【課題】位置補正用データの管理負担を伴うことなく搬送台車を高い精度で位置決めする。
【解決手段】リニアコンベアは、複数の電磁石ユニット２６を含み、電磁石ユニット２６毎に個別に通電制御が可能なリニアモータ固定子７と、永久磁石４４からなるリニアモータ可動子８及び位置補正用データが記憶されたＲＦタグ５５をそれぞれ備える複数のスライダ４と、各電磁石ユニット２６の通電制御を個別に行う複数のモータコントローラＣと、ＲＦタグ５５の情報を読み取るリーダライタ６０と、を備える。各モータコントローラＣはそれぞれ、リーダライタ６０が読み取った各スライダ４の位置補正用データを記憶しておき、スライダ４を目標位置で停止させる際には、対象となるスライダ４の位置補正用データを用いて目標停止位置を補正し、この補正後の目標停止位置に基づいて電磁石ユニット２６への通電制御を行う。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生を抑制可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置は、チャンバと、チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、基板支持体上に直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第１磁気ラックと、複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第１磁気ピニオンであって、第１磁気ラックの一方の側に配置され、第１磁気ラックとの間に回転軸方向で磁気結合された第１磁気ピニオンと、チャンバに固定して設けられ、基板支持体を移動可能に支持する支持部材とを備え、第１磁気ピニオンを回転することにより、基板支持体を移動させる。 （もっと読む）

【課題】飲食物を載置された走行体が、走行レーンの曲線路にて飲食物の安定性を保ちながら移動することができる飲食物搬送装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも一部に曲線路１０ａ，１１ａを有する走行レーン１ａと、走行レーン１ａに沿って設けられる搬送駆動体１５と、飲食物９を載置して走行レーン１ａに沿って走行可能な走行体７と、搬送駆動体１５と走行体７とを駆動連結する連結手段１８，１９と、を有し、搬送駆動体１５を駆動させることによって走行体７を走行レーン１ａに沿って走行させる飲食物搬送装置１であって、連結手段は、走行体７に取り付けられた第１連結手段１８と、搬送駆動体１５に取り付けられた第２連結手段１９と、から構成されており、第１連結手段１８と第２連結手段１９とのいずれか一方の連結手段は、他方の連結手段に対して追従可能に取付本体で移動すること。 （もっと読む）

【解決手段】 充填装置２は、容器１を搬送する搬送手段３と、容器に食品を充填するフィラ５とを備え、上記フィラは充填ノズル５ａを備えた処理ヘッド５ｂと、上記処理ヘッドを処理開始位置Ｄ１と処理終了位置Ｄ２との間で往復動させる移動手段とを備えている。
上記搬送手段は、容器を保持するキャリア１１と、該キャリアを磁力により移動または停止させる複数の電磁石１２ａからなるリニアモータ１２とを備えるとともに、上記電磁石は少なくとも上記処理開始位置に備えている。
上記処理ヘッドとキャリアとを係合させる係合手段２１を設け、処理開始位置で処理ヘッドとキャリアとを係合させたら、上記移動手段が処理ヘッドとキャリアとを係合状態を維持したまま上記処理終了位置まで移動させる。
【効果】 構成が容易で、かつ搬送手段による物品の移動と処理ヘッドの移動との同期を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】搬送路に沿って、物品を載置したトレイを浮上させて非接触で高速搬送し、またトレイの向きや左右方向の位置を容易に制御する。
【解決手段】物品を非磁性体の金属からなるトレイに載置し、物品を載置するトレイをリニアモータの２次側として、搬送路に沿って配置した１次側のコイルから推進力を加え、浮上ユニットでトレイを浮上させて搬送する。搬送路に沿って設けられた複数の浮上ユニットのコイルによりトレイに磁界を加えて、搬送路に沿った推進力を加えて非接触で高速搬送する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内で基板を水平方向に搬送する搬送装置において、キャリア手段とキャリアとの摩擦によるパーティクルの発生を低減し、キャリア手段とキャリアの摩耗によるメンテナンス頻度を低減する。
【解決手段】キャリア６に第１の磁石１５を配置し、キャリア支持手段２１の、該第１の磁石１５に対向する部位に該第１の磁石１５とは間隔を介して、該第１の磁石とは対向面において同極性の第２の磁石２５を配置し、該第１の磁石１５と第２の磁石２５の反発力をキャリア６を上方に浮き上がらせるように働かせ、キャリア支持手段２１のガイドローラ２２にかかるキャリア６の自重を軽減して、ガイドローラ２２とガイドレール部１３との摩擦を低減する。 （もっと読む）

