【課題】搬送中にマスクブランクス表面に塵埃が付着することを確実に防止可能なマスクブランクスの搬送方法を提供すること。
【解決手段】マスクブランクス１の搬送に用いるブランクス収納ケース１０では、マスクブランクス１に接する中箱３０、および蓋４０に形成されているブランクス支持部をはじめ、ブランクス収納ケース１０全体が導電性樹脂から構成されている。このため、マスクブランクス１の搬送中にこれらの部材が擦れても静電気が溜まらない。それ故、搬送中、マスクブランクス１をブランクス保持溝３２から取り出す際、あるいは蓋４０を外す際、静電気に起因する放電が起こらないので、中箱３０のブランクス保持溝３２、および蓋４０のブランクス支持部４１から塵埃が発生せず、塵埃がマスクブランクス１に付着することを確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】搬送中に基板表面に塵埃が付着することを確実に防止可能な基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】基板１を搬送するにあたって、基板１を収納した基板収納ケース１０において、外箱２０の上部開口２１を覆う蓋４０の外周面と外箱２０の外周面との接合部分を粘着テープで塞いで外箱２０と蓋４０との接合部を隙間なく密封する。また、基板収納ケース１０をケース収納袋５０に収納した状態とする。さらに、ケース収納袋５０の上から外箱２０および蓋４０の双方に掛けたバンドで基板収納ケース１０を縛る。 （もっと読む）

【課題】収納容器内部の汚染を防止しつつ、簡素な構造で回転カムの位置ズレを防止すると共に回転カムに付与するトルクの分散化が図られた収納容器の蓋体及び収納容器を提供すること。
【解決手段】ラッチアーム１５を蓋体４から突出して容器本体２に係止させた後にカム部材１４の静止位置を規制する位置規制手段２０を備え、「ラッチアーム１５の突出量を最大とするための力」と、「カム部材１４を所定の静止位置に移動させるための力」とを同時にカム部材１４に付与する必要をなくしてトルクを分散させる。また、従前のようなスプリングを不要とし、部品点数を削減して簡素な構造とし、組立て作業の効率化を図り、製造コストを削減する。また、スプリングを備える必要がないため、スプリングから金属イオンが発生せず、容器本体内の収納物を汚染することがない。 （もっと読む）

【課題】キャリアテープに対するヒートシール性、特にポリカーボネート製キャリアテープに対するヒートシール性に優れた、高速シールが可能なカバーフィルムを提供すること。
【解決手段】基材層及びシーラント層を有し、シーラント層がスチレン系炭化水素と共役ジエン系炭化水素の共重合体７０質量％以上９７質量％未満及び粘着付与樹脂３質量％以上３０質量％未満からなり、かつシーラント層中のスチレン系炭化水素と共役ジエン系炭化水素の共重合体が、スチレン系炭化水素が６５質量％以上９０質量％未満、共役ジエン系炭化水素が１０質量％以上３５質量％未満であるカバーフィルム。 （もっと読む）

【課題】簡便にヒートシールできると共に、低い水蒸気透過性を有するフィルム積層体及びそれを用いた電子材料用包装袋体を提供する。
【解決手段】ポリエチレンフィルム層（Ａ層）と、無機化合物蒸着層を有する樹脂フィルム層（Ｂ層）と、金属蒸着層を有する樹脂フィルム層（Ｃ層）とを含み、かつ該ポリエチレンフィルム層（Ａ層）を表層とするフィルム積層体である。 （もっと読む）

【課題】様々な方向からの衝撃を抑制するとともに、被搬送物の位置ズレを防止することで、被搬送物を安定して搬送することができる搬送容器を提供する。
【解決手段】網目状弾性シート１０３の網孔は、被搬送体１０１の角部が嵌る大きさに形成されており、被搬送体１０１は、その角部がこの網目状弾性シート１０３の網孔に嵌りこむことで安定して固定されるようになっている。これにより、搬送中の様々な方向からの衝撃に対して、被搬送体１０１は位置ズレを生じることがなく、安定して搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】塵埃の付着や静電破壊を防止でき、製作が簡単で強度が大きく、有機ガスによるフォトマスク板等の板状品のヘーズ上昇も生じず、使用上の不便や不都合も解消できる収容ケースを提供する。
【解決手段】四周外縁に金属製の補強枠２を設けた合成樹脂製の上側ケース１ａと下側ケース１ｂとからなり、その内部に塵埃を嫌う板状品を収容する収容ケースであって、合成樹脂製の上側ケース１ａと下側ケース１ｂがいずれも、透光性の合成樹脂基層の両面又はいずれか片面に極細導電繊維を分散させた透光性の制電層を積層一体化したものである収容ケースとする。制電層で塵埃付着や静電破壊を防止し、極細導電繊維を制電層に分散させることで真空又は圧空成形等の二次加工により制電性能を損なうことなく上側ケースと下側ケースを簡単かつ効率良く製作できるようにすると共に、補強枠２で十分な実用強度を付与する。 （もっと読む）

