【課題】基板接合強度及びダイアフラムの耐圧限界を高める半導体圧力センサの製造方法を得る。
【解決手段】先ず、半導体基板に、圧力感応抵抗素子を形成した面とは反対側の面に位置させて、キャビティを形成する。次に、半導体基板のキャビティ側の面に、基板接合時にベース基板との間に隙間を生じさせる溝をダイシングストリートに沿って形成した後、鏡面加工を施す。この鏡面加工により、半導体基板の厚さがキャビティ側端部及び溝側端部よりも該端部の間に位置する中間部で大きくなる、湾曲形状の接合面を形成する。そして、この湾曲形状の接合面を介して半導体基板とベース基板を接合した後、これら基板をチップ単位にダイシングし、個々の半導体圧力センサを得る。 （もっと読む）

【課題】 本発明は付加的なバックチャンバーを有するシリコンコンデンサマイクロホンの製造方法に関する。
【解決手段】 本発明の方法は、基板に接着剤を塗布した後、チャンバー筒をマウンターでマウントするステップと、前記チャンバー筒を接着している接着剤を硬化（ｃｕｒｅ）させるステップと、前記チャンバー筒の上に接着剤を塗布した後にマウンターでＭＥＭＳチップをマウントするステップと、前記ＭＥＭＳチップを接着している接着剤を硬化（ｃｕｒｅ）させるステップと、部品が実装された前記基板とケースを接合するステップと、を含めて前記ＭＥＭＳチップによるバックチャンバーに前記チャンバー筒によって形成されるバックチャンバーが増加されて付加的なバックチャンバーを有することである。よって、本発明によって形成されるシリコンコンデンサマイクロホンはＭＥＭＳチップその自体の足りない足りないバックチャンバー空間を増やして感度を向上させて、ＴＨＤ（Ｔｏｔａｌ Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ）などのノイズを改善することができるという効果がある。 （もっと読む）

【課題】高い性能を確保しながら、小型化を実現することが可能なアクチュエータの製造方法、アクチュエータ、及び該アクチュエータを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】電極層と、該電極層に通電することにより変形する金属板と、が積層されたアクチュエータの製造方法であって、金属板の表面に絶縁膜を成膜する工程と、絶縁膜の表面に電極層を形成する工程と、電極層が形成された面と同じ側の面に、金属板のエッチング部分に開口を有する第１のレジスト膜を成膜する工程と、金属板の絶縁膜が成膜された面と反対側の面に、第１のレジスト膜の開口部分が表裏で略同じ形状になるように第２のレジスト膜を成膜する工程と、第１のレジスト膜および第２のレジスト膜をエッチングマスクとして、エッチング法を用いて金属板を除去することにより、該金属板の形状を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

本発明は、使い捨てのカートリッジにおいて、インターフェース・プレート（１０１）と流体動作のための装置（１０２）との間に設けられるミクロ流体カートリッジ（１００）の設計に関する。空気圧による作動は、装置とカートリッジとの間の可逆的な空気圧による相互接触を介して実施される。カートリッジの低コスト化と信頼性のために、空気圧駆動体が装置内に一体化して設けられている。カートリッジ内の流体の動作は、閉鎖された複数の区画を形成する使い捨て可能なカートリッジの主表面に取り付けられた可撓性薄膜（１０５）によって、カートリッジが装置に取り付けられたときのみ、実現される。これらの区画の中の圧力が薄膜の変形を決定し、これにより流体が動作する。この解決法は、高いパワーと空気圧による動作の大きなストロークを活かすと同時に、カートリッジは安価な単純な構造のままであるため、熱や音響的振動のような、インターフェース・プレートを介した他の物理的な移送の導入を容易にする。空気圧による作動のための、チューブのような個々の固定具が不要であるので、多数のアクチュエータを、平坦な空気圧インターフェース・プレートに容易に一体化することができる。
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【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】ポンプ機構と、バルブ機構とを有するマイクロ流体デバイスの小型化及び製造容易化を図る。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、基板１０の第１の主面１０ａ上に、第１のマイクロ流路１１の端部１１ａを覆うように粘着している第１のガス発生フィルム１７ｅと、第１のマイクロ流路１１の端部１１ｂと、第２のマイクロ流路１５の端部１５ａとを覆うように粘着している第２のガス発生フィルムと、第１のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第１の外部刺激付与機構２０ａと、第２のガス発生フィルムに外部刺激を付与する第２の外部刺激付与機構２０ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡易で歩留まり低コスト化を可能とする圧電駆動型ＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】第１の基板１０の可動部１６となる領域上に可動部１６の一部として設けられた圧電体膜２２と、圧電体膜２２を挟むようにして配設された一対の電極２１、２３とからなる圧電駆動部２０により駆動されて凸状に変位する可動部１６を一部に備え、該可動部１６の表面中央部に可動電極２５が設けられてなる第１の基板１０と、第１の基板１０に接合された、可動電極２５と所定間隔で対向する固定電極３５を支持する第２の基板３０とから、圧電駆動型ＭＥＭＳ素子１を構成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低くしつつ、傷から保護されるセンサデバイスを提供すること、およびこのようなセンサデバイスを製造する方法を提供すること。
【解決手段】成形体と成形体上に被着されているピエゾ抵抗センサ層とを有しており、ピエゾ抵抗センサ層は少なくとも１つの金属並びに炭素または炭化水素を含んでおり、ピエゾ抵抗センサ層上で薄膜パッシベーション層およびコンタクト層が省かれる、センサデバイス。 （もっと読む）

