【課題】 均熱性に優れると共に、セラミックヒータを支持する筒状支持体にかかる応力を軽減して、破損のないヒータユニットを提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体を有するセラミックヒータ１に背面板２が機械的に結合され、この背面板２が更に筒状支持体３に機械的に結合されている。抵抗発熱体の電極端子４ａはセラミックヒータ１の背面側に複数設けてあり、セラミックヒータ１の径方向に沿った同心円状の複数の径方向長さゾーンに分けて配置されると共に、複数の電極端子４ａから筒状支持体３の内側空間内に給電リード４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】マイカヒータによる加熱特性を均一にできるようにする。
【解決手段】取付け用のネジ孔が形成されたプレート式のマイカヒータ２を、熱を拡散させる金属製の拡散板５を介在させて加熱対象である金型１にネジ１３によって取付け、マイカヒータ２からの熱を、熱伝導率の良好な拡散板５によって拡散させて金型１を均一に加熱するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 載置面に被加熱物を搭載して加熱処理する際に、ウエハ面内の温度均一性を維持し又は更に向上させ、昇温・降温速度の高速化が可能であって、熱応力による損傷がなく信頼性に優れたヒータユニットを提供する。
【解決手段】 載置台６、抵抗発熱体７、押さえ板９等の２枚以上のプレート状部材を連結ネジ１０で機械的に結合すると共に、連結ネジ１０がベアリングボール１２を有するベアリング機構を備えている。このベアリング機構を備えることによって、縦方向に軸力を加えることで良好な熱伝達を保ちながら、横方向には熱膨張差を吸収できるようにベアリング機構で滑らせ、互いの熱膨張差による平面度変化の発生を防止して、ウエハ面内の温度均一性を確保する。 （もっと読む）

【課題】装置毎に被処理体上の放射分布のバラツキを解消したフィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置を提供すること。
【解決手段】封止部２ａ、２ｂが形成された長管状の発光管３の内部に、コイル状のフィラメント４１１〜４５１とこのフィラメントに電力を供給するリード４１２ａ〜４５２ａ、４１２ｂ〜４５２ｂとが連結されてなる複数のフィラメント体４１〜４５が、各フィラメントが発光管の管軸に沿って伸びるよう順次に並んで配設され、各フィラメント体における各々のリードが封止部に配設された複数の各々の導電性部材８１ａ〜８５ａ、８１ｂ〜８５ｂに対して電気的に接続されて各フィラメントに対して各々独立に給電されるフィラメントランプ１において、フィラメント４１１〜４５１の内側に、フィラメント体４１〜４５のリード４１２ａ〜４５２ａ、４１２ｂ〜４５２ｂが挿通されていることを特徴とするフィラメントランプである。 （もっと読む）

【課題】 従来の回転ロールに用いられるヒータ線は消費電力が大きいため、常時発熱させるとランニングコストが高くなる。また、ロール表面全般の温度を均一に保つことが難しかった。
【解決手段】 本件出願の回転ロールは、回転ロールの内側又は外側の全周面又は一部に、錫（Ｓｎ）と鉛（Ｐｂ）の酸化化合物を主成分とする発熱体を直接又は基材を介して設けたものである。本件出願の事務機器用部品は、事務機器用部品の表面又は内部に、錫（Ｓｎ）と鉛（Ｐｂ）の酸化化合物を主成分とする発熱体を直接又は基材を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】長さが絶縁基板の短手方向に、幅が絶縁基板の長手方向に形成された発熱抵抗体の絶縁基板の長手方向における温度ムラを少なく抑える。
【解決手段】長尺板状の絶縁基板１１の短手方向に幅広の発熱抵抗体２０を形成し、発熱抵抗体２０の長手方向の両端に形成した配線パターン１４，１５と接続する。配線パターン１４，１５、発熱抵抗体２０上にオーバーコート層２１を形成する。配線パターン１４，１５の絶縁基板１１の長手方向の異なる用紙が通過する位置のうち小さいサイズの用紙の幅に相当する位置にスルーホール１８２，１９２をそれぞれ形成し、スルーホール１８２は接続パターン１６、スルーホール１８１を介して電極１２に、スルーホール１９２は接続パターン１７、スルーホール１９１を介して電極１３にそれぞれ接続する。 （もっと読む）

