【課題】長期使用に伴う性能劣化を抑制する拡散炉を提供すること。
【解決手段】拡散炉は、円筒状の断熱筒２１と、断熱筒２１の内周面に螺旋状に配置される電熱線２２とを備え、断熱筒２１の径外方向に移動可能な移動式セパレーター２３Ｂに電熱線２２を固定する。制御回路部３１は、電流値に基づいて電熱線２２の劣化状態を検出すると、モーター２４１を制御して移動式セパレーターを断熱筒２１の径外方向に移動させる処理をする。このため、電熱線２２の一部が垂れ下がった場合でも、電熱線２２を径外方向に移動することで、電熱線２２の接触による断線を防止できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、赤外線を用いて透明及び／又は半透明なガラス及び／又はガラスセラミック製品を均一に加熱する方法に関する。
【解決手段】ガラス及び／又はガラスセラミック製品に、２０〜３０００℃、特に２０〜１７０５℃で、加熱処理を施す。本発明は、ガラス及び／又はガラスセラミック製品に直接的に作用する赤外線の成分と、このガラス及び／又はこのガラスセラミック製品に間接的に作用する赤外線の成分とを用いて加熱がなされることを特徴とする。ガラス及び／又はガラスセラミック製品に間接的に作用する成分は、全放射出力の５０％以上に及ぶ。 （もっと読む）

【課題】安全性が高く，使い勝手に優れた面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】電気絶縁性基材１と、前記電気絶縁性基材１の両面ａ，１ｂに各々対向して形成され、電源に接続した一対の主電極２ａ，２ｂ、前記主電極２ａ，２ｂから個々に枝別れした複数の枝電極３ａ，３ｂ、および前記枝電極３ａ，３ｂからさらに分岐され、かつ対向する位置に配設された複数の接続電極４ａ，４ｂとを具備し、前記接続電極４ａ，４ｂ間に電気的に接続して構成された複数の抵抗体５ａとを備えたもので、安全性が高く、使い勝手に優れた面状発熱体を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】基板を効率的に加熱する基板加熱ユニット及びこれを含む基板処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板加熱ユニットは、抵抗発熱体から発生した熱を支持プレートに伝え、基板を加熱させる。支持プレートは、中心領域に比べてエッジ領域の厚さが厚い上部プレートと、該上部プレートに比べて熱伝導度が低い材質からなる下部プレートとを含む。上部プレートと下部プレートとの形状及び材質の差によって、支持プレートの中心領域よりエッジ領域で熱が速い速度で基板に到逹して基板の全体面が均一に加熱される。 （もっと読む）

【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体７を有する板状でＡｌＮ等からなるセラミックスヒータ５の上に、被処理物９を保持するＡｌ等からなる金属製保持部１０を備えている。金属製保持部１０内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路１２が形成されている。この保持体１０は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 （もっと読む）

【課題】 均熱板にウエハを支持するウエハ加熱装置において、均熱板の載置面が凹状になると、中心付近で均熱板とウエハの間のギャップが大きくなるので、特に、均熱板の温度設定を変更したり、ウエハを交換したりした際の昇温過渡時に中心部の加熱が遅れ気味になり、その結果ウエハ面内の温度分布が大きくなるという課題があった。
【解決手段】 セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記均熱板の載置面を凸状にする。 （もっと読む）

【課題】金属製の筒体から成るとともに、その外周面上にロール層を形成し、前記金属製の筒体の内部に発熱体を配した加熱ロールにおいて、熱応答性を高めるとともに、熱の軸線方向の分布を均一にした加熱ロールを提供する。
【解決手段】中空の金属製の筒体１０の内側に、カーボングラファイトシートを圧縮成形して成るとともに中心部に形成された挿通孔２３にシーズヒータ１７を挿入した熱伝達部材２２を収納し、しかもシーズヒータ１７の外周面と熱伝達部材２２の挿通孔２３の内周面との間の隙間をなくし、さらに熱伝達部材２２の外周面と前記筒体１０の内周面との間の隙間をなくし、上記シーズヒータ１７からの熱を熱伝達部材２２を介して金属筒体１０に伝達し、上記金属筒体の軸線方向の温度分布を均一にしたものである。 （もっと読む）

