【課題】 大型の基板保持体であっても、所定の温度まで加熱することができ、かつ大型化した基板載置面の温度均一性を確保することが可能な基板保持体を提供する。
【解決手段】 本発明の基板保持体は、被処理物である基板を載置する基板載置面と、基板載置面の反対側の面あるいは内部に抵抗発熱体回路を有しており、該抵抗発熱体回路は、発熱部、および発熱部に電力を供給する非発熱部とからなり、前記発熱部と前記非発熱部との境界部分が、前記基板保持体の中心に対して略対称な位置に１組または２組以上の対となって存在しており、前記抵抗発熱体回路は、前記境界部分それぞれにおいて２個の回路に分岐することにより、対となる境界部分同士の間で並列回路をなし、前記並列回路それぞれにおいて、並列をなす２個の回路の抵抗値が、該２個の回路の抵抗値の平均値に対して、±１０％の範囲内で略等しい抵抗値を持つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 対象物を載置する表面内の温度ばらつきを低減することができる加熱用部材を提供する。
【解決手段】 上面に対象物が載置される第１基板１０と、該第１基板１０の下面に対向するように設けられた第２基板１２と、第１基板１０と第２基板１２との間に設けられた配線１６とを有し、第１基板１０の下面および該下面に対向する第２基板１２の上面の少なくとも一方は凹部２２を有し、配線１６は、少なくとも一部が凹部２２内に位置するように第１基板１０の下面に接合され、配線１６と第２基板１２の上面との間に空間２６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体を低圧で安定して定着部材に当接させて、定着部材を低トルクで回転させながら均一に加熱する定着装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】定着スリーブ２１と、加圧ローラ３１と、定着スリーブ２１の内周側に配置され、定着スリーブ２１を介して加圧ローラ３１と当接してニップ部を形成する当接部材２６と、定着スリーブ２１の内周側に配置され、定着スリーブ２１と接触して加熱する弾性体シートである面状発熱体２２と、を備え、面状発熱体２２の主面と定着スリーブ２１の内周面とが面状発熱体２２の曲げ弾性力により付与される面圧で当接している。 （もっと読む）

【課題】 継手、枝管の接続部、バルブの接続部等、配管の径よりも大きな径を有する付属品を備えた配管の内部を流通する流体を、配管の外周側から加熱するための電気エネルギーを利用する加熱装置であって、配管及び付属品に容易に配置することができ、配管を均一に効率よく加熱することができ、さらに設置の際のコストが安価である加熱装置を提供する。
【解決手段】 所定の区間の付属品及び配管を包囲することが可能な筒形状を有する断熱材の内部に、中心側表面が金属層により被覆された面状ヒータ、及び該金属層の表面から中心部に向かって延び、配管を挟持して接触するように配置された金属製伝熱部材が備えられてなる配管の加熱装置とする。 （もっと読む）

【課題】 温度変更時の均熱性を向上させると共に、温度変更後の温度分布を安定させるまでの時間を短縮できるヒータユニットを提供する。
【解決手段】 本発明のヒータユニットは、被処理物を載置する載置面を有する載置台と、該載置台の前記載置面とは反対側の面もしくは載置台の内部に少なくとも１層以上の発熱体層を有するヒータユニットであって、前記発熱体層に電力を供給するための配線が接続されており、該配線は前記接続箇所以外の箇所で前記発熱体層もしくは載置台と接触していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 省電力でより高温になり、温度分布が均一し、接線（通電するときの線）が安定したヒータ及びヒータシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】ヒータ（１００）は、複数の炭素繊維（ＣＦ）と、複数の炭素繊維（ＣＦ）同士を平行に密着させるように束ねる束縛体（１１）と、束縛体（１１）により束ねられた複数の炭素繊維（ＣＦ）を被覆する被覆カバー（１２）とを備える。複数の炭素繊維は、ピッチ（ＰＩＴＣＨ）系である。束縛体（１１）は、螺旋状に複数の炭素繊維（ＣＦ）の周囲を回転して束ねている。 （もっと読む）

【課題】断熱対象物の遮熱性能を向上するとともに、断熱対象物の均熱を図る。
【解決手段】対向する第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂの間の内部空間１５にこれら金属板１１Ａ，１１Ｂより熱伝導率が小さいスペーサ（コア材１８Ａ〜１８Ｃまたは球状部材２３）を配設するとともに、内部空間１５を真空排気してなる真空断熱構造体において、第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂのうち第１の金属板１１Ａとスペーサ（１８Ａ〜１８Ｃ，２３）との間だけに、第１の金属板１１Ａと接触し、この第１の金属板１１Ａより熱伝導率が高い熱伝導部材２０を配設する。 （もっと読む）

