【課題】 ケース内に収容した全ての光学素子を極めて安定した状態で固定的に保持し、ケースからの光学素子の挿脱を容易に行えるようにする。
【解決手段】 トレー１０には素子収容部１１が複数列設けられ、これら各素子収容部１１にワーク１が立てた状態で上面部１０ａから突出しないように収容され、真空パック１５内に封入される。素子収容部１１からワーク１を突出させるために、トレー１０における凹溝１２の底壁であって、各素子収容部１１を構成する位置に、台座３１の上面に、各透孔１７と対向するように突起３２を設けた押動部材３０にトレー１０を嵌合させて、突起３２によりワーク１を押し上げる。 （もっと読む）

【課題】蓋体内のスペースを拡大して内部に収納する部材の設計の自由度を大きくできる気密容器を提供する。
【解決手段】内部に半導体ウエハーを複数枚収納する容器本体と、容器本体を塞ぐ蓋体１４と、容器本体と蓋体１４との間を密封するシールとを備えた気密容器であって、蓋体１４の内側板部３０Ａに、半導体ウエハーを１枚ずつ支持する支持溝４１を備えた。支持溝４１は、蓋体１４の内側板部３０Ａに容器本体側へ向けて開口して形成され、半導体ウエハーが１枚ずつ嵌合して支持される長溝によって構成した。支持溝４１の底部にはＶ字溝部４２を形成した。他の構成の支持溝は、内側板部３０Ａに形成された逃がし溝部と、カバー板と内側板部３０Ａとの間の薄板支持空間に、逃がし溝部に対応して設けられて逃がし溝部に嵌合した半導体ウエハーを１枚ずつ支持する薄板支持体とから構成した。 （もっと読む）

【課題】 従来、電気機器の製造工程において、電気部品の搬送用に用いられる樹脂トレーは、電気部品の汚染や静電気放電による障害、またはトレーの不透明性に起因する歩留まりの低下等の問題があったため、電気部品の保護に優れ歩留まりを向上させることができる電気機器の製造方法を提供する。
【解決手段】 電気部品を搬送する工程を有する電気機器の製造方法において、親水性鎖を有し、熱可塑性樹脂（Ａ）との屈折率差が０．０２以下である帯電防止剤（Ｂ）を（Ａ）に含有させてなる帯電防止性樹脂組成物を成形してなる搬送体を使用して、電気部品を搬送することを特徴とする電気機器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 収納するペリクルに異物が付着しないようにし、ペリクルの汚損を防止して品質を維持することの出来るフォトリソグラフィー用ペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器において、ペリクルフレーム外側面に設けられた穴にフレーム保持ピンを挿入してペリクルを保持する。前記容器本体が樹脂であり、前記容器本体に金属部品が接合されているものであること、ペリクルを保持する前記フレーム保持ピンを位置決めする位置決め部品と容器本体に組み付けた前記金属部品とが機械的に連結していること、ペリクルを保持する前記フレーム保持ピンのペリクルフレームとの接触部に弾性体を設置したこと、がそれぞれ望ましく、更に、前記容器本体および前記蓋体の材質が樹脂であり、それらの表面抵抗値が１×１０¹²Ω／□以下の帯電防止性能を有していることが更に、好ましい。 （もっと読む）

【課題】ヘッドサスペンションアセンブリの変形を回避することができる運搬具を提供する。
【解決手段】運搬具１１では、固定部材１８はヘッドサスペンションアセンブリ４１の基部端を受け止める。その一方で、弾性部材１９はヘッドサスペンションアセンブリ４１の先端を受け止める。こういった運搬具１１では、運搬具１１の輸送中に運搬具１１に加えられる衝撃は弾性部材１９で十分に緩和されることができる。仮に衝撃に基づき例えばヘッドサスペンションアセンブリ４１の先端が変位しても、ヘッドサスペンションアセンブリの先端は弾性部材１９で受け止められる。ヘッドサスペンションアセンブリ４１の先端と弾性部材１９との衝突の衝撃は弾性部材１９で十分に緩和されることができる。ヘッドサスペンションアセンブリ４１では例えば捩れといった変形はできる限り回避されることができる。 （もっと読む）

【課題】多段に積み重ねた場合の積み重ね荷重を安定性よく支えることができ、かつ輸送途中の衝撃や振動によって収納された部品がトレーに強く当接した場合の緩衝効果にすぐれる部品包装用トレーを提供する。
【解決手段】熱可塑性樹脂の発泡シートより成形され、少なくとも１つの収納凹部３を有し、収納凹部３に部品ｂを収納した状態で多段に積み重ねることができる包装用トレー１で、積み重ねのためのスタック部５を有するものにおいて、スタック部の少なくとも上面部５ａと下面部５ｂを、収納凹部３の部分に対し０．１（ｇ／ｃｃ）以上の密度差をつけて高密度に成形する。 （もっと読む）