【課題】抵抗体とその回路接続用の接続電極との相互の印刷ズレによる局部発熱とか発熱に寄与しない領域の発生することを防止した面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】電気絶縁性の基板１上に電極２、および抵抗体３を印刷により形成し、前記電極２は、一対の主電極４と、前記各主電極からそれぞれ相手側へ延出された複の枝電極５と、これら枝電極から複数分岐され、反対電位電極の対向位置に対をなして形成された接続電極６とから構成され、これら接続電極に電気的に接続して形成される抵抗体の高さ寸法をＬ１、前記接続電極の長さＬ２としたとき、Ｌ２＞Ｌ１の関係に設定した。したがって、抵抗体と電極の印刷時に相互の位置関係がずれても、抵抗体への通電接続直線長さ範囲が小さくなることがなく、これにより、抵抗体での発熱量の低下、温度むらの発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、反射層と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含む中空の構造であり、前記カーボンナノチューブ複合構造体が自立構造を有するカーボンナノチューブ構造体及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブ構造体と基体材料が複合される。前記カーボンナノチューブ構造体が、複数のカーボンナノチューブを含む。 （もっと読む）

【課題】ダミー部材を用いることなくセラミックヒータの加熱面の温度の均一性を高める。
【解決手段】発明のセラミックヒータの製造方法は、窒化アルミニウム粉末を主体とし希土類酸化物粉末を０．０３〜１重量％含む低温焼結原料粉からなる内層成形体３２の表裏両面を、金属メッシュからなる抵抗発熱体１４，１６を介して体積抵抗率が１０¹⁵Ωｃｍ以上の窒化アルミニウム焼結体からなる一対の外層３０，３０で挟み込んだ状態で、１６００〜１７５０℃で焼成することによりセラミックヒータ１０を得るものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含む中空の構造であり、前記カーボンナノチューブ複合構造体が少なくとも一本の線状のカーボンナノチューブ複合構造体からなる。前記線状のカーボンナノチューブ複合構造体が少なくとも一本のカーボンナノチューブ線状構造体及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブ線状構造体及び基体材料が複合される。該カーボンナノチューブ線状構造体が、複数のカーボンナノチューブのみからなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含む中空の構造であり、前記カーボンナノチューブ複合構造体が少なくとも一枚の自立構造を有するカーボンナノチューブフィルム及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブフィルム及び基体材料が複合される。該単一のカーボンナノチューブフィルムが複数のカーボンナノチューブからなり、該複数のカーボンナノチューブが相互に絡み合っている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源の製造方法に関する。
【解決手段】中空熱源の製造方法は、カーボンナノチューブ構造体を提供し、該カーボンナノチューブ構造体が複数の微孔を有するステップと、中空の支持体を提供し、前記カーボンナノチューブ構造体を前記中空の支持体の表面に設置するステップと、第一電極及び第二電極を、間隔を置いて設置し、カーボンナノチューブ構造体と電気的に接続させるステップと、基体の予製体を提供し、該基体の予製体と前記カーボンナノチューブ構造体とを複合し、加熱素子を形成するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】ヒータとしての発熱量を確保しつつ、部位毎の発熱量の差をさらに抑制させたヒータ、ヒータに用いられる発熱体、及び発熱体の製造方法を提供すること。
【解決手段】電力の供給に伴って発熱する発熱体１０と、発熱体１０の両端部に接続され、電源からの電力を供給する端子２０と、を備えたヒータ１００であって、発熱体１０は、純度が、９９．９９％以上の炭化珪素の粉末を成型するステップと、粉末を窒素雰囲気において、１７００℃以上で１時間以上焼成するステップとにより製造されること。 （もっと読む）

