【課題】載置面の中心部から外周部にかけて単調に温度変化するような温度分布を得ることが可能なセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】セラミックスヒータ１は、載置面Ｓに被加熱物Ｗが載置されるセラミックス基板２と、セラミックス基板２に埋設された内側発熱抵抗体Ｑ１と、内側発熱抵抗体Ｑ１の外側にてセラミックス基板２に埋設された外側発熱抵抗体Ｑ２と、発熱抵抗体Ｑ１，Ｑ２とに供給する電力を独立して制御可能な制御部とを備える。セラミックス基板２の上面の中心点Ｏから外端までの距離をＲとしたとき、内側発熱抵抗体Ｑ１は、上面視で中心点Ｏを中心とした０〜０．５Ｒの領域内に配置され、外側発熱抵抗体Ｑ２は、上面視で中心点Ｏを中心とした０．８Ｒ〜Ｒの領域内に配置される。 （もっと読む）

【課題】低コスト、製造の容易さ、重量の減少、および効率の向上を図る。
【解決手段】加熱部材７２は導電回路を有する第一ポリマーフィルムを含み、導電回路は導電インク、第二ポリマーフィルム、及び/又は抵抗性又は導電性オーバーモールド材料を含み、第一ポリマーフィルムは成型品４６の表面に成型され、成型品４６は加湿器又は加湿器の構成品となり、インモールド加熱部材４１は第一ポリマーフィルム表面に導電回路を設けるステップと、ポリマーフィルムの非プリント面が金型に隣接するよう第一ポリマーフィルムを金型に置くステップと、第一ポリマーフィルムが成型品の少なくとも１つの表面に組み込まれるよう成型樹脂を挿入するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】光源を白熱電球からＬＥＤ光源に変更した信号灯に、新たに氷雪付着の防止対策を行なうに際し、容易に設置することができ、確実に信号灯の視認性を確保することができる面状ヒータ及びそれを用いた氷雪付着防止方法を提供する。
【解決手段】所定のパターンに形成された金属線抵抗体が、シート状の可撓性透明基材の表面または内部に設けられた構成を有する面状ヒータとする。また、光源を白熱電球からＬＥＤ光源に変更した信号灯の窓の表面に、前記の面状ヒータを貼り付けて、該信号灯の窓の表面に氷または雪が付着する際に該金属線抵抗体に通電し、白熱電球からＬＥＤ光源への変更により生じた電球の発熱量不足を補足して氷または雪の付着を防止する。 （もっと読む）

【課題】 抵抗発熱体に高い電圧を印加しても、温度均一性を犠牲にすることなく、抵抗発熱体の周囲の絶縁性を良好に維持できる基板保持体を提供する。
【解決手段】 半導体基板Ｗの載置面１ａとは反対側の面もしくは内部に半導体基板Ｗの加熱用の抵抗発熱体２を備えた基板保持体１であって、抵抗発熱体２は円弧状パターン２１ａおよび折り返しパターン２１ｂを交互に接続して構成される同心円状部分２１と、同心円状部分２１を構成する複数の折り返しパターン２１ｂのうち、互いに向かい合う折り返しパターン２１ｂ同士の間の領域に延在する直線状部分２２とからなり、抵抗発熱体２に給電するための１対の給電端子３が同心円状部分２１に接続されている （もっと読む）

【課題】温度分布の制御精度の向上を図ることができるセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックスヒータ１によれば、各発熱抵抗体Ｑｋ（ｋ＝１〜５）から発せられた熱を、セラミックス基板２から伝熱面としての接合界面Ｓｊ（ｊ＝１〜３）を通過させた上で、セラミックス支持部材４の低温箇所に流れ込ませることができる。セラミックス基板とセラミックス支持部材との接合界面Ｓｊは、セラミックス基板２の載置面Ｓに対して垂直な軸線を取り囲むとともに、当該軸線に対して垂直な方向に離散的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】熱電導率が異なる材料を複合化することにより、ヒータの温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、被加熱物を載置して加熱するヒータプレート１と、ヒータプレート１を支持するシャフト部２を有するシャフト付きヒータユニット１００であって、シャフト部２は、シャフト部２を構成する材料粉末を、加熱した圧縮ガスにより該材料粉末の融点より低い温度でヒータプレート１に吹き付けることにより形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度で安価にシャフトの中空部より外側での載置板の測温が可能となり、載置板とシャフトが一体的に接合されたセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】セラミックスヒータ１は、上面に被加熱物が載置され、セラミックスからなる載置板２と、載置板２の内部に埋設された複数の発熱抵抗体３Ａ，３Ｂと、載置板２の下面に接合され、セラミックスからなる中空のシャフト５と、複数の発熱抵抗体３Ａ，３Ｂの下方に配置された熱電対４Ａ，４Ｂとを備える。熱電対４Ｂは、載置板２の下面に形成され、載置板２及びシャフト５で覆われた溝２ｄの内部に配置されている。 （もっと読む）

