【課題】液体の前進および停止を任意のタイミングで制御することが可能な、コンパクトな流路チップ１００を提供する。
【解決手段】流路チップ１００は、第１開放路１１２、第２開放路１１３、第１導入路１０２、第１合流路１０３、及び、第１交差位置と第２交差位置との間、あるいは、第２交差位置に配設され、第１導入路１０２および第１合流路１０３から流路１１４へ導入される液体の流れを制御するバルブ１４１を備える。 （もっと読む）

【課題】簡便で精度の高い分析を可能とするマイクロチップの提供。
【解決手段】流路において、流路壁の一部が変形することによって、流路内空へ突出して、流路が狭窄又は閉塞される逆流防止構造が形成されるマイクロチップを提供する。逆流防止構造が流路内に形成されることによって、ウェルに充填された溶液の逆流が妨げられ、ウェル間での溶液の通流による汚染が防止され、マイクロチップ内の複数のウェルにおいて、異なる分析を同時に行う場合であっても、精度の高い分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】振動の減衰時間を減少させ、機械振動子の動作を高速化する。
【解決手段】微小機械振動子は、基板（１０４）上に形成された２つの支持部（１１３，１１４）と、２つの異なる振動モードを有する両持ち梁部（１０８）と、両持ち梁部を第１の振動モードで励振する励振手段となる交流電源（４１１）と、両持ち梁部を第１の振動モードおよび第２の振動モードが混合した状態で振動させる混合手段となる交流電源（４１３）と、両持ち梁部を第１の振動モードで励振する状態から、第１の振動モードおよび第２の振動モードが混合した状態に切り換える切換手段となるスイッチ（４１２，４１４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）

【課題】 気液界面でも安定した高い信号雑音比（ＳＮＲ）を得ることができる、気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサを提供する。
【解決手段】 気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサにおいて、シリコン薄膜に数μｍの単位の幅のスリット２Ｂを形成することによって作製されたカンチレバー２Ａを、気体と溶液の気液界面に配置することにより、気体４に面する面における親水性負荷を取り除き高い信号雑音比（ＳＮＲ）が得られるようにし、レーザーを用いて駆動した前記カンチレバー２Ａの共振周波数を前記気体４側に配置した監視装置５によって測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造プロセスで作製する。
【解決手段】マイクロミラー３２は、ヒンジ２５ａをミラー１４の下に隠した構成になっている。ミラー１４の下面中央には、支持柱１６の一端１６ａが接続されている。支持柱１６の他端１６ｂには、支持柱１６の径方向に長い形状をしたヒンジ２５ａが力点コネクタ２６ａを介して接続されている。一端１６ａと他端１６ｂとの間には、支点部材２８ｂが支点コネクタ２９ａを介して接続されている。支持柱１６は、ヒンジ２５ａの熱膨張を利用して、他端１６ｂが力点コネクタ２６ａにより径方向に押圧され、支点コネクタ２９ａを支点として一端１６ａでミラー１４を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】反射面の傾き変位を精度よく検出できる光走査装置を提供すること。
【解決手段】反射面３０ａを備えた可動板３０と、一対のトーション梁３１，３２と、２組の一対のカンチレバー２１，２２、２３，２４と、支持枠１０と、可動板３０の変位に応じて生じる機械的変位を電気信号に変換するセンサ部４１ｄ，４２ｄ，４３ｄ，４４ｄと、を備えた光走査装置であって、トーション梁３１，３２と可動板３０とを連結する連結部４１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａが、可動板３０の往復傾動時にトーション梁３１，３２と可動板３０との相対変位に応じて変位可能なように、その中間部がトーション梁３１および可動板３０に対しスリット４１ｃ，４２ｃ，４３ｃ，４４ｃを介在させた離間状態で設けられ、連結部４１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａにセンサ部４１ｄ，４２ｄ，４３ｄ，４４ｄが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】空間光変調器内で使用するための光キャビティ２００は、前部反射面２０２と後部反射面２０４とを含む。前部反射面２０２は、光透過領域２０６のアレイを含み、光透過領域２０６を通して、光２０８は、光キャビティ２００を脱出することが可能である。光２０８は、１つ以上の光源２１０から光キャビティ２００に入る。光２０８は、光透過領域２０６のうちの１つを通して反射されるまで、前部および後部反射面２０２および２０４の間で反射される。 （もっと読む）

