【課題】構造が複雑になるのを抑えつつ制震性能の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング８と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング８の外輪８１を軸方向から挟持し、該外輪８１を径方向に移動可能に保持する保持機構４２，４４，４５と、外輪８１の外周側に設けられた弾性部材４６と、を備えている。弾性部材４６は外輪８１の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材４６と外輪８１との隙間４７にオイルやグリスが注入される。弾性部材４６に外輪８１が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間４７にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ２０と、ロータを回転させる駆動装置３８、４０と、ロータを支持するための軸受４４、５０と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット１３４と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット１３２と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明はターボ分子ポンプを排気対象装置に接続するための接続装置に関し、比較的低周波域の振動の排気対象装置への伝達を効果的に抑制することのできる接続装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ロータと、ロータを収容するケーシングと、前記ケーシングに設けられる吸気口及び排気口を備え、前記ケーシング内でロータを高速回転させることにより前記吸気口からガスを吸引し前記排気口からガスを排出するターボ分子ポンプの吸気口を排気対象の真空容器の排気口に接続するための接続排気管を備えたターボ分子ポンプの接続装置において、前記接続排気管の周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、前記接続排気管とおもりの間に粘弾性部材を介在させることにより動吸振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】金属対金属の接触がないことで、高い減衰係数と、真空チャンバをポンプチャンバから電気的に絶縁することとが可能になる真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプ用の振動減衰器を提供する。
【解決手段】本発明に係る振動減衰器101；201；301；401；501において、真空気密機能および振動減衰機能はともに、同一の構成要素により、特に、弾性材料（好ましくはエラストマー）製の1つ以上の環状リング216、131；326；426；526、531、541により果たされる。弾性リングは、真空ポンプが作動しておらず減衰器が大気圧であるときの、静止した第1条件から、真空ポンプが作動し減衰器が真空状態にあるときの、圧縮された第2状態へと移行する。この圧縮された第2状態で、弾性リングは、さらされている圧縮力のために、真空ポンプと、本発明に係る減衰器を介して同ポンプが接続されている真空チャンバとの間の金属対金属の接触を回避するような仕方で変形される。 （もっと読む）

【課題】全速力で回転する際にロータが破損した場合、締結装置ねじが破断しポンプが外れるのを回避する真空ポンプ用の締結装置構造を提供する。
【解決手段】真空ポンプを真空容器などに取り付けるフランジ１４に設けたねじ１７を通す貫通穴１６の形状を、構造壁２に隣接するフレア状近位セクション１６ｂとそれに続く円筒遠位セクション１６ａを含む形状にして、ねじ軸部１９の曲げおよび対応する横方向の偏りＤを可能にする変位空間を設けた。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてトラブル発生時に取り付け部に加わる衝撃力をより確実に緩和することができるとともに、トラブル発生後の修理に必要な交換部品の削減を図ることのできる真空配管、真空装置及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】真空部品とターボ分子ポンプとを接続するための真空配管であって、真空部品側に設けられた固定配管部と、固定配管部よりターボ分子ポンプ側に設けられ固定配管部に対してベアリングを介して回転可能に係止された回転配管部と、回転配管部の回転を制動する制動機構と、固定配管部と回転配管部との間を気密に閉塞するシール部材とを具備している。 （もっと読む）

【課題】埋め込みボルトで回転真空ポンプを真空装置に締結する構成において、真空装置に伝達される衝撃を低減することができる締結構造の提供。
【解決手段】本発明は、高速回転ロータを有する回転式真空ポンプの吸気口フランジ(21)と真空装置とを埋め込みボルト(203)により締結する、回転式真空ポンプの締結構造である。吸気口フランジ(21)を貫通している埋め込みボルト(203)の非螺合部の少なくとも一部に、強度が該埋め込みボルトの埋め込み螺合部の強度以下である塑性変形部(203a)を設けた。その塑性変形部(203a)が吸気口フランジ(21)からの衝撃により塑性変形することで、真空装置に伝達される衝撃エネルギーを抑制することができる。 （もっと読む）

【解決手段】ターボ分子ポンプは、ポンプハウジング(18)に配置されたロータ要素(12)を備えている。ロータ要素(12)は、ステータ要素(24)に囲まれている。ステータ要素(24)とポンプハウジング(18)との間に、隙間(36)が設けられている。ロータ要素(12)が破裂した場合にエネルギーを吸収するために、エネルギー吸収要素(44)が隙間(36)に配置されている。
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【課題】ロータの破壊時のエネルギーがケーシングに伝達されることを防止する。
【解決手段】回転円筒部３２を有するロータ３と、回転円筒部３２の周囲に配設され、回転円筒部３２との間でガス通路ＰＡ２を形成する固定円筒２４と、固定円筒２４を支持する支持部材１とを備える。支持部材１のロータ回転軸方向の端部には、固定円筒２４が取り付けられる凹部１０が設けられ、凹部１０の内周面とこれに対向する固定円筒２４の外周面との間の隙間が、固定円筒２４の取付方向反対側にかけて徐々に増大する。 （もっと読む）

