【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール２、ガイドレール２の延出方向に沿って往復移動可能な可動体４(垂直方向受板４２、水平方向受板４４)、圧縮空気を噴出して可動体４をガイドレール２に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)６、磁気吸引力により可動体４をガイドレール２に引き寄せる吸引部８(磁気吸引部材８ａ、永久磁石８ｂ)を備え、静圧気体軸受部６からの圧縮空気による可動体４のガイドレール２に対する浮上力と、可動体４をガイドレール２へ引き寄せる吸引部８からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体４をガイドレール２に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部６をガイドレール２に配し、可動体４へ向けて圧縮空気を噴出させる。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありながら、ラジアル磁気軸受とスラスト磁気軸受の機能を併せ持たせることができる永久磁石磁気軸受を提供する。
【解決手段】 永久磁石磁気軸受は、インナー磁石１０とアウター磁石２０とを有し、インナー磁石１０の外周には、軸線から垂直なラジアル方向に略三角形に突出した突出部１２を形成すると共に、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。また、アウター磁石２０は、突出部１２に対向する内周面を有し、突出部１２の頂部に対応する平面で二分割され、中心側と外周側が互いに異なる磁極に着磁される。そして、インナー磁石１０の突出部１２と、この突出部１２に対応するアウター磁石２０の内周面とは同極の磁極を有して、所定間隔で対向配置する。インナー磁石１０の略三角形の突出部１２と、アウター磁石２０の内周面とが同極のため、磁気的な反発力によってインナー磁石１０がアウター磁石２０の内周面に非接触で保持される。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】エア軸受構造１５を備えた形状検出装置１のランニングコスト及び消費エネルギーを低減すること。
【解決手段】荷重作用領域ＦＡに位置する複数の噴出孔２５は、固定軸９の厚み方向ＴＤに対して対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃ側に傾斜し、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも左方側に位置する複数の第１傾斜噴出孔２５Ａと、対応関係にあるロータ１１の長手方向の中心１１ｃよりも右方側に位置する複数の第２傾斜噴出孔２５Ｂとからなり、荷重作用領域ＦＡから外れた領域に位置する複数の噴出孔２５Ｃは、固定軸９の厚み方向ＴＤに平行になっている。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】流体軸受けにおける作動流体の利用効率を向上させる。
【解決手段】第一部材および第一部材の表面に沿って移動する第二部材の間隙３０１に気体を供給する圧送部３４０と、間隙３０１から気体を圧送部３４０に帰還させる帰還部３９４とを備える。上記帰還部３９４は、圧送部３４０から間隙３０１に供給された気体が、間隙３０１から外部に向かって流れる過程で、間隙３０１から気体を帰還させてもよい。上記圧送部３４０および上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて、第二部材と共に移動してもよい。上記圧送部３４０は、加圧された気体を収容したタンクを含んでもよい。上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて第二部材と共に移動しつつ、第一部材および第二部材の間から漏れ出す気体を吸引して回収する回収部を更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】ベアリング剛性を高める方を優先するかエア消費流量を優先させるかに応じて、エア供給様式が変更されるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング（４８）には少なくとも２個のエア供給路（６５）が配設されており、ベアリングシャフト（５０）に配設される複数個のベアリング領域（５８）の幾つかはエア供給路（６５）の一方に接続され、複数個のベアリング領域（５８）の他の幾つかはエア供給路（６５）の他方に接続されている。エア供給路（６５）の各々は夫々別個の連通制御弁手段（５５）を介して圧縮エア供給源（５６）に接続されている （もっと読む）

【課題】コスト低下を図り得ると共に、多孔質金属焼結体の細孔に気体を供給できる領域を広くできて、スラスト軸受として機能する気体噴出をも所望になし得る多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受１は、円筒状の多孔質金属焼結体２と同じく円筒状のハウジング８とを具備しており、多孔質金属焼結体２の内部には、当該多孔質金属焼結体２の細孔に気体を供給する気体供給通路３が設けられており、また多孔質金属焼結体２には、一端４が多孔質金属焼結体２の円筒状の外周面５で開口し、他端６が気体供給通路３に開口して当該気体供給通路３に高圧空気を導入する気体導入通路７が設けられている。 （もっと読む）

