【課題】搬送や保管の際に、広大なスペースを必要とせず、まて、輸送パッケージが縮小化され、コスト低減が計れ、さらに、基板にゴミや異物が付着し難く、且つ、基板の大型化ないし超大型に対応できる基板収納用トレイおよび基板の搬送保管方法を提供することである。
【解決手段】平面形状が矩形フレームからなる周枠の枠内に基板を載置する基板用トレイであって、一方の対向するフレームはフレームの中央位置でフレームの左右が上方に折り曲げ可能な折り曲げ部と、他方の対向するフレームは対向するフレームを接続し、基板を載置する複数のワイヤーまたはワイヤーロープと、を具備していることを特徴とする基板収納用トレイである。 （もっと読む）

【課題】薄板状品と横桟との接触面積を減らして、横桟に載置した薄板状品への汚れの付着や傷発生のない薄板状品載架用カセットを提供する。
【解決手段】ほぼ直方体型フレーム10の左右両側面部間に、薄板状品載架用横桟A,B,Cを構成する複数本の金属製の線状体20を前後に間隔をもって横向きに張設した薄板状品載架用カセットで、線状体20に、協働して薄板状品載置面Fを構成する玉部30を設けた。薄板状品Wと各玉部30間の接触面積が小さく、薄板状品Wへの汚れの付着および傷の発生が少ないので、薄板状品Wの品質が保証される。 （もっと読む）

【課題】 移動自在な側板を容易に固定・解除することができる板体収納用ラックを提供する。
【解決手段】 相対向する１対の上下面板２と、上下面板間に間置され複数の板体を係合するための板体係合溝４を板体内面に形成してなる１対の板体保持用側板を有し、１対の板体保持用側板の少なくとも一方の板体保持用側板が収納される板体の幅径に応じて他方の板体保持用側板と対向する方向に移動自在な板体保持用移動側板５である板体収納用ラックであって、板体保持用移動側板の上下面板に対向する辺部には上下面板に対して上下方向へ可動して上下面板に形成された位置設定係合部９に係止・離脱する係止片１０を配設するとともに、係止部材同士を同期して係止・離脱させる第１の連結機構１４、第２の連結機構１８で連結し、連結機構の駆動により係止片を位置設定係合部へ係止・離脱可能とする。 （もっと読む）

【課題】処理治具や基板に異物が付着するのを抑制し、十分な緩衝効果が期待できる緩衝体及び梱包体を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ搭載用の処理治具を収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形され、処理治具用収納ケースを挟持する可撓性の一対のトレー３０とを備え、各トレー３０を、容器本体に嵌入されて被覆する嵌入被覆部３１と、嵌入被覆部３１の周囲に形成されて外方向に伸びるフランジ３５と、フランジ３５の一部に形成される凹溝３８と、フランジ３５の残部に形成される凸条３９とから形成する。嵌入被覆部３１の底を凹凸３２に形成し、フランジ３５の一部分を折曲してベローズ３７を形成し、ベローズ３７を嵌入被覆部３１と凹溝３８及び凸条３９の間に介在させ、処理治具用収納ケースを一対のトレー３０間に挟む際、一方のトレー３０の凹溝３８と他方のトレー３０の凸条３９とを嵌合する。 （もっと読む）

【課題】内外部を連通する連通部に水分が入り込まない基板収納容器を提供する。
【解決手段】一端に開口部を有し基板を収納する容器本体１と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、容器本体１の内部と外部とを連通する連通部３が少なくとも１ヶ設けられている基板収納容器であって、前記連通部３には、フィルタ保持部材５が取り付けられていて、フィルタ保持部材５の向き合う開口部の両端に第一のフィルタ６と第二のフィルタ７が向き合うように配設されていることを特徴とする。フィルタ保持部材には、逆止弁を備えた開閉バルブが内蔵されること、第一のフィルタ６の圧力損失が、フィルタ保持部材の他端部に設けられる第二のフィルタ７の圧力損失以上であること、等がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】 各ガラス板を垂直姿勢で配列させて梱包することによる不具合を回避した上で、各ガラス板相互の相対移動や異物によるガラス板の傷の発生等に適切に対処可能とする。
【解決手段】 基台となるパレット４の上方に、複数枚のガラス板８を各相互間に該ガラス板８の全面若しくは略全面に亘って接触し且つ該ガラス板８よりも幅方向寸法及び奥行き方向寸法が長尺に設定されて発泡倍率が１０〜４０倍の発泡樹脂シート７を介装して水平姿勢で積層状に収納する。 （もっと読む）

