【課題】 熱変形によるペリクルフレームの変形を抑制し、ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるペリクルフレームおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 事前に所定温度で加熱処理しておくことで、リソグラフィー工程時の温度変化によるフレーム変形が実質的に生じないようにすることを特徴とする。温度変化によるフレーム変形が平坦度３μｍ以下であること、前記加熱処理温度が１４０〜２５０℃であること、ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成されたものであること、がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】薄膜部の撓みを抑制できる保護装置を提供する。
【解決手段】保護装置は、基板の表面の所定領域を保護する。保護装置は、第１方向に沿って配置された相互に対向する一対の可撓部を含み、基板の表面に接続されて所定領域の周囲を囲うフレーム部と、所定領域と対向するようにフレーム部に張設され、フレーム部によって形成された開口部を閉塞する薄膜部とを備えている。可撓部は、薄膜部側の端面が基板との接続部側に凹んだ湾曲形状を有する。 （もっと読む）

【課題】輸送車両の積載限界幅に制限された状況下において大サイズのガラス板を収容でき、かつガラス板の保管効率を向上させる。
【解決手段】本発明のガラス板の梱包体によれば、ガラス板Ｇのヤング率をＥ、厚さをＴとすると、ロール１０に巻き付けるときに発生する、ガラス板Ｇの許容される引張応力の最大値（σmax）が５０ＭＰａとなるように、ロール１０の半径Ｒを式（１）：Ｒ＞Ｔ・Ｅ／２σmax、式（２）：０．１５≦Ｔ≦０．７ｍｍ、により算定し、その半径Ｒのロール１０上にガラス板Ｇを連続的に巻き付けて収容する。この梱包体によれば、ガラス板を積載限界幅に応じた大きさに切断する必要がないため、輸送車両の積載限界幅に制限されつつも大サイズのガラス板を収容できる。 （もっと読む）

【課題】無機酸の含有量を低減して、高エネルギーの光の照射下においてもヘイズの発生を可及的に防止できるペリクル用支持枠の製造方法、及びこれによって得られるペリクル用支持枠を提供する。
【解決手段】アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、光学的薄膜体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠の製造方法であって、酒石酸を含んだアルカリ性水溶液を用いた陽極酸化処理によりアルミニウム材の表面に陽極酸化皮膜を形成し、有機系染料を用いて染色処理した後、水蒸気により封孔処理してペリクル用支持枠を得る。 （もっと読む）

【課題】各種物理的強度、クッション性、帯電防止性等に優れ、ガラス基板の運搬等の際に、破損したり折曲がったりせず、ガラス基板表面の清浄度をより確実に高く保つことができるガラス基板運搬用合紙を提供することである。また、天然有機物資源に対する依存度が低く、廃棄の際にも環境保護が図れるガラス基板運搬用合紙を提供することである。
【解決手段】脂肪族系ポリエステルを含む２層以上の樹脂層が積層されてなる積層体であって、少なくとも１層の発泡樹脂層と少なくとも１層の非発泡樹脂層又は発泡樹脂層が積層され延伸されてなる発泡二軸延伸シートからなることを特徴とするガラス基板運搬用合紙。 （もっと読む）

【課題】卵を割らずに同時に１０ヶ洗える卵専用洗い篭を提供する。
【解決手段】小さい卵サイズの篭１を１０ヶ連なって２卵専用の洗い篭である事を特徴とする。したがって、卵を１つずつ洗うのでなく１０ヶ同時に洗える。そして、そのまま冷蔵庫に保管出来、卵１０ヶを同時に移動することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）

【課題】輸送中にガラス板積層体に含まれるガラス板と保護シートとの間に生じるズレを可及的に低減することにより、ガラス板に傷が生じるという事態を防止するとともに、輸送完了後のガラス板取出作業の作業効率を良好に保つ。
【解決手段】複数枚のガラス板６の各相互間に保護シート５を介在させて平積みしたガラス板積層体４を、パレット２の支持面３で下方から支持してなるガラス板梱包体１であって、パレット２に対して支持面３に沿う面方向に力が入力された場合に、ガラス板積層体４の最下層と支持面３との間の面方向の滑り量が、ガラス板６と保護シート５との間の面方向の滑り量よりも大きくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被梱包物と外装箱との空隙を有効に活用し、輸送包装におけるダンボール製緩衝材の小型化を図る緩衝構造を提供する。
【解決手段】上方と下方は開放された、ダンボールシートまたはパルプモールドを材料として形成される角筒状にした緩衝材であって、略等脚台形の形をした側壁が隣り合う側壁同士では、等脚台形の上底と下底が上下逆になって４面に亘って連接しており、緩衝材を構成する部材の破断を利用して衝撃エネルギを吸収すると共に、潰れた部材の折り重なりを負荷方向に垂直の面内に退避させて衝撃ストロークを確保する。 （もっと読む）

