【課題】可動ミラーの傾斜に伴う可動ミラーの変形の発生が防止された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、可動ミラー１１０と、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜可能に支持する一対のヒンジ１２０と、ヒンジ１２０をそれぞれ支持する一対の固定部１３０とを有している。可動ミラー１１０とヒンジ１２０と固定部１３０は、第一の軸１８１に直交する第二の軸１８２に沿って整列している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜させる駆動素子たとえば一対の駆動電極１６０を有している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０の傾斜により可動ミラー１１０に生じる変形を緩衝する緩衝部１４０を有している。 （もっと読む）

【課題】高速、かつ低電圧で駆動されることが可能な、透明基板上に構築された直視型ディスプレイを提供する。
【解決手段】少なくとも二つの位置を有する遮光素子のアレイと、少なくとも一つの光源と、遮光素子の位置を制御するとともに、少なくとも一つの光源の照明を制御し、画像フレームに対応する複数のサブフレームデータセットをメモリから取得し、サブフレームデータセットに示されている位置に遮光素子を移動させるために、出力シーケンスに従ってサブフレームデータセットを処理し、サブフレームデータセットに従って画像を形成するために、少なくとも一つの光源を駆動するコントローラと、画像を変えるために出力シーケンスの変更を決定するためのシーケンスパラメータ計算モジュールと、を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質、低消費電力および低電圧駆動可能な直視型ディスプレイを提供する。
【解決手段】直視型ディスプレイ７００はＭＥＭＳ光変調器のアレイ７０２と制御マトリクスとアレイ内の各光変調器の状態を制御するためのコントローラ７０４とを含み、制御マトリクス７１０、７０８はデータおよび作動電圧をアレイに伝え、コントローラはプロセッサとメモリと出力とを含み、表示のために画像フレームを符号化した画像データを受信する。プロセッサは画像データから複数のサブフレームデータセットを導き出し各サブフレームデータセットはアレイの複数行および複数列内の光変調器の所望の状態を示し、メモリは複数のサブフレームデータセットを記憶し、出力は光変調器をサブフレームデータセット内で示された状態にするために出力シーケンスに従って複数のサブフレームデータセットを出力する。 （もっと読む）

【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子１００は、支持基板１１０と、支持基板１１０に対して偏向し得るマイクロミラー１２１から構成される。支持基板１１０は、マイクロミラー１２１に対向する面に設けられた複数個の駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍと、駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍの上に設けられた絶縁層１１３を有している。マイクロミラー１２１は、支持基板１１０に対向している対向面１２３が円筒面で構成されている。対向面１２３の一部は互いに連結されない状態で支持基板１１０に接している。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー（アクチュエーター）１の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に連結された連結部と、前記連結部を支持する支持部とを有する基体を形成する第１の工程と、基体上に絶縁層を形成する第２の工程と、基体の一方の面の絶縁層上に導電性を有する導体部を形成する第３の工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】可変型光偏向装置を提供する。
【解決手段】複数の光反射ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、３４、２６）を有するマイクロメカニカルミラーシステム（１４）と、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）を異なる反射位置へと制御して、光偏向を変化させる制御ユニット（３２）と、を備える可変型光偏向装置（１００）が開示される。この装置（１００）は、ミラーシステム（１４）に合わせて体系的に調整された後方反射構造（６０）を有し、これはミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の一部分から後方反射構造（６０）へと反射された光を、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の他の部分へと、狙いを定めた方法で反射し返す。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動板２１と、可動板２１に連結し、かつ可動板２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、可動板２１の板面上に設けられた永久磁石４１と、永久磁石４１に作用する磁界を発生させて可動板２１を回動させるコイル４２とを有し、可動板２１は、可動板２１の板厚方向からの平面視にて十字状をなす。 （もっと読む）

【課題】光干渉ＭＥＭＳディスプレイ素子を備えている光干渉変調器ディスプレイを提供する。
【解決手段】第一の電極７０２と可動物質７１４の間にかけられた電圧でＭＥＭＳデバイスが電気的に動作される。第一の電極から離れているラッチ電極７３０ａ、７３０ｂによってデバイスが動作状態に維持されうる。 （もっと読む）