【課題】 発熱分布が均一で、装置が対応する最大サイズよりも小さなサイズをプリントする場合の非通紙部昇温を抑えられるヒータ、及びエンドレスベルトを用いた像加熱装置を提供する。
【解決手段】 基板長手方向に沿って設けられた第１導電体と第２導電体間に正の抵抗温度特性を有する電気的に並列接続されている複数本の発熱抵抗体を設け、電気的に並列接続された複数本の発熱抵抗体を有する発熱ブロックが長手方向に沿って複数個直列に配置されており、一つの発熱ブロックに含まれる複数本の発熱抵抗体は、長手方向の中央に配置されている発熱抵抗体よりも端部に配置されている発熱抵抗体のほうが抵抗値が高い、または抵抗発熱体の間隔が端部のほうが広い設定とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型で効率が高く、高い指向性と均一な加熱及び立ち上りの早い発熱体ユニット、及びその発熱体ユニットを用いた加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発熱体ユニットにおける発熱体（２）が高分子フィルム又は、フィラーを添加した高分子フィルムを熱処理することにより得られたグラファイトフィルムにより形成され、面方向に同等の熱伝導性を有しており、当該発熱体に電力を供給することにより、発熱体が高い効率で全面的に発熱するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】本願発明の目的は、加熱要素を備えたフランジを提供することである。
【解決手段】電流を導きまた前記電流の効果としての熱を散逸させるための少なくとも１つの抵抗ワイヤ（１０２）を含む加熱要素を備える、ある量の流体をタンク内に保持するためのフランジ（１０１）において、前記加熱要素が案内手段（１０３）をさらに含み、前記少なくとも１つの抵抗ワイヤ（１０２）が、加熱表面を形成するために、前記抵抗ワイヤの長さに沿った複数の別個の位置で前記案内手段（１０３）によって案内され、前記加熱表面の第１の部分が前記フランジ（１０１）の内側にあり、前記加熱表面の第２の部分が前記フランジ（１０１）の外側にあることを特徴とするフランジ（１０１）。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ載置面における均熱性に優れている上に急速昇温および急速冷却が可能であり、且つ高い剛性を備えた加熱冷却デバイスを提供する。
【解決手段】 ヒータ１０と可動式冷却モジュール２０とを備えた加熱冷却デバイス１であって、ヒータ１０は、ウエハ載置面１１ａを有し金属からなる第１均熱板１１と、第１均熱板１１を支持しセラミックスなどからなる第２均熱板１２と、これら均熱板１１、１２の間に設けられた抵抗発熱体１３とを有している。均熱板１１、１２の熱伝導率をＫ１、Ｋ２、ヤング率をＹ１、Ｙ２としたとき、Ｋ１＞Ｋ２、Ｙ２＞Ｙ１であり、均熱板１１、１２の厚みの合計は第１均熱板１１の直径の１／４０以下である。抵抗発熱体１３はポリイミドなどの耐熱性絶縁物１３ｂによって一体化されており、その厚みは０.５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。
【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する絶縁体２０とを備える。この発熱体１０のうちスリットに沿う幅方向Ｘに位置する一対の幅方向端部１３，１３で絶縁体２０に支持される。各幅方向端部１３，１３に位置する絶縁体２０は、幅方向Ｘに沿った水平方向に対して少なくとも２分割される。２分割された各分割体２１，２２の間に幅方向端部１３を係止し、幅方向端部１３の上方の部分で各分割体２１，２２を締結する締結具３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】被加熱基板の均熱性を向上させるとともに、簡易な構成でメンテナンス性に優れたホットプレートおよびそれを用いたホットプレートユニットを提供する。
【解決手段】被加熱基板Ｓを水平載置した状態で加熱するホットプレート２において、被加熱基板Ｓが載置される水平面状の載置面２０ａを有する均熱板２０と、直線又は曲線が繰り返して形成される回路パターンよりなる発熱体２１と、被加熱基板Ｓの外周面に沿って延出される断面矩形状の部材より形成され、均熱板２０の載置面２０ａに着脱可能に取り付けられる仕切板２６と、を具備してなり、仕切板２６は、内周面２６ｂが被加熱基板Ｓの外周面に対して並行位置に対向されるように形成され、かつ高さ方向長さＨが被加熱基板Ｓの厚みよりも長くなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】 狭い領域において温度分布の均一性を失わしめる要因となる温度変化が生じた場合であっても、被処理物を均一に加熱することのできるとともに、小型化が可能な加熱装置用のヒータランプを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明のヒータランプは、光透過性材料からなる１本の発光管の内部にフィラメントが配設されてなるヒータランプにおいて、前記フィラメントは、軸方向で複数に分割され、一方の端部に配置されたフィラメントと他方の端部に配置されたフィラメントは、少なくとも別個の給電装置に接続されてそれぞれ独立して給電されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハの直径が大きくなる傾向にある近年、重ねあわされる互いのウェハ全面において均一に加熱することが困難になってきている。
【解決手段】ウェハを加熱する加熱モジュールは、被加熱体を載置する載置面を有するステージ部と、ステージ部の載置面とは反対の被加熱面に配置される複数のヒータプレートとを備え、複数のヒータプレートは、少なくとも載置面に対応する領域を覆い、隣接する辺が互いに平行を保って離間して配置される。 （もっと読む）