ホイール又はローラ上に搭載されている１つ又は複数の運搬デバイス、特に可動パレット、車両、又はコンテナを移動させる強磁性プレーナモータを備える貯蔵又は運搬システムが開示される。プレーナモータには、運搬デバイスを移動させるのに適した磁界を発生させることができる複数の電磁石が設けられる。運搬デバイスは、プレーナモータの駆動作用に対して受動的に設計される。変圧器は、互いに分離することができ、プレーナモータの所望の幾何学的形状に合わせて配置することができる。少なくとも１つの金属検出装置が、プレーナモータに組み込まれる。本発明は、極めて柔軟な貯蔵システムを可能にする。 （もっと読む）

【課題】キャリアを安定、かつ高速に搬送でき、さらに真空内で発塵の少ない構造の磁気搬送システムを提供する。
【解決手段】本発明の磁気搬送システムは、２枚のキャリア４と、各キャリア４の上端部間に配置された、Ｎ極とＳ極とが交互に配置されてなるキャリア側磁石４１と、２枚のキャリア２の自重を支持する自重受け用ベアリング６とを有する。磁気ネジ２はキャリア側磁石４１の鉛直上方に配置されている。 （もっと読む）

【課題】従来の基板搬送装置において、応力のばらつきによってガラス基板が割れたり搬送装置自身が長時間にわたり作動し続けることができないという問題点を解決して、リニア走行の技術を用いて磁性の吸引力と反発力によって搬送装置を設計して、ガラス基板の大型化による問題点を解決する基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置において、両側に異なる複数の磁性固定の第１磁気ブロックが交互に配置されるキャリアと、両側に２組の磁性可変の第２磁気ブロックが基板の幅より大きく配置されるレールとを含み、前記第１磁気ブロックと前記第２磁気ブロックの間の反発力によって前記キャリアを前記レールの上に浮かせる。 （もっと読む）

【課題】簡易に構築でき、小型のビークルの搬送を的確に行うことができる小規模の磁気浮上式搬送システムを提供する。
【解決手段】レールトラック上をビークルを磁気浮上させて移動させる小規模の磁気浮上式搬送システムにおいて、高温超電導バルク体４１からなるレールトラックと、磁石４２を搭載し、前記レールトラック上で磁気浮上するビークル４３と、前記レールトラックの所定の箇所で前記ビークル４３を加速する空気加速機とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁石の吸引力を用いて動力を伝達する技術を前提にして、環状の搬送路に適した構成の搬送装置を提供すること。
【解決手段】 搬送装置は、搬送路に沿ってウエハを載せるハンガー１１が台車１２に取付けられ、一定の速度で巡回して走行できるようになっている。前記台車１２に走行力を伝達する伝達機構２として、走行方向に対しＮ極とＳ極が所定角度で交互に、且つ、短冊状に成形されると共に、連結手段３を介して環状に連結されている板状体２０と、これらの板状体２０と非接触で異極同士の吸引力が作用するように、前記搬送路に沿って回転可能に取付けられ、その回転軸に対しＮ極とＳ極が所定角度で交互に、且つ、短冊状に着磁されると共に、前記搬送路の略直線状部分の所定領域に配置されている円柱状体２１を用いている。 （もっと読む）

【課題】許容負荷荷重を大きくすることが可能な超音波浮上装置を提供する。
【解決手段】固定部１と、上記固定部１に対して移動可能に設置された可動部９と、上記固定部１又は可動部９に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置１３と、を具備し、上記振動発生装置１３が超音波振動することにより上記可動部９が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置１３によって発生される超音波振動が主振動に対して副次振動を伴うものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】案内機構に加わる作用力を低減した搬送装置を得る。
【解決手段】内部が中空の直線状の固定レール２と、筒状に形成された移動台４とを備え、移動台４の筒状内に固定レール２が挿入されると共に、固定レール２に案内機構１４を介して移動台４を移動可能に支持する。固定レール２の両外側に電機子コイル１６を長手方向に沿って多数配列すると共に、移動台４には、固定レール２の両外側の電機子コイル１６に対向して永久磁石１８を移動台４の筒状内の両側に配列した。移動台４に揺動アーム３０を備えた揺動機構２４を配置し、移動台４の移動に同期して揺動アーム３０の揺動を制御する制御手段７２を設けてもよい。 （もっと読む）

