本発明は、担体素子３と薄膜４とを有する２自由度でボディ２を傾斜させるための微小電気機械装置１´であって、ボディ２は、薄膜４を介して担体素子３に接続され、ボディ２び担体素子３の各々は、少なくとも１つの電極５，６を有する。ボディ２は、電圧源から電極５，６への電圧Ｖ_１，Ｖ_２の印加によるボディ２の少なくとも１つの電極５と担体素子３の少なくとも１つの電極６との間の静電気力７によって傾斜される。
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弁を通る流体流れを変調するために弁内の流れチャンネルの寸法を選択的に変更できる弁が提供される。弁は空洞内へ延びる入口（１０）及び出口（１２）を備えた、空洞（１４）を画定するハウジング（８）を有する。膜（３０）が空洞内に位置し、この場合、膜の少なくとも一部が流体経路（１５）の少なくとも一部を画定する。１又はそれ以上の電極（２０）が膜に関して固定され、１又はそれ以上の電極（２２）が、弁を通る流体流れを変調するために膜を静電的に作動できるように、ハウジングに関して固定される。
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本発明は、モノリシックに集積された構造形式で形成され、物理的な値を容量式に検出する、マイクロマシニングによるセンサエレメントを製造するための方法に関する。また本発明は、前記製造方法と共に、例えば圧力センサ又は加速度センサのようなセンサエレメントを有するマイクロマシニングによる装置に関するものである。
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【課題】上部品と、チューブ等の可撓性媒体搬送体と、ダイヤフラムと、チューブ用の支持体を持つ下部品とを備えたバルブ構造を提供する。
【解決手段】ダイヤフラムの上面及び上部品の下面には電極が取り付けられている。これらの電極に電位が加えられていない場合には、ダイヤフラムは、流体の流れを効果的に阻止するため、可撓性チューブに載止してこのチューブの通路を閉鎖する。電極に電位が加えられると、ダイヤフラムがチューブから引き上げられて離され、これによってチューブの通路を開放し又は部分的に開放し、媒体を流し、又は圧力を伝達する。部分的開放は、調節を行う目的のためである。ダイヤフラムに張力機構が取り付けられていてもよい。バルブを少なくとも部分的に開放し、又は閉鎖するため、制御装置が電極に電位を加える。 （もっと読む）

第１基板上に複数の環状電極が直列連結されるコイル部が形成され、第１基板と一定距離で平行に対向する第２基板上に環状電極と一対一対応する磁歪物質薄膜が形成され、コイル部と磁歪物質薄膜とがインダクターを構成し、外部の圧力によって磁歪物質薄膜の透磁率変化を誘導させてコイル部のインダクタンスを変化させるインダクターアレイ部と、インダクターアレイ部とＬＣ共振回路とを構成し、インダクターアレイ部で放電される磁気的エネルギーを電圧形態に変換させて保存するキャパシタと、を備える磁歪効果を利用した可変インダクター型のＭＥＭＳ圧力センサーである。これにより、本発明は、既存の圧抵抗型または静電容量型センサーに比べてさらに敏感であるので、解像度が優秀であり、半導体工程と互換可能なＭＥＭＳ工程技術を利用して製作されるので、小型化及び大量一括工程が可能であるので、生産コストが減らせる。 （もっと読む）

