基板加熱ユニット及びこれを含む基板処理装置
【課題】基板を効率的に加熱する基板加熱ユニット及びこれを含む基板処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板加熱ユニットは、抵抗発熱体から発生した熱を支持プレートに伝え、基板を加熱させる。支持プレートは、中心領域に比べてエッジ領域の厚さが厚い上部プレートと、該上部プレートに比べて熱伝導度が低い材質からなる下部プレートとを含む。上部プレートと下部プレートとの形状及び材質の差によって、支持プレートの中心領域よりエッジ領域で熱が速い速度で基板に到逹して基板の全体面が均一に加熱される。
【解決手段】本発明の基板加熱ユニットは、抵抗発熱体から発生した熱を支持プレートに伝え、基板を加熱させる。支持プレートは、中心領域に比べてエッジ領域の厚さが厚い上部プレートと、該上部プレートに比べて熱伝導度が低い材質からなる下部プレートとを含む。上部プレートと下部プレートとの形状及び材質の差によって、支持プレートの中心領域よりエッジ領域で熱が速い速度で基板に到逹して基板の全体面が均一に加熱される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体基板を処理する基板処理装置に係り、より詳細には、基板を加熱する基板加熱ユニット及び基板処理装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造装置の製造工程における半導体薄膜の成膜処理、エッチング処理、レジスト膜の所定処理などにおいて、半導体基板を加熱するためにヒーターが利用されている。このようなヒーターでは、半導体素子のパターンの微細化と基板の熱処理温度の精密度の向上との要求に伴い温度制御性が優れたセラミックス材質のヒーターが広く使われている。このようなヒーターは、基板を支持するプレートの裏面に金属粒子とガラスとの複合材料からなる抵抗発熱体が付着した構成を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】韓国公開特許第10−2001−0090740号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来のヒーターは、単一材質のプレートを利用するので、以下のような問題点がある。プレートは、金属材質からなるので、厚さを薄くする場合、高温(約200℃以上)状態で熱膨脹による曲げ、歪みなどが発生する。このような熱変形は、プレートに置かれた基板を破損させる要因になる。反対に、プレートの厚さを厚くする場合、ヒーターの重量が重くなり、体積が大きくなる問題がある。また、抵抗発熱体から発生した熱がプレートを通じて基板に伝達される過程において、プレートのエッジ領域では、外周面に熱損失が多く発生する。このような熱損失は、基板のエッジ領域と中心領域とに熱量差を発生させ、基板の温度を不均一に加熱させる要因になる。
【0005】
そこで、本発明の目的は、基板を効率的に処理することができる基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。また、本発明の目的は、基板の全体面を均一に加熱することができる基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。また、本発明の目的は、熱変形による基板の破損を防止することができる基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。更に、本発明の目的は、重さ及び体積が小さい基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。なお、本発明の目的は、これに制限されず、言及されない他の目的は、以下の記載から当業者にとって明確に理解されることができる。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、基板加熱ユニットを提供する。基板加熱ユニットは、基板が載置され、半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、上部プレートの下部に位置する下部プレートと、下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体とを含む。上部プレートの下面は、曲面であり、下部プレートの上面は、上部プレートの下面に対応する形状を有する。上部プレートのエッジ領域では、上部プレートの中心領域よりも厚さが厚い。上部プレートの下面は、凹形状を有する。また、上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域よりも高く位置するように段差を有する。他の実施形態によると、上部プレートの下面は、下方向に凸形状である。上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域よりも低く位置するように段差を有する。上部プレートの材質及び下部プレートの材質のうちのいずれか1つは、他の1つよりも熱伝導度が高い。本実施形態によると、上部プレートの材質は、下部プレートの材質よりも熱伝導度が高い。上部プレートの材質は、窒化物セラミックス、または炭化物セラミックスであり、下部プレートの材質は、絶縁体セラミックスである。上部プレートの上面には、基板の領域によって圧力が異なるように個別的、またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、基板加熱ユニットは、第1真空ポンプと、該第1真空ポンプと第1真空ホールとを連結する第1真空ラインとを更に含む。上部プレートの下面、または前記下部プレートの上面には、溝が形成され、下部プレートには、溝と連結される第2真空ホールが形成され、基板加熱ユニットは、第2真空ポンプと、該第2真空ポンプと第2真空ホールとを連結する第2真空ラインとを含む。この溝は、リング形状で複数個が設置され、リングは、同一中心で、直径が互いに異なる。発熱体は、下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって熱を発生させる抵抗発熱体を含む。上部プレートの下面には、挿入溝が形成され、下部プレートは、挿入溝に挿入される。下部プレートは、複数個であり、それぞれの下部プレートは、挿入溝から独立して分離可能である。下部プレートは、少なくとも1つ以上の下部プレートを有する複数個のグループに区分され、複数個のグループは、そのグループを成す下部プレートが互いに組み合わせられ、1つのリング形状で配置されたグループを含む。基板加熱ユニットは、溝に位置し、上部プレートの温度を測定する温度測定部材を更に含む。
