【課題】画素内の配線を減らし、量産上の歩留りを上げると共に、低コスト化を図ることのできる画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置は、マトリクス状に配列された画素において、画素毎に設けられ、透明基板（３６）上で透明基板に平行に移動し、光の透過及び遮断を行う機械的シャッタ部（２６）と、透明基板上で機械的シャッタ部を挟むように配置される一対の制御電極（２５，２７）と、この一対の制御電極に、予め定められたタイミングで、制御電極のための高電圧及び低電圧をそれぞれに交互に印加する制御電極駆動回路と、画素毎に設けられ、画素毎の階調値に応じたタイミングで、信号線を介して設定される高電圧及び低電圧のいずれかを印加することにより、機械的シャッタ部の動作を静電的に制御するシャッタ制御回路を備える。 （もっと読む）

【課題】金属粒子を使用した微小サイズの半導体スイッチ素子を提供する。
【解決手段】半導体スイッチ素子は、所定の深さの孔１０５が設けられた第１絶縁膜１０１と、前記第１絶縁膜上に前記孔を挟んで互いに対向して設けられた第１配線１０３ａ及び第２配線１０３ｂと、前記孔内に前記第１配線及び前記第２配線との間に間隔を空けて配置された金属粒子１０６と、前記第１配線及び前記第２配線上に設けられた第２絶縁膜１０４と、前記金属粒子の上方に設けられた第３配線２０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 幅広い流量範囲に対応し、多品種生産を可能にするマイクロ化学装置及び化学物質製造方法を提供する。
【解決手段】 流体を供給するための複数の供給流路と、前記複数の供給流路の末端が接続され、供給された流体を合流させるための合流部と、前記合流部に接続され、合流部から流入してきた流体を外部に流出させる反応流路と、を備え、前記複数の供給流路のうち少なくとも１つは、複数に分割されて前記合流部に接続され、前記複数の供給流路の底面と、前記反応流路の底面と、が可動プレートで構成され、 前記可動プレートは、流路の深さを変える方向に摺動可能に構成されたマイクロ化学装置。 （もっと読む）

【課題】接触抵抗を低減して挿入損失を抑制することが可能な有接点スイッチを提供する。
【解決手段】有接点スイッチ１は、基板１１に並列配置された複数の固定接点電極１４と、複数の固定接点電極１４に対向して複数の接点梁１２ａを有すると共に、基板１１面内を固定接点電極１４の配列方向に沿って摺動可能なプッシュロッド１２と、接点梁１２ａに設けられた可動接点電極１３とを備える。プッシュロッド１２の摺動動作により、固定接点電極１４と可動接点電極１３との接触状態および非接触状態が切り替えられ、伝送線路１５を機械的に継断する。固定接点電極１４および可動接点電極１３の組（接点対１０）が並列化した接点構造が実現され、全ての接点対１０における接触が同時に一括して行われつつも、各接点対１０における接触は互いに独立なものとなる。各接点同士は十分な接触圧で略均等に接触し易くなる。 （もっと読む）

【課題】本発明の一実施形態は、作動が速く、衝撃と動きに強い微細液体金属液滴を用いたＲＦＭＥＭＳスイッチを提供することである。
【解決手段】本発明の一実施形態にかかる微細液体金属液滴を用いたＲＦＭＥＭＳスイッチは、信号伝達線を備える第１レイヤ部材と、前記第１レイヤ部材上に配置され、前記信号伝達線に対応して微細液体金属液滴の形状変化を誘導するようにチャンバを形成し、前記チャンバで形状変化する前記微細液体金属液滴を前記信号伝達線に接触／非接触させるように前記チャンバの一側に貫通口を形成する第２レイヤ部材と、前記第２レイヤ部材上に配置され、前記チャンバの開放側を介して前記微細液体金属液滴に形状変化力を提供するように前記チャンバの開放側に備えられる作動部材と、前記作動部材の位置を設定し、前記第１レイヤ部材および前記第２レイヤ部材に結合される第３レイヤ部材とを含む。
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【課題】スイッチを切り替えるための駆動力を低減し、小型化、低コスト化を図ることができ、加えて、長寿命化を図り、耐久性を向上させることができるようにする。
【解決手段】マイクロマシニング技術を用いて製作され、内部に空洞１６が形成された構造部材１２、１３、１４を備え、構造部材１２の空洞１６に面する面において、互いに離間されて２つの信号用接点２２ａ、２３ａが形成される。空洞１６内には、空洞１６内において構造部材のいずれの部分とも連結されない可動部材２０が配置される。可動部材２０は空洞１６内で移動駆動され、可動部材２０の導体２０ａが２つの信号用接点２２ａ、２３ａに対して接触した第１スイッチ切替状態と、２つの信号用接点２２ａ、２３ａに対して離反した第２スイッチ切替状態とに、切替可能となっている。 （もっと読む）

【課題】磁気駆動マイクロツールの動きを正確に制御することができる磁気駆動マイクロツールの駆動機構およびマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】電磁石から成る磁力発生体２１を有している。磁力発生体２１は、電磁石に交流電流を流して周期的に極性を反転し、磁性を有する磁気駆動マイクロツール１２に磁力を作用させるよう構成されている。電磁石は、芯の少なくとも一方の端部に、コイルの端部から突出して、芯の長さ方向に沿って筒状または柱状に形成された突出部２１ａを有していてもよい。また、磁力発生体２１と磁気駆動マイクロツール１２との間に配置された、透磁率の大きい材質から成る薄膜２２を有していてもよい。 （もっと読む）

