【課題】ミラー間のギャップを可変させた場合においても分光特性に優れた光を取り出すことができ、しかも取り出す光の分光特性を低下させることなく良好に維持することができる光フィルタ及びそれを備えた光モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の光フィルタ１は、第１の基板２と、これに対向して接合され、第１の凹部５及び第２の凹部７が形成された第２の基板３と、第１の凹部５に第１のギャップを介して設けられたミラー４Ａ、４Ｂと、ミラー４Ａ、４Ｂの周囲に第２のギャップを介して設けられた一対の電極６Ａ、６Ｂと、第１の基板２に形成された第１のダイアフラム部８と、第１のダイアフラム部８の内周側に形成された第２のダイアフラム部９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】可撓性変換器ユニットを製造するための新規な方法を提供する。
【解決手段】複数の変換器構造体を含むウェハーから、可撓性変換器ユニットを製造する方法に関するものであり、変換器構造体が、基板１と、金属−酸化物層１０と、金属−酸化物層１０における少なくとも１個のメッシュ構造体４と、金属−酸化物層１０に少なくとも１個の第１コンタクトパッド３を有する電線２とを備える。本製造方法は、メッシュ４を解放するために金属−酸化物層１０をエッチングする工程と、メッシュ４上に密封層７を形成する工程と、金属−酸化物層１０上に第１可撓性材料層８を形成する工程と、変換器構造体を十分可撓性のあるものにするにはために基板１のかなりの厚さを除去する工程とを含む。また、メッシュを解放する前に、第１可撓性材料層８を形成してもよい。さらに、ウェハーの裏側に第２可撓性層９を形成する工程を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】装置全体の温度が変化した場合であっても、可変形ミラーを所望の形状に変形することができる可変形ミラー装置を得る。
【解決手段】可変形ミラー１と、先端部が可変形ミラー１の裏面に向かって設けられ、駆動することで可変形ミラー１を変形させるアクチュエータ２と、可変形ミラー１の裏面に接合され、磁性体から構成された接合パッド４と、アクチュエータ２の先端部に設けられ、磁力によって接合パッドを引き付ける接触アタッチメント５とを備え、可変形ミラー１の線膨張係数と接合パッド４の線膨張係数とがほぼ同等である。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造を有し、かつ、確実にバルブの開閉が行えるマイクロバルブ機構を提供すること。
【解決手段】 マイクロ流路５を有し、少なくともマイクロ流路５上部の一部（バルブ領域Ａ）が弾性部材からなる流体素子チップ３と、流体素子チップ３上の弾性部材部に立設された圧力制御ポート２とを備え、圧力制御ポート２を介して圧力を給排することにより開閉を行うマイクロバルブ機構１とした。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造を有し、かつ、確実にバルブの開閉が行えるマイクロバルブ機構を提供すること。
【解決手段】 マイクロ流路５を有し、少なくともマイクロ流路５上部の一部（バルブ領域Ａ）が弾性部材からなる流体素子チップ３と、流体素子チップ３上の弾性部材部に立設された圧力制御ポート２とを備え、圧力制御ポート２を介して圧力を給排することにより開閉を行うマイクロバルブ機構１とした。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカルなセンサエレメントを備えた複合構成エレメントの支持体におけるマイクロクラックの形成と成長を減じる手段を提供する。
【解決手段】マイクロマシニングセンサエレメントを備えた構成エレメントであって、センサエレメントがガラス支持体上にボンディングされており、ガラス支持体の上面がセンサエレメントのための結合面として機能しており、ガラス支持体の、前記上面とは反対側の背面が、構成エレメントのための組み付け面として働き、ガラス支持体が、前記上面と背面とを結合する側面を有している形式のものにおいて、ガラス支持体が、ガラス支持体の少なくとも輪郭がエンボス加工されたガラスウェハ３０のセグメントによって形成されていて、これにより、ガラス支持体の側面のこのように形成された領域と、ガラス支持体の背面とが、ほぼマイクロクラックを有さない表面を有している。 （もっと読む）

【課題】圧電型マイクロスピーカー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電型マイクロスピーカーは、振動板が第１領域と第２領域とに区分される。この際、第１領域は、その加振力を最大化させる材質で構成し、第２領域は、第１領域より相対的に初期応力が小さくてヤング率の低い材質で構成することができる。これにより、振動板の変形効率を高めることができて出力音圧が高くなる効果がある。 （もっと読む）