【0007】
更に、本発明は、基板処理装置を提供する。基板処理装置は、内部空間を有する工程チャンバーと、内部空間に位置し、基板を支持し、半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、上部プレートの下部に位置し、上部プレートの下面と対応する上面を有する下部プレートと、下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体とを含み、上部プレートの材質は、下部プレートの材質に比べて熱伝導度が高い。上部プレートは、中心から遠くなるほど厚さが厚くなる。上部プレートは、中心領域がエッジ領域に比べて厚さが厚い。上部プレートの下面は、凹形状を有する。上部プレートの上面には、基板の領域によって圧力が異なるように個別的、またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、基板加熱ユニットは、第1真空ポンプと、該第1真空ポンプと第1真空ホールとを連結する第1真空ラインとを更に含む。上部プレートの下面、または下部プレートの上面には、溝が形成され、下部プレートには、溝と連結される第2真空ホールが形成され、基板処理装置は、第2真空ポンプと、第2真空ポンプと第2真空ホールとを連結する第2真空ラインとを含む。発熱体は、下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって熱を発生させる抵抗発熱体を含む。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、基板の全体面が均一に加熱されるので、基板処理が均一に行われる。また、本発明によれば、支持プレートの熱伝導度が優れているので、効果的に基板を加熱することができる。また、本発明によれば、上部及び下部プレートの材質が互いに異なるので、支持プレートの熱変形による基板の損傷を防止することができる。更に、本発明によれば、支持プレートの熱変形が小さく、支持プレートの重さ及び体積を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の一実施形態に係る基板処理装置を簡略に示す図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る基板加熱ユニットを示す断面図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る基板支持部を示す断面図である。
【図4A】上部プレートの上面に形成された溝と第1真空ホールとの形状を示す図である。
【図4B】第1真空ホールが基板を真空吸着する過程を示す図である。
【図5】本発明の一実施形態により基板に熱が伝わる過程を示す図である。
【図6A】本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレートを示す図である。
【図6B】本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレートを示す図である。
【図6C】本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレートを示す図である。
【図7A】本発明の他の実施形態に係る上部プレートと下部プレートとの結合構造を示す図である。
【図7B】本発明の他の実施形態に係る上部プレートと下部プレートとの結合構造を示す図である。
【図8A】本発明の他の実施形態に係る上部プレート及び下部プレートの形状を示す図である。
【図8B】本発明の他の実施形態に係る上部プレート及び下部プレートの形状を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態を添付の図1乃至図8を参照して更に詳細に説明する。本発明の実施形態は、様々な形態に変形することができ、本発明の範囲が下の実施形態に限定されると解釈されてはいけない。本実施形態は、当業者に本発明を更に完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている。
【0011】
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置1を簡略に示す図である。図1を参照すると、基板処理装置1は、基板Wに対する工程処理が進行される工程チャンバー10と、工程処理に提供された基板Wを加熱する基板加熱ユニット100とを含む。工程チャンバー10は、内部空間11を有し、一側壁に基板Wが出入りする開口12が形成される。工程チャンバー10では、基板Wを所定温度まで上昇させて基板Wを処理するベーキング工程が進行される。基板加熱ユニット100は、工程チャンバー10の内部空間11に位置し、基板Wを所定温度まで加熱する。
【0012】
図2は、本発明の一実施形態に係る基板加熱ユニット100を示す断面図であり、図3は、本発明の一実施形態に係る基板支持部110を示す断面図である。図2及び図3を参照すると、基板加熱ユニット100は、基板支持部110と、発熱体120と、冷却部材170と、温度測定部材180とを含む。基板支持部110は、基板Wを支持し、発熱体120で発生した熱を基板Wに伝える。発熱体120は、外部から電源が供給されて熱を発生させ、冷却部材170は、加熱された基板支持部110及び基板Wを所定温度まで速かに冷却させる。温度測定部材180は、基板Wに熱を伝える基板支持部110の温度を測定する。以下、各構成に対して詳細に説明する。
【0013】
基板支持部110は、基板Wを支持する支持プレート111と、該支持プレート111を支持するケース131とを含む。支持プレート111は、円板形状を有し、基板Wが置かれる上部プレート111aと、該上部プレート111aの下部に位置する下部プレート111bとを含む。上部プレート111aと下部プレート111bとは、分離可能である。上部プレート111aと下部プレート111bとは、後述の結合部材160により上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とが面接触するように結合される。上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とは、互いに対応する形状を有する。
【0014】