【課題】外気をウエハーカセット内に導き、カセット内の真空を消去し、気圧を平衡させて開けやすくする入気バルブを具えたウエハーカセットの提供。
【解決手段】入気バルブを具えたウエハーカセットは、カセット及び入気バルブを含む。入気バルブはカセットの外フレーム上に設置し、案内柱、密封蓋、密封ワッシャー及び弾性部品を含む。入気バルブは弾性部品によって弾性予定力が提供されることにより、案内柱を押して密封蓋を外フレームの通孔上に対応させて密封し、更に密封ワッシャーが密封蓋と外フレームの間を押して気密を形成する。カセット内の真空のウエハーカセットを開けたい時には外力で案内柱を押し、密封蓋と外フレームの間に隙間を作り、その時に外気が隙間から通孔を通り、カセットの内部空間に進入するため、カセットが開けやすい。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板にネジレや圧痕を生じさせることなく収納でき、輸送時には、振動を受けてもガラス板が波打ったり、磨耗粉を発生させないようにする。
【解決手段】 縦方向に沿って分離可能なケース本体２とケース蓋３とによって構成され、ガラス板１４と保護シート１３を交互に立位状態で重ね合わせて収納する収納ケース１と、ケース本体２の内底面及び一内側面部、さらに、ケース蓋３の天井面部及び一内側面部にそれぞれ配設され、高硬質性及び高滑性を有し、ガラス板１４の周端面部を受けるガラス受け部５ａ，５ｂ、８ａ，８ｂとを具備する。 （もっと読む）

【課題】各種設備に付属のロードロック室を簡素化して、小型化が可能な、蓋体の開閉機構を備えた基板収納用容器を提供する。
【解決手段】一面を開口部８とした箱状の筐体１０と、この筐体１０にその一端を回動可能に支持され、前記開口部８の周縁部を覆って減圧吸着させる蓋体１２と、筐体１０の一面に固定され、前記蓋体１２を回動させる回動機構およびその駆動源とからなる駆動機構１３を備え、前記駆動源は圧力シリンダー１６からなり、この圧力シリンダー１６の内部と外部との圧力差で蓋体１２を回動させて、筐体１０の開口部８を開閉させる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板積層体の幅方向に跨るように並列に配列された複数の押えバーによってガラス板積層体をパレット上に保持して梱包するに際し、押えバーによってガラス板積層体に作用させる押付け力の適正化を図ることで、ガラス板積層体の荷崩れを可及的に抑制する。
【解決手段】基台部２ａと、背受け部２ｂとを有するパレット２上に、複数枚のガラス板を縦姿勢で積層し、そのガラス板積層体Ｇの幅方向に跨るように二本の押えバー４，５を上下方向に間隔を置いて並列に配置し、各押えバー４，５の両端部を締付け部材７，８によって背受け部２ｂ側に締付けることにより、ガラス板積層体Ｇをパレット２上に保持したガラス板梱包体１であって、下方の押えバー５によってガラス板積層体Ｇに作用する押付け力が、上方の押えバー４によってガラス板積層体Ｇに作用する押付け力よりも強くなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】環境温度変化等によって両者間に寸法誤差が生じた場合でも、常時、安定した状態で支持プレートを容器本体の底部内面と蓋体の天板内面に形成した支持プレート用取付部内に嵌着できるようにした板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】容器本体の底部内面と蓋体３の天板内面に支持プレート５を嵌着するための支持プレート用取付部３２を形成する。支持プレート用取付部３２には、嵌着する支持プレート５の長手方向の両端を位置決めする端側壁３４と、両端側壁３４、３４間に支持プレート５の移動を拘束する２つ以上の拘束体４１、４２とを形成する。支持プレート５には、表面側に収容した板状体の下縁または上縁を挿入して支持する複数の横溝５１を、裏面側には前記各拘束体４１、４２に係合する凸部および凹部５５と、長手方向に直交する方向の１つ以上の切り欠き５３を形成する。 （もっと読む）

