【課題】本発明は、光走査装置等の構造体のパッケージングを行う場合に、温度上昇に伴う特性低下を防止することができる構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】表面の所定領域３２、３６内に電極パッド３１、３５を有する第１の部品４０、４２、４３が、第２の部品５０、５３、５６上に接着剤６０、６１、６２で接着固定され、該第２の部品５０、５３、５６が端子パッド７１、７４、７７を有する基板７０、７３、７６上に接着固定され、前記電極パッド３１、３５と前記端子パッド７１、７４、７７とが超音波ボンディングされた構造体であって、
前記第２の部品５０、５３、５６は、前記第１の部品４０、４２、４３との接着面の前記所定領域３２、３６と重なる領域にボス５１、５４、５７を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板と可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスにおいて、長期間にわたってスティッキングを確実に防止することが可能な技術を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板と可動構造体を備えるＭＥＭＳデバイスとして具現化される。その可動構造体は、基板の上方に間隙を隔てて配置される可動部と、絶縁膜を介して基板に固定される固定部と、可動部と固定部を連結する支持梁を備えている。そのＭＥＭＳデバイスは、可動構造体の下面側に、可動構造体から連続的に形成された第１凸部を有している。そのＭＥＭＳデバイスは、基板の上面側に、基板から連続的に形成された第２凸部を有している。そのＭＥＭＳデバイスでは、第１凸部と第２凸部がほぼ同じ大きさで、互いに対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】フレア光の発生を抑えつつ、ＭＥＭＳミラーの動作の安定化を図ることができる光走査装置を提供することに。
【解決手段】レーザーダイオード（光源）と、該レーザーダイオードから出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、前記レーザーダイオードから出射される光ビームを前記ＭＥＭＳミラー上に線状に結像させる自由曲面ミラー（結像素子）と、前記ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを被走査面上に結像させる走査レンズ３３，３４を備えた光走査装置１３において、パッケージ壁３１とその開口部を覆うパッケージカバー及びカバーガラス３０によってＭＥＭＳ室３１を形成し、該ＭＥＭＳ室３１に前記レーザーダイオードと前記ＭＥＭＳミラー及び前記自由曲面ミラーを収容するとともに、ＭＥＭＳ室３１を気密封止する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極５４３を備え、これらの固定部分電極５４３は、等角度間隔で配置され、可動電極５４２は、平面視において固定部分電極５４３と同一形状に形成され、かつ固定部分電極５４３と重なる複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３および可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、２つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、消費電力の増加、偏向角や走査性能の低下を招くことのないマイクロスキャナを提供する。
【解決手段】接続部５が、主軸部３又はアクチュエータ４の少なくとも一方と第１伝達部５３（５４）を介して接続されるトーションバー５１を有するとともに、主軸部３とアクチュエータ４との間に第２伝達部５２で連結される部分を有しているマイクロスキャナＯＳ。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する故障発生の低減を図ることのできるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置３０は、枠部材１と、枠部材１に梁部材３を介して回動可能に支持された可動部２とを備え、両梁部材３を回動軸として可動部２を枠部材１に対して回動させるアクチュエータ装置において、両梁部材３の回動軸線上にダンパー部材４を設けた。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができるとともに、可動板を安定して、できる限り大きく回動させることができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する可動板２と、可動板２の外周側で可動板２を支持する支持部３と、可動板２と支持部３とを連結し、可動板２の外周部にその周方向に沿って等間隔に配置された連結部４〜７とを有している。各連結部４〜７は、それぞれ、可動板２と離間配置され、支持部３に対して回動可能な駆動部４１と、可動板２と駆動部４１とを連結する長尺状をなす第１の軸部４２とを備えている。