【課題】外形を変えず、且つ、材質によらずに伝熱能力を向上することができるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】セラミックヒータ１は、発熱本体２と、発熱本体２に形成される穴３とを備える。穴３を画成する内側面３ａが加熱対象物Ｈに対して対向配置されており、加熱対象物Ｈに対面する対向面は内側面３ａである。従って、発熱本体２から加熱対象物Ｈに向かう輻射熱が増大し、加熱能力が向上する。 （もっと読む）

【課題】作動温度においても均一に放熱し、応力のないヒーターエレメントを提供する。
【解決手段】本発明のヒーターエレメントは、連続的な平面状の帯状体と、複数の取り付け要素と、を備える。連続的な帯状体の第１の端部から第２の端部までの経路は、曲がりくねっており、複数の繰り返しのサイクルを備え、各繰り返しのサイクルは、複数の第１の直線状の部分と、複数の第２の直線状の部分と、複数の丸みをつけた部分と、を備える。第１の直線状の部分の長さは、第２の直線状の部分の長さよりも長く、曲がりくねった経路のうちの１つのサイクルの角度の合計は、３６０度よりも大きい。このヒーターエレメントは、例えば半導体処理装置用のヒーター組立体に組み込むことができる。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の特性に鑑みて、対象物の載置面における温度均一化を図りうるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】セラミックヒータ１によれば、抵抗発熱体４の電流経路の緯線方向についての折り返し箇所が角張っているので、当該折り返し箇所が丸みを帯びている場合と比較して、抵抗発熱体４の面積の増加が図られる。さらに、電流経路の折り返し箇所が、抵抗発熱体４の中央部分４０からみて第１方位および第２方位とは異なる方位、特に中間方位に配置されるように当該電流経路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】安全性が高く使い勝手に優れた面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】電気絶縁性基材１と、前記絶縁性基材１上に対向して形成された少なくても一対の給電電極２ａ，２ｂと、前記給電電極２ａ，２ｂから個々に枝別れした複数の枝電極３ａ，３ｂと、前記枝電極３ａ，３ｂから更に分岐するとともに、対向する位置に配設された複数の接続電極４ａ，４ｂと、前記接続電極４ａ，４ｂ間に電気的に接続して形成された複数の第一の抵抗体５と、隣接する第一の抵抗体５間に設けた非抵抗部６と、前記非抵抗部６を挟む前記第一の抵抗体５間に電気的に接続された第二の抵抗体７とを具備したもので、安全性が高く使い勝手に優れた面状発熱体を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】発熱の均一性に優れたアンテナ一体型発熱フィルムを得る。
【解決手段】アンテナ一体型発熱フィルム１０は、透明なフィルム本体１２の表面に長手方向に沿って形成された帯状のアンテナ部１４と、アンテナ部１４の下方にアンテナ部１４の長手方向に沿って形成された帯状の発熱部１６と、を備えている。アンテナ部１４は、フィルム本体１２の長手方向の一辺１２Ａに沿った所定幅を占有して形成されており、金属の線状部１９からなるアンテナ用導電層１８を備えている。発熱部１６は、帯状に配置された発熱用導電層２０を備えており、発熱用導電層２０は、導電性の金属細線２２にて構成された多数の格子の交点を有するメッシュ状パターン２４と、メッシュ状パターン２４の両端部に略平行かつ略同じ長さに形成された第１電極２６及び第２電極２８とを備えている。第１電極２６と第２電極２８には電源３０が接続されている。 （もっと読む）

【課題】シートの上にニクロム線を蛇行配線したものや金属箔を印刷配線したヒーター材は、熱効率が悪く屈曲性に乏しいという欠点があった。また、ランダムな方向を向いた導電性カーボンチョップドファイバーを練り込んだ発熱部を有するヒーター材は、導電性カーボンチョップドファイバーの密度が小さい場合などは発熱部の温度を一様にすることが難しく、被加熱物にも温度のむらが生じてしまうことがあった。
【解決手段】以上の課題を解決するため、本発明は、導電性カーボンチョップドファイバーをその長手方向の目をそろえて非導電性の構造部材中に面内で均質に分散し導電性をもたせた発熱部を有するヒーター材を提案する。 （もっと読む）