上部プレート111aは、半径方向に沿って中心領域の厚さとエッジ領域の厚さとが異なるように形成される。本実施形態によれば、上部プレート111aのエッジ領域が中間領域より厚く形成される。具体的には、上部プレート111aの中心領域で上面と下面との間の距離d1は、エッジ領域で上面と下面間との距離d2よりも短く、下部プレート111bの中心領域で上面と下面との間の距離d3は、エッジ領域で上面と下面との間の距離d4よりも長い。一例によると、上部プレート111aの下面は、曲面である。上部プレート111aの下面は、凸形状を有し、下部プレート111bの上面は、凹形状を有する。上部プレート111aの凹んだ下部空間に下部プレート111bの上面が位置する。上部プレート111aは、半径方向に沿って中心から遠くなるほど厚さが徐々に厚く形成され、下部プレート111bは、徐々に薄く形成される。上部プレート111aの材質は、下部プレート111bの材質と異なる材質である。本実施形態では、上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱伝導度が高い材質からなる。そして、上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱変形が小さい材質からなる。例えば、上部プレート111aの材質は、窒化物セラミックス、または炭化物セラミックスであり、下部プレート111bの材質は、絶縁体セラミックスである。上部プレート111aの材質は、下部プレート111bの材質よりも熱伝導度が高く、下部プレート111bよりも上部プレート111aでの熱の伝わる速度が速く、且つ、熱の伝わる量が多い。また、本発明は、上部プレート111aが下部プレート111bよりも熱変形が小さい材質からなるので、支持プレート111が高温(200℃以上)で加熱されても曲げ現象による基板損傷を予防することができる。支持プレート111が単一プレートとして提供される場合、支持プレート111が高温(200℃以上)で加熱されれば、支持プレート111が曲がる現象が発生する。この曲げ現象は、支持プレート111に置かれた基板Wを損傷させるので、高温状態で長期間の工程の進行を不可能にする。しかしながら、本発明は、支持プレート111が上部プレート111aと下部プレート111bとに区分され、基板Wが置かれる上部プレート111aは、熱変形が小さい材質からなるので、支持プレート111が高温状態を維持しても、基板Wを安定的に保持することができる。上部プレート111aの上面には、基板Wを吸着する溝112が形成され、上部プレート111aには、それぞれの溝112と連結される第1真空ホール113が形成される。
【0015】
図4Aは、上部プレート111aの上面に形成された溝112と第1真空ホール113と形状を示す平図面であり、一方、図4Bは、第1真空ホール113が基板Wを真空吸着する過程を示す図である。図2、図4A、及び図4Bを参照すると、それぞれの溝112は、上部プレート111aの円周方向に沿ったリング形状を有する。溝112は、同一中心で、直径が互いに異なる。上部プレート111aの中心から遠くなるほど、溝112の直径は、大きくなる。第1真空ホール113は、それぞれの溝112に沿って離隔して複数個形成される。第1真空ホール113は、後述の第1真空ライン151と溝112とを連結し、溝に留まる空気を外部に排出させる。この空気の排出により、溝112内部の圧力は、減圧し、基板Wが上部プレート111aの上面に真空吸着される。第1真空ホール113は、個別的、またはグループ別に圧力調節が可能である。本実施形態では、それぞれの第1真空ホール113は、第1真空ライン151と連結され、それぞれの第1真空ライン151には、吸入量を調節することができる真空調節バルブ152が設置される。真空調節バルブ152の調節により、第1真空ホール113の圧力を調節できる。他の実施形態として、第1真空ホール113を複数個のグループに区分してもよい。具体的には、いずれか1つのリング形状の溝112に沿って形成された第1真空ホール113を同一のグループに区分する。上部プレート111aの上面には、互いに離隔して3つのリング形状の溝112a、112b、112cが形成される(図4A参照)。第1溝112aと連結される第1真空ホール113aは、第1グループaを成し、第2溝112bと連結される第1真空ホール113bは、第2グループbを成し、更に、第3溝112cと連結される第1真空ホール113cは、第3グループcを成す。それぞれのグループa、b、cは、互いに異なる第1真空ライン151と連結され、それぞれの第1真空ライン151に設置された真空調節バルブ152の調節により、各グループa、b、cの第1真空ホール113a、113b、113cが一律に圧力調節される。第1真空ホール113が個別的、またはグループ別に圧力調節されるので、基板Wの領域によって吸着力を異にすることができる。例えば、基板Wに対する工程処理が進行される過程において、熱変形によって基板Wが曲がる場合(図4B参照)、曲がる領域及び曲げの程度によって、第1真空ホール113の圧力を調節することができる。基板Wの中心領域が曲がる場合、支持プレート111の中心領域に形成された第1真空ホール113aからエッジ領域に形成された第1真空ホール113cの順に減圧させることによって、基板Wを安全に吸着させることができる。また、支持プレート111のエッジ領域に形成された第1真空ホール113cの吸着力を、中心領域に形成された第1真空ホール113aの吸着力よりも高くして、基板Wを支持させることができる。
【0016】
下部プレート111bの上面には、上部プレート111aの下面を真空吸着する溝114が形成され、下部プレート111bには、それぞれの溝114と連結される第2真空ホール115が形成される。それぞれの溝114は、下部プレート111bの円周方向に沿って複数個のリング形状を有する。溝114によって形成されるそれぞれのリング形状は、同一中心で、直径が互いに異なる。下部プレート111bの中心から遠くなるほど、リング形状の直径は、大きくなる。第2真空ホール115は、それぞれの溝114に沿って離隔して複数個形成される。第2真空ホール115は、後述の第2真空ライン162と溝114とを連結し、溝114に留まる空気を外部に排出させる。この空気の排出により、溝114内部が減圧し、上部プレート111aの下面が下部プレート111bの上面に真空吸着される。
【0017】
