動部２とを備え、両梁部材３を回動軸として可動部２を枠部材１に対して回動させるアクチュエータ装置において、両梁部材３の回動軸線上にダンパー部材４を設けた。 （もっと読む）

【課題】 制御端子が浮遊状態になると、予期しないリーク電流などにより電極に電荷が蓄積され、電極の電位が変動し、スイッチが誤動作してしまう可能性がある。
【解決手段】 クーロン力により湾曲させることで第１の信号電極と第２の信号電極とを接触または分離することが可能な架橋部と、前記架橋部を制御するための制御端子とを有するスイッチ素子と、前記制御端子に接続された第１の不揮発性半導体素子と、前記制御端子および前記第１の不揮発性半導体素子に接続された第２の不揮発性半導体素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】衝撃が加わってＸ方向に過度の加速度が作用した場合でも、梁部が破損するのを防ぐ加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサ１００は、蓋体５と、センサ本体３と、基台４とを備える。センサ本体３は、支持部３０と、梁部３１と、錘部３４とを備える。基台４は、錘部３４と対向する部分に凹部４１を有する。梁部３１は、錘部３４の側面の一部が凹部４１の壁４１Ａ、４１Ｂと所定の間隔ｄで対向するまで錘部３４が凹部４１側へ変位するよう反った形状に形成されている。衝撃が加速度センサ１００に加わってＸ方向に過度の加速度が作用した際、この実施形態の加速度センサ１００では、錘部３４の側面の一部が凹部４１の壁４１Ａ（又は４１Ｂ）に当接する。 （もっと読む）

【課題】可動ゲート電極の変位を制御可能な可動ゲート型電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】ソース電極１７とドレイン電極１８との上に導電シールド電極２０が配置される可動ゲート型電界効果トランジスタ１とした。そして導電シールド電極２０の電位を固定することとした。導電シールド電極２０が配置されることにより、可動ゲート１５とドレイン電極１８またはソース電極１７との間に発生する静電力を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップなどの反応容器と蓋材が適正なシール温度で熱溶着されたかどうかをシール直後に判定し、シール異常時には直ちにシール動作を停止するシール装置を提供する。
【解決手段】反応容器／蓋材の表面温度を計測する温度計測手段と、シールの良否を検査するための検査条件設定手段と、温度計測手段により計測された温度計測データを取り込む計測データ取り込み手段と、計測データ取り込み手段によって取り込まれた計測値と検査条件設定手段により設定された良否判定閾値を比較する判定処理手段と、を備えたシール検査機能を有し、かつ、前記検査条件設定手段により設定された検査条件を記録する記録する情報記録手段と、前記判定処理手段によってシール不良と判定された場合にシール動作の停止指令を出力する制御手段と、を備えたことを特徴とするシール装置。 （もっと読む）

【課題】静電容量型加速度センサにおいて可動部の許容変位量を超える加速度が加わった時の可動部と固定部の衝突による破壊を防止すること。
【解決手段】基板３５上に離間状態で配置された変位可能な重錘体３６と、この重錘体３６に設けられた可動電極３４と、この可動電極３４に対向して配置された固定電極３３とを備え、両電極３３，３４間の静電容量の変化を重錘体３６の変位に基づいて検出する。重錘体３６と基板３５の双方に重錘体３６の水平方向の変位を規制する相補型係止手段と、この相補型係止手段に電位を固定するための電位固定手段とを設ける。相補型係止手段は、重錘体３６に設けられた貫通孔３８と、基板３５上に設けられ、貫通孔３８に挿入する係止部材３７とからなっているので、衝突時の接触面積が大きく、応力集中による破壊を防止する。 （もっと読む）

【課題】落下等の衝撃によって破壊されることを抑制可能とする光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光スキャナ装置１は、レーザ光Ｌを発振するレーザ光源３と、レーザ光Ｌを平行なビーム光Ｌａに整形するレンズ４と、ビーム光Ｌａを所定の方向に偏向走査する光偏向器１０と、レーザ光源３を駆動するレーザドライバ部２と、光偏向器１０を駆動するための駆動信号Ｄｈを光偏向器１０に出力する制御回路部５と、レーザドライバ部２及び制御回路部５を制御する演算処理回路部７と、演算処理回路部７に加速度検出信号Ａｃを出力する加速度センサ６と、を備えている。演算処理回路部７は、加速度センサ６から入力された加速度検出信号Ａｃに基づいて落下状態にあるか否かを判断し、落下状態にあると判断したときに制御回路部５を制御して光偏向器１０によるビーム光Ｌａの偏向走査を停止させる。 （もっと読む）