【課題】二つの可動部を有するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、二つの可動部の駆動コイルに通電する（駆動信号を供給する）ための配線の耐久性を向上させる。
【解決手段】プレーナ型電磁アクチュエータ１は、固定部２１と、第１トーションバー２４ａ，２４ｂに揺動可能に支持された第１可動部２２と、第２トーションバー２５ａ，２５ｂに揺動可能に支持された第２可動部２３とを有する。駆動部４は、二つの周波数成分を有する一つの駆動信号を一対の電極端子５ａ，５ｂに入力する。入力された駆動信号は一対の配線１０，１１を介して第１可動部２２の第１駆動コイル８及び第２可動部２３の第２駆動コイル９に供給され、これにより、第１可動部２２と第２可動部２３が異なる周期で揺動する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞HOが形成されるハンドル層Hと表面が鏡面仕上げされたデバイス層B、Ｔとがシリコン酸化膜を介して接合されたウエハを準備する工程、デバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの下層構成要素に対応しかつデバイス層に形成すべき下層構造体を形成する工程、下層構造体形成後のウエハのデバイス層にシリコン酸化膜を介して上層のデバイス層を形成するためのウエハを接合する工程、上層のウエハを加工して所定厚さの上層のデバイス層を形成する工程、上層のデバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの上層構成要素に対応しかつ上層のデバイス層に形成すべき上層構造体を形成する工程、ハンドル層Hに空洞を形成する工程、下層構造体のシリコン酸化膜を除去してＭＥＭＳ走査型ミラーを完成させる工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーターの製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部、可動部に連結された連結部、連結部を支持する支持部、可動部および連結部に対して基板を貫通する貫通孔２２５を介して離間するとともに支持部に対して構造的な強度が前記支持部よりも弱い脆弱部を介して接続された除去可能な除去部２６、を含む基体３０２を形成する第１の工程と、基体３０２の上方に導体パターン８を形成する第２の工程と、除去部２６を除去する第３の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】バンプを介して基板上に素子を搭載した電子部品において、素子をバンプに接合する際に生じる応力が素子に作用することを抑制し、電子部品の品質のばらつきを抑え、製造歩留まりを向上させる。
【解決手段】第１平面を有する基板１１と、前記基板１１の第１平面に固定されたバンプ１４と、前記基板１１の第１平面に非接触かつ相対すると共に、前記バンプ１４に接着により固定され、かつ、前記パンプ１４との接着領域の近傍にスリット３０を有する素子１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の埋設表面フィーチャを備えたフロント光ガイドパネルを提供する。
【解決手段】フロント光パネルは、フロント光パネルの一方の側に配置されている人工光源から、フロント光ガイドの背面に配置されているディスプレイエレメントのアレイに一様な照明を引き渡し、かつ、光ガイドパネルを通って伝搬する周辺照明からの照明のオプションを許容するように構成されている。表面埋設表面レリーフフィーチャによって光ガイドパネル内に空気ポケットが生成される。光ガイドの側面に入射した光は、空気ポケットの一方の空気／光材料ガイド界面に衝突するまで光ガイドを通って伝搬する。光は、次に、大きい角度で内部全反射して方向転換し、ディスプレイエレメントのアレイの前面に配置された射出面から射出する。 （もっと読む）

【課題】変位量が温度変動に影響されない静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】静電アクチュエータ１３０は基本駆動素子１１１ａ１を備えている。基本駆動素子１１１ａ１は、櫛歯電極１０５ａと、櫛歯電極１０６ａと、櫛歯電極１０５ａを保持している電極ポスト１０７ａと、櫛歯電極１０６ａを保持している電極ポスト１０８ａと、電極ポスト１０７ａを保持しているたわみばね１０２，１０４と、電極ポスト１０８ａを保持しているたわみばね１０３から構成されている。櫛歯電極１０５ａと櫛歯電極１０６ａは、それらの櫛歯部が互いに対向するように配置されている。櫛歯電極１０５ａは電極ポスト１０７ａを介してたわみばね１０２，１０４と電気的に接続され、櫛歯電極１０６ａは電極ポスト１０８ａを介してたわみばね１０３と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】設計の自由度を向上させるとともに、印加電圧を少なくして偏向角を大きくする。
【解決手段】光スキャナOSは、外枠となる固定枠1と、主軸トーションバー3と、主軸トーションバー3の直交方向に長尺となるよう配設されるとともに、一端を主軸トーションバー3に接続し、他端を固定枠1に固定した片持ち梁構造の保持部41と、保持部41を変形させるための力を電圧印加に応じて生じさせる圧電素子42と、主軸トーションバー3を基準に揺動するミラー部21とを含む。駆動回路から圧電素子42に対して印加される電圧は、光スキャナOS自身の固有振動数に近似または一致するとともに、保持部41に、当該の保持部41の短手方向に対し交差する節を少なくとも1つ発生させる周波数である。保持部41は、前記短手方向におけるミラー部21側の部分のみで、主軸トーションバー3に接続される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラースキャナの構造及び製造方法に係り、共振周波数の精度良い調整を行うことにある。
【解決手段】ミラースキャナ１０は、フレーム１２と、光源からの光を反射するミラー部１４と、フレーム１２とミラー部１４とを連結して該ミラー部１４を該フレーム１２に対して支持するトーションバー１６ａ，１６ｂと、トーションバー１６ａ，１６ｂに平行に設けられてフレーム１２とミラー部１４とを連結する複数本の溶断可能なバーからなる棒部材１８ａ，１８ｂと、を設ける。 （もっと読む）

【課題】リサージュ走査であっても効果的な画像重複や走査解像度を有するスキャナ用偏向装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの偏向軸において振動すると共に、フレームと、懸架搭載部によって可動式に配置したミラープレート４とを有するマイクロミラー１と、少なくとも２つの偏向軸においてマイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号を生成する制御装置と、を含み、ミラープレートの懸架搭載部が少なくとも１つのバネを有し、バネの一端をミラープレートに接続し、バネの他端を固定したフレームに接続し、マイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号の周波数が、少なくとも２つの偏向軸において実質的に等しく、そのレベルを、所定の走査解像度と所定の走査反復率によって決定するが、それらが少なくとも所定の走査反復率に関して異なること、を特徴とするリサージュ走査を行うスキャナ用偏向装置。 （もっと読む）