【課題】照明器具の本体を的確に梱包できる、簡易な構造の照明器具の梱包資材を提供する。
【解決手段】本発明に係る照明器具の梱包資材９００は、平面状の本体載置部１００と、折り曲げることで照明器具の本体５００を支持できる一対の本体支持部３００と、を有する。照明器具の本体５００は、照明器具の梱包資材９００に梱包され、梱包用外箱７００に収納される。一対の本体支持部３００同士をガムテープ等の接合部材６００で接合することも可能である。 （もっと読む）

【課題】 無酸素無水分包装で製造直後から実装直前まで保存することにより、鉛フリーはんだ導入後、実施されてきた高温リフロー時のデラミネーションを防ぐ目的で実施されているベーキング工程を必要としない、電子部材の保存方法を提供する。
【解決手段】 電子部材を酸素吸収機能の発現に水を必要としない酸素吸収剤及び脱湿材とともにガスバリア性容器内に収納する、電子部材の保存方法とする。
（もっと読む）

コンタクトレンズなどの眼科デバイスの貯蔵用のパッケージシステム及び装着の間のレンズの快適さを改良するようにこのような眼科デバイスを溶液でパッケージするための方法を開示する。パッケージシステムは実質的に水溶性のシリコーン含有界面活性剤を含む水性パッケージ液中に貯蔵された眼科デバイスを含む。このような溶液は未使用のレンズの表面に長時間にわたって保持され、目の中に持続する表面変性となる。この表面変性は初めて使用する際に、さらにはレンズ挿入の数時間後にも、新鮮なコンタクトレンズの湿潤特性を有意に改良し、乾燥を予防しそして潤滑性を改良することができる。
（もっと読む）

【課題】収容部内に収容されたチップが欠けたりすることを抑制することができるチップトレイおよびチップパッケージを提供する。
【解決手段】チップトレイは、チップを収容可能な収容部１０２が形成されたチップトレイ本体と、収容部１０２の周面を規定するチップトレイ本体３００の内周面から突出する第１位置と、第１位置よりも、該第１位置から内周面に向かう方向に向けて変位した第２位置との間を移動可能に設けられる支持部材１３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で安価に製作でき、搬送時の発塵を抑制することができる搬送フレームおよび電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース層材３と、枠層材２と、電子部品を収容する複数の開口１ａを有する位置決め層材１とによりフレーム本体５が構成される。位置決め層材１とベース層材３との間の枠層材２で囲まれた中空部６にばね層材４が装着される。ばね層材４の各開口４ａには、位置決め層材１の開口端との間で電子部品を挟圧する弾性力を付与する小ばね部４ｂがばね層材４と一体的に形成されている。また、ばね層材４の長手方向の一端部には、装着状態で枠層材２の内面に当接して長手方向に沿った弾性力を付与する大ばね部４ｅがばね層材４と一体的に形成されている。本構成では、ばね層材４のみで、全電子部品が一括して位置決め固定される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に傷を生じることなく良好で簡単に基板収納用ケースから基板を取り出すことができる基板取り出し治具を提供する。
【解決手段】開口部がある底部を有し、略同一の円板形状の基板を、前記底部から起立させて、前記基板の厚みの方向に規則的に配列して収納し、前記底部の反対側の上端が、前記基板を自由に出し入れ可能に開放されている基板収納用ケースから、前記基板を取り出す基板取り出し治具において、前記開口部から前記基板収納用ケースの内側に挿入される柱状部材を有し、前記柱状部材は、該柱状部材の先端面に前記基板の下部を受ける溝を備え、前記溝が前記基板の下部を受けた後から、前記柱状部材の挿入が完了するまでの、前記柱状部材が挿入される長さが、前記基板収納用ケースに収納されている前記基板の中心から、前記基板収納用ケースの前記上端を面内とする上端面までの距離より長い。 （もっと読む）