【課題】 昇降温特性を向上させ、高スループットを実現できる剛性の高い加熱ヒータを比較的安価に提供する。
【解決手段】本発明の加熱ヒータは、ウェハ載置面を有する第１の均熱板と、この第１の均熱板を支持する第２の均熱板と、第１の均熱板と第２の均熱板の間に抵抗発熱体を有し、この抵抗発熱体を第１の均熱板のウェハ載置面とは反対側の面に絶縁性の接着層によって一体化したことを特徴とする。このような構造とすることによって、変形や割れが発生することなく、高速昇降温させることができる加熱ヒータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 非通紙部昇温を抑制しつつ、通紙領域における発熱均一性を向上できるヒータ及びこのヒータを搭載する像加熱装置を提供する。
【解決手段】 ２本の導電体間に複数本の発熱抵抗体を電気的に並列に接続した発熱ブロックを複数有する発熱ラインを基板端手方向に複数配置し、第１列の発熱ライン中の発熱ブロックの端部と第２列の発熱ライン中の発熱ブロックの端部がヒータ長手方向で重ならないように各発熱ブロックを配置する。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒータの、長手方向の温度分布の均一化を図る。
【解決手段】長尺板状のセラミック基板１１の長手方向が幅で短手方向が長さの発熱抵抗体２２と電力供給用の電極１２，１３を形成する。発熱抵抗体２２の両端には、セラミック基板１１上に形成された配線パターン１４，１５を接続する。電極１２に形成されたスルーホール１８１と配線パターン１４の長手方向の両端側と中央に形成されたスルーホール１８２〜１８４とを接続パターンを介してそれぞれ接続する。電極１３に形成されたスルーホール１９１と配線パターン１５の長手方向の両端側と中央に形成されたスルーホール１９２〜１９４とを接続パターンを介してそれぞれ接続する。電極１２とスルーホール１８２〜１８４を接続する接続パターンの抵抗値を同じようにし、電極１３とスルーホール１９２〜１９４を接続する接続パターンの抵抗値を同じようにした。 （もっと読む）

【課題】セラミックヒータの長手方向の温度分布の均一化を図る。
【解決手段】長尺板状のセラミック基板１１の長手方向が幅で短手方向が長さの発熱抵抗体２０と電力供給用の電極１２，１３を形成する。発熱抵抗体２０の両端は、分割して形成された配線パターン１４１〜１４３，１５１〜１５３をセラミック基板１１上で接続する。電極１２に形成されたスルーホール１８１と配線パターン１４１〜１４３の長手方向中央に形成されたスルーホール１８２〜１８４とを接続パターン１６を介してそれぞれ接続する。電極１３に形成されたスルーホール１９１と配線パターン１５１〜１５３の長手方向中央に形成されたスルーホール１９２〜１９４とを接続パターン１７を介してそれぞれ接続する。スルーホール１８２と１９２、スルーホール１８３と１９３、スルーホール１８４と１９４の対向部分の発熱抵抗体２０の発熱量を高くし、セラミックヒータの全体の温度分布の均一化を図る。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体の局所部分が過昇温状態となるのを抑制することができるとともに、高い安全性および充分な絶縁耐圧性を確保することができる加熱ヒータを提供する。
【解決手段】 加熱ヒータ２００は、複数の絶縁層２０２，２０３，２０４，２０５からなる矩形板状のセラミック基板２０１と、通電によって発熱する発熱領域がそれぞれ異なる複数の発熱抵抗体２０３２，２０４２とを含む。そして、前記複数の発熱抵抗体２０３２，２０４２は、複数の絶縁層２０２，２０３，２０４，２０５のそれぞれ異なる層間に設けられる。 （もっと読む）