２点係止式熱アクチュエータ（９０）は、対向するアンカー（１４）を有する凹部が形成されたベース部材（１０）を含む。ベース部材に、対向する係止縁部にて取り付けられる変形可能な部材（２０）は、低い熱膨張係数を有する第１の材料の第１の層（２２）と高い熱膨張係数を有する第２の材料の第２の層（２４）とを有する平らな積層体として構成される。変形可能な部材は、係止縁部の近傍に係止部（２４ａ）、及び、係止部間に中央部を有し、係止部の曲げ剛性が中央部の曲げ剛性よりも実質的に低い。
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二点固定型熱アクチュエータは、対向する固定端を有する凹部を備えて形成された基盤要素を有する。対向する固定端の位置で基盤要素に取り付けられた変形要素が、低い熱膨張係数を有する第１の材料から成る第１の層と高い熱膨張係数を有する第２の材料から成る第２の層とを含む平面状の積層体として構築される。この変形要素は固定端に隣接する固定部分と該固定部分間の中心部分とを有し、固定部分の曲げ剛性は中心部分の曲げ剛性より実質的に低くされる。
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離間した突き当て型コンポーネント構造体であって、このものは、第１のプレートと、第１の間隙によって第１のプレートから離間させられた第２のプレートと、これらプレート同士を相互接続すると共に第１の間隙を形成している複数のハンダバンプとを具備してなり、上記プレートの少なくとも一方は、上記第１の間隙とは異なるサイズを有する第２の間隙を形成するために、隆起したプラットホームおよび凹部のうちの一方を含む特異セクションを有している。
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シリコン基板をエッチングする方法が記載される。本方法は、第１シリコン基板（２００）を犠牲シリコン基板（２４０、２４１）へ接合するステップを含む。第１シリコン基板（２００）がエッチングされる。第１シリコン基板（２００）が犠牲シリコン基板（２４０、２４１）から分離することを引き起こすために、第１シリコン基板（２００）と犠牲シリコン基板（２４０、２４１）との界面に圧力が加えられる。金属刃（６２０）を有する装置を使用すると、これらの基板を分離することができる。
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圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。各アクチュエータは、ボディ（２００）に支持される圧電アイランドを含む。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、カットされた圧電レイヤ（１０７）を、エッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に接着し、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。
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圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。各アクチュエータは、ボディ（２００）に支持される圧電アイランドを含む。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、カットされた圧電レイヤ（１０７）を、エッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に接着し、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。
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【解決手段】統合ポストおよび変形可能層８７０を備えるＭＥＭＳデバイス８００が提供される。いくつかの実施形態では、ポストと変形可能層との間の移行部は、実質的に単一の弓形又は凸形状の表面を備えており、これによって、機械的にロバストな構造を提供する。いくつかの実施形態は、その上に比較的一様な変形可能層を形成することに役立つ面を提供する自己平坦化犠牲材料の使用を含むＭＥＭＳデバイスの製造方法を提供する。 （もっと読む）

マイクロレンズチップは、可変焦点流体マイクロレンズ及びアクチュエータを備える。アクチュエータは、マイクロレンズチップの流体チャンネルの圧力を変え、この流体チャンネルは、マイクロレンズを含むアパーチャ開口部に結合されている。アクチュエータに電界を印可することで、流体チャンネルの流体圧力の変化が生じ、これが、今度は、流体マイクロレンズの曲率半径（すなわち、焦点距離）を変える。 （もっと読む）

流体輸送／封じ込め装置は、流体保持モジュールおよび操作モジュールを有する。この流体保持モジュールは、サブストレートと、このサブストレートに分散させた流体輸送／封じ込め素子とを有し、この流体輸送／封じ込め素子のうちの１個またはそれ以上の流体輸送／封じ込め素子は、マイクロ流体寸法を有する。操作モジュールは、操作素子が流体輸送／封じ込め素子と接触して作用インタフェース（境界面）を生ずるように、流体保持モジュールに着脱可能に固定する。 （もっと読む）

簡単には、本発明の複数の実施形態は、電気機械デバイス、例えば、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイス、例えば、低損失の圧電薄膜共振器（ＦＢＡＲ）フィルタ、およびこれを生産するプロセスを提供する。
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【課題】 非対称薄膜容量性微小機械加工超音波変換器（ｃＭＵＴ）及びｃＭＵＴ撮像アレイの製作に関する技術を提供する。
【解決手段】 非対称薄膜容量性微細機械加工超音波変換器（ｃＭＵＴ）素子及び製作方法。好ましい実施形態では、本発明によるｃＭＵＴ素子は、一般的に非対称特性を有する薄膜を含む。薄膜は、その端部が異なる幅を有するようにその長さにわたって変動する幅を有することができる。非対称薄膜は、その様々な幅寸法のために様々な撓み特性を有することができる。別の好ましい実施形態では、本発明によるｃＭＵＴ素子は、一般的に非対称特性を有する電極要素を含む。電極要素は、その端部が異なる幅を有するようにその長さにわたって変動する幅を有することができる。非対称電極要素は、その様々な幅寸法のために異なる受信及び送信特性を有することができる。別の好ましい実施形態では、薄膜に沿って位置決めされた質量負荷が、薄膜の質量分布を変更することができる。また、他の実施形態も特許請求して説明する。 （もっと読む）

本発明は、反応によって沈殿物または懸濁物が形成される少なくとも２つの流体を混合するためのマイクロミキサーに関する。マイクロミキサーは、第１部分流（６）が供給される第１チャンネルおよび第２部分流（７）が供給される第２チャンネルを有して成る。第１部分流（６）および第２部分流（７）は、狭い入口ギャップ（１９，２０）を介して混合反応領域（１０）に流入し、その後、その混合反応領域（１０）を介して流出チャンネル（１１）へと移送される。本発明は、部分流（６，７，３７）が移送される少なくとも１つのチャンネルと混合反応ゾーン（１０）との間に逆流防止部材が設けられていることを特徴とする。
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