【課題】ガラス板等の板状物をスペーサ上に積み重ねる作業及びそれらを積層させた状態から板状物を抜き取る作業を容易化して、作業能率の改善を図る。
【解決手段】複数枚のガラス板を水平姿勢で上下方向に積層させる際に上下に隣り合うガラス板の相互間に介在され、平面視で、ガラス板の外輪郭線よりもスペーサ１の外輪郭線が外方に位置しまたはその両線が内外方向で同一となる第１領域Ｂ１と、ガラス板の外輪郭線がスペーサの外輪郭線よりも外方に位置する第２領域Ｂ２とを有し、第２領域を左右両側にそれぞれ備えると共に、その左右両側では、ガラス板の左右方向における最外方部Ｇｅが、スペーサの左右方向における最外方部１Ｅよりも、外方側に位置するように構成される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造であり、低コストで容易に作製できて、物品の破損を抑制する十分な性能を有する容器を提供する。
【解決手段】波状に山部と谷部とが交互に形成され、谷部の最底部を挟んで形成された壁部に物品３０を挟持する波状挟持部１３と、波状挟持部１３が物品３０を挟持する際に波状挟持部１３と物品３０とを介在する部位に形成され、線状で、かつ弾性を有する第１弾性緩衝部２０とを備えた構成とする。さらに、壁部に挟持された物品３０の底部が接する下方側面部１２と、その下方側面部１２に形成された、線状で、かつ弾性を有する第２弾性緩衝部２１とを備える。さらに線上で弾性を有する第３弾性緩衝部２２を備える。そして第１、第２、第３弾性緩衝部２０，２１、２２を、ガスを混入して泡状化されたホットメルトで形成する。 （もっと読む）

【課題】収穫後に苺の可食部を手で触れることなく、その後の選別、洗浄、殺菌などの前処理工程に使用できる搬送用保持具及びこの搬送用保持具を利用した搬送・陳列用容器を提供する。
【解決手段】花茎ｓの一部を一体として採取された可食部Ｓを保持対象物とし、その花茎ｓを差し込んで挟持可能な楔形孔５が１以上形成された板状体からなる苺の搬送用保持具１とする。容器に保持具１の縁もしくは端部を係止可能な孔または凹部が形成されている苺の搬送・陳列用容器を採用する。花茎ｓを楔形孔５に挟持させ、楔形孔５から抜けない状態にして可食部Ｓを吊り下げて保持するので、可食部Ｓが搬送用保持具１、搬送用容器や保管容器もしくは搬送ベルト１０、または果実同士が接触しない状態で保持し、搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】合成樹脂発泡板１の片面が波形状の凹凸面とされ、該凹凸面に沿うようにして前記合成樹脂発泡板１とは異なる合成樹脂材料で形成された樹脂シート２が一体に積層された形状の合成樹脂発泡成形品であって、成形後に反り等が生じないようにした合成樹脂発泡成形品Ａを、簡単な製造方法で発泡成形する。
【解決手段】上面が波形状の凹凸に形成された下型１０の凹凸面上に凹凸面に沿うように予め成形された樹脂シート２を載置する。長尺状の補強部材３を樹脂シート２の上方にセットする。下型１０と長尺状の補強部材３とを囲むようにして側枠型２０と天面型３０をセットして、キャビティ空間を形成する。そのキャビティ空間内に発泡性粒子を充填して型内発泡成形する。 （もっと読む）

【課題】電球を取り出し易く、かつ落下させ難いブリスター包装を提供する。
【解決手段】
台紙１０２とカバー１０１とからなり、電球を包装するブリスター包装１において、台紙１０２の表面に切り溝１０２ｂを設け、更にミシン目１０２ｄを設ける。カバー１０１は台紙１０２の表側に熱溶着される。電球を収納するために設けられたカバー１０１の膨出部は、バルブを収納すべき部分から口金を収納すべき部分に近づくにつれて縮径し、バルブが口金側へ滑り出るのを防ぐ。台紙１０２のミシン目１０２ｄの間隔は電球のバルブ径よりも大きくなっている。また、切り溝１０２ｂの間隔は前記電球のバルブ径よりも小さく、かつ、前記電球の口金径よりも大きくなっており、開封時に電球が落下しないよう支持する。
（もっと読む）