軸受機能およびシール機能を有し、動力損失を低減することができる静圧アキシャルすべり軸受を使用する装置および方法を提供する。該装置の静圧アキシャルすべり軸受は、アキシャルすべり軸受表面によって形成され、流体膜によって分けられ、該装置が稼動している間に相対回転を可能に構成されている。該装置は、第１および第２の構成要素を有し、それらは第１および第２のアキシャルすべり軸受表面(28,30,36,38,40,42)を形成している。これらを組み合わせて、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面は、静圧アキシャルすべり軸受に対して軸受表面およびシール表面として機能する。該装置は、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面が、第１の運動方向において相対回転することを可能に構成されており、少なくとも第２のアキシャルすべり軸受表面は、第１の運動方向において振動波形を備える表面形状(44)を有する。
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【課題】
加圧空気の圧力損失を低減し、加圧気体の流量及び圧力の増大を抑制するエアスライダー装置を提供する。
【解決手段】
ガイドが形成され、本体ベースに固定される固定子と、前記ガイドに沿って移動される可動子と、を有し、前記可動子は、前記ガイドに対向して配置される複数の永久磁石と、隣接する前記複数の永久磁石の間に配置され、前記ガイドに向けて第１の加圧気体を噴出する第１の気体噴出部と、を有し、前記第１の加圧気体の静圧により前記可動子を、前記ガイドに対して非接触に浮上して支持するエアスライダー装置において、前記固定子に設けられ、前記可動子に向けて第２の加圧気体を噴出する第２の気体噴出部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の球体浮上装置に比して微小差圧・微小流量での球体浮上を実現するための、球体浮上装置の設計手法および機構を提供する。
【解決手段】従来平面気体軸受で利用されている「円板形スロット絞りスラスト軸受」の設計法を、球面軸受に拡張する。スロット絞りは、給気絞りの形が円筒状になっているもので、これにより微小差圧・微小流量で作動することが知られている。この軸受形式を球面軸受に拡張するための、数式展開・物理的定式化を実施し、設計に重要な主要なパラメータを定量的に決定する手法を考案した。また、微小差圧・微小流量を実現するために、そのスロット絞りにおける空気噴出溝の幅を高精度で管理する必要がある。本発明では、これを球面スラスト軸受において十分な精度で管理可能な設計・加工手法を考案した。 （もっと読む）

静圧型空気軸受は、第一の軸受面（２８）と、第一の軸受面（２８）に対面するように並置された第二の軸受面（３２）と、第一と第二の軸受面（２８）、（３２）の一方に設けられた少なくとも１つの流体供給口（３８）とを備える。前記流体供給口（３８）に入る、および／またはそこから出る圧縮性流体の流量を制限するための供給口絞り（４０）と、少なくとも１つの陥凹部（３４）が、第一と第二の軸受面（２８、３２）の一方に設けられ、１つ又は各々の前記陥凹部（３４）は、１つ又は各々の前記流体供給口（３８）と流体連通する。また、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）と流体連通し、圧縮性流体が軸受から出るときの流量を制限する少なくとも１つの排出口絞り（３５）も設けられ、少なくとも１つの突出部（４２）が、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の少なくとも一部を画定する表面上に設けられている。１つの、または各々の突出部（４２）は、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の中に完全に収容される。
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【課題】 エア供給量を増やすことなく、スピンドルの高速回転が可能なスピンドルアセンブリを提供することである。
【解決手段】 スピンドルアセンブリであって、エア供給路を有するスピンドルハウジングと、中心に形成されたスピンドル挿入穴と、前記エア供給路からの圧縮エアを該スピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路とを有し、前記スピンドルハウジング中に圧入されたベアリングシャフトと、該ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドルと、該スピンドルと前記ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリングと、前記エア供給路及び前記分岐路を介して前記ラジアルエアベアリングに圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備し、前記スピンドルの非回転時に該スピンドルの中心が前記スピンドル挿入穴の中心に対して下方側へ３〜１０μｍ偏心し、前記スピンドルと前記内壁最下端との間の隙間が５〜３０μｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機械加工を施した後も良好に多孔質静圧気体軸受として使用することができる通気性を保持し得る軸受素材を提供すること。
【解決手段】軸受素材は、裏金１と、裏金１の面に焼成された多孔質焼結金属層２とを具備しており、多孔質焼結金属層２の粒界には無機物質粒子が含有されている。多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッカ黒鉛、フッカカルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】静圧スライド装置において、スライダの動作を良好に保ちつつ圧縮流体の消費効率を向上することができるようにする。
【解決手段】スライド方向に沿って複数の絞り開口を有するスライドガイド２と、複数の絞り開口のそれぞれに対して圧縮流体を供給可能な圧縮流体供給源８と、スライドガイド２に沿って移動可能に設けられたスライダ３と、圧縮流体供給源８から圧縮流体を供給する絞り開口をスライダ３の移動位置に応じて複数の絞り開口から選択する流路切替部６とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとの間に気体を供給して気体軸受を形成するピストン装置において、ピストンとシリンダとの接触をより確実に回避するとともに、前記気体軸受を形成するための気体の消費量を抑制すること。
【解決手段】スターリングエンジン１は、シリンダ１１と、シリンダ１１の内部で往復運動するピストン１０とを備える。ピストン１０は、ピストン頂部１０Ｔとピストン側部１０Ｓとピストン底部１０Ｂｏとで囲まれるピストン内空間１０ＩＮを備える。前記空間１０ＩＮには、ポンプ２５及び蓄圧タンク２４を介して空気Ｇが供給され、この空気Ｇは、ピストン１０とシリンダ１１との間に流出して気体軸受を形成する。そして、ピストン１０とシリンダ１１との間に介在する空気Ｇの圧力は、ピストン１０とシリンダ１１とが接触したか非接触であるかによって変更される。 （もっと読む）

【課題】少ない流体流量で十分なシャフト浮上能力を有する流体軸受付きのシャフトモータを提供する。
【解決手段】筒状をなすコイル１ａの中心軸上に設けられたシャフト１ｂを軸方向移動可能に支持する流体軸受２を備え、流体軸受２はシャフト１ｂ表面に対しラジアル方向に流体を噴射する複数の噴射ノズル３を備えたシャフトモータにおいて、噴射ノズル３のノズル口３ｅに流体によるシャフト浮上力を増大させる圧力ポケット４を設けた構成とする。 （もっと読む）