【課題】円筒形または曲管形の形状を有する配管を加熱するための面状ヒータにおいて、比較的高い温度（１５０℃〜４００℃程度）の領域を含む広い温度領域で使用することが可能で、耐熱性、可撓性が優れ、軽くて作業性も優れた面状ヒータを提供する。
【解決手段】配管と接触する側から外側に向かって、ガラスクロス１、ガラス繊維糸またはガラス繊維布により被覆された金属線抵抗体を保持したガラスクロス２、及びスポンジ層４の順に配置された構成を有し、配管と接触するガラスクロス１が、金属線抵抗体を保持したガラスクロス２よりも細かい網目を有する面状ヒータとする。 （もっと読む）

【課題】
均熱性に優れ、かつ、小型化に対応可能なセラミックヒータを提供する。
【解決手段】
セラミック基材と、セラミック基材２上に形成された抵抗発熱体３と、その上に抵抗発熱体３を覆うように形成されたセラミック被覆層１４からなるセラミックヒータにおいて、セラミック被覆層１４には、同一材料からなる高密度層１４ａと高密度層１４ａに対してセラミック基材２から遠い側に位置する低密度層１４ｂとが少なくとも一組設けられている。 （もっと読む）

【課題】セラミックプレート内の任意の位置の温度を測定するのに適したサセプターを提供する。
【解決手段】サセプター１０は、円盤状のセラミックプレート２０の中に、セラミックプレート２０の焼結温度以上の耐熱性を有し互いに材料組成の異なる第１及び第２素線５１，５２と、各素線５１，５２の先端を接合した測温部５０ａとを備えた熱電対５０が、素線のまま埋設されたものである。このサセプター１０によれば、熱電対５０の各素線５１，５２はいずれもセラミックプレート２０の焼結温度以上の耐熱性を有しているため、セラミックプレート２０を焼結する前の成形体に熱電対５０を埋設したあとその成形体を焼結することができる。 （もっと読む）

【課題】ヒータプレート材料として強度が高い材料を複合化することにより、使用温度範囲でのヒータ強度を向上するとともに、ヒータ温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】ヒータプレート１と、ヒータプレート１を支持するシャフト部２を有するシャフト付きヒータユニット１００であって、ヒータプレート１は、シャフト部２と接合される平板状のベース部３と、ヒータプレート１の使用温度域における強度がベース部３を構成する材料より高い材料から選択された固相状態の材料粉末を、該材料粉末の融点より低い温度に加熱した圧縮ガスとともにベース部３上に吹き付けることにより積層されたプレート部４と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハの温度の変化を高速化し温度の調節の精度を向上して処理の効率を向上できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器内部の処理室内に配置された試料台上にウエハを載置して前記処理室内に形成したプラズマを用いて前記ウエハを処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台の内部に配置された金属製の基材と、この基材上面に配置され溶射により形成された誘電体製の膜と、前記誘電体製の膜内部に配置され溶射で形成された膜状のヒータと、前記誘電体膜上に配置された接着層と、前記接着層によって前記誘電体膜に貼り付けられた厚さ０.２〜０.４mmのセラミック製の焼結板と、前記基材内部に配置され温度を検知するセンサと、このセンサからの出力を受けて前記ヒータの発熱を調節する制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】布材に設けられる導電線材と導電性を備える接続体とを互いの接続抵抗が小さくなるように電気的につなげられるようにする。
【解決手段】通電により発熱可能な導電線材１１を備える布材１０である。導電線材１１は、その長さ方向の一部に布材１０から外部に露出した露出部１１Ａを有する。導電線材の露出部１１Ａに対し、導電性を備える面状の接続体が露出部１１Ａを間に挟み込む状態に折り込まれて露出部１１Ａと一体的に面接着されて電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】布材に導電性粉末分散液を含浸させて各導電線材を布材の表面に設けられる電極（導電性を備える接続体）と電気的に接続させられるようにしても、導電性粉末分散液の含浸に伴う布材の硬化の影響を小さく抑えられるようにする。
【解決手段】通電により発熱可能な導電線材１１を備える布材１０である。導電線材１１は、布材１０のシート前後方向ＦＲに複数並んで設けられている。布材１０には、布材１０への導電性粉末を混ぜた導電性粉末分散液の含浸により、各導電線材１１を布材１０の表面と電気的に導通させる含浸部１０Ａが形成されている。含浸部１０Ａは、各導電線材１１の配置間に隙間１０Ｂが形成されるように各導電線材１１の並ぶ方向に断続的に複数並んで形成されて、各導電線材１１を布材１０の表面に接着される導電性を備える接続体１２Ａと電気的に接続させる構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 加温の電力消費効率の向上。植物の形状に合わせた巻きつけの容易化。作業性，安全性，経済性の向上。
【解決手段】 長手方向で加温が必要な部分の断面積を小さくして電気抵抗を大きくした長尺金属箔ヒータ。植物体を加温する加温部は、断面積の小さい帯状金属箔を用いて加温を促進し、加温部間の導電部は断面積の大きい帯状金属箔を用いて底での発熱を抑制する。断面積を小さくする形態には、加温部の薄い金属箔テープを導電部の厚い金属箔テープに溶接等で連結する異肉厚形態と、同肉厚の金属箔テープを打ち抜き等で幅を小さくして加温部とする異幅形態がある。所定ピッチで肉厚又は幅を小さくした長尺金属箔を、可撓性を有する電気絶縁体で被覆して長尺金属箔ヒータとする。 （もっと読む）

