【課題】像内の不所望な強度最大値および／または強度最小値（スペックル）の発生を回避することができるマイクロメカニカル素子を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子が、第１の外面上に反射面を備えたミラー素子と、対向電極と、電圧制御装置とを有し、ミラー素子は、第１の外面とは反対方向に向けられているミラー素子の第２の外面上の第１の電極面に第１の電位が印加されるように構成されており、対向電極はミラー素子の第２の外面の近傍に配置されており、該対向電極の第２の電極面に第２の電位が印加されるように構成されており、電圧制御装置は第１のコンタクト素子を介してミラー素子の第１の電極面と接続されており、第２のコンタクト素子を介して対向電極の第２の電極面に接続されており、且つ、時間的に変化する電圧信号を第１の電極面と第２の電極面との間に印加するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】反射膜間の距離を精度よく制御することができる波長可変光フィルターの提供。
【解決手段】厚み方向に変位可能な第１の可動部１１と厚み方向に変位可能な第２の可動部１２とを備えた第１の基板１０と、第１の基板１０との間で内部空間１３を形成し、第１の基板１０に接合された第２の基板２０と、第１の基板１０を挟んで第２の基板２０の反対側に配置された第３の基板３０と、第２の可動部１２と第３の基板３０との間に挟持された圧電素子５０と、内部空間１３に満たされた液体６０と、第１の可動部１１の面１４上に設けられた第１の反射膜１５と、第２の基板２０上に設けられた第２の反射膜２２とを備え、圧電素子５０の厚み方向の変位に応じて、第２の可動部１２が厚み方向の一方に変位することにより液体６０に加わる圧力で第１の可動部１１が厚み方向の他方に変位し、第１の反射膜１５と第２の反射膜２２との間の距離Ｇが変化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができるＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサの一例であるシリコンマイク１は、開口５が貫通して形成されたシリコン基板２と、開口５に対向して設けられ、その対向方向に振動可能な振動膜６と、振動膜６に形成された圧電素子９とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】気泡が発生し難く、熱交換が効率的に実施できる反応チャンバを有し、反応チャンバ配設部品を交換することにより反応チャンバの容量を簡単に変更することができるマイクロ流体デバイスの提供。
【解決手段】上部硬質基板３と、メンブレン層５と、台座基板６と、開口部を有する凹陥部が形成された少なくとも１個の支持カップ基板とからなり、前記上部硬質基板には流体を出し入れするための少なくとも１個の入出力ポートが該基板を貫通して配設されており、かつ、該基板の下面側には、前記入出力ポートに連通する１本の送液流路用の溝が配設されており、前記メンブレン層は前記入出力ポートの底部及び送液流路用の溝の底部を遮蔽するように前記上部硬質基板の下面側に部分的に接着されているマイクロ流体デバイス。 （もっと読む）

【課題】従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１ミラー構造体と第２ミラー構造体とがギャップを介して対向配置されたファブリペロー干渉計であって、第１ミラー構造体を構成する第１ミラーと第１電極、及び、第２ミラー構造体を構成する第２ミラーと第２電極、の少なくとも一方が電気的に絶縁分離されている。また、電圧が印加されない初期状態で、第１電極を含む電気的に結合された部分と、第２電極を含む電気的に結合された部分との対向距離ｄｅｉが、第１ミラーと第２ミラーとの対向距離ｄｍｉよりも長くされている。 （もっと読む）

【課題】振動子エレメントの両端に溝部を設けた静電容量型超音波振動子において、全体に占めるセル領域の面積比率を低下させず、かつ発生させる超音波の出力低下のない静電容量型超音波振動子を提供する。
【解決手段】シリコン基板と、該シリコン基板の上面に配設された第１の電極と、該第１の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第２の電極と、該第２の電極を支持するメンブレンとからなる振動子セルから構成され、駆動制御信号を入出力する最小単位である振動子エレメントと、前記シリコン基板の背面に電極パッドを介して接合したフレキシブルプリント基板とから構成される静電容量型超音波振動子において、隣接する前記振動子エレメント間に溝部が設けられ、該溝部に導電膜が形成されていることにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の内部にレーザ光の集光点を合わせることで多光子吸収を引き起こし、半導体装置の内部に改質領域を形成した後、改質領域を起点として分割予定ラインに沿って亀裂を成長させて半導体装置を分割するダイシング工程において、加工時間を短縮すること。
【解決手段】ダイシング領域において、半導体基板（７）の表面に光を透過する透過性の膜（屈折層４）を形成することによって、半導体基板（７）内部に複数の改質領域（７ａ、７ｂ）を同時に形成し、加工時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】穏やかな条件で確実に粒子を操作する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る方法は、各々が電気分解用の陽極及び陰極のうち少なくとも一方の電極を有する複数のマイクロチャンバーに操作の対象とする粒子を捕捉し（Ｓ１）、前記複数のマイクロチャンバーのうち一部のマイクロチャンバーの前記電極に選択的に電圧を印加することにより水を電気分解して泡を発生させ（Ｓ２）、前記泡の発生に伴い作動するアクチュエーターによって、前記一部のマイクロチャンバーから選択的に前記粒子を押し出す（Ｓ３）方法である。 （もっと読む）