シリコン基板と接着する方法および装置について開示する。装置は、膜表面を有する膜、膜表面内の溝、膜表面と実質的に平行な変換器表面を有する変換器、そして膜表面を前記変換器表面に結合させる接着剤、を備えている。溝は、溝が完全に満たされていないことによって生じ得る空洞や空隙を最小限に抑えながら、接着剤が溝の中へ、そして溝を通って流れることができるように構成することができる。複数の溝を膜表面に形成してもよく、さらにこれらの溝を均一な深さのものとしてもよい。
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本願は、シリコン基板と、キャビティと、シリコン基板とキャビティとの間に配される第１の電極であって、キャビティより下に配される第１の電極と、キャビティより上に、第１の電極と対向して配されるメンブレンと、キャビティより上に、前記第１の電極と対向して配される第２の電極であって、第２の電極はメンブレン内に又はその近傍に配され、第１の電極及び第２の電極は電圧を供給されるように構成される、第２の電極と、第１の電極と第２の電極との間に配され、誘電体を含む第１の絶縁層と、を有する容量性マイクロマシン超音波トランスデューサを開示する。更に、超音波を生成し又は検出するシステムであって、本発明によるトランスデューサを有するシステムが記述される。更に、本発明によるトランスデューサを製造する方法であって、トランスデューサが、ＣＭＯＳ製造プロセスを用いて製造され、トランスデューサが、ＣＭＯＳプロセスの間の後処理フィーチャとして製造されることができる方法が開示される。
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【課題】本発明の課題は、装置の充分な信頼性を確保することができるアクチュエータ装置、このアクチュエータ装置を備えた液体吐出ヘッド及びこの液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ基板（アクチュエータ装置）１０においては、疎水剤導入部５２は、開放孔５１からの疎水剤供給経路長が全ての静電型アクチュエータ７３の中で最長の位置にある静電型アクチュエータ７３と同一となる位置又はこの静電型アクチュエータ７３よりも長くなる位置に設けられている。 （もっと読む）

ＭＥＭＳデバイスは、第１主表面とその反対面である第２主表面とを有する基板１０１と、前記基板１０１に形成された貫通孔１１０と、前記第１主表面の上側に前記貫通孔１１０を覆うように形成された振動膜１０５とを備えている。前記第１主表面及び前記第２主表面は共に（１１０）結晶面であり、前記第２主表面における前記貫通孔１１０の形状は実質的に菱形である。 （もっと読む）

【課題】 特に、シリコン基板に作用する応力を緩和できる物理量センサを提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコン基板２，３と、シリコン基板３に形成されたダイアフラムと、ピエゾ素子Ｂ〜Ｅと、シリコン基板３と接合されるインターポーザ１５と、を有する。インターポーザ１５は、支持基板１７と、支持基板１７の上面から下面にかけて形成される導通部１８と、を有する。インターポーザ１５とシリコン基板３間の接続領域４７には、第１有機絶縁膜４８と接続経路５０が設けられる。接続経路５０は平面方向に延びる延出部４３と、延出部４３と配線層１０間を高さ方向に繋ぐ第１接続端部５２と、延出部４３と導通部１８間を高さ方向に繋ぐ第２接続端部４６とを有する。延出部４３の導通部側接続位置αと、第１接続端部５２の素子側接続位置βとが、平面方向にずらされている。 （もっと読む）

【課題】アルカリ溶液を用いたエッチングを行なうことなくダイヤフラム構造を形成でき、微細化を実現できる半導体センサ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１上にＬＯＣＯＳ酸化膜３が形成され、さらにその上にゲート−メタル層間膜５が形成されている。ゲート−メタル層間膜５の上面からシリコン基板１に到達して、ＬＯＣＯＳ酸化膜３と比べてエッチング選択比の大きい材料からなる枠状部材９が形成されている。枠状部材９の内側に位置するゲート−メタル層間膜５及びその上の絶縁膜１７，２３に枠状部材９よりも小さい平面寸法で開口部２５が形成されている。枠状部材９の内側に位置するＬＯＣＯＳ酸化膜３が除去されて空洞９が形成されている。空洞９は開口部２５と連通している。枠状部材９の内側に位置するゲート−メタル層間膜５の下面に検出部１１が設けられている。検出部１１の一部分は開口部２５に露出している。 （もっと読む）