【課題】薄板を安全に且つ確実に支持する。
【解決手段】少なくとも１枚の薄板を支持する載置トレイ１３である。一側面に設けられ少なくとも１枚の薄板が載置される第１載置部１８と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３の上記第１載置部１８と嵌合して外部環境と隔離した収納空間を形成すると共に当該収納空間内で上記薄板を挟み持って上下を逆にした際に当該薄板が載置される第２載置部１９と、一側面に設けられ他の載置トレイ１３と結合するフック３０と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３のフック３０と結合するフック係止機構３１とを備えた。この載置トレイ１３を、上記薄板の枚数に合わせた枚数だけ重ね合わせて薄板保持容器１１を構成する。この薄板保持容器１１は薄板を上下いずれからでも支持することができる。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減することで小型化を図ることができるとともに、製造コストを低減すること。
【解決手段】内部に半導体ウエハＷを複数枚収納するとともに、半導体ウエハＷを出し入れするための開口部２６を有する容器本体２０と、開口部２６を開閉自在に蓋する蓋体１００と、蓋体１００で開口部２６を蓋したときに容器本体２０を気密に密閉するシール材１０５と、側面部２２，２３の内面に形成され、半導体ウエハＷを厚さ方向に離間し、かつ、平行に配列支持する薄板体支持部３０とを具備し、容器本体２０と半導体ウエハＷを支持する薄板体支持部３０とはポリブチレンテレフタレートで一体に成形されている。 （もっと読む）

【課題】カバーテープ剥離時に静電気によるトラブルがなく、更に紙粉が原因のトラブルが極めて少ないためクリーンルームでの使用が可能なチップ型電子部品収納台紙の提供。
【解決手段】下記式で定まるカールファクターＣの平均が１．０５〜１．５５の範囲にある導電性繊維と、アクリル酸エステル共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体（ＮＢＲ）、スチレン−ブタジエン共重合体（ＳＢＲ）、ポリウレタン樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）から選択される樹脂エマルジョンとを、共に含有したことにより、２３℃、５０％ＲＨの環境条件下での紙の表面電気抵抗値を１×１０^９Ω以下にしたチップ型電子部品収納台紙。
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【課題】ＰＤＰを簡単な構成で容易に搬送できる搬送トレイを提供する。
【解決手段】収容本体部２１０内にＰＤＰを開口面２１０ＡにＰＤＰの表示面が臨んで収容されフックにより吊り下げ支持された状態で開口面２１０Ａが鉛直方向に対して上方に向く状態に、搬送装置のフックが係脱可能に係止して吊り下げ支持する吊り下げ支持部２５３を収容本体部２１０の開口縁から外方に向けて突設している。ＰＤＰ１０に外力が作用することなく安定して搬送できる。 （もっと読む）

【課題】収容した基板への外部雰囲気からの汚染を効率よく防止するのみでなく、基板自身及び内部構成部材から発生する汚染をも効果的に防止することができるようにしたクリーンボックスを提供する。
【解決手段】基板を収容するための容器本体１２とこれの開口部を密閉可能に覆う蓋体１４とにより構成される保持容器１８と、容器本体１２内において基板に接触する気流の循環流を形成するモータファン３０と、基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタ２６およびガス状不純物捕捉フィルタ２８と、容器本体１２内に配置された除湿剤５４とを備え、保持容器１８は、帯電防止剤を混入した樹脂から構成した。 （もっと読む）

【課題】搬送時に激しい振動を受けた場合でも、ガラス板の移動が生じ難く、これによる破損や表面傷の発生を防止することを回避するとともに、ガラス板の大板化に伴う梱包体の大型化やこれに起因する取り扱いの困難化に適切に対処可能とする。
【解決手段】ガラス板Ｇを平置き状態で載置するための支持面２ａを有する基台２上に、複数枚のガラス板Ｇを各相互間に保護部材３を介装し積層してなるガラス板Ｇの梱包体において、前記基台２の支持面２ａを湾曲してなり、複数枚のガラス板Ｇを支持面２ａに沿った湾曲状態で積層してなる。 （もっと読む）

【課題】搬送時に激しい振動を受けた場合でも、ガラス板の移動が生じ難く、これによる破損や表面傷の発生を防止することを回避するとともに、ガラス板の大板化に伴う梱包体の大型化やこれに起因する取り扱いの困難化に適切に対処可能とする。
【解決手段】ガラス板Ｇを略垂直方向に載置するための載置面２ｂと載置面２ｂの後端部から略垂直方向に延在する背もたれ面２ａとを備えた断面が略Ｌ字型の基台２上に、複数枚のガラス板をＧ各相互間に保護部材３を介装して、背もたれ面２ａに立て掛け状態で収納してなるガラス板Ｇの梱包体において、前記基台２の背もたれ面２ａを湾曲してなり、複数枚のガラス板Ｇを背もたれ面２ａに沿った湾曲状態で収納してなる。 （もっと読む）