【課題】搬送台車間のピッチが変化しても、推力の変動が少ないリニア同期モータ駆動型搬送物仕分装置を提供すること。
【解決手段】所定の走行路に沿って敷設される走行用レールと、該走行用レールに沿って移動する複数の搬送台車と、隣り合う前記搬送台車が連結桿によって無端循環状に連結されている永久磁石式リニア同期モータ駆動の搬送物仕分装置において、連結された前記複数の搬送台車の１台おきにＮ極とＳ極が交互に並ぶ２次側磁石プレートが配置され、前記走行用レールに沿って、前記２次側磁石プレートに対向して１次側コイルが設置され、該１次側コイルの長さが、２つの前記２次側磁石プレートに同時に対向することがないような長さであると共に、前記１次側コイルを前記２次側磁石プレートが侵入してくるタイミングに合わせて、個別に磁場を発生させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】所定の移送経路に沿って検査などを行う際に、その移送を安全に行い得るとともに、比較的、安価な移動体を採用し得る非接触式移送システムを提供する。
【解決手段】トンネル内に配設された管体１と、この管体１内に配置されるとともに空気輸送により管軸方向で移動自在にされた移動体２と、この移動体２に設けられた超電導磁石体３と、この超電導磁石体３に対応する位置で永久磁石体２２が設けられ且つこれら両磁石体３，２２同士の反発力により管体１の外面に浮遊されるとともにそのピン止め力により移動体２の移動に追従するようにされた移送体４とから構成したものである。 （もっと読む）

本発明は経路に沿って動くアクチュエーターによって搬送される、または経路に沿って動くアクチュエーターに接続された物体の３次元の回転及び並進運動を実施するための新規なメカニズム及び方法を与える。本発明のメカニズム及び方法を利用する乗物または他の輸送手段（以降、包括的に「乗物」と呼ぶ）は移送、輸送、製造、材料の搬送、及び他のシステムの性能を向上させ、コストを削減することができる。１つの側面において、本発明の図示された実施例は経路に沿った移動のために構成された２つ（または、それ以上）のアクチュエーターを有する、そのような乗物または他の輸送手段を提供する。アクチュエーターはそれらの間の距離が増大または減少するように、互いに相対的に推進される（または、互いに相対的に動作可能である）。必要な場合、その距離は、例えば、アクチュエーターが移動しているかどうかにかかわらず、一定に維持することもできる。パレット、搬送台、または他の可動部分（以降、包括的に「パレット」と呼ぶ）は、アクチュエーターによる経路上の互いに相対的な少なくとも選択された動作が、例えば、経路に対して横方向の動きや経路の平面外の動きを含む、パレットの経路に対する３次元の回転及び（または）並進運動を達成するようにアクチュエーターに移動可能に接続される。
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【課題】 複数のチャンバを備える半導体製造装置で各チャンバ間でのキャリア受渡しを円滑に行い、高速連続搬送を行える磁気搬送装置を提供する。
【解決手段】 隔離可能でかつゲートバルブ１１でつながる３つのチャンバ２Ａ〜２Ｃに付設され、チャンバ内をキャリア１３を搬送する。搬送路ではチャンバの間で渡り部分が形成される。チャンバに対応してキャリアを移動させる駆動軸３２Ａ〜３２Ｃと動力伝達部４２と駆動装置４１Ａ〜４１Ｃを備える。駆動軸はＮ極螺旋部３３ａとＳ極螺旋部３３ｂからなる螺旋状磁気結合部３３を有する。各チャンバに設けた駆動軸の配置間隔（ｄ）が、螺旋状磁気結合部におけるＮ極螺旋部とＳ極螺旋部の間隔（ｐ）の２倍の自然数倍になるように設定される。この関係で±１．５ｍｍのずれが許容される。各チャンバの駆動装置の動作を同期させて制御する制御装置１００が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 上り勾配及び下り勾配を有する傾斜を設けた搬送路であっても、とどこおることなく飲食物容器を搬送させることができる飲食物容器の搬送装置を提供する。
【解決手段】 エンドレスに走る循環コンベアと、該循環コンベアに等間隔に軸着された上下方向に回動可能な複数個の連結アームと、各連結アーム毎に循環コンベアの搬送方向とは反対方向に向かって上下方向に回動可能に設けられた第一磁性体と、循環コンベアに沿ってエンドレスに配設された平滑面を有する搬送路と、該搬送路面上を走る第二磁性体が内蔵された偏平台座とからなり、第一磁性体と第二磁性体との間で発生する磁力により第一磁性体が循環コンベア及び連結アームに対して上下方向に回動されて第二磁性体に引き寄せられた状態にて前記偏平台座を循環コンベアの搬送に従って搬送路面上を走行させる。 （もっと読む）