本発明は、粒子状物質の影響を受けやすい基板を収容するためのポッドであって、外部とポッドの内部環境との間において均圧化を行い、かつ粒子状物質の影響を受けやすい基板近傍において内部の気体の流れを最小限にするポッドに関する。ポッドは、第１ポッドと、カバー内に配置されるダイヤフラムとを備え、ダイヤフラムは、通常は非撓み位置にあり、その非撓み位置から撓むことができる。好ましくは、ポッドは、第１ポッド内に配置され、かつ粒子状物質の影響を受けやすい基板を収容するための第２エンクロージャを形成する第２ポッドを備える。ポッドは、同ポッドに連結され、かつポッド外部とポッド内部との間で気体の流通を可能にするフィルタを備えることができる。ダイヤフラムは、急激な圧力変化に応答することができる。フィルタは、より緩やかな圧力変化に応答することができ、ダイヤフラムがその通常の非撓み位置に戻ることを許容する。
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【課題】 光学情報のノイズとなり、画像悪化の原因となる異物が光学デバイスの主面や側端部に付着するのを抑制できるより信頼性の高い梱包ケースを提供する。
【解決手段】 上面が開口した収容部が形成されてなる下ケースと、当該下ケースの開口部と下ケースに収納された光学デバイス４を被覆する上ケース３とからなる光学デバイス用梱包ケースであって、上記下ケースの収容部の底面に上記光学デバイスの一側面を固着する接着部材Ｔが設けられ、当該接着部材の端部Ｔ１が上記光学デバイスの一側面に接触しない位置に配置している。 （もっと読む）

【課題】 磁石の包装から取り出しに至るまでのあらゆる状況下において磁石の破損を抑制し、包装作業性及び取り出し作業性のいずれも良好であり、搬送中及び搬送後の保存中の気密性に優れ、低コストであるばかりでなく、包装された磁石の数量管理やマーキングの確認が容易である。
【解決手段】 複数枚のフィルムを重ね合わせるとともにこれらフィルムを部分的に接着することにより複数の収容部が形成され、複数個の磁石を磁力で互いに一列に吸着することにより構成される磁石集合体が前記収容部に個別に収容されている。前記フィルムは矩形状の樹脂フィルムであり、前記樹脂フィルムの周縁部の少なくとも３辺の接着及び前記収容部を区画するための接着はヒートシールにより行われる。 （もっと読む）

【課題】豆腐を賽の目に切ることのできる容器の提供。
【解決手段】上面と１側面が開口している直方体の、上面の容器縁４に釣り糸通し穴２を複数設けて釣り糸３を適宜間隔の方眼に張り渡し、同様に、開口している１側面に数条の釣り糸３を適宜間隔で水平に張り渡した容器１とする。豆腐を上方から容器１に押し込み、開口側面から取り出すことで賽の目切りが完成する。 （もっと読む）

事前に湿らせた事前調整済みのマイクロ流体「吸入器」チップを輸送及び保管するための容器が提供される。この容器は、乾燥したコンポーネントと湿った区画の両方を備える。ベースは、毛細管を収容するよう構成され流体の満たされたリザーバを備える。リザーバの開口部はＯリングにより密封される。チップのプラスチック製マウントが、乾燥した区画においてベース上に載っている。チップの上面は、流体を含んだ複数のウェルを備える。ガスケットは、ウェル内に配置されて該ウェルを密封するように構成されたプラグを備える。別法として、ウェルはまず、接着剤でウェル開口部に固着されたホイル膜により密封され、ベースに着脱自在に取り付けられるガスケットが、このホイルとカバーの間に配置され。カバーが閉じられると、ガスケットとＯリングが湿った区画を密閉して漏洩を防止し蒸発を遅くする。
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【課題】 対向する２つの光学面を備えた光学部品を平置き状態で保持、収容する光学部品の梱包容器において、サイズや外周輪郭形状の異なる光学部品を、光学面に粘着剤を付着させたり、加圧することにより損傷を与えることなく、しかも位置決め性よく収容することができる光学部品梱包容器を提供する。
【解決手段】 平板状の光学部品２０を平置き状態で保持する凹所３を上面に備えた下ケース２と、該下ケース上面を覆う上ケース１０と、を備えた光学部品梱包容器において、凹所の内壁は、縦断面形状が円弧状、或いは楕円弧状を含む凹曲面であり、対向する内壁間の間隔が下方へ向かう程漸減するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】組立作業が容易、かつ組立時にピニオン歯車とラックの位相合わせを簡単に行うことができ、常に、固定側板に対して可動側板を平行状態で移動させることが可能な収納幅可変式板材収納枠と組立方法を提供する。
【解決手段】天板２と底板３との間に固定側板５と、固定側板５と平行な状態で移動し所望の位置で固定できる可動側板６を配設し、可動側板６の四隅近傍に配設されたピニオン歯車と、天板２及び底板３の内面に配設され、各々のピニオン歯車と噛合するラック１７及び１８が形成されてなるガイドレール１１Ａ及び１１Ｂと、可動側板６の各々のピニオン歯車が配設された近傍に突出形成されたボス部と、天板２及び底板３の固定側板５の配設位置近傍に形成され、各々のボス部が挿入可能な溝１４と、各々の溝１４に連通し、可動側板６が移動する際にボス部が通過する連通路を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】
光学素子の角部からの破損による不良を軽減し、製造工程から客先まで良好な品質で光学素子を搬送することができるトレーを提供する。
【解決手段】
容器１と蓋体２とから構成され、光学素子３を収容してなる搬送トレーであって、容器１には複数個の凹部形状５が有り、凹部５は光学素子３が容易に出し入れできる寸法を有し、光学素子３の大半が凹部５に収納する構造を持ち、蓋体２は容器１の光学素子側から被うように被せ、凹部５に収納する光学素子３と蓋体２の内側で光学素子３を押さえる形態を有しており、蓋体２の上面には少なくとも２箇所の突起部６と、容器１の底面には少なくとも２箇所の孔部７とで嵌合することで重ね合わせる構造を有し搬送トレー全体を真空密封するこ。 （もっと読む）

