【課題】 絶縁層および抵抗発熱体からなる発熱層が積層された発熱部材を有する加熱部材であって、加熱部材を構成する部材間で局部的な剥離が発生するのが防止されて、局部的な伝熱効率の低下が発生するのが防止され、表面の温度分布が設定温度に対してばらつきのない加熱部材を提供する。
【解決手段】 加熱部材２０は、放熱部材２０１と、低硬度良熱伝導部材２０２と、発熱部材２０３と、発熱部材２０３を放熱部材２０１に近接する方向に弾発的に押圧する押圧部材２０４とを含む。そして、放熱部材２０１は、円筒体の一部を成す筒状に形成される筒状部２０１ａと、筒状部２０１ａの周方向両端部から内側に屈曲する屈曲片２０１ｂとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】主に電気・電子部品その他の部材に使用される面状発熱体において、薄型であると同時に均一に放熱可能な面状発熱体の製造方法を提供する。
【解決手段】液晶ポリエステルからなる溶質を溶媒に溶解させて液晶ポリエステル溶液を調製する。次いで、液晶ポリエステル溶液を導電性シート２の少なくとも片面に塗工する。最後に、液晶ポリエステル溶液を加熱処理して液晶ポリエステル製の第１フィルム３、第２フィルム４を成膜する。溶媒キャスト法により、膜厚Ｔ２、Ｔ３が薄くて均一な液晶ポリエステル製の第１フィルム３、第２フィルム４が得られる。液晶ポリエステルの分子がランダムに配向して異方性がなくなるので、面状発熱体１の特定方向における引裂強度の低下を容易に回避できる。 （もっと読む）

【課題】パイプやホース等の管路を加熱すると同時に測温できるようにした測温機能付きスパイラル管状ヒータを提供する。
【解決手段】それぞれ耐熱樹脂製とされた第１テープ素材(11)と第２テープ素材(12)の間に細長いヒータ手段(14)を介装して積層一体化したシート状のテープ本体(17)をスパイラル状の巻回形態に成形することにより、軸方向に伸縮自在で径方向に拡縮自在とされた可撓性を有するスパイラル管状ヒータにおいて、前記テープ本体(17)は、第１テープ素材(11)と第２テープ素材(12)の何れか一方の上に、熱電対(15)から成る測温手段(16)を介装した状態で耐熱樹脂製とされた第３テープ素材(13)を積層一体化することにより構成されている。 （もっと読む）

【目的】処理品を１０００℃以上の高温に急速加熱し且つ均一に焼成するためのバッチ式焼成炉の焼成方法およびそのためのバッチ式焼成炉を提供する。
【構成】炉内に、棒状またはパイプ状のヒーターを並設してなる棚構造を上下方向に複数段配置し、該棚構造上に処理品の積載板を載置して処理品を加熱するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一加熱性及び耐久性に優れ、電気的短絡も発生しない加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、密着状態に積層された複数の電気絶縁性基材１１，１２と、電気絶縁性基材１１，１２同士を接合するため電気絶縁性基材１１の凹溝１５内に充填された状態で融着された抵抗発熱材１３と、を備え、抵抗発熱材１３はケイ素若しくはケイ素化合物を含んでいる。抵抗発熱材１３は、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４における一方の電気絶縁性基材１１に形成された凹溝１５内に隙間無く充填された状態で融着されている。電気絶縁性基材１１，１２は、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスで形成されている。また、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４の外周１４ａの一方の電気絶縁性基材１１の全周に渡って形成された開先部１１ａ内にも抵抗発熱材１３ａが充填された状態で融着されている。 （もっと読む）

【課題】流通する流体を応答性良く、均一に大容量加熱でき、小型化が可能な温度調節用ヒーターを提供する。
【解決手段】本発明のオリフィス型温度調節用ヒーターは、一端側に流体入口部１３を有し、他端側に流体出口部１６を有し、内部を流体が流通する円筒胴１１と、円筒胴１１の軸方向に並設される複数のシースヒーター１２を有し、内部を複数のシースヒーター１２が挿通する複数の開口が設けられた複数のバッフル板１８が円筒胴１１の軸方向に所要間隔で複数配置されている。バッフル板１８の開口とシースヒーター１２とで形成されるクリアランスからなるオリフィスを流体が通過し、流体がシースヒーター１２と平行に流動し、流体を所定の温度に加熱する。 （もっと読む）

