【課題】接着剤によって振動板の振動が阻害されることを抑制し、かつ圧力−流量特性のバラつきを抑制することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】圧電ポンプ１０１は、振動板ユニット１６０と可撓板１５１とを備える。振動板ユニット１６０は、振動板１４１と、枠板１６１と、連結部１６２とによって構成される。振動板１４１の周囲には枠板１６１が設けられていて、振動板１４１は３つの連結部１６２で枠板１６１に対して３点で柔軟に弾性支持されている。そして、枠板１６１は接着剤によって可撓板１５１に固定される。振動板１４１および連結部１６２は、振動板１４１および連結部１６２の可撓板１５１側の面が可撓板１５１に接触しないよう、枠板１６１の厚みより薄い厚みに形成されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプユニットにおいて、能力を向上させながらも、大幅な小型化を達成する。
【解決手段】マイクロポンプ５００を行と列の関係となる格子状に配置し、少なくとも最下流行のマイクロポンプ５００の吐出口を統合吐出口に接続する。更に、中間行の複数のマイクロポンプのそれぞれの吐出口を統合吐出口に直結させる吐出直結機構と、同マイクロポンプのそれぞれの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させる吸入直結機構と、上流行のマイクロポンプの吐出口を、下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させる直列結合機構と、これらを制御する制御装置を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】従来の滴の落下を防止する給油ポンプには、少しの衝撃で油が滴たるもの、残存油を捨てる必要があるもの、残留液が逆流するもの等という問題点があった。本発明は、上記のような問題点を解決することを課題とするものである。
【解決手段】本発明は、給油中はパイプと吐出ノズル間に設けた吸液スポンジを圧縮し、給油後に復元する事でより多くの滴を吸液して、給油後にパイプから滴が落下する事を防止することで目的を達することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を使用せずに流体を輸送でき、構造が簡単で、所望の流量を得ることが可能な圧電マイクロポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム２０を間にしてポンプ室１５の外周部と対向するポンプ本体１０の部位に、ダイヤフラムと接する第１壁部１３ｂが形成され、この壁部と接するダイヤフラムの部位に第１開口部２１ａが設けられ、ポンプ本体の側壁であって、ダイヤフラムのポンプ室側の側面と接する第２壁部１２ｂに第２開口部１２ｃが設けられる。圧電素子の振動に伴うダイヤフラムの屈曲変位によって、第１開口部及び第２開口部を交互に開き、一方の開口部から流体を吸い込み、他方の開口部から流体を排出する。特に、ダイヤフラムを３次共振モードで駆動すると、最大流量が得られる。 （もっと読む）

流体を複数に小分けして分与する方法および装置。ポートと、注入口および流出口を有する可撓性のある分与チューブとを備える容器内に流体が保存されている。注入口がポートに一体封止されており、粘弾性バルブが流出口に取り付けられている。本発明の方法には圧縮ステップおよび圧縮を終了するステップを含み、この方法には、第１のチューブ部分とバルブとの間のチューブ部分内の圧力を解放するという圧縮ステップの終わりに実施されるさらなるステップを含む。 （もっと読む）

本発明は、弾性的に変形可能なチャンバ壁（１．２）及び剛体のチャンバ壁（１．３）の間に画成される細長い空洞（１．１）を含んでなる蠕動ポンプのためのポンプチャンバ(１)であって、弾性的に変形可能なチャンバ壁（１．２）及び剛体のチャンバ壁（１．３）が、二成分射出成形によってワンピース部材として配置される、上記ポンプチャンバ（１）に関する。本発明は、また、蠕動ポンプのためのポンプチャンバ（１）を製造する方法であって、ポンプチャンバ（１）は、弾性的に変形可能なチャンバ壁（１．２）及び剛体のチャンバ壁（１．３）の間に画成される細長い空洞（１．１）を含んでなり、該方法は、弾性的に変形可能なチャンバ壁（１．２）及び剛体のチャンバ壁（１．３）を二成分射出成形し、それによってそれらをワンピース部材として成形する工程を含んでなる、上記方法に関する。 （もっと読む）

【課題】内筒及び外筒が膨張するだけでなく、筒軸心方向の長さが短くなることにより流体等を輸送するポンプユニットと、このポンプユニットを用いたポンプ及びポンプ装置を提供する。
【解決手段】ポンプユニット１は、外筒２と、該外筒２の内周面に沿って同軸的に設けられた膨張可能な内筒３とを有する。外筒２及び内筒３は、ゴム又はエラストマー中に筒軸心方向に配向するように高弾性繊維を配材して筒軸心方向に非伸長性としたものである。内筒３には、筒軸心方向に延在する拘束体４が複数本、周方向に均等な間隔をあけて埋設されている。ポンプユニット１を複数個同軸に連結することによりポンプが構成される。 （もっと読む）

【課題】高圧力での送液及び高流量での送液を可能とするマイクロポンプユニットを得る。
【解決手段】順方向及び逆方向に送液可能な複数のマイクロポンプ10a,10b,10cを積み重ねたマイクロポンプユニット。積み重ねたマイクロポンプの流路をマイクロバルブを介して開閉可能に連結し、マイクロバルブの開閉状態の組合せに応じて並列流量モードと直列圧力モードとを切り替える。並列流量モードでは、各段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されるとともに、各段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。直列圧力モードでは、奇数段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されかつ偶数段のマイクロポンプが奇数段のマイクロポンプとは逆の方向で送液駆動されるとともに、最上段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。 （もっと読む）