【課題】
光学素子の角部からの破損による不良を軽減し、製造工程から客先まで良好な品質で光学素子を搬送することができる搬送トレーの提供。
【解決手段】
容器１と蓋体２とから構成され、光学素子３を収容してなる搬送トレーであって、容器１には複数個の凹部形状５が有り、凹部５は光学素子３が容易に出し入れできる寸法を有し、光学素子３の大半が凹部５に収納する構造を持ち、蓋体２は容器１の該光学素子側から被うように被せ、凹部５に収納する該光学素子３と蓋体２の内側で光学素子３を押さえる形態を有しており、蓋体２の上面には光学素子３と接する箇所全域に少なくとも１本の内部に凸の溝６を設けて、凸部６の溝により光学素子３を押しつける構造を有し搬送トレー全体を真空密封する。 （もっと読む）

【課題】 内外両ケース３、４から発生する樹脂粉の、感光体ドラムＤの感光層Ｄ１への付着をより確実に防止することができる梱包容器を提供する。
【解決手段】 内ケース３および外ケース４のうちの一方を、感光体ドラムＤの感光層Ｄ１の表面を形成するバインダ樹脂よりも摩擦帯電系列が(＋)側に位置する材料で形成すると共に、他方を、感光層Ｄ１よりも摩擦帯電系列が(−)側に位置する材料で形成する。 （もっと読む）

【課題】多種の形状の光学デバイスに汎用的に使用出来ると共に、簡易な形状で廉価な梱包ケースを提供することを目的とする。
【解決手段】梱包ケース７は、光学デバイス８を収容する汎用トレー９と、上蓋１０と、底板１１とにより構成し、汎用トレー９の裏面には、所定の幅で粘着面が汎用トレー９に設けた窓１２から覗くよう二枚の粘着テープ１３が貼り付けられ、光学デバイス８は、前記二枚の粘着テープ１３の接着面に、光学デバイス８の光学面の有効径にかからないよう接着する。従って、本第一の実施例の如く梱包ケース７を構成することにより、梱包ケース７が振動した場合であっても、光学デバイス８と汎用トレー９とが接触してごみが発生することもなく、又、光学デバイス８を平置きしたため、光学デバイス８が倒れることもなく、転倒防止用のガイドも不要である。 （もっと読む）

【課題】 レチクル搬送容器の方向を間違えてもレチクルストッカーに装着できるようにする。
【解決手段】 一端に開口を有しレチクル１２を収納する内部を有し、開口を覆って塞ぐ扉１４と、扉１４でポッド１３を塞いだときに内部を気密にシールするシール材１５とを備えたレチクル搬送容器１１である。扉１４の外側表面に形成されて、装置側に位置決めして取り付けるためのキネマティックピングルーブを、１８０°方向を変えて二組設けた。ポッド１３の外側表面のうち、キネマティックピングルーブに対応した位置には、キネマティックピングルーブを受けて保持するための受け部２２を、二組のキネマティックピングルーブをいずれの方向からでも嵌合できるように配設した。 （もっと読む）

【課題】 従来の大型ペリクルを含め、大型ペリクルを搬送するのに適切な簡便な搬送方法を提供するものであり、そのための搬送用治具、及び大型ペリクルを収納するペリクルケースを提供する。
【解決手段】 ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設け、前記ペリクルフレーム下面にフォトマスクに接着するための粘着面を形成してなる大型ペリクルの搬送方法において、前記ペリクルフレーム下面の一部を前記大型ペリクルの搬送用治具の表面に一時的に粘着させて搬送することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】収納したフォトマスクブランクのガス汚染によるレジスト膜の感度変化と粉塵による汚染の両方を抑制することができるとともに、保管、輸送が容易なフォトマスクブランク収納容器を提供する。
【解決手段】 レジスト膜を成膜したフォトマスクブランクを収納する容器であって、少なくとも、容器本体と、蓋体と、ガス吸着用カセットとを具備するものであり、該ガス吸着用カセットは、有機ガス吸着剤及び／又は塩基性ガス吸着剤を保持するものであり、かつ、前記容器本体の側面、底面、及び前記蓋体の上面のいずれかに着脱可能に装着されるものであることを特徴とするフォトマスクブランク収納容器。 （もっと読む）