本装置は、ラブ・オン・ア・チップ・システム内の流体流を制御する役目を果たす。この装置は、ｎ個の列Ｓ_nおよびｍ個の行Ｚ_mに配置され、フローチャネル（４）内の流体流を制御するようにそれぞれ設計された複数のバルブからなるバルブアレイを有している。アレイは少なくとも２つのバルブを含み、各列Ｓ_nは最多でも１つのバルブを有し、各行Ｚ_mは０〜ｎ個のバルブを有している。バルブの操作機構（１３）が設けられている。バルブは押圧力を介して操作される。本装置を製造するために、バルブの配置に応じてフローチャネル（４）が配置される。 （もっと読む）

本発明は、マイクロシステム技術を用いて構成された容積型ポンプに関し、好ましくは、真空ポンプとして用いられる容積型ポンプに関する。
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【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）

流体回路中の負荷への加圧された流体の供給を制御し、圧力フィードバックを与える複数の内部流体導管を有する、マイクロバルブ・デバイス。
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【課題】 固定子と移動子との間で作用する強い静電力と弱い摩擦力により高い駆動効率を安定して得ることができ、しかも構成が簡単な静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 固定子基材とその表面に形成した電極とを有する固定子と、電極の電位に応じた電荷が誘起される移動子基材を有する移動子を備え、固定子基材の電極を形成した表面に対して反対側に前記移動子基材を対面して配置するようにした。また、固定子基材の電極を形成した表面に密着して形成された絶縁体を備える。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を実現するため送液機構として１つのバルブ機構を設けることによって、定量的な混合が可能なマイクロ流体混合装置を提供する。
【解決手段】複数の流体をバルブを用いて順次に混合流路に供給して混合するマイクロ流体混合装置であって、複数の流体をバルブに注入する複数の注入流路と、該注入流路から注入された複数の流体を収納する複数の貫通流路を有する移動可能なバルブと、該バルブに接して設けられ、複数の貫通流路に収納された流体を加圧により外部に移送する加圧流路と、該加圧流路の加圧により貫通流路から移送された複数の流体を収納して混合する混合流路と、前記バルブを移動させることにより複数の貫通流路に収納された複数の流体を加圧により順次混合流路に供給するバルブ移動手段を有するマイクロ流体混合装置。 （もっと読む）

【課題】耐圧性に優れた流体制御バルブを有するマイクロチップを提供する
【解決手段】内部に流路ＦＡが形成されたチップ本体と、流路ＦＡを開閉する流体制御バルブ４０と、を備えたマイクロチップであって、流体制御バルブ４０は、チップ本体に形成され流路ＦＡに連通する孔部４１と、孔部４１に挿入された閉塞部材４２と、孔部４１と閉塞部材４２との間に充填され閉塞部材４２を流路ＦＡ側に変位可能に支持する充填部材４３と、充填部材４３の孔部４１からの離脱を防止する離脱防止手段４４と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流路からの漏れを軽減し、コンタミネーションの発生を抑制できる簡素な構造のマイクロ流体装置を提供する。
【解決手段】マイクロ流体装置は、マイクロ流体チップ１１と超音波ステータ１４とを有し、マイクロ流体チップ１１は超音波ステータ１４に形成された保持部１５に保持される。マイクロ流体チップ１１は、微小な流路１２を有する基板１８からなる。流路１２の内部には、弁体１３が移動可能に設置されている。上流側の流路１２の断面積は下流側の断面積よりも大きく、弁体１３が流路１２の下流側へ移動した場合、下流側の流路１２が塞がれ、流路１２が分断される。弁体１３が流路１２の上流側へ移動した場合、流路１２が連結された状態となる。弁体１３の移動は、超音波ステータ１４が発振する進行波によって行われる。進行波は保持部１５を介してマイクロ流体チップ１１の基板１８に伝えられ、弁体１３はその進行波の進行方向に応じて移動する。 （もっと読む）

薄膜バルブ装置の本体のホールまたはチャンネルを、熱発生装置から発生する熱及び遠心力によって開閉する薄膜バルブ装置及び薄膜バルブ制御装置が提供される。該薄膜バルブ装置及び薄膜バルブ制御装置は、例えば、流体中の微量の物質を検出できる診断ラボオンチップと、蛋白質チップ及びＤＮＡチップのようなバイオチップが集積されている回転可能なバイオディスクなどに適用可能である。
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【課題】種類の異なる流体間の接触面積を増加させ、それら流体の反応効率を向上することができるマイクロ流体装置及び流体接触方法を提供することにある。
【解決手段】マイクロリアクタ１は、注入された２つの原料液Ｌ１，Ｌ２を分岐してそれぞれ排出する流体分岐部１０と、流体分岐部１０から排出された２つの原料液Ｌ１，Ｌ２が流れる流路１１と、流体分岐部１０を支持するとともに制御電圧により所定のストロークで往復移動を行うピエゾステージ１２とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】高速に光接続強度の最適値を求める。
【解決手段】摂動パターン設定部１０２は、摂動パターンに基づいてミラーを摂動させる。誤差演算補正部１０４は、操作量Ｖ_xおよび操作量Ｖ_yならびに検出部７により検出される出力光の光強度を座標軸とする３次元空間における光強度分布形状に対して仮定した曲面形状数式モデルの各次数の係数を光強度分布関数曲面形状を同定することにより決定し、当該曲面形状の最大値に基づいて１の入力ポートと１の出力ポートに対する最適な操作量を演算する。スイッチング部１０１は、誤差演算補正部１０４により算出された操作量に応じた駆動電圧を電極に印加する。これにより最大光強度を得る制御電圧を求めることが可能となり、１回の摂動で探索を終了して高速なスイッチングを実現することができるので、結果として、高速に光接続強度の最適値を求めることができる。 （もっと読む）