【課題】ポンプ軸以外の箇所にも軸受を設けるように構造工夫することにより、上述の大構造物となる移動体の摺動移動の円滑さやその摺動支持手段（軸受等）の耐久性を改善させる。
【解決手段】ポンプ軸１５を摺動可能に支持する軸受機構Ｂをポンプフランジ４に着脱可能に支持するに、ポンプ軸１５に外嵌するリング状で冷却手段Ｒを有する滑り軸受２１とシールリング２２とが装備されるカセット体１９を、これがポンプフランジ４に対する連結板１７側への取外しが行える状態でポンプフランジ４に取付ける。冷却手段Ｒは、滑り軸受２１の外周部２１Ｂに形成される複数の周方向溝３７で構成される。 （もっと読む）

【課題】 排出管内に付着した残留液を、強制的に排出することで、排出管からの液垂れを阻止するようにした給油ポンプの提供を目的とする。
【解決手段】 その一端に吸入と排出との作動を行なうと共に、中空室の押圧により作動する第１のポンプ室と、このポンプ室に連接した吸入管と排出管とを有するポンプ体の、前記排出管の中間部に押圧により作動する中空体の第２のポンプ室を配設して給油ポンプとした。
給油後に第２のポンプ室を作動すると、その排気によって排気管先端部の周壁内に付着した残留液が強制的に排出されることで、排出管からの液垂れを阻止する。 （もっと読む）

【課題】液体の逆流を抑制できるマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１０は、チューブ５０が延在される円弧の中心と同じ回転中心を有して回転するカム２０と、チューブ５０とカム２０の間にカム２０の回転中心から放射状に配設され、カム２０の回転により押動されると共に、チューブ５０を液体の流入口部５２側から吐出口部５３側に向かって順次閉塞する複数のフィンガー４０〜４６と、チューブ５０及びフィンガー４０〜４６を保持するチューブ案内枠１５と、が備えられ、フィンガー４０〜４６のうち、少なくとも吐出口部５３に最も近い位置に配設されるフィンガー４６のチューブ押圧部４６ｄの直径が、他のフィンガー４０〜４５のチューブ押圧部の直径よりも小さくすることで、液体流動方向のチューブ押圧量を他のフィンガーのチューブ押圧量よりも小さくして液体の逆流を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 押圧ローラが液体カセットの一部に引っ掛かることなく、液体カセットの交換を容易に行うことである。
【解決手段】 吐出部収納部１３の側方に設けられ回転駆動軸５により回転される押圧ローラ４Ａ，４Ｂを備えた本体２と、吐出部収納部１３に着脱自在であって、液体吐出用の弾性チューブ９が挿通され窓部１６を有する吐出部１４を備えた液体カセット３とからなり、この液体カセット３を弾性チューブ９が窓部１６を通して前記押圧ローラ４Ａ，４Ｂの押圧作動を受けるように着脱自在に装着し、押圧ローラ４Ａ，４Ｂの回転運動により、押圧ローラ４Ａ，４Ｂの前記弾性チューブに対する押圧作動が、作用時と非作用時とを繰り返して液体を定量ずつ吐出する液体吐出装置において、回転駆動軸５に装着された複数の押圧ローラ４Ａ，４Ｂを備え、複数のローラ４Ａ，４Ｂが吐出部１４内に位置しないように回転駆動軸５を停止させる。 （もっと読む）

真空脱気装置１０におけるチャンバ１２を操作可能に空にするのに使用するためのポンプ１４が、チャンバ１２と流体連通する１つ又は複数のポンプ・キャビティ７２、７４と、１つ又は複数のポンプ・キャビティ７２、７４の各１つと流体連通するように配置された出口８３を有する連続した通気路８０、８４とを有する。通気路８０、８４は、液体脱気用途におけるポンプ１４の作動の間の、ポンプ・キャビティ７２、７４内の溶媒凝縮を防止するのに十分な流量でポンプ１４のポンプ・キャビティ７２、７４内へ希薄ガス流を提供するように構成される。
（もっと読む）

流体ポンプが、１以上のアクチュエータと、２つの端壁と、側壁と、使用時に流体を含む空洞と、該空洞の壁を経る少なくとも２つの開口とを有している。上記空洞は上記端壁及び側壁により画成された略円柱状の形状を有している。上記少なくとも２つの開口のうちの少なくとも１つは弁付き開口である。上記空洞の半径ａ及び高さｈは、ａ／ｈが１.２より大きく、ｈ^２／ａが４×１０^−１０ｍより大きいという不等式を満足する。使用時に、上記アクチュエータは上記端壁の一方又は両方の該端壁の面に垂直な方向の振動運動を生じさせ、これにより、使用時において、これら端壁の軸方向振動が上記空洞内の流体圧の半径方向振動を励起させる。

（もっと読む）

【解決手段】 半導体製造工程への供給配管内の流体の圧力を制御するための改良された大量流体分配システム。本分配システムは、圧力容器又はパルス減衰器の何れかを備えたポンプベースのエンジンを含んでいる。ポンプ圧力容器の実施形態では、制御器は、供給配管内の流体の圧力を監視し、容器の分注圧力を調節する。ポンプパルス減衰器の実施形態では、制御器は、供給配管内の流体の圧力を監視し、ポンプの流量を調節して、供給配管内の圧力を所定の設定値に維持する。 （もっと読む）

本発明は、本体４と筐体６とからなる指型ペリスタルティックポンプ２を提供する。本体は、２以上の指型弁１６と、予め定めた時空パターンに従って弁を作動させるよう設定されたプロセッサ２２を備え、且つ、筐体は導管を収める通路１８を有している。筐体には、流体通路における導管が弁指片に近接する第１位置と、流体通路における導管が弁指片から離反する第２位置が設定されている。この発明は前記ポンプに用いる筐体も特徴とする。 （もっと読む）