【課題】導波路、マイクロプリズムおよび微小機械光変調器を含むディスプレイを提供する。
【解決手段】光を生成するための光源２５と、光を受け取り、かつ、内部全反射によって光が伝搬する方向に一様に分散させるための光導波路２１と、光導波路の下部表面の反対側に傾斜した光射出ファセットとを備えた、間隔を隔てた複数のマイクロプリズム３２と、間隔を隔てたマイクロプリズムどうしの間に配置された、複数の傾斜光変調器とを備え、マイクロプリズムの個々の光射出ファセットから射出する光線の大部分が、個々の傾斜光変調器が第１の位置に位置している場合には観察者に向かって導かれ、あるいは個々の傾斜光変調器が第２の位置に位置している場合には光吸収体に吸収されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に一対のトーションバネ１１３によりフレームの内側に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する上昇ストッパ１４０および下降制限ストッパ１５０と、を備えたＭＥＭＳデバイスであり、駆動体は周辺部を備えており、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に上昇する場合には駆動体の周辺部が上昇制限ストッパの一端部１４１にひっかかり、外部衝撃が加えられて駆動体が急激に下降する場合には下降制限ストッパの一端部１５１がフレームにひっかかることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】中空のドーム構造内に可動素子が形成されたＭＥＭＳデバイスに、外部からの横揺れや衝撃が加えられた場合でも内部に配置された可動素子の破損を防止することができるＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】基板１０上にアンカー２２を介して形成され、第１の方向に伸長した振動子２１を有するＭＥＭＳ可動素子２０と、ＭＥＭＳ可動素子２０を覆うように基板１０上に設けられる、中空の薄膜ドーム構造の第２の絶縁膜４０と、基板１０上に設けられ、第２の絶縁膜４０の内側であって、ＭＥＭＳ可動素子２０の外側に設けられ、一部が振動子２１のON時の基板１０からの高さ位置とOFF時の基板１０からの高さ位置との間の高さ位置にある絶縁膜からなる立脚部３１と、備える。 （もっと読む）

【課題】相対的に大きな力学量が加わっても、破損することなく被検知対象である傾斜を検知することができる力学量検出センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の力学量検出センサである傾斜センサは、基材上に立設された導電性の固定接点柱１１ｂと、前記基材上であって固定接点柱１１ｂの外側に設けられた枠体１１ａと、前記枠体１１ａに対して梁１１ｄを介して設けられ、前記枠体１１ａと前記固定接点柱１１ｂとの間で揺動可能である導電性の可動部材１１ｃと、を具備し、前記枠体１１ａ及び前記可動部材１１ｃは、前記基材側の第１層と前記第１層よりも上層の第２層とを含み、前記第２層に前記梁１１ｄが設けられており、前記第１層が前記梁１１ｄの下方に部分的に延在部１１ｅを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気的スイッチング装置を提供する。
【解決手段】電気的スイッチング装置は直列に結合された複数のスイッチ・セットを有する。各々のスイッチ・セットは並列に結合された複数のスイッチを有する。制御回路が複数のスイッチ・セットに結合されていて、これらのスイッチの開放及び閉成を制御するように構成されている。１つ以上の中間ダイオードが、それぞれの対のスイッチ・セットの間の各々の点を制御回路に結合する。別の実施形態では、電気的スイッチング・システムは更に、スイッチング回路に結合された電圧放出回路を有し、この電圧放出回路はスイッチング回路の接点における電圧を放出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】異物が挟まって可動体が動作しなくなりさらには電気的短絡が生じるといった不具合が発生しない微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板６１上に、絶縁層６２を介して単結晶シリコン層６３からなる構造体（固定櫛歯電極５１，５２等）が固定され、基板板面と平行に変位する単結晶シリコン層からなる可動体（可動ロッド４６等）が構造体に保持されてなる微小可動デバイスにおいて、単結晶シリコン基板上面の構造体が存在しない全領域に凹部６４が形成され、可動体が絶縁層を具えずに凹部上に位置し、異物が挟まらない十分な空隙が確保され、かつ構造体が凹部上に張り出すオーバーハング部を持ち、このオーバーハング部の下側にあって構造体を単結晶シリコン基板に固定している絶縁層の周縁が凹部上に懸からない位置に在り、これによって単結晶シリコン基板と単結晶シリコン層との間に微小な空隙が形成されて電気的短絡が防止される。
【選択図】図１１
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【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、固定フレーム４に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、ヒンジ３の側方にヒンジ３に沿うように形成されており、その先端部が、可動板２のヒンジ３が接続された部位に形成された凹部２ｅの内側に位置するように配置されている。可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が凹部２ｅの側縁部に接触し、可動板２の側方への変位が制限され、外部から衝撃が加わってもヒンジ３の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わっても櫛歯電極が破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、可動板２と固定フレーム４との間に設けられた櫛歯電極５と、可動板２のうち櫛歯電極５の近傍部位に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、固定フレーム４に向けて突設されており、可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が固定フレーム４に接触し、可動板２の側方への変位が制限される。従って、外部から衝撃が加わっても、櫛歯電極５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ又はＭＯＥＭＳ応用装置はＭＥＭＳまたはＭＯＥＭＳ素子の電気機械光学効果を機能の基とし構成される。電磁気力で駆動する微小構造体はその質量、形状、構造に起因する固有の機械共振特性を有し僅かのエネルギーで機械共振現象が誘起されその構造体の運動は駆動信号により制御されるべき運動から外れその位置を正確に定めることができなくなる。
【解決手段】電磁気力で駆動する微小面構造体の機械共振周波数特性の逆機械共振特性で駆動波に対し重み付け処理をほどこし該微小構造体を駆動することによりその機械共振特性を打ち消す。さらに時々刻々変化する微小構造体の実動作信号を二回時間微分して得られる残留共振応答成分を駆動信号に負帰還し微小構造体を駆動することにより残留共振応答にリアルタイムに制動をかける。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００において、可動部５０は、第１ヒンジ５により固定フレーム４に揺動可能に軸支されている。上部保護基板１１０の凹部１１２ａには、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１１５が突設されている。下部保護基板１２０の凹部１２１には、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１２５が突設されている。ストッパ１１５及びストッパ１２５が設けられていることにより、可動部５０のｚ方向の変位が制限され、外部から衝撃が加わっても第１ヒンジ５の破損が防止される。 （もっと読む）