【課題】カーボンヒータの特長を生かした気体加熱器及びこれを用いた温風発生機、過熱蒸気発生装置を提供することである。
【解決手段】炭素質の発熱素子３を保護管４に封入してなる棒状のヒータ１と、熱交換器２の組み合わせからなる気体加熱器において、前記ヒータ１としてその発熱素子３が帯状の炭素質発熱体が使用され、該ヒータ１の全体を収納したヒータパイプ６に前記発熱素子３の扁平な面を挟んだ一対の対向面７、７が設けられ、前記ヒータパイプ６の内面には耐熱性の赤外線吸収塗料が塗布され、前記各対向面７の外側面にそれぞれ前記の熱交換器２が前記ヒータ１と長さ方向が一致した状態で一体化され、該熱交換器２は前記対向面７に固定され気体通路を構成するフレーム１２とそのフレーム１２の内部に設けられたコルゲートフィン１３とにより構成され、前記熱交換器２の長さ方向の一端が気体供給部、他端が加熱気体排出部である構成とした。 （もっと読む）

【課題】加熱効率が高く、加熱温度の制御精度が高い加熱技術を提供する。
【解決手段】基盤部材１に、断熱部材２を介して加熱部材３およびブロック部材４を積層し、加熱部材３からの伝熱でブロック部材４に接する被加熱物を加熱する加熱装置１０において、加熱部材３の内部に穿設された貫通穴３ａにハロゲンランプヒーター等の制御応答性の良好な発熱部材５を所定の間隙ｇをなすように非接触に実装し、発熱部材５からの放射熱で加熱部材３を加熱する構成とし、発熱部材５の熱膨張の抑圧等のための剛性や耐脆性を考慮することなく熱伝導率の高い素材で加熱部材３を構成し、効率良く加熱部材３からブロック部材４を介して被加熱物を加熱可能にした。 （もっと読む）

【課題】端子が嵌合する嵌合孔部が形成されている場合であっても、セラミックヒータを収容する筐体の大型化を抑制しつつ、加熱対象物全体を均一に加熱できるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックヒータ１は、セラミックスにより形成されるセラミック体１０と、電源からの電流が供給される端子２０とを用いて、加熱対象物を加熱する。セラミック体１０は、本体部１１と、本体部１１に形成され、端子２０が嵌合する嵌合孔部１２と、本体部１１における加熱対象物に対向する側の表面１１Ａから加熱対象物に向けて盛り上がる隆起部（例えば、突出部１３）、又は、表面１１Ａから加熱対象物の逆側に向けてへこむ凹み部（例えば、穴部１５）のいずれか一方とを有する。隆起部又は凹み部は、嵌合孔部１２の近傍に設けられる。 （もっと読む）

【課題】高精度な温度で効率よく加熱することが可能な加熱装置を提供する。
【解決手段】複数のカートリッジヒーター２を内蔵した加熱ブロック１に固定部材５を用いてブロック部材３を密着させ、このブロック部材３を介して外部の被加熱物を加熱する構成の加熱装置１０において、固定部材５の大径部５ｂとブロック部材３との間に、ブロック部材３の線膨張係数α３および固定部材５の線膨張係数α５よりも大きな線膨張係数α４を持つ調整部材４を介設し、常温から所定の設定温度に加熱しても、熱膨張差によってブロック部材３と固定部材５との間に隙間ができることを、調整部材４の熱膨張によって補い、固定部材５による、加熱ブロック１に対するブロック部材３の締結力を確実に維持して、加熱ブロック１からブロック部材３への熱伝達の均一化および効率化を実現する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来と同様に加熱の均一性が得られ、パーティクルが発生しないと共に、ヒーター線の異常及び被覆層の剥離を点検できる電熱ヒーターを提供する。
【解決手段】保温材の一面にヒーター線３０を配列した電熱ヒーターであって、ヒーター線３０が、発熱線３１と、発熱線３１の上に無機又は有機繊維を編組して形成された被覆層３２、３３と、被覆層３２、３３の上に形成された合成樹脂からなる樹脂被覆層３４を備えている。 （もっと読む）