【課題】駆動時の振動や電気ノイズを抑制するとともに、小型・軽量化が可能な流量調整デバイスを提供すること。
【解決手段】流量調整デバイス１０は、管１００内を流れる流体の流量を調整するデバイス（マイクロバルブ）であり、管１００内に設置され、温度変化により体積が膨張または収縮する変形部１と、該変形部１の外周の一部を覆うように設けられた黒色の板状部材２と、当該板状部材に対してレーザを照射するレーザ照射手段３とを備えている。板状部材２にレーザ照射手段３よりレーザを照射して板状部材２を加熱することにより、変形部１の温度を調整するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの位置を正確に制御するアクチュエータ装置。
【解決手段】制御信号に応じて動作するアクチュエータと、アクチュエータを動作させる場合において、アクチュエータの温度を基準温度とする制御信号を供給する制御部と、を備えるアクチュエータ装置、試験装置、およびアクチュエータ制御方法を提供する。アクチュエータの温度を検出する温度検出部を更に備え、温度検出部は、アクチュエータの温度を検出し、制御部は、温度検出部が検出した温度に応じてアクチュエータに供給する制御信号の大きさを制御する。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーの配置効率を高めて、より一層小型化、低コスト化を図ることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、入射光を反射する反射面５５ａを有する可動板５５と、可動板を回動可能に支持しかつ可動板から互いに反対方向に延びるトーション梁５６，５７と、一端が固定端とされかつ他端が可動端とされて可動端にトーション梁の終端がそれぞれ連結されしかも曲げ振動により可動板を往復回転させるカンチレバー５１，５２と、このカンチレバーの固定端が接続されかつ内側に前記カンチレバーとトーション梁と可動板とが配設されて、カンチレバーとトーション梁と可動板とを支持する支持枠５０とを備え、カンチレバーの少なくとも一部がトーション梁の延びる方向を長手方向としてこの長手方向に対して略平行でかつトーション梁に隣接して配置された長手方向部とされている。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を克服できるマイクロ流体チップデバイスとその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体チップデバイスが提供される。マイクロ流体チップデバイスは、基板層（２）とマイクロ流体層（３）を含むマイクロ流体チップデバイスとする。基板層（２）は、形状記憶高分子により形成され、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に体積変動が生じる変形可能部分（２１）を含む。マイクロ流体層（３）は、基板層（２）にラミネートされており、変形可能部分（２１）と流体連通されたマイクロチャンネル（３１）を有する。変形可能部分（２１）は、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に、マイクロチャンネル（３１）内に流体駆動圧を発生させる。マイクロ流体チップデバイスの製造方法も提供される。 （もっと読む）

連続して、可撓性ダイヤフラム（２）、ポンプ室（４）及び遮蔽板（３）を含んでなるスタックの形のマイクロポンプであって、該ポンプ室（４）は、例えば可撓性ダイヤフラム（２）を介して外部と連通し；該ダイヤフラム（２）は、マイクロポンプの外側に配置されるアクチュエータ（５）に更に固定されており、上記ダイアフラム（２）は、その主軸に沿って剛性で、そしてその主軸に対して垂直方向には可撓性であるストリップ（６）の形の少なくとも１つのエレメントによって、アクチュエータ（５）に固定されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単に作成される封入装置を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも微小空洞の一部を構成することのできる封入膜１２を備え、支持体１０上に形成される前記微小空洞内に素子を封入するための装置に関し、この装置は、封入膜を支持体に機械的に装着する少なくとも１つの腕を備え、この腕は、封入膜が封入される素子の上に覆い被さり、その周縁が、封入される素子の周りに広がる開口を構成する開放位置と、この開口を塞ぐため、封入膜の周縁が支持体上に配置される閉塞位置との間で膜を移動させるために曲がることができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】水平駆動ミラーを形成すると共に、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは２つ以上の支持要素を介してフレーム構造（３）に接続し、このフレーム構造に対して水平方向に動作するミラープレート（１）を含むマイクロメカニカルミラー構造であって、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは全ての支持要素（２）とミラープレート（１）との接続領域（４）を、ミラープレートの外側縁（５）からミラープレートの中心（６）の方へと内側にオフセットさせて配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【構成】本発明は、周囲環境および真空環境内でμｍサイズの物体およびｎｍサイズの物体を掴みこれを能動的にリリースできる素子を形成する設計および製造方法に関する。掴む動作は一つかそれ以上のマイクロアクチュエーターによって行い、迅速かつ正確な上に、再現性の高い能動的なリリースは、密着している物体に高速プランジ作用構造体による衝撃を与えることによって行う。本発明の新規なマイクログリップ作用素子およびナノグリップ作用素子を製造する２つの製造方法も本発明の範囲内に含まれる。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）

【課題】インク吐出用のマイクロメカニカルなプランジャの耐久性を向上する。
【解決手段】パドル８は、ノズルチャンバ２内からノズルチャンバ２の１つの壁において規定されたインク噴出ノズル４を通って液体を噴出する。パドル８は、使用中はインク噴出ノズル４に対向しインク噴出ノズル４から間隔を置いて配置された略平らなプランジャ表面を提供するように構成された第１の部分と、第１の部分の周辺におけるプランジャ表面上に形成されて第１の部分の構造上の支持を行う第２の部分とを含み、それによって、使用中、プランジャが作動してインクを、インク噴出ノズル２を通って噴出している間、第２の部分がスペーサとしての役割を果たして、プランジャ表面がインク噴出ノズル４に触れるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】改良された特性を有するマイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子を監視するための空間を節約するセンサを提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子１００は、可動機能素子１１０と、第１から第４の保持素子１２０、１３０、１４０、１５０とを備える。第１の保持素子および機能素子が第１の接合１２２で接続され、第２の保持素子および機能素子が、第２の接合１３２で接続され、第３の保持素子および機能素子が、第３の接合１４２で接続され、かつ第４の保持素子および機能素子が、第４の接合１５２で接続される。また、第１の保持素子および第２の保持素子は、各々圧電駆動素子１２４、１３４を含み、第１の保持素子の駆動素子および第２の保持素子の駆動素子が、電気励起により機能素子を動かすよう構成される。 （もっと読む）

マイクロバルブ・デバイスは、本体と、本体に対して移動するように支持されたバルブ要素と、バルブ要素を正常な移動範囲で移動させるようにバルブ要素に動作可能に接続されたアクチュエータとを含む。移動制限構造は、バルブ要素およびアクチュエータのうちの少なくとも一方と動作可能に協働して、破壊応力の限界を超えることによって本体、バルブ要素、またはアクチュエータが破壊するのを防止するために、バルブ要素またはアクチュエータが正常な移動範囲の外に移動する距離を効果的に制限する。こうした移動制限構造を有するマイクロバルブを形成する方法も開示する。
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