【課題】安価で安定した衝撃吸収特性を発揮する緩衝機構を備えた分子ポンプを提供すること。
【解決手段】分子ポンプの吸気口に設けたフランジ６１に、ボルト穴１４に隣接して空洞部７２を設ける。空洞部７２は、フランジ６１を貫通する貫通孔である。これにより、ボルト穴１４と空洞部７２の間に薄肉部７１が形成される。分子ポンプに、ロータ部の破壊などによって、ロータ部の回転方向の衝撃が発生した場合、フランジ６１が分子ポンプと共にロータ部の回転方向に滑る。すると、フランジ６１と真空装置のフランジとを固定しているボルトが薄肉部７１に当たり、矢線Ｂ方向に塑性変形する。このように、薄肉部７１が塑性変形する事により、分子ポンプを回転させるエネルギーが薄肉部７１を塑性変形させるエネルギーに費やされ、分子ポンプで発生した衝撃を緩衝する。 （もっと読む）

【課題】軸受け用の支持部材であって、高い接線方向摩擦だけでなく、軸受け自体が適切に作動するために必要な、軸方向の予備負荷を得ることができる支持部材を提供する。
【解決手段】外部回転リング119bを有する種類の転がり軸受け107a、107b用の支持部材1であって、回転リングと連携することができる内部部分3、15と、固定用外部部分17と、内部部分と外部部分との間に介在される連結部分19とを備え、連結部分19は円錐台形状の弾性の要素である、支持部材。 （もっと読む）

【課題】ケーシング内に収容されたロータの破壊のエネルギーを効率よく吸収し得るフランジ構造を提供する。
【解決手段】ロータ４を収容するケーシング２の端部に設けられ、ボルト１０を介して相手側部材７１に締結されるフランジ２１の構造である。ボルト１０の取付位置に対応し、フランジ２１の表面に周方向にかけて長手状に形成された有底溝２３を有し、有底溝２３の底面に、ロータの回転方向側端部にボルト１０が貫通するためのボルト孔２２を開口し、ボルト孔２２に連通してロータ４の回転方向の反対側端部にかけてボルト孔２２よりも幅の狭い長孔状のスリット孔２２を開口する。 （もっと読む）

【課題】本発明は除振機構に関し、装置の高さを増やすことなく、除振性能を向上させることができる除振機構を提供することを目的としている。
【解決手段】精密装置で、ターボポンプ等の振動発生を伴う装置を利用する時に必要とされる除振機構であって、２段以上のダンパを直列構成で用いる真空シール用ベローズを利用するものにおいて、前記ベローズを同心状に配置する構成と、真空圧による力を支持するゴム部材の一方を除振対象の外側に配置する構成と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】振動適合性を向上させ且つここでロータに作用する力を考慮した軸受装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ロータと固定結合された軸受ロータ（２）とおよび軸受ステータ（３）とを有するロータ（１）の回転可能支持用軸受装置がハウジング部分（４ａ、４ｂ）を備え、この場合、軸受ステータが結合要素（５）と結合され且つ結合要素がハウジング部分に可動支持されている前記軸受装置に関するものである。振動特性を改善するために、ハウジング部分および結合要素がそれぞれ少なくとも１つの平面を有し、およびこれらの平面が相互に平行に且つ向かい合って配置されていることが開示される。 （もっと読む）

【課題】メカニカルダンパでは免振できない微振動を低減するのに好適な真空ポンプの防振構造を提供する。
【解決手段】
メカニカルダンパＤを介して真空装置ＭのチャンバＣに接続される真空ポンプＰの防振構造において、真空ポンプＰに防音手段Ｓを設ける。この防音手段Ｓは、当該真空ポンプＳを覆い、真空ポンプＰから大気を介して真空装置Ｍ側へ伝搬する音波を遮断することによって、そのような音波による真空装置Ｍの微振動を低減させる。 （もっと読む）

【解決手段】
本発明は、消振ダンパ（１４）により接続される２個のライン部（１２、１３）を備える減圧ライン（１０）に関する。消振ダンパ（１４）は、鉛直方向に延びる外側パイプ（１８）と内側パイプ（２０）とで形成されており、内側パイプ（２０）は外側パイプ（１８）から間隔をあけて配置されている。弾性的な張力スリーブ（３０）は、外側パイプ（１８）及び内側パイプ（２０）の開口端（１９、４２）の間に固定されており、この固定により、外側パイプ（１８）及び内側パイプ（２０）の開口端（１９、４２）が気密的に接続されている。したがって、良好な振動抑制特性を備えた消振ダンパが提供される。
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【課題】モールド材の膨張収縮に起因するスピンドルハウジングの歪みを防止することができる回転真空ポンプ。
【解決手段】スピンドルハウジング２４内には、モータステータ１２、磁気軸受用電磁石９，１０および磁気軸受用センサ１３，１４が収納され、モールド樹脂２６が充填される。さらに、モータステータ１２の軸方向端面には、緩衝部材２５が設けられる。緩衝部材２５はモールド樹脂２６の硬化収縮や熱膨張に応じて変形し、モールド樹脂２６の歪を吸収する。その結果、モールド樹脂２６の硬化収縮や熱膨張によってスピンドルハウジング２４が歪むのを防止することができる。 （もっと読む）

ポンプによる装置の排気中に装置への振動の伝達を阻止するための振動絶縁装置について説明する。絶縁装置は、ポンプが装置から引かれた雰囲気流体を周囲から絶縁するための蛇腹を備える。第１のフランジを蛇腹の一方の端部に接続して絶縁装置を装置に取り付け、第２のフランジを蛇腹の他方の端部に接続して絶縁装置をポンプに取り付ける。蛇腹は、蛇腹とほぼ同軸上にある、好ましくはらせん状の引張ばねである弾性要素を取り囲む。弾性要素は、第１のフランジの近くに配置して第２のフランジに接続した第１の端部と、第２のフランジの近くに配置して第１のフランジに接続した第２の端部とを有する。
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