【課題】ムービングマグネット型の駆動部を有する変形可能ミラー装置の応答速度、変形精度を向上する。
【解決手段】ミラー面が形成された可撓性部材を変形させるにあたり、駆動力発生部により発生した駆動力を駆動力伝達部により伝達して可撓性部材に印加するものとし、且つ上記駆動力伝達部の先端部は、可撓性部材側に対して固着せず当接させる。これによりミラー面の変形にあたり可動側となる可動側部の質量を従来例の場合よりも大幅に削減でき、可動側部の固有振動数の値をより大とすることができる。また上記駆動力伝達部は、その先端部が球面状とされた柱状部を、ケースにおけるガイド孔に挿入するようにして設ける。これにより、先端部によって上記可撓性部材の押圧基準点に縦方向（上記ケースの表面に垂直な方向）の押圧力が正確に印加されるようにすることができ、ミラー面の変形精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 鉛を含有せず、かつ変位特性の高い圧電素子を有する液体噴射ヘッド及びこれ
を用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドＩは、液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室１２を
備えた流路形成基板１０と、該流路形成基板上に設けられる圧電素子３００とを具備し、
前記圧電素子が、圧電体層７０とこの圧電体層の両面に設けられる一対の電極とで構成さ
れていると共に、前記圧電体層がＢａＴｉＯ_３、ＣａＴｉＯ_３及びＥｕ_２Ｏ_３を有する。
液体噴射装置は、この液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

本発明は、マイクロメカニカル（ＭＥＭＳ）技術を用いて製造される制御可能なファブリー・ペロー干渉計に関する。先行技術におけるマイクロメカニカル干渉計は、著しく、赤外光の放射が減衰するといった欠点を有する。本発明の解決策において、少なくとも１つのミラーに間隙（１０４、１１４）があり、ミラー層の役割を担う。ミラーのその他の層は、多結晶質シリコンで作製され、赤外域において軽微な減衰を有する。また、干渉計の光学領域にある基板に孔（１２５）または凹部を具備することも好ましい。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械装置の特性向上および製造工程の簡略化を図る。
【解決手段】微小電気機械装置を、半導体層(1)と、前記半導体層中のチャネル領域の両側に形成されたソース、ドレイン領域(13)と、前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜(19)と、前記ゲート絶縁膜上に形成された空洞(15a)と、前記空洞上に形成されたゲート電極(17)と、を有し、前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜と接触するよう可動に構成され、前記ゲート電極上に加わる力を、前記ゲート電極と前記ゲート絶縁膜との接触面積により検出するように構成する。このように、上記接触面積によりゲート電極上に加わる力を検出することができる。また、一時的なＦＥＴ構造を利用することにより、装置および製造工程の簡略化を図ることができる。 （もっと読む）

本発明は、剛体エレメント（例えばミラーのような光学エレメント）を動かすためのアクチュエータに関する。エレメントは、曲げ可能な連結部を有するフレームに機械的に連結される。アクチュエータエレメントは、フレームとエレメントとの間で連結部上に載置される。連結部およびアクチュエータエレメントは、信号発生器から信号を受けるときに、エレメントに動きを提供するのに適している。 （もっと読む）

