【課題】光反射面（全反射ミラー）を安定して自在に回動させるための制御が容易である、光スキャナーを提供する。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射面３ａを有する反射板３と、反射板３を支持する支持部材４１と、支持部材４１を介して反射板３を保持する可動部２と、可動部２から光反射面３ａと平行にそれぞれ延出し、中間部分に屈曲部７，８を有する一対の可動梁５，６と、可動梁５，６に直結し可動梁５，６を介して可動部２へ変位を付与する変位部２１，３１を有し、可動梁５，６の延出方向の端部にそれぞれ設けられた第１駆動装置２０，３０と、変位部２１，３１から延出し、光反射面３ａと平行し且つ可動梁５，６の延出方向と直交している一対の駆動梁９，１０と、駆動梁９，１０を固定するための支持枠１５と、可動部２へ、第１駆動装置２０，３０とは異なる変位を、直接付与する第２駆動装置４０と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光走査装置の走査特性を向上することのできる技術を提供する。
【解決手段】枠部２２と、枠部２２で囲まれた開口部２７に一端側を固定して固定端が形成され、他端側に自由端が形成されたプレート本体部２３と、を有するプレート部２０と、自由端を切り欠くように形成された一対のプレート舌部２３ｂの間で、ヒンジ部２５によって揺動可能に軸支されたミラー部２１と、プレート本体部２３に設けられ、プレート本体部２３を撓ませることによってミラー部２１を揺動する振動源２４と、ヒンジ部２５の軸方向に設けられ、プレート舌部２３ｂと枠部２２とを接続する支持梁部２６と、を備えており、支持梁部２６が分岐して枠部２２と接続されている。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、かつ、十分な駆動力を得ることが可能な電磁力利用の光装置装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０、フレーム部２０、及び、ミラー部１０をフレーム部２０に支持する一対のトーションバー部１１などを磁性薄膜で一体的に形成する。そして、外部から印加される交流磁界と主としてミラー部１０の磁化成分との電磁力により、トーションバー部を捻り回転軸としてミラー部を往復振動させるための駆動トルクを発生させる。トーションバー部１１とフレーム部２０との連結部分１２は非磁性化又は弱磁性化することでもよい。 （もっと読む）

【課題】光走査装置の走査性能を向上することのできる技術を提供する。
【解決手段】プレート部２０が、本体部２３と、本体部２３とミラー部２１を連結するヒンジ部と、本体部２３および前記ヒンジ部を囲む枠部２２とを有している。本体部２３は、枠部２２の片持部により片持ちされている。プレート部２０が、枠部２２で支持されて下ケース部４０に設けられており、上ケース部５０が、枠部２２を押さえて下ケース部４０と組み付けられている。そして、枠部２２と上ケース部５０との間で挟まれる弾性を有するスペーサ６０を備えている。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸まわりに安定して回動させることができる可動板の回動する軸との偏りを押さえ、正確な画像を実現する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射部材と、前記光反射部材を支持する支持部材と、前記光反射部材を支持する可動部と、前記可動部より延出し、中間部に屈曲部を備え、前記可動部を挟んで対向配置される少なくとも一対の可動梁と、前記可動梁の前記可動部の反対側の延出方向に前記可動梁に固定された変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、を備える駆動装置と、前記変位部より、前記光反射面の略面方向に延出する２つの駆動梁と、前記駆動梁が固定される支持枠と、を備える振動基板と、前記振動基板を載置し固定する固定面を備える基台と、を備え、前記支持部材の前記可動部側の端部が、前記可動部の前記光反射部材側の端面より、前記光反射部材から離間する位置で固定される光スキャナー。 （もっと読む）