支持プレート111には、支持プレート111の上部と下部とを連結する複数のホール116が形成される。複数のホール116は、リフトピン117が昇降する通路である。リフトピン117は、ホール116に沿って昇降し、基板Wを上部プレート111aの上面にローディング/アンローディングさせる。搬送ロボット(図示しない)によって上部プレート111aの上部に基板Wが搬送された後、駆動部(図示しない)によってリフトピン117が上昇して基板Wを保持する。その後、リフトピン117は、下降して基板Wを上部プレート111aの上面にローディングさせる。そして、基板Wに対する工程処理が完了した後、リフトピン117が上昇して基板Wを上部プレート111aの上面からアンローディングさせる。アンローディングされた基板Wは、リフトピン117によって保持され、搬送ロボットに伝達される。
【0018】
結合部材160は、上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とが密着ように、上部プレート111aと下部プレート111bとを結合させる。結合部材160は、第2真空ポンプ161と、第2真空ライン162とを含む。第2真空ライン162は、第2真空ホール115と第2真空ポンプ161とを連結する。第2真空ポンプ161は、第2真空ホール115及び第2真空ライン162を通じて下部プレート111bの上面に形成された溝114に留まる空気を外部に排出して溝内部を減圧させる。溝内部の減圧により、上部プレート111aの下面と下部プレート111bの下面とは、真空吸着される。
【0019】
ケース131は、支持プレート111の下部に位置し、支持プレート111を支持する。ケース131は、上部が開放された内部空間134を有するボウル(bowl)形状を有する。ケース131の上端は、その端が内部空間134に向けて曲げられている。支持プレート111は、ケース131の上端に結合されて支持される。ケース131の下部壁には、ガス排出口132が複数個形成される。ガス排出口132は、支持プレート111の冷却に提供された冷却ガスを外部に排出させる通路である。
【0020】
発熱体120は、外部から電源が供給され、基板Wに伝える熱を発生させる。発熱体120は、抵抗発熱体121と、導電線122と、電源(図示しない)とを含む。抵抗発熱体121は、下部プレート111bの下面に接合され、外部から印加される電源によって流れる電流に抵抗することによって熱を発生させる。抵抗発熱体121は、金属ペーストまたは導電性セラミックスを使った導電性ペーストを下部プレート111bの下面に印刷することによって形成される。これらペーストの中には、金属粒子または導電性セラミックス粒子が含有される。抵抗発熱体121は、導電線122と電気的に接続する。導電線122は、抵抗発熱体121と電源とを電気的に連結し、電源から抵抗発熱体121に電流を供給する。
【0021】
冷却部材170は、加熱された基板支持部110及び基板Wを所定温度まで速かに冷却させる。冷却部材170は、ガス噴射ノズル171と、ガス供給ライン172とを含む。ガス噴射ノズル171は、冷却ガスを噴射する噴射口がケース131の内部空間134に位置するようにケース131に挿入される。ガス噴射ノズル171は、ガス供給ライン172を通じてガス貯蔵部(図示しない)から冷却ガスが供給され、ケース131の内部空間134に噴射する。基板支持部110の冷却に使用される冷却ガスは、ガス排出口132を通じてガス排出ライン133に沿って外部に排出される。加熱された基板Wは、予め設定された温度に冷却され、次の工程に提供される。ここで、基板Wを自然冷却させる場合、基板Wが予め設定された温度に冷却されるまでには、時間がかかるので、工程時間が増えるという問題がある。そこで、これを解決するために、支持プレート111に冷却ガスを噴射して基板Wを速かに強制冷却させる。
【0022】
温度測定部材180は、基板Wに熱を伝達する支持プレート111の温度を測定する。温度測定部材180によって測定されたデータにより発熱抵抗体121に供給される電力量を制御し、基板Wの温度を調節する。温度測定部材180は、下部プレート111bの上面に形成された溝114に位置し、上部プレート111aの温度を測定する温度センサを含む。温度センサは、上部プレート111aから1〜5mm程度離れた上部プレート111aの下部に位置するのが、基板Wの温度制御に効率的である。
【0023】
図5は、本発明の一実施形態によって基板Wに熱が伝わる過程を示す図である。図5を参照すると、抵抗発熱体121で発生した熱は、支持プレート111を通じて基板Wに伝わる。基板Wに熱が伝わる過程において、支持プレート111のエッジ領域に提供された熱の一部は、外部空気と接触する支持プレート111の外周面で損失する。したがって、同一量の熱が支持プレート111の各領域に提供されても、支持プレート111のエッジ領域に提供された熱は、基板Wに伝わる過程で損失するので、中心領域に比べて少ない量の熱が基板Wに到逹する。したがって、基板Wが不均一に加熱される。しかしながら、本発明では、上部プレート111aは、下部プレート111bに比べて熱伝導度が高い材質であり、上部プレート111aのエッジ領域の厚さが中心領域より厚く形成されるので、基板Wの全体面に対して均一な熱を提供することができる。具体的には、下部プレート111bの各領域に一定量の熱が提供される場合、提供された熱は、下部プレート111bの下面から上面に伝わる。この時、下部プレート111bの中心領域がエッジ領域より厚く形成されるので、熱が下部プレート111bの中心領域の上面に到逹するのにかかる時間t1は、エッジ領域の上面に到逹するのにかかる時間t2よりも大きい(t1>t2)。その後、下部プレート111bの上面に到逹した熱は、上部プレート111aに伝わる。上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱伝導度が高い材質であるので、上部プレート111aの下面で熱拡散の屈折が発生する。これによって、上部プレート111aの熱の伝わる領域は、下部プレート111bの熱の伝わる領域よりも広く形成される。上部プレート111aは、エッジ領域の厚さが中心領域より厚く形成されるので、エッジ領域で基板Wに熱が伝わるのにかかる時間t4は、中心領域で基板に熱が伝わるのにかかる時間t3よりも大きい(t4>t3)。しかしながら、上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱伝導度が大きい材質であるので、上部プレート111aのエッジ領域で熱が伝わる時間t4は、下部プレート111bの中心領域で熱が伝わる時間t1に比べて短い(t1>t4)。すなわち、支持プレート111を通じて基板Wに熱が伝わるのにかかる全体時間は、エッジ領域では、中心領域より短い(t1+t3>t2+t4)。したがって、エッジ領域では、熱損失が多いものの、中心領域に比べて短時間で基板Wに熱が伝わるので、同一時間で基板Wに提供される熱量は、同一に維持される。このように、基板Wに提供される熱量が基板Wの各領域によって均一に維持されるので、基板Wの全体面が均一に加熱される。