【課題】簡単に作成される封入装置を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも微小空洞の一部を構成することのできる封入膜１２を備え、支持体１０上に形成される前記微小空洞内に素子を封入するための装置に関し、この装置は、封入膜を支持体に機械的に装着する少なくとも１つの腕を備え、この腕は、封入膜が封入される素子の上に覆い被さり、その周縁が、封入される素子の周りに広がる開口を構成する開放位置と、この開口を塞ぐため、封入膜の周縁が支持体上に配置される閉塞位置との間で膜を移動させるために曲がることができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度な液滴吐出を行う液滴吐出ヘッドを提供する。特に、溶融金属を液滴として吐出する場合における吐出精度の高い液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】電極部を有する第１基板と、前記第１基板と接合され、前記電極部に対向して配置された振動部を有するとともに、液体流路の一部を構成する第２基板と、前記第２基板と接合され、前記液体流路の一部を構成するとともに、前記液体流路の一部に設けられたノズルを有する第３基板と、前記液体流路の近傍に設けられた発熱抵抗体層と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板上の素子配置、配線の自由度を上げる微小構造体の圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１において、表面に絶縁層14を備えた導電層13を上面に備え、複数のダイアフラム構造15を内部に並列して備えた基板10と、基板10の絶縁層14上に、ダイアフラム構造15に対応して配置された複数の圧電素子20であって、圧電体膜22の自発分極Ｐが、下部電極21側から上部電極23側に向かう向きに配向しており、下部電極21および上部電極23が、複数の圧電素子20間で互いに離間して設けられた個別電極である複数の圧電素子20と、複数の圧電素子20の上部電極23のそれぞれを、導電層13に電気的に接続する電気配線28とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡便に液体流路を開通状態から閉止状態にしたり、閉止状態から開通状態にしたりできる液体流路装置を低コストで提供する。
【解決手段】基板１１Ａの少なくとも片面に、液体が流通する液体流路１２と、液体が溜まる１つ以上の液槽１４ａ、１４ｂとが形成され、基板１１Ａの流路形成面１２ａには蓋板１３Ａが積層した液体流路装置１０Ａであって、液体流路１２の一部を閉止状態から開通状態にする開通手段Ｓ１、Ｓ２として、液体流路１２に配置された栓体１５を具備している。この栓体１５を蓋板１３Ａに形成された凹部１６に移動させることにより、液体流路１２を開通状態とする。反対に、閉止手段Ｔ１では、凹部１８から液体流路１２に栓体１７を移動させると、液体流路１２を閉止状態にできる。 （もっと読む）

【課題】簡便に液体流路を開通状態から閉止状態にできる液体流路装置を低コストで提供する。
【解決手段】基板の少なくとも片面に、液体が流通する液体流路１２と、液体が溜まる１つ以上の液槽とが形成され、基板の流路形成面には蓋板が積層した液体流路装置であって、液体流路１２の一部を開通状態から閉止状態にする閉止手段を有する。閉止手段は、液体流路１２の一部から分岐して形成された封止材料供給槽１６と、該封止材料供給槽１６に充填された封止材料１７とを有する。封止材料供給槽１６に対応する部分の蓋板を矢印Ｂのように押圧する操作、または封止材料供給槽１６の底部を外側から押圧する操作により、封止材料１７は液体流路１２の一部に押し出され、その部分を前記閉止状態とする。 （もっと読む）

【課題】簡便に液体流路を閉止状態から開通状態にできる液体流路装置を低コストで提供する。
【解決手段】基板１１の少なくとも片面に、液体が流通する液体流路と、液体が溜まる１つ以上の液槽１４ａとが形成され、基板１１の流路形成面には蓋板１３が積層した液体流路装置であって、液体流路の一部を閉止状態から開通状態にする開通手段Ｓ１を有し、開通手段Ｓ１は、液体流路の一部に配置され、蓋板１３または液体流路の底部を外側から押圧する操作により塑性変形し、前記開通状態とする封止栓１５からなる。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム自体の加工を施す代わりに、ベース基板に加工を施すことによってダイアフラムの応力の問題を解決したマイクロフォンを提供する。
【解決手段】音の伝搬経路となる貫通孔を縦方向に有するベース基板と、その上部に横方向に配置される電極部材と、ベース基板と電極部材の間に或いは電極部材の上方に横方向に配置され、電極部材等を通じて取り込まれた音の音圧によって振動し得る振動膜と、音圧によって振動膜を振動させ得る状態で、ベース基板、電極部材、振動膜を互いに絶縁する絶縁部材を備える。このマイクロフォンはベース基板を利用して形成された複数の固定部によって固定して使用され、複数の固定部はベース基板が横方向に広がる面において振動膜を取り巻く位置に配置され、ベース基板が横方向に広がる面において複数の固定部を含む部材と振動膜との間に縦方向のスリットを設けて部材と振動膜を互いに仕切っている。 （もっと読む）