【課題】大型化するのを抑制するとともに、駆動部が未駆動の状態において、ミラー部が固定端に対して傾斜するのを抑制することが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、軸線４００回りに揺動可能なＡ方向光走査部１０と、自由端Ｓ１と固定端Ｓ２とを含み、変形することによってＡ方向光走査部１０を揺動させるための駆動ユニット４０と、Ａ方向光走査部１０と駆動ユニット４０との間に軸線４００に沿って延びるように設けられ、Ａ方向光走査部１０を揺動可能に支持する回動軸３０とを備え、駆動ユニット４０の自由端Ｓ１は回動軸３０に接続されるとともに、駆動ユニット４０の固定端Ｓ２は駆動ユニット４０のＡ方向光走査部１０側（Ｘ２側）で、かつ、回動軸３０の近傍で固定されている。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部と、可動部を基板の上方に離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持する可撓梁と、可動部を揺動させるアクチュエータと、基板上に設置されているとともに可撓梁の下方から可撓梁に接離可能な下限規制部と、を備えている。揺動軸に垂直な断面における可撓梁の下面の形状が、下限規制部の上方に位置する領域において、曲面を有して下方へ突起している形状とされているか、または、揺動軸に垂直な断面における下限規制部の上面の形状が、曲面を有して上方へ突起している形状とされている。 （もっと読む）

【課題】固定個所の変形などの影響を支持部は受けない構成とでき、デバイス部をホルダ部に固定する位置精度を向上させつつ固定強度を良好にすることができる構造体及びその固定方法を提供する。
【解決手段】構造体はホルダ部１とデバイス部２と、を有する。デバイス部２は、一体的に形成された接着部３と弾性部４と支持部５とを備え、支持部５は弾性部４で接着部３に対して弾性支持される。ホルダ部１は、周辺部より高い段差部６を有する。接着部３は、ホルダ部１の周辺部に固定され、支持部５は、弾性変形した弾性部４の復元力により段差部６に当接させられている。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、可動部と、可動部を基板から離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持している可撓梁と、可動部の下面に対向する位置において基板に設けられている固定電極と、可動部に設けられている可動電極と、を備えている。可動部の下面には、基板側へ突出している突起部が形成されている。突起部は、可動部の揺動軸を含み可動部に垂直な面の面内に頂点を有している。可動部を揺動させている期間において、突起部が基板に接触している。 （もっと読む）

【課題】支持構造を有するＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの実施形態は、導電性の移動可能層を含み、該移動可能層は、ギャップによって導電性の固定層から隔てられ、導電性の移動可能層内のくぼみの上にある剛性の支持構造もしくはリベットによって、または導電性の移動可能層内のくぼみの下にある柱によって支持される。特定の実施形態では、リベット構造の部分は、移動可能層を通って下の層に接触する。他の実施形態では、剛性の支持構造の形成に使用される材料を、ＭＥＭＳデバイスと電気的に接続する不動態化を経ないと曝されるであろうリードを不動態化して、これらのリードを損傷またはその他の干渉から保護するためにも用いることができる。 （もっと読む）

【課題】パッドから取り出す電気信号のＳ／Ｎ比を向上させることが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板１００を用いて形成されたミラー形成基板（デバイス本体）１を備える。ミラー形成基板１は、第１のシリコン層１００ａに形成され電気信号を生成する可動電極（機能部）２２と、第１のシリコン層１００ａ上に形成され電気信号を取り出すためのパッド１３ａと、第１のシリコン層１００ａにおいてパッド１３ａが形成された島状の導電部１１ａｃとを有する。導電部１１ａｃと第１のシリコン層１００ａにおける導電部１１ａｃの周辺部位とを絶縁分離するように第１のシリコン層１００ａに第１の分離部１０ａａが形成され、第２のシリコン層１００ｂのうち導電部１１ａｃおよび絶縁層１００ｃとともに寄生コンデンサを構成する部分の面積を低減するように第２のシリコン層１００ｂに第２の分離部１０ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーに損傷を与えずにＭＥＭＳミラーを基板から分離する方法を提供する。
【解決手段】ミラーデバイス体が支持部４ｂに支持された基板２０の支持部４ｂにレーザー光７４を集光して照射し、支持部４ｂに改質部７５を形成する改質部形成工程と、支持部４ｂに力を加えて支持部４ｂを切断しミラーデバイス体２と基板２０とを分離する分離工程と、を有し、支持部４ｂの断面形状は台形に形成され、改質部形成工程では台形の平行な２辺のうち長い方の辺の側からレーザー光７４を照射する。 （もっと読む）