【0024】
なお、上記説明では、基板加熱ユニット100がベーキング工程に使われる場合としたが、基板加熱ユニット100は、これに限定されず、アッシング工程、エッチング工程、及び蒸着工程のように基板Wを所定温度まで加熱する工程でも使用可能である。
【0025】
また、上記説明では、上部プレート111aの下面が凹んだ曲面であるとしたが、本発明は、これに限定されない。図6A〜図6Cは、それぞれ本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレート111を示す図である。まず、図6Aを参照すると、上部プレート111aの下面は、中心領域とエッジ領域とが平面であり、中心領域とエッジ領域との間の領域は、傾斜面を有する。中心領域は、エッジ領域より高く、傾斜面は、上部プレート111aの中心から遠くなるほど下方向に傾くように形成される。下部プレート111bの上面は、上部プレート111aの下面に対応する形状を有する。全体的に、上部プレート111aのエッジ領域は、中心領域より厚く形成され、下部プレート111bのエッジ領域は、中心領域より薄く形成される。次に、図6Bを参照すると、上部プレート111aの下面は、中心領域とエッジ領域とが平面であり、中心領域がエッジ領域より高く位置するように段差を有する。下部プレート111bの上面は、上部プレート111aの下面に対応する形状を有するように中心領域がエッジ領域より高く位置するように段差を有する。上部プレート111aのエッジ領域は、中心領域より厚く形成され、下部プレート111bのエッジ領域は、中心領域より薄く形成される。更に、図6Cを参照すると、上部プレート111aの下面には挿入溝118が形成され、下部プレート111bは、挿入溝118に挿入される。挿入溝118と下部プレート111bとは、複数個形成され、1つの挿入溝118に1つの下部プレート111bが挿入される。挿入溝118は、下部プレート111bの外側形状に対応する形状を有する。例えば、下部プレート111bの断面が四角形状からなる場合、挿入溝118も、断面が四角形状である。それぞれの挿入溝118は、互いに異なる深さで形成される。具体的には、上部プレート111aの中心から遠くなるほど、挿入溝118の深さは、浅く形成される。したがって、上部プレート111aの中心領域は、エッジ領域よりも厚さが厚く形成される。それぞれの下部プレート111bは、挿入溝118から独立して分離可能である。例えば、いずれか1つの下部プレート111bと接合する抵抗発熱体121が十分な熱を発生することができない場合は、その抵抗発熱体121が接合された下部プレート111bのみを上部プレート111aから分離して修理及び交替することによって、容易に基板加熱ユニット110を修理することができる。
【0026】
また、上記説明では、上部プレート111aと下部プレート111bとが真空によって吸着結合すると記述したが、本発明は、これに限定されない。図7A及び図7Bは、本発明の他の実施形態に係る上部プレート111aと下部プレート111bとの結合構造を示す図である。まず、図7Aを参照すると、上部プレート111aと下部プレート111bとは、ボルト119によって物理的に結合する。支持プレート111には、下部プレート111bの下面から上部プレート111aの内部に対してボルト119が挿入される結合ホールが複数個形成される。ボルト119は、結合ホールに挿入され、上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とが接触するように上部プレート111aと下部プレート111bとを結合させる。次に、図7Bを参照すると、上部プレート111aと下部プレート111bとは、コの字形状を有する結合体119によって物理的に結合する。結合体119は、支持プレート111の外周面に沿って離隔して複数個形成される。上部プレート111aと下部プレート111bとの外周部は、コの字形状の結合体119に挿入される。
【0027】
また、上部プレート111aと下部プレート111bとは、接着剤によっても結合可能である。上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面との間に接着剤を塗布し、上部プレート111aと下部プレート111bとを容易に結合させることができる。しかしながら、このように上部及び下部プレート111a、111bを結合する場合には、次のような問題点が発生する可能性がある。支持プレート111が高温で加熱されることにより、下部プレート111bでは、上部プレート111aに比べて熱変形が大きく発生する。このような熱変形は、上部プレート111aと下部プレート111bとを結合するボルト119(図7A)に応力を発生させて、ボルト119を損傷させる原因になる。そして、熱変形により、支持プレート111から結合体119(図7B)を離隔させて、上部プレートと下部プレートとを十分に結合させることができない。また、上部プレート111aと下部プレート111bとを接着させる接着剤は、高温状態で接着力が減少するので、支持プレート111bが高温で加熱される場合には、接着剤が上部プレート111aと下部プレート111bとを十分に結合させることができない。一方、上部プレート111aと下部プレート111bとが真空吸着される場合、支持プレート111が高温状態で加熱されるか、または加熱によって熱変形が発生しても、相変らず真空吸着状態が維持されるので、支持プレート111の温度に関わらず、上部プレート111aと下部プレート111bとを結合させることができるという長所がある。
【0028】
また、上記説明では、上部プレート111aのエッジ領域が中心領域より厚く形成されると説明したが、本発明は、これに限定されない。図8A及び図8Bに示すように、他の実施形態に係る上部プレート111aは、中心領域がエッジ領域より厚く形成される。例えば、上部プレート111aの下面は、下方向に凸の曲面(図8A)であり、下部プレート111bの上面は、上部プレート111aの下面に対応するように凹の曲面である。また、他の実施形態によると、上部プレート111aの下面の中心領域とエッジ領域とが平面であり、中心領域がエッジ領域より低く位置するように段差を有する(図8B)。
【0029】