【課題】抵抗値のばらつきが大きくなる発熱抵抗体を形成するパターン中の絞り部をなくし、ばらつきの小さい発熱を得るようにする。
【解決手段】長尺平板状の絶縁基板１１上の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には電極１４，１５を接続し、ここから電力を供給する。電極１４,１５を残した絶縁基板１１上にはオーバーコート層２４を形成する。発熱抵抗体１２，１３の他端に、絶縁基板１１を挟んで発熱抵抗体１２，１３と対向する絶縁基板１１上には配線パターン１８，１９を形成する。発熱抵抗体１２，１３の長手方向の中間に位置する配線パターン１８，１９には補助発熱抵抗体２２を接続して形成し、補助発熱抵抗体２２上にオーバーコート層２５を介してサーミスタ２３を取り付ける。 （もっと読む）

【課題】フィラメントとリード間およびリード同士間の不所望な放電を防止し、フィラメント以外から不所望の光放射を防止する。
【解決手段】発光管２内部に、各フィラメント４１１〜４５１の両端に一対のリード４１２〜４５２が連結されてなる複数のフィラメント体４１〜４５が、発光管の管軸に沿って順次に並んで配設され、各リードが封止部５において電気的に接続されて各フィラメントに対して各々独立に給電されるフィラメントランプ１において、発光管内部に、各リードを挿通する開口を備え、発光管の内面に近接するよう管軸に沿って配置され、各フィラメントと各リードとの間に介在する絶縁壁（内管）３と、発光管と絶縁壁とにより区画され、各リードに対応して設けられた複数のリード収容空間１１１〜１１５とを備え、各リードが、絶縁壁の開口を通って、各リード収容空間に、互いに短絡することなく配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度均一性を、さらに向上できる基板載置機構を提供すること。
【解決手段】発熱体１０２が埋設された石英製ヒータ本体１０１と、石英製ヒータ本体１０１の被処理基板載置面１０３上に積載された耐食性セラミックス部材１０４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 複数の電極が基板の同一端部側にあるセラミックヒータにおいて、ヒータ単体での長手方向温度分布の、抵抗体両端部での発熱量を均一化し、端部定着不良を防止することを目的とする。
【解決手段】 非電極側の導電部の折り返しパターンを、非電極側に延長する。延長する長さは、セラミック基板の熱伝導率によって決定し、アルミナ基板であるときは２ｍｍ以上、窒化アルミ基板であるときは４ｍｍ以上とする。 （もっと読む）

【課題】 少量の発熱部材でマット全面を均一に発熱させることができる安価で耐久性に優れたヒータマットを提供する。
【解決手段】 ヒータマット１のベース部材２上に発熱部材３を装着する。発熱部材３に薄くて細長いリボンヒータ７を用い、リボンヒータ７の発熱導体を帯状のステンレス鋼で形成する。発熱導体に接着層を介して表裏二枚の絶縁フィルムを加圧接着する。リボンヒータ７をジグザグ状に折り曲げて配線し、上下二枚の絶縁用ゴムシート１６，１７で被覆する。上側のゴムシート１６に伝熱用の金属板８を被せ、金属板８にコントローラ１０をネジ１８で組み付ける。金属板８に接合するクッション部材５を通水性のゴムチップ集合材で成形する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フレキシブル性と伸縮性を保持しつつ、導電性材料からなる電極部および抵抗体材料からなる発熱部が基材から剥離することなく、電極部の異常発熱がなく、かつ発熱部が均一な発熱を確保できる面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】フレキシブル性と伸縮性を有する基材２と、基材２の表面に導電性材料５からなる一対の電極部３ａ、３ｂと、一対の電極部３ａ、３ｂと電気的に接続された自己温度制御機能を有する抵抗体材料６からなる発熱部４とを備え、電極部３ａ、３ｂおよび発熱部４は厚み方向において基材２に一部埋設した構成としている。 （もっと読む）

【課題】基体の厚さを大きくすることなく、かつ、基体に生じる熱応力を大きくすることなく、基板を均一に加熱することのできる加熱装置の提供。
【解決手段】基体１１は加熱面１１ａを有している。基体１１内に個々に温度制御可能な第１の発熱体１２及び第２の発熱体１３が埋設されている。第１の発熱体１２及び第２の発熱体１３は、基体１１の加熱面１１ａと平行な略同一平面内で互いに非接触に基体１１の中央部から基体１１の外周部にかけて渦巻き状に形成されている。また、第１の発熱体１２及び第２の発熱体１３のうち、一方の発熱体は、基体１１の中央部寄りに高発熱密度部を、基体の周縁部寄りに低発熱密度部を有し、他方の発熱体は、基体の中央部寄りに低発熱密度部を、基体の周縁部寄りに高発熱密度部を有している。 （もっと読む）