【課題】シリコンまたは多の単結晶材料のエピタキシャル成長と両立し、かつ厚さに限定されず化学エッチングに対して良好な選択性をもつ犠牲層を有する基板を提供する。
【解決手段】少なくとも１種の単結晶材料の第１および第２の部分と、２つの単結晶ＳｉＧｅ層間に位置する少なくとも１つの単結晶Ｓｉ層からなるスタックによって構成された犠牲層とを含む不均質基板からコンポーネントを製造する方法であって、前記単結晶材料の前記第１の部分と前記第２の部分の間に配置されたスタックに対して、前記第１および／または第２の部分ならびに前記第１および／または第２のＳｉＧｅ層に、少なくとも１つの開口２０を、前記Ｓｉ層に到達するように形成するステップと、該開口を通じて前記Ｓｉ層の全部または一部を除去するステップからなる。 （もっと読む）

【課題】実装面へのダイの固定手段とダイの可動部との位置あわせを容易にする。
【解決手段】環状の接合面の内側に可動部が露出しているダイを実装面に固定する方法であって、前記ダイの対向する外側の二辺のそれぞれより長い内側の二辺が前記ダイの前記二辺の間の距離より短い距離だけ離れて平行に対向するように両面テープを前記実装面に貼付し、前記ダイの前記二辺が前記両面テープの前記内側の二辺と平行になるとともに前記両面テープの前記内側の二辺の両端部が前記ダイから露出する位置において前記両面テープに前記ダイの前記接合面を貼付する、ことを含む。 （もっと読む）

【課題】 機械電気変換装置の製造時に、素子の物理的強度を補強でき、素子の加工後には容易に短時間で剥離することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 基板とメンブレンとからなるエレメントを有する被処理基板に対し、後の裏面加工に耐えうるような流路を設けたハンドリング部材を用意し、前記素子内の少なくとも一部が前記ハンドリング部材により支持されるように、前記ハンドリング部材を前記被処理基板に固定する。 （もっと読む）

【課題】 被処理基板のハンドリング時や加工時にメンブレンが破損する確率を低下し、ハンドリング部材を被処理基板から迅速に除去する。
【解決手段】 本発明において、ハンドリング部材には、素子と固定する面に、素子と固定された状態で外部と連通する流路の一部を構成する溝が形成される。被処理基板とハンドリング部材との固定工程において、振動膜支持部のエッジ方向と、ハンドリング部材の溝のエッジ方向とが交差するように、ハンドリング部材を固定する。 （もっと読む）

【課題】透明な基板上に形成された少なくとも１つの光コンポーネントを有する光デバイスを提供すること。
【解決手段】基板（１０２）と、基板上に形成された第１及び第２の光コンポーネントとを有する光デバイスであって、第１の光コンポーネント（１０４）は、２つのモードを有し、各モードは、第１の光コンポーネントに入射した光に対する別々の光学的応答を生じ、第２の光コンポーネント（１０８）は、光を吸収し、第１のコンポーネントが形成される前に基板上に形成される。 （もっと読む）

【課題】異物の侵入などによって弁体部に開閉不良が生じた場合、確実にこれを検出することが可能なマイクロバルブを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１２は、開閉検出手段２６を構成する第１の電極（可動電極）を兼ねている。また、第２の基板２０の溝部２２において、ダイアフラム１２と対面する位置に、開閉検出手段２６を構成する第２の電極（固定電極）２８が形成される。 （もっと読む）

一つまたは複数の多孔質膜で分離された中央マイクロチャネルを有する本体を含むシステムおよび方法を提供する。膜は、中央マイクロチャネルを二つ以上の並列した中央マイクロチャネルに分割するように形成され、一つまたは複数の第一流体が第一中央マイクロチャネルを通じて適用され、一つまたは複数の第二流体が第二以降の中央マイクロチャネルを通じて適用される。各多孔質膜の表面は細胞の付着を支持するため細胞接着分子でコートすることができ、かつ膜の上面または下面における細胞の組織化を促進する。細孔は、ガスおよび小さい化学物質を交換できる程度の大きさ、または大きいタンパク質および生体細胞全体の移行とチャネル通過ができる程度の大きさにすることができる。流体圧力、流量およびチャネルの形態を変えることによっても、一方または両方の組織層に所望の機械力を印加することができる。

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