更に、上記説明では、支持プレート111の下部に冷却ガスを噴射させて基板Wを冷却する技術を説明したが、他の実施形態によると、支持プレート111の内部に形成された冷却通路に冷却流体を供給することによって、基板Wを冷却させることができる。上部プレート111a、または下部プレート111bに形成された冷却通路に冷却流体を供給することによって、より効果的に基板W及び支持プレート111を冷却させることができる。
【0030】
次に、基板加熱ユニット100を使用して基板Wを加熱する過程を説明する。図2及び図5を参照すると、まず、搬送ロボットによって基板Wが支持プレート111の上部に搬送されると、支持プレート111に形成されたホール116に沿ってリフトピン117が上昇し、基板Wを保持する。基板Wを保持したリフトピン117が下降して上部プレート111aの上面に基板Wがローディングされる。ローディングされた基板Wは、支持プレート111に形成された第1真空ホール113が個別的、またはグループ別に順に減圧され、上部プレート111aの上面に真空吸着される。次に、導電線122を通じて電源から抵抗発熱体121に電流が流れると、抵抗発熱体121は、流れる電流に抵抗することによって、熱を発生させる。発生した熱は、下部プレート111bに伝わる。下部プレート111bは、中心領域がエッジ領域よりも厚く形成されるので、熱が下部プレート111bのエッジ領域の上面に到逹するのにかかる時間に比べて、中心領域の上面に到逹するのには時間がかかる(t1>t2)。下部プレート111bの上面に到逹した熱は、上部プレート111aに伝わる。上部プレート111aは、下部プレート111bより熱伝導度が高い材質からなるので、上部プレート111aで熱拡散が屈折され、下部プレート111bの熱が伝わる領域よりも広い領域に熱が伝わる。上部プレート111aは、エッジ領域の厚さが中心領域よりも厚く形成されるので、基板Wに熱が伝わるのにかかる時間は、エッジ領域では中心領域よりも大きい(t4>t3)。しかしながら、上部プレート111aは、下部プレート111bより熱伝導度が大きい材質からなるので、支持プレート111を通じて基板Wに熱が伝わるのにかかる全体時間は、エッジ領域では中心領域よりも短い(t1+t3>t2+t4)。したがって、エッジ領域では外部に対する熱損失が多いが、中心領域に比べて短時間内に基板Wに熱が伝わるので、一定時間で基板Wに提供される熱量は、同一に維持される。これによって、基板Wの全体面は、均一な温度で加熱される。加熱された基板Wが一定の温度を維持する間、基板Wに対する工程処理が進行する。工程処理が完了した後、次の工程のために、基板Wは、所定温度に冷却される。基板Wの冷却は、ガス噴射ノズル171を通じてケース131の内部空間134に噴射ガスを噴射し、支持プレート111を強制冷却させることによって実行される。冷却ガスによって支持プレート111が冷却し、冷却熱が基板Wに伝わり、基板Wは、速かに冷却される。所定温度で基板Wが冷却されれば、第1真空ホール113が常圧状態を維持し、基板Wの真空吸着が解除される。そして、リフトピン117がホールに沿って上昇し、基板Wが支持プレート111からアンローディングされる。基板Wは、支持プレート111の上部で搬送ロボットに載置され、次の工程に提供される。
【0031】
なお、以上の説明は、本発明を例示するものである。また、上記内容は、本発明の望ましい実施形態を示すものであり、本発明は、多様な他の組み合わせ、変更及び環境で使うことができる。すなわち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、開示内容と均等な範囲及び/または当業者の技術、または知識の範囲内で変更または、修正が可能である。上記実施形態は、本発明の技術的思想を実現するための最善の状態を説明するものであり、本発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は、開示された実施状態に本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付の請求範囲は、他の実施状態も含むと解釈されなければならない。
【符号の説明】
【0032】
110 基板支持部
111 支持プレート
112 溝
113 第1真空ホール
115 第2真空ホール
120 発熱体
160 結合部材
170 冷却部材
180 温度測定部材
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体基板を処理する基板処理装置に係り、より詳細には、基板を加熱する基板加熱ユニット及び基板処理装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造装置の製造工程における半導体薄膜の成膜処理、エッチング処理、レジスト膜の所定処理などにおいて、半導体基板を加熱するためにヒーターが利用されている。このようなヒーターでは、半導体素子のパターンの微細化と基板の熱処理温度の精密度の向上との要求に伴い温度制御性が優れたセラミックス材質のヒーターが広く使われている。このようなヒーターは、基板を支持するプレートの裏面に金属粒子とガラスとの複合材料からなる抵抗発熱体が付着した構成を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】韓国公開特許第10−2001−0090740号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来のヒーターは、単一材質のプレートを利用するので、以下のような問題点がある。プレートは、金属材質からなるので、厚さを薄くする場合、高温(約200℃以上)状態で熱膨脹による曲げ、歪みなどが発生する。このような熱変形は、プレートに置かれた基板を破損させる要因になる。反対に、プレートの厚さを厚くする場合、ヒーターの重量が重くなり、体積が大きくなる問題がある。また、抵抗発熱体から発生した熱がプレートを通じて基板に伝達される過程において、プレートのエッジ領域では、外周面に熱損失が多く発生する。このような熱損失は、基板のエッジ領域と中心領域とに熱量差を発生させ、基板の温度を不均一に加熱させる要因になる。
【0005】