【課題】装置の低コスト化を図りつつ、効率よく被加熱物を加熱することを可能とする。
【解決手段】加熱デバイスとして、発熱部材１１３が、セラミック等に比較して剛性の高い蓄熱部材１１１と加熱部材１１２とによって挟持された構造の加熱デバイス１１０を用い、この加熱デバイス１１０を、蓄熱部材１１１に、例えばボルト等によって固定された補助部材１０４を介して、直接ベース部材１０３によって保持する。これにより、従来の加熱デバイスを用いる場合に必要な、耐熱性のある接着剤を使用する必要がなくなるので、装置の構造を簡単にすることができ、製造コストを削減することが可能となる。また、接着剤を使用しないことに起因して、記録ヘッド１２に対して、加熱デバイス１１０を簡単に取外し或いは取り付けることができるため、メンテナンスが容易となる。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスにおいて、多様な環境化でウエハ等の精密な均熱制御を実現するセラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 セラミックス基材の内部に埋設された複数の発熱抵抗体と、セラミックス基材の表面に形成された被加熱物を載置する載置面と、載置面の反対面側に前記複数の発熱抵抗体の埋設された略平面を貫くように設けられ、発熱抵抗体の作用領域を仕切る少なくとも１つの仕切り溝と、を具備することを特徴とするセラミックスヒーター。 （もっと読む）

【課題】面ヒータにおける温度分布に偏りを従来よりも低減する。
【解決手段】面ヒータ１００は、絶縁性の基材１０２と、基材１０２上に設けられた導電膜１０４と、導電膜１０４を覆う絶縁膜１０６とを備える。導電膜１０４は、常温で４２０ｐｐｍ／℃以上の抵抗温度係数を有する材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】大型基板に対し、大型特殊設備を用いて製造される大型のヒーターを使用する必要がなく製造コスト削減が可能な真空処理技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空槽２内で基板に対して真空処理を行う真空処理装置であって、真空槽２内において上に基板１０を配置するサセプタ５と、サセプタ５に配置された基板１０全体を加熱ブロック９を介して加熱する基板加熱手段７０とを備える。基板加熱手段７０は、サセプタ５の基板配置領域より大きさの小さい複数のブロック状の分割ヒーター７が隣接するように配置構成されている。 （もっと読む）

【課題】 流路内を流れる流体を所定の温度に加熱できるマイクロ流路体を提供すること。
【解決手段】 マイクロ流路体１は、基体２内部に設けられた流体が流通される流路２ａと、流路２ａに隣接する第１領域に設けられた第１のヒーター３ａと、第１領域を介して流路２ａに隣接し、第１領域よりも広い第２領域に設けられた第２のヒーター３ｂとを具備している。流路２ａ内に流通される流体を所定の温度に加熱できるとともに、ヒーター形成領域とヒーター非形成領域との間において熱膨張差による大きな熱応力が発生し難く、基体２にクラック等の破損が生じ難い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フィルムシート状の発熱体を有する発熱体ユニットにおいて、発熱体の性能を損なうことなく確実に発熱体を支持することが可能であり、通電立ち上がり時の温度上昇が早く、効率の高い加熱が可能な発熱体ユニット及び加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の発熱体ユニットは、炭素系物質を含むフィルムシートを帯形状の発熱体に対して、発熱体の背面側の長手方向にそった直線状の一部分と内部耐熱部材が接触して発熱体を支持するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】低電圧の車載バッテリーから給電することができ、面状発熱体全体が一様に発熱し、かつ柔軟性に富んで座席の坐り心地を損なうことの無い面状発熱体を提供する。
【解決手段】ＰＴＣ特性を有するシート状の抵抗体を絶縁被覆内に収容した面状発熱体であって、前記抵抗体の表裏ほぼ全面に金属薄膜が形成され、この両金属薄膜それぞれの外側のほぼ全面を覆って金属細線からなる金網が接着され、該金網を電極として通電されるように構成されている車両用面状発熱体。また、金属薄膜として厚みが１５μｍ以下のアルミニウムの蒸着膜を用い、金網の金属細線として線径が０，０５〜０．２ｍｍの銅線又はアルミニウム線を用いる。 （もっと読む）