安定的かつ音響的感度が高いマイクロフォン構造体を有する素子と、このようなマイクロフォン構造体を有する素子を簡単かつ低コストで製造する方法とを提供する。このマイクロフォン素子は、音響的に動作するダイヤフラム（１１）と、音響透過性であり固定された対向エレメント（１２）とを有する。前記ダイヤフラムは、マイクロフォンコンデンサの変位可能な電極として機能し、前記対向エレメントは、該マイクロフォンコンデンサの対向電極として機能する。さらに前記マイクロフォン構造体は、前記マイクロフォンコンデンサの容量変化を検出および評価するための手段を有する。前記ダイヤフラム（１１）は、前記素子の半導体基板（１）上のダイヤフラム層（３）で実現され、該半導体基板の裏面に設けられた音響空洞（１３）上に架かるように形成されている。前記対向エレメント（１２）は、前記ダイヤフラム（１１）上の別の層（５）で実現されている。本発明では、前記別の層（５）が実質的に素子面全体にわたって延在し、該別の層（５）に応じて素子表面が十分に平坦になるように該別の層（５）は高低差を補償する。このことにより、ウェハ結合体において露出されたマイクロフォン構造体の層構成体上に膜を設けることができ、この膜により、本発明の複数の素子の分離を標準的なソーイング法で行うことができる。
（もっと読む）

【課題】個片化を行う加工の際の切削水や切断屑の浸入を抑制でき、信頼性が向上するＭＥＭＳマイクロフォン半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳマイクロフォン半導体装置であって、基板と、前記基板の第１主面に実装される１つ以上半導体素子と、前記基板の前記第１主面に固定され、前記１つ以上の半導体素子をカバーするケースと、前記基板または前記ケースに形成され、音孔となる貫通孔と、前記基板の前記第１主面と反対の面である第２主面に形成される複数の接続電極とを備え、前記貫通孔は、ダイシング時の切削水の浸入を抑止し得る浸入抑止形状が施されている。 （もっと読む）

【課題】シリコンをエッチング液による侵食から保護するとともに、熱変形、剥がれ、シリコンの割れおよび不完全な侵食防止という不良の改善、製造工程の工数低減、作業性の改善およびコスト低減をすることができるシリコンデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】物理量を検出する素子またはシリコンを変形させる素子をシリコンの一方の面に形成し、シリコンの他方の面の一部および一方の面を保護膜で覆い、シリコンをエッチングするシリコンデバイスの製造方法において、保護膜に金属膜を用いてシリコンの他方の面の一部および一方の面を覆う第１工程(Ｓ１２０)と、金属膜を侵食しないエッチング液を用いてシリコンをエッチングする第２工程（Ｓ１３０）と、素子に接続される電極を金属膜から形成する第３工程（Ｓ１４０）とを有することを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の膜応力によるメンブレンの不均一な撓みが原因の圧電素子特性のばらつきを抑制し、圧電素子の感度や信頼性を向上させることが可能な圧電ＭＥＭＳ素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電ＭＥＭＳ素子であって、基板の表面側に形成され、不純物がドープされており下部電極として機能する支持体１１１と、基板の裏面側に形成され支持体の下部に位置する裏面空洞１２１と、が設けられた基板１０１と、支持体１１１上に形成された圧電膜１１２と、圧電膜上に形成された上部電極１１３とを備える。支持体１１１は、少なくとも、第１の厚さを有する第１の支持体部分Ｍと、第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する第２の支持体部分Ｂとを含む。 （もっと読む）