そこで、本発明の目的は、基板を効率的に処理することができる基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。また、本発明の目的は、基板の全体面を均一に加熱することができる基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。また、本発明の目的は、熱変形による基板の破損を防止することができる基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。更に、本発明の目的は、重さ及び体積が小さい基板加熱ユニット及び基板処理装置を提供することにある。なお、本発明の目的は、これに制限されず、言及されない他の目的は、以下の記載から当業者にとって明確に理解されることができる。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、基板加熱ユニットを提供する。基板加熱ユニットは、基板が載置され、半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、上部プレートの下部に位置する下部プレートと、下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体とを含む。上部プレートの下面は、曲面であり、下部プレートの上面は、上部プレートの下面に対応する形状を有する。上部プレートのエッジ領域では、上部プレートの中心領域よりも厚さが厚い。上部プレートの下面は、凹形状を有する。また、上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域よりも高く位置するように段差を有する。他の実施形態によると、上部プレートの下面は、下方向に凸形状である。上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域よりも低く位置するように段差を有する。上部プレートの材質及び下部プレートの材質のうちのいずれか1つは、他の1つよりも熱伝導度が高い。本実施形態によると、上部プレートの材質は、下部プレートの材質よりも熱伝導度が高い。上部プレートの材質は、窒化物セラミックス、または炭化物セラミックスであり、下部プレートの材質は、絶縁体セラミックスである。上部プレートの上面には、基板の領域によって圧力が異なるように個別的、またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、基板加熱ユニットは、第1真空ポンプと、該第1真空ポンプと第1真空ホールとを連結する第1真空ラインとを更に含む。上部プレートの下面、または前記下部プレートの上面には、溝が形成され、下部プレートには、溝と連結される第2真空ホールが形成され、基板加熱ユニットは、第2真空ポンプと、該第2真空ポンプと第2真空ホールとを連結する第2真空ラインとを含む。この溝は、リング形状で複数個が設置され、リングは、同一中心で、直径が互いに異なる。発熱体は、下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって熱を発生させる抵抗発熱体を含む。上部プレートの下面には、挿入溝が形成され、下部プレートは、挿入溝に挿入される。下部プレートは、複数個であり、それぞれの下部プレートは、挿入溝から独立して分離可能である。下部プレートは、少なくとも1つ以上の下部プレートを有する複数個のグループに区分され、複数個のグループは、そのグループを成す下部プレートが互いに組み合わせられ、1つのリング形状で配置されたグループを含む。基板加熱ユニットは、溝に位置し、上部プレートの温度を測定する温度測定部材を更に含む。
【0007】
更に、本発明は、基板処理装置を提供する。基板処理装置は、内部空間を有する工程チャンバーと、内部空間に位置し、基板を支持し、半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、上部プレートの下部に位置し、上部プレートの下面と対応する上面を有する下部プレートと、下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体とを含み、上部プレートの材質は、下部プレートの材質に比べて熱伝導度が高い。上部プレートは、中心から遠くなるほど厚さが厚くなる。上部プレートは、中心領域がエッジ領域に比べて厚さが厚い。上部プレートの下面は、凹形状を有する。上部プレートの上面には、基板の領域によって圧力が異なるように個別的、またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、基板加熱ユニットは、第1真空ポンプと、該第1真空ポンプと第1真空ホールとを連結する第1真空ラインとを更に含む。上部プレートの下面、または下部プレートの上面には、溝が形成され、下部プレートには、溝と連結される第2真空ホールが形成され、基板処理装置は、第2真空ポンプと、第2真空ポンプと第2真空ホールとを連結する第2真空ラインとを含む。発熱体は、下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって熱を発生させる抵抗発熱体を含む。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、基板の全体面が均一に加熱されるので、基板処理が均一に行われる。また、本発明によれば、支持プレートの熱伝導度が優れているので、効果的に基板を加熱することができる。また、本発明によれば、上部及び下部プレートの材質が互いに異なるので、支持プレートの熱変形による基板の損傷を防止することができる。更に、本発明によれば、支持プレートの熱変形が小さく、支持プレートの重さ及び体積を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の一実施形態に係る基板処理装置を簡略に示す図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る基板加熱ユニットを示す断面図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る基板支持部を示す断面図である。
【図4A】上部プレートの上面に形成された溝と第1真空ホールとの形状を示す図である。
【図4B】第1真空ホールが基板を真空吸着する過程を示す図である。
【図5】本発明の一実施形態により基板に熱が伝わる過程を示す図である。
【図6A】本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレートを示す図である。
【図6B】本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレートを示す図である。
【図6C】本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレートを示す図である。