【課題】スペーサとガラス板とを順次積み重ねる過程等におけるそれらの積層体の傾斜や倒れを回避すると共に、その過程等における作業の円滑化や迅速化を図り、且つ、簡易な手法で強固な板状物梱包体を製作できるようにする。
【解決手段】上下方向に積層された複数枚の板状物Ｇのそれぞれの相互間にスペーサ１を介在させた状態で梱包してなる板状物梱包体１１であって、底板１２の上方に、スペーサ１及び板状物Ｇを有する積層体１５を載置すると共に、スペーサ１の外周縁部の一部または全部を板状物Ｇの外周縁部から外方に食み出させ、その食み出し部の外周縁部に板状物Ｇの配設領域と干渉しないように複数の切欠き部１０を形成し、且つ、底板１２に立設固定された複数本の係合部材１３をスペーサ１の複数の切欠き部１０にそれぞれ係合させる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板等の板状物をスペーサ上に積み重ねる作業及びそれらを積層させた状態から板状物を抜き取る作業を容易化して、作業能率の改善を図る。
【解決手段】複数枚のガラス板を水平姿勢で上下方向に積層させる際に上下に隣り合うガラス板の相互間に介在され、平面視で、ガラス板の外輪郭線よりもスペーサ１の外輪郭線が外方に位置しまたはその両線が内外方向で同一となる第１領域Ｂ１と、ガラス板の外輪郭線がスペーサの外輪郭線よりも外方に位置する第２領域Ｂ２とを有し、第２領域を左右両側にそれぞれ備えると共に、その左右両側では、ガラス板の左右方向における最外方部Ｇｅが、スペーサの左右方向における最外方部１Ｅよりも、外方側に位置するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ガラス板等の板状物とスペーサとの擦れに起因する発塵を抑止して、板状物への異物の付着及びこれに伴う洗浄作業の困難性を回避する。
【解決手段】複数枚のガラス板Ｇを上下方向に積層させる際に上下に隣り合うガラス板Ｇの相互間に介在されると共に、各ガラス板Ｇの周縁部を下方より支持する支持部２を備えてなり、支持部２の上面側部分に、上方に存するガラス板Ｇの端面Ｇａに当接可能とされ且つガラス板Ｇの横方向移動を規制する規制部５と、ガラス板Ｇの底面Ｇｂにおける端面Ｇａから内方側に離隔した部位に当接可能とされた受け部６とを形成し、規制部５と受け部６との間の領域で、ガラス板Ｇの端面Ｇａと底面周縁部Ｇｂａとの間の角部Ｇｃが支持部２の上面側部分に対して当接不能とされるスペーサ１。 （もっと読む）

【課題】ガラス板積層体の幅方向に跨るように押えバーを配置して、その押えバーの両端部を締付けてパレットに保持する梱包形態を採用しつつ、幅方向両端部の応力集中によるガラス板の破損を低減し、さらにガラス体積層体の荷崩れを防止する。
【解決手段】パレット２上に積層されたガラス板積層体Ｇの幅方向に跨るように押えバー４を配置し、ガラス板積層体Ｇの幅方向両側の外側に食み出した押えバー４の両端部を締付け部材５によってパレット２側に引き込むように締付けることにより、ガラス板積層体Ｇをパレット２上に保持したガラス板梱包体１であって、押えバー４とガラス板積層体Ｇとの間に、双方に接触させた状態で押圧板６を介在させると共に、押圧板６をガラス板積層体Ｇの幅方向両端部を除く幅方向中央部に接触させた。 （もっと読む）