本発明は、流体を混合するための拡張可能な密閉ボリューム３５と、拡張可能な密閉ボリューム３５における混合を可能にする可撓性メンブレン４０と、を有する、マイクロフルイディクスシステム１であって、マイクロフルイディクスシステム１が更に、表面５の第１の側１０を該表面５の第２の側の拡張可能な密閉ボリュームに流体工学的に結合する少なくとも１つのチャネル２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを具える該表面５を有し、前記チャネル２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄが、前記表面５の前記第１の側１０を前記チャネル２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに流体工学的に結合する第１のチャネル開口と、前記チャネル２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを前記拡張可能な密閉ボリューム３５に流体工学的に結合する第２のチャネル開口３０と、を有し、前記拡張可能なボリューム３５が、前記拡張可能なボリューム３５に流体がない場合に前記第２のチャネル開口３０を閉じる前記可撓性メンブレン４０によって規定される、マイクロフルイディクスシステムに関する。本発明は更に、このようなマイクロフルイディクスシステム１を使用する方法に関する。
（もっと読む）

【課題】保護層を備えたデバイスを提供する。
【解決手段】デバイスに、三次元形状を有する構造用の流体不透過性の保護層を備える。三次元形状は駆動素子を含み得る。保護層は、保護層に破断がないように、かつ、保護層が厚過ぎて駆動素子が適切に機能できなくなることのないように付加される。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電アクチュエータを備えるＭＥＭＳ（微小電子機械システム）デバイスを提供する。
【解決手段】第１の面を有する基板１０２が、第１の面上において第１の接着促進導電層１０４と、結晶配向促進層１０６と、第２の導電１０８と、誘電層１１０と、第３の接着促進導電層１１４と、導電性電極１１６を有する。圧電部１１２は、この結晶配向促進層１０６と接触し、結晶配向促進層１０６の配向に対応する配向を有する。誘電材料１１０が圧電部１１２を囲む。この誘電材料１１０は、無機材料から形成される。 （もっと読む）

【課題】均一な膜を備えたＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】膜によって覆われる凹部を有するＭＥＭＳベースデバイスに関する。凹部の上の膜は、高均一性のエピタキシャル層である層のスタックによって形成されているため、非常に均一である。ハンドル層等のスタックの不要な層は、所望の厚さの膜を達成するために、デバイスの完成前に除去される。 （もっと読む）

【課題】正確に所望の値のギャップを有し、駆動領域の駆動時に基板に駆動力が加わっても、ギャップの変動が少ないＭＥＭＳデバイスの実装構造を提供する。
【解決手段】駆動領域２１を有する駆動基板２０と、電極パッド３１を有し駆動基板が積層する電極基板３０と、駆動領域と電極パッドとの間の距離を所望に保持するための高さを有する距離調整部６０と、駆動基板と電極基板との間に形成される干渉回避部７０とを具備する。距離調整部６０は、バンプ６０ｃと、バンプに成膜され、接合面を有する接合膜６０ａとを有している。全ての接合膜の接合面を合計した面積は接合面が接合する駆動基板と電極基板とのいずれかの投影面積よりも小さく、少なくとも１つのバンプは駆動領域の外周縁の近傍に配設され且つ接合面が電極パッドに非干渉となるように、または電極パッドの外周縁の近傍に配設され且つ接合面が駆動領域に非干渉となるように配設される。 （もっと読む）

【課題】振動子のヤング率などの物性定数がより容易に計測できるようにする。
【解決手段】例えば希弗酸溶液を用い、貫通孔１０４ａを介して犠牲層１０３を等方的にエッチングし、振動子層１０４とＧａＡｓバッファー層１０２との層間に、貫通孔１０４ａの領域を超える空間１３１を形成する。例えば、レジストパターン１０５を除去した後、貫通孔１０４ａを備える振動子層１０４を備える基板１０１を希弗酸溶液に浸漬する。これにより、貫通孔１０４ａより浸入する希弗酸溶液により犠牲層１０３が等方的にエッチングされ、空間１３１が形成されるようになる。 （もっと読む）

【課題】流路内にデッドスペースや流れを乱すことが無く、継ぎ手周りのリーク等の問題を解決し、かつ、ローコスト化を図ったマイクロリアクタを実現する。
【解決手段】第１基板と第２基板を貼り合わせ、いずれか一方の基板に複数の凹部を設けて形成された複数のダイアフラムと、流路が形成されると共に該流路中に少なくとも一つの突起を有する第３基板からなり、前記流路に前記複数のダイアフラムを配置して圧力計、差圧流量計、バルブのうちの少なくとも２つを形成した。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）