第１の軸部４２は、その一端が可動板に連結される可動板側連結点４２４となり、他端が駆動部４１に連結される駆動部側連結点４２５となるものであり、可動板側連結点４２４が可動板２を介して駆動部側連結点４２５と反対側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法、波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】固定基板１１と、可動部１２１および保持部１２２を有する可動基板１２と、固定反射膜１６と、可動反射膜１７と、固定反射膜１６および可動反射膜１７のギャップＧを可変させる静電アクチュエーター１４と、を備えた波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２よりも大きい剛性を有する固定基板１１を製造する固定基板製造工程と、第一熱膨張係数よりも値が大きい第二熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２を製造する可動基板製造工程と、固定基板１１および可動基板１２を第一温度まで加熱した状態で接合する接合工程を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】光を走査する際の高速性を損なわずにミラー部の温度上昇を抑制することが可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】光を反射する反射面１ａを有するミラー部１と、ミラー部１の両端部に設けられ、ミラー部１を、反射面１ａに平行に延びてミラー部１の両端部と交差する軸を中心として回転方向に往復振動可能に支持する複数対の捻りバネ５６と、複数対の捻りバネ５６を同時に駆動してミラー部１の往復振動を生じさせる駆動部４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、迷光が被投影面に照射されるのを防止することのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、支持部と、可動板を支持部に対して回動可能に連結する１対の連結部とを有し、各連結部は、１対の梁部材で構成され、１対の梁部材間の距離は、可動板の回動中心軸（軸線ａ）に平行な方向からみたときに、可動板の一方の面側から他方の面側に向けて幅が漸増しており、１対の梁部材の前記一方の面側の端同士の間の距離をＷ_１とし、１対の梁部材の可動板の厚さ方向での厚さをｔとしたとき、下記式（１）を満たす。
【数１】
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【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１、５１、６１、７１と、駆動部４１、５１、６１、７１と可動板２とを連結する第１の軸部４２、５２、６２、７２とを備える４つの連結部４、５、６、７と、可動板２を支持部３に対して変位させる変位手段８とを有し、各連結部４、５、６、７は、各駆動部４１、５１、６１、７１は、Ｚ軸方向に変位可能に設けられ、各第１の軸部４２、５２、６２、７２は、駆動部４１、５１、６１、７１の変位に伴って、Ｚ軸方向に屈曲変形するように構成され、変位手段８は、各駆動部４１、５１、６１、７１をＺ軸方向に変位させる。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１、５１、６１、７１と、駆動部４１、５１、６１、７１と可動板２とを連結する第１の軸部４２、５２、６２、７２とを備える４つの連結部４、５、６、７と、可動板２を支持部３に対して変位させる変位手段８とを有し、各連結部４、５、６、７は、駆動部４１、５１、６１、７１をＺ軸方向に変位させるとともに第１の軸部４２、５２、６２、７２の延在方向およびＺ軸の双方に直交する方向に延びる軸線まわりに回動させることにより、第１の軸部４２、５２、６２、７２をＺ軸方向に屈曲変形させ、可動板２を変位させる。 （もっと読む）

【課題】複数の光変調器（９１）及び該複数の光変調器の反射面上の複数のフィルター素子（９５）を含む表示装置（９０）が提供される。
【解決手段】複数の光変調器（９１）が、第１の組の光変調器（９２）及び第２の組の光変調器（９４）を含む。複数の光変調器（９１）の各光変調器が、少なくとも第１状態、第２状態、及び第３状態の間で選択的に切り替えられるように構成される。各状態が、異なるスペクトル反射を有する。複数のフィルター素子（９５）が、第１の組の光変調器（９２）に対応する第１の組のフィルター素子（９６）及び第２の組の光変調器（９４）に対応する第２の組のフィルター素子（９８）を含む。第１の組のフィルター素子（９６）が、第２の組のフィルター素子（９８）と異なる分光透過率を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造プロセスで作製する。
【解決手段】マイクロミラー３２は、ヒンジ２５ａをミラー１４の下に隠した構成になっている。ミラー１４の下面中央には、支持柱１６の一端１６ａが接続されている。支持柱１６の他端１６ｂには、支持柱１６の径方向に長い形状をしたヒンジ２５ａが力点コネクタ２６ａを介して接続されている。一端１６ａと他端１６ｂとの間には、支点部材２８ｂが支点コネクタ２９ａを介して接続されている。支持柱１６は、ヒンジ２５ａの熱膨張を利用して、他端１６ｂが力点コネクタ２６ａにより径方向に押圧され、支点コネクタ２９ａを支点として一端１６ａでミラー１４を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー構成の光偏向器において、ミラー部にレーザ光等の光が照射された時の、該ミラー部を回転可能に支持している捻りバネ部に熱が伝達されることによる特性の変動を抑制する。
【解決手段】ミラー部１０を固定ベース３０に対して揺動可能に支持する弾性支持部２０の表面上、さらには固定ベース３０の表面上に、該弾性支持部材２０及び固定ベース３０を構成している母材よりも熱伝導率の高い高熱伝導部材４０を積層・形成する。さらに、ミラー部１０の反射面に形成される反射膜も、該高熱伝導部材４０で一体的に形成する。 （もっと読む）