【課題】 サイズの異なるガラス板を一枚ずつ離隔して混載させ、所望のガラスを取出し自在とする。
【解決手段】矩形形状に枠組みした床桟フレーム１０と、縦背枠フレーム２０ａ同士を連結する横背枠フレーム２０ｂとが矩形形状に枠組みされてなる背枠フレーム２０と、両端に位置するガラス前辺保持具収納フレーム３０の先端部同士を連結するように取り付け可能な、ガラス板の厚さに対応した仕切り溝を有する着脱自在のガラス前辺保持具４０と、ループ部の周囲長を調整することができ、ループ部によってガラス板の後辺を固定し、調整した上記ループ部の周囲長を一定にして上記引張部を上記背枠フレーム２０に固定することのできるガラス固縛用紐と、上記横背枠フレーム２０ｂから上記背枠フレーム２０の主面と直交する方向に伸ばした垂直保持バー６０、７０とからなる。 （もっと読む）

【課題】異なる大きさおよび厚さの板状体を同時に混載可能であるとともに、梱包作業が容易であり、かつ開梱時に廃棄物が発生しない板状体用の収納装置を提供する。
【解決手段】ベース部２と、複数の仕切部材３とが備えられ、一対の仕切部材３同士の間に板状体を載置させ、板状体に仕切部材３の一部を当接させることで板状体を挟んで固定する板状体用の収納装置１であり、仕切部材３は、ベース部２からほぼ垂直に立設された回転自在な回転軸体３２と、基端部が回転軸体３２に取り付けられるとともに先端部が回転軸体３２の軸方向とほぼ直交する方向に向けて突出され、かつ板状体に向けられた当接面を有する弾性板３３とから構成され、回転軸体３２を回転させることによって、少なくとも弾性板３３の当接面のうち先端部寄りの部分が、板状体に当接するように構成されたことを特徴とする板状体用の収納装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板表面の汚染及びガラス板の損傷を防止することができるとともに、ガラス板から容易に剥離することが可能なガラス板用合紙を提供する。
【解決手段】密度が０．５〜１ｇ／ｃｍ³であるガラス板用合紙であって、前記ガラス板用合紙が、基材層（ｂ）と、前記基材層（ｂ）の一面に設けられたポリオレフィンを主構成材とする表面層（ａ）と、前記基材層（ｂ）の反対面に設けられたポリオレフィンを主構成材とする裏面層（ｃ）とを有する熱可塑性樹脂延伸フィルムであって、且つ、前記表面層（ａ）及び前記裏面層（ｃ）は、各々独立に、その表面にエンボス加工が施されているか、及び／又は相溶しない２種以上のポリオレフィンの混合物からなるガラス板用合紙。 （もっと読む）

【課題】紙の品質管理方法、並びにフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の保管用合紙及び／又は搬送用合紙の製造方法を提供する。
【解決手段】製紙工程の抄紙機１０において製造された紙の耳部Ｐをウォータジェットノズルによって切断、採取し、この耳部Ｐに含有される異物の大きさを検査・測定し、抄紙機１０を経て製造された紙を、耳部Pに含有されている異物の検査結果に基づき品質別に管理する。すなわち、ガラス基板にキズを発生させる異物の特定の大きさをしきい値として、ロット毎に紙を分別し管理する。しきい値、すなわち、ガラス基板にキズを発生させる異物の特定の大きさのしきい値は、実験により２００μｍである。したがって、採取した耳部Ｐに含有される異物の大きさが２００μｍ以下の紙が、ＦＰＤ用ガラス基板の搬送用合紙として使用することができ、その合紙とそれ以外の紙とをロット毎に管理する。 （もっと読む）

【課題】 パネル等の板状体を搬送する際の省スペース化を実現することができる板状体搬送具を提供する。
【解決手段】 搬送ラック１０は、パネル支持部材１６と拘束体２４とを備える。パネル支持部材１６は、ガラスユニット１２を略鉛直面内における第１の方向に関して支持する第１の支持部１８と、鉛直面内において第１の方向に交差する第２の方向に関してガラスユニット１２を支持する第２の支持部２０と、を含む。拘束体２４は、パネル支持部材１６に向かって押し付ける力をガラスユニット１２に作用させる。第１の支持部１８および第２の支持部２０には、隣設する板状体搬送具を着脱可能に連結する一対の連結部７０、連結部８０がそれぞれ一カ所以上設置されている。 （もっと読む）