【課題】高精度で、しかも、高い量産性、高い歩留りにて、補強部が備えられたミラー本体部を有するミラー構造体を提供する。
【解決手段】ミラー構造体１０は、（Ａ）ミラー本体部２２、及び、該ミラー本体部２２の表面に設けられた光反射層２１を備えたミラー２０、（Ｂ）ミラー２０を支持するミラー支持部２７、並びに、（Ｃ）ミラー支持部２７を保持する保持部４０から成り、ミラー本体部２２の裏面には、貼合せ層１０４を介して補強部３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】光変調装置の２層の間のキャビティの深度を制御する方法および装置が提供される。
【解決手段】光変調装置を作る方法は、基板を形成するステップと、基板の少なくとも一部の上に犠牲層を形成するステップと、犠牲層の少なくとも一部の上に反射層を形成するステップと、基板の上に１つまたは複数の屈曲コントローラを形成するステップとを含んでおり、屈曲コントローラは、反射層を動作可能に支持し、犠牲層の除去の際に犠牲層の厚さとはある程度異なる深度のキャビティを形成するように構成されており、深度は基板に対して垂直に測定される。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、全般的に適用可能でありながら、特定の加工および方法論的要求に適応することができる加工を可能にする、容易で柔軟性のある方法を創造することにある。
【解決手段】広スペクトル帯域幅を有するレーザ・パルスによって材料を加工する方法および装置、ならびに前記方法を実行する装置を提供する。本発明によれば、レーザ・パルスの１つまたは数個のスペクトル・パラメータ、即ち、スペクトル振幅および／またはスペクトル位相および／またはそのスペクトル偏波を、好ましくは測定加工変数に応じて、材料を加工するために、あるいは前記加工の実行の間に、特定的に改変する。本発明は、広スペクトル帯域幅、特にフェムト秒パルスおよびピコ秒パルスを有するレーザ・パルスによって材料を加工するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。
【手段】駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、弾性部（１２０）と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのばねが、機械的な荷重に頻繁にさらされる場合でも、その機能を確実に満たすことが保証されているようにする。
【解決手段】マイクロマシニング型の構成部材であって、保持部材が設けられており、該保持部材に対して少なくとも第１の位置から第２の位置に調節可能な構成要素が設けられており、該構成要素が、保持部材に少なくとも１つのばね２０を介して結合されている。少なくとも１つのばね２０に配置されたシリサイド含有の少なくとも１つの線路区分３０，３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】接続構造に接続されたマイクロ振動装置の現在の姿勢を雑音なしに高い正確度で検知することができるようにする。
【解決手段】マイクロ振動装置のための接続構造において、接続構造の一端はマイクロ振動構造に、他端はバネ部材に少なくとも間接的に接続可能であり、接続構造はマイクロ振動構造の回転軸に対して平行に配置された少なくとも１つの脚部と、回転軸に対して垂直に配置された少なくとも１つの別の脚部と、接続構造の捩れを測定する少なくとも１つの抵抗素子とを含んでおり、回転軸に平行な方向における接続構造の広がりは、回転軸に対して垂直な方向における接続構造の広がりの少なくとも２．５倍であり、抵抗素子は接続構造が捩れたときに比較的大きな機械的応力が生じる領域に配置されている。 （もっと読む）

【課題】システムのコストバランスを保ちながらミラー振幅制御が精度よく行なえる光走査装置用ミラー振幅制御装置を提供する。
【解決手段】信号計測部１４は計測対象区間内で検出信号の信号間隔を計測するタイマーカウンタ１７と、計測対象区間の開始用検出信号の入力に応じて充放電をおこなって基準電圧より電圧値を変化させる第１時定数回路１８と、第１時定数回路１８の電圧変化を計測する電圧計測部２０と、第１時定数回路１８と時定数が異なり電圧計測部２０の電圧が所定電圧に到達すると充放電を行なって電圧値を変化させる第２時定数回路１９とを備え、比較部１５は計測対象区間の終了用検出信号によってホールドした第２時定数回路１９の電圧値と基準電圧値との差分をエラー信号として振幅レベル調整部１２へ出力することにより振幅レベルのフィードバック制御が行われる。 （もっと読む）