【課題】平面表示装置その他の電子・電気製品を収納するための収納体の製造方法及び梱包方法において、電子・電気製品の寸法の変化に対して迅速かつ低コストにて対処できるとともに、電子・電気製品の損傷や粉塵の発生を防止でき、収納体の梱包等のためのコストを低減できるものを提供する。
【解決手段】例えば、携帯電話用の表示パネルモジュール2を、順次、平坦な帯状の樹脂シート1の間に挟み込む。一方、樹脂シート１の表側シート部1Aと裏側シート部1Bとを融着して接合することにより、各表示パネルモジュール2を所定個所に位置決めしつつ保持する。このようにして帯状収納体10を得た後、芯材45に巻きつけて梱包ユニット100とする。次いで、芯材45の四隅からの突起451を内箱46のスリット468に差し込みつつ、梱包ユニット100を内箱46に収納する。そして、仕切り壁46及びスペーサ47を介して外箱4中に収納する。 （もっと読む）

【課題】 ブランクの内面への貼り付きを有効に防止することができる収容構造および収容ケースを提供すること。
【解決手段】 内部に収容空間Ｓを備え、該収容空間に通じる開口２１を有する絶縁材料にて形成されたケース２０と、該ケースの外側に配置され、少なくとも該ケース内に磁力が及ぶ程度に近接して配置されたマグネットシート２４と、前記マグネットシートが間に介在するようにして前記ケースが置かれる鉄板とを備えるブランクの収容構造。 （もっと読む）

【課題】
カバーテープ剥離時に静電気によるトラブルがなく、更に紙粉が原因のトラブルが極めて少ないためクリーンルームでの使用が可能であるチップ型電子部品収納台紙の提供。
【解決手段】
叩解処理を施した溶融複合紡糸により製造した導電性繊維を内添して抄造した用紙に、アクリル酸エステル共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体（ＮＢＲ）、スチレン−ブタジエン共重合体（ＳＢＲ）、ポリウレタン樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）から選択される樹脂エマルジョンを含浸し、２３℃、５０％ＲＨの環境条件下での紙の表面電気抵抗値が１×１０^９Ω以下にしたチップ型電子部品収納台紙。 （もっと読む）

【目的】廃棄処理を容易にして環境に適した電子部品用のエンボステープを提供する。
【構成】表面実装用の電子部品例えば表面実装振動子を収容する独立したポケット３を連続的に有し、リールに巻回されるエンボスキャリアテープにおいて、前記ポケット３間の例えば複数個置きに幅方向の分割線６を設けた構成とし、さらに具体的には、前記分割線６は厚み方向に設けた溝又はミシン目であって、前記分割線６の両端側又は一端側には切欠部７を有する構成とする。 （もっと読む）

ウエハー或いはレチクルと協働して拡散バリアを与える最小の接触を含む支持構造および環境制御手段を与える容器は、ウエハー或いはレチクルの面上に置かれる微粒子を軽減する。容器は、突起物を伴う平坦で研磨された表面を有するベースを含み、ウエハー或いはレチクルはこの突起物上に設置される。突起物は、ウエハー或いはレチクルと最小の接触を与えるとともにウエハー或いはレチクルをベースに浮かせる球としての配置を有し、それらの間にギャップを与える。このギャップは、ウエハー或いはレチクルをベースの平坦で研磨された表面から分離するとともに微粒子のギャップへの移動を防止し、それによってウエハー或いはレチクルの高感度面の汚染を防止する。拡散フィルタは、ろ材なしで圧力均一化を与える。トップカバー上の移動可能なレチクルのピンはレチクルを規定する。二重ポッドの実施態様によってさらなる分離および保護が得られる。
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【課題】ケース内部が確認できる視認性と、特にレジスト膜を形成したマスクブランクに好適な遮光性とを兼ね備え、所望のマスクパターンを形成するための安定したレジスト性能を維持できるマスクブランク収納ケースを提供する。
【解決手段】基板上に転写パターンを形成する薄膜を少なくとも有するマスクブランクを収納するためのマスクブランク収納ケースであって、その少なくとも一部が、収納物をケース外部から視認可能である程度の光透過性を有し、尚且つ波長が５５０ｎｍ以下の光を実質的に遮蔽する。また、上記収納ケースは、波長が６００ｎｍ以上の光を実質的に透過する。 （もっと読む）