【課題】加熱面を横断して比較的に一様な加熱特性を有するＰＴＣ（正の温度係数）特性を有するヒータを付与する。
【解決手段】基板層１２と、バス層２８であって、バス層２８の一側部に隣接して形成される第一電極及び第二電極と、第一電極からコネクタ部への電気的連通を付与するためのバスとを有し、コネクタ部は、第一電極と第二電極との間の距離よりも大きな、第二電極からの距離でバス層上に形成される、バス層２８と、選択的な伝導層４４であって、第一伝導ストリップと連通する第三電極と、第二伝導ストリップと連通する第四電極とを有し、第三電極は、第二電極と電気的連通し、第四電極はコネクタ部と電気的連通している、選択的な伝導層４４と、第一伝導ストリップと第二伝導ストリップとの間で電気的連通を付与するサーミスタ層５２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】従来の車両用輻射暖房装置においてヒータと車輌内装材は物理的に固定していたため、内装材の曲率が大きい場合などはヒータが内装材に接触でず、熱伝導体が必要な場合があった。本発明はヒータと内装材の接着性を改良して快適な暖房効果を得ることができる加熱装置およびそれを用いた車両用暖房装置を提供することを目的とする。
【解決手段】面状の電気ヒータ３のどちらか一方の面に配置され接着層４を介して加熱、圧着された防水部材５と、この面状の電気ヒータのもう一方の面に配置され接着層４を介して加熱、圧着された表面部材２と、表面部材２の反対側の面に配された断熱性の背面部材６を備えた構成。 （もっと読む）

【課題】螺旋状に巻回された石英ガラス管の内部に、カーボンワイヤー発熱体を収容したヒータにおいて、熱分布（温度分布）のバラツキが小さく、より均一に加熱することができるヒータを提供する。
【解決手段】螺旋状に巻回された石英ガラス管１１の内部に、紐状のカーボンワイヤー発熱体１５を収容したヒータ１０であって、螺旋状に巻回された石英ガラス管１１の軸線ｌと平行な方向（Ｘ１方向）における、前記カーボンワイヤー発熱体１５の断面が、軸線ｌと平行な長軸を有する楕円形状（ａ２＞ｂ２）である。 （もっと読む）

【課題】均一に加温しながら、自由に変形できる可撓性があり、しかも発火することなく安全に使用できるようにする。
【解決手段】車両用の電気毛布は、放熱シート３と電気ヒータ１とを備える。電気ヒータ１は、所定の間隔で配置してなる複数の帯状ヒータ素子６Ａからなる面状ヒータ６である。帯状ヒータ素子６Ａは、可撓性を有するシート状であって、所定の幅の帯状である。帯状ヒータ素子６Ａは、多数の細線を網状に集合している一対の編み線８に橋渡しするように、複数枚の可撓性発熱シート９の両側部を電気接続して、可撓性発熱シート９と編み線８の両方の表面を絶縁シート７で絶縁している。可撓性発熱シート９は、実質的にカーボンを含まず、導電性金属を含むプラスチックシートで、所定の電気抵抗に設定している。帯状ヒータ素子６Ａは、編み線８を介して各々の可撓性発熱シート９に通電してジュール熱で発熱させ、発熱する可撓性発熱シート９で加温する。 （もっと読む）

【課題】 被加熱物の加熱時間が短縮でき、表面の温度分布を小さくできる、熱伝達性に優れたセラミックヒータを提供する。
【解決手段】 板状のセラミック体１の内部に発熱体２を有し、セラミック体１の主面に多数の無機質の粒子６が固着しているセラミックヒータ10である。セラミックヒータ10の主面の比表面積が多数の粒子６が固着していることによって増大し、被加熱物への熱伝達の効率がよくなり、加熱時間を短縮できる。また、セラミック体１の主面の温度分布を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】高い加熱効率による被加熱物の均一な加熱が可能なセラミックヒーターおよびヒーター装置を提供する。
【解決手段】セラミック材料を平板状に成形してなり、熱盤２８に加熱されて赤外線ＩＲを放射するセラミックヒーター４０であって、一方側の主面（接合面４６）が平坦に形成されるとともに、他方側の主面（放射面４８）の一部または全部に凹凸パターン（凹部４４）が形成されている。かかる構成により、放射面４８が平坦である場合に比して放射面積が拡大し、凹部４４からそれぞれ放射される赤外線ＩＲは、互いにオーバーラップして被加熱物に照射されることから、被加熱物の均一な加熱が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 成膜処理を繰り返しても、温度再現性が悪化し難い石英ヒーターを提供すること。
【解決手段】 発熱体２３が埋設され、被処理基板載置面２１ａ上に被処理基板Ｗが載置される有色石英ヒーター本体２１を備え、有色石英ヒーター本体２１の熱放射率を、被処理基板Ｗ上に成膜される薄膜の熱放射率以上とする。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗部の部分により温度がばらつくことを抑制することができるヒータを提供すること。
【解決手段】長尺状の基板１と、基板１に形成された導電部２１および導電部２２と、基板１に形成されており、導電部２１，２２を導通させている発熱抵抗部３と、を備えているヒータＡ１において、導電部２１，２２はそれぞれ、基板１の長手方向ｘに沿って発熱抵抗部３と接続しており、基板１の厚さ方向において、導電部２１，２２は発熱抵抗部３を挟んでいる。 （もっと読む）