【課題】断熱対象物の遮熱性能を向上するとともに、断熱対象物の均熱を図る。
【解決手段】対向する第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂの間の内部空間１５にこれら金属板１１Ａ，１１Ｂより熱伝導率が小さいスペーサ（コア材１８Ａ〜１８Ｃまたは球状部材２３）を配設するとともに、内部空間１５を真空排気してなる真空断熱構造体において、第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂのうち第１の金属板１１Ａとスペーサ（１８Ａ〜１８Ｃ，２３）との間だけに、第１の金属板１１Ａと接触し、この第１の金属板１１Ａより熱伝導率が高い熱伝導部材２０を配設する。 （もっと読む）

【課題】炭素系発熱体に対してその電気的特性を損うことなくガラス保護層を設けた定着用ヒータを提供する。
【解決手段】基板１０上に形成した炭素系発熱体１４の上に粉末ガラスを層状に堆積させ、その上に第１のガラス層１８としての薄板ガラス板を載せ、窒素雰囲気中、６００℃以下の温度で熱処理をして粉末ガラスを溶融させて第２のガラス層２０とし、第１のガラス層１８および第２のガラス層２０からなるガラス保護層２２を形成する。 （もっと読む）

【課題】被加熱基板の均熱性を向上させるとともに、簡易な構成でメンテナンス性に優れたホットプレートおよびそれを用いたホットプレートユニットを提供する。
【解決手段】被加熱基板Ｓを水平載置した状態で加熱するホットプレート２において、被加熱基板Ｓが載置される水平面状の載置面２０ａを有する均熱板２０と、直線又は曲線が繰り返して形成される回路パターンよりなる発熱体２１と、被加熱基板Ｓの外周面に沿って延出される断面矩形状の部材より形成され、均熱板２０の載置面２０ａに着脱可能に取り付けられる仕切板２６と、を具備してなり、仕切板２６は、内周面２６ｂが被加熱基板Ｓの外周面に対して並行位置に対向されるように形成され、かつ高さ方向長さＨが被加熱基板Ｓの厚みよりも長くなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】長時間継続あるいは断続して高温で使用した場合であっても、抵抗発熱材の劣化を十分に防止することができ、耐久性が高いセラミックヒーターを提供する。
【解決手段】セラミックスからなるセラミック基体１ａ，１ｂと、セラミック基体１ａ，１ｂ内に設けられた、少なくとも抵抗発熱材が埋設された発熱部２と、を備え、セラミックスが８８〜９６重量％のＡｌ_２Ｏ_３、３〜１０重量％のＳｉＯ_２、１〜２重量％のＣａＯ、０．０１〜０．５重量％のＭｇの酸化物を含有し、且つＣａＯに対する前記ＳｉＯ_２の重量比が１．５以上３．５未満である。 （もっと読む）

【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体７を有する板状でＡｌＮ等からなるセラミックスヒータ５の上に、被処理物９を保持するＡｌ等からなる金属製保持部１０を備えている。金属製保持部１０内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路１２が形成されている。この保持体１０は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 （もっと読む）