【図7A】本発明の他の実施形態に係る上部プレートと下部プレートとの結合構造を示す図である。
【図7B】本発明の他の実施形態に係る上部プレートと下部プレートとの結合構造を示す図である。
【図8A】本発明の他の実施形態に係る上部プレート及び下部プレートの形状を示す図である。
【図8B】本発明の他の実施形態に係る上部プレート及び下部プレートの形状を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態を添付の図1乃至図8を参照して更に詳細に説明する。本発明の実施形態は、様々な形態に変形することができ、本発明の範囲が下の実施形態に限定されると解釈されてはいけない。本実施形態は、当業者に本発明を更に完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている。
【0011】
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置1を簡略に示す図である。図1を参照すると、基板処理装置1は、基板Wに対する工程処理が進行される工程チャンバー10と、工程処理に提供された基板Wを加熱する基板加熱ユニット100とを含む。工程チャンバー10は、内部空間11を有し、一側壁に基板Wが出入りする開口12が形成される。工程チャンバー10では、基板Wを所定温度まで上昇させて基板Wを処理するベーキング工程が進行される。基板加熱ユニット100は、工程チャンバー10の内部空間11に位置し、基板Wを所定温度まで加熱する。
【0012】
図2は、本発明の一実施形態に係る基板加熱ユニット100を示す断面図であり、図3は、本発明の一実施形態に係る基板支持部110を示す断面図である。図2及び図3を参照すると、基板加熱ユニット100は、基板支持部110と、発熱体120と、冷却部材170と、温度測定部材180とを含む。基板支持部110は、基板Wを支持し、発熱体120で発生した熱を基板Wに伝える。発熱体120は、外部から電源が供給されて熱を発生させ、冷却部材170は、加熱された基板支持部110及び基板Wを所定温度まで速かに冷却させる。温度測定部材180は、基板Wに熱を伝える基板支持部110の温度を測定する。以下、各構成に対して詳細に説明する。
【0013】
基板支持部110は、基板Wを支持する支持プレート111と、該支持プレート111を支持するケース131とを含む。支持プレート111は、円板形状を有し、基板Wが置かれる上部プレート111aと、該上部プレート111aの下部に位置する下部プレート111bとを含む。上部プレート111aと下部プレート111bとは、分離可能である。上部プレート111aと下部プレート111bとは、後述の結合部材160により上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とが面接触するように結合される。上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とは、互いに対応する形状を有する。
【0014】
上部プレート111aは、半径方向に沿って中心領域の厚さとエッジ領域の厚さとが異なるように形成される。本実施形態によれば、上部プレート111aのエッジ領域が中間領域より厚く形成される。具体的には、上部プレート111aの中心領域で上面と下面との間の距離d1は、エッジ領域で上面と下面間との距離d2よりも短く、下部プレート111bの中心領域で上面と下面との間の距離d3は、エッジ領域で上面と下面との間の距離d4よりも長い。一例によると、上部プレート111aの下面は、曲面である。上部プレート111aの下面は、凸形状を有し、下部プレート111bの上面は、凹形状を有する。上部プレート111aの凹んだ下部空間に下部プレート111bの上面が位置する。上部プレート111aは、半径方向に沿って中心から遠くなるほど厚さが徐々に厚く形成され、下部プレート111bは、徐々に薄く形成される。上部プレート111aの材質は、下部プレート111bの材質と異なる材質である。本実施形態では、上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱伝導度が高い材質からなる。そして、上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱変形が小さい材質からなる。例えば、上部プレート111aの材質は、窒化物セラミックス、または炭化物セラミックスであり、下部プレート111bの材質は、絶縁体セラミックスである。上部プレート111aの材質は、下部プレート111bの材質よりも熱伝導度が高く、下部プレート111bよりも上部プレート111aでの熱の伝わる速度が速く、且つ、熱の伝わる量が多い。また、本発明は、上部プレート111aが下部プレート111bよりも熱変形が小さい材質からなるので、支持プレート111が高温(200℃以上)で加熱されても曲げ現象による基板損傷を予防することができる。支持プレート111が単一プレートとして提供される場合、支持プレート111が高温(200℃以上)で加熱されれば、支持プレート111が曲がる現象が発生する。この曲げ現象は、支持プレート111に置かれた基板Wを損傷させるので、高温状態で長期間の工程の進行を不可能にする。しかしながら、本発明は、支持プレート111が上部プレート111aと下部プレート111bとに区分され、基板Wが置かれる上部プレート111aは、熱変形が小さい材質からなるので、支持プレート111が高温状態を維持しても、基板Wを安定的に保持することができる。上部プレート111aの上面には、基板Wを吸着する溝112が形成され、上部プレート111aには、それぞれの溝112と連結される第1真空ホール113が形成される。
【0015】
図4Aは、上部プレート111aの上面に形成された溝112と第1真空ホール113と形状を示す平図面であり、一方、図4Bは、第1真空ホール113が基板Wを真空吸着する過程を示す図である。図2、図4A、及び図4Bを参照すると、それぞれの溝112は、上部プレート111aの円周方向に沿ったリング形状を有する。溝112は、同一中心で、直径が互いに異なる。上部プレート111aの中心から遠くなるほど、溝112の直径は、大きくなる。第1真空ホール113は、それぞれの溝112に沿って離隔して複数個形成される。第1真空ホール113は、後述の第1真空ライン151と溝112とを連結し、溝に留まる空気を外部に排出させる。この空気の排出により、溝112内部の圧力は、減圧し、基板Wが上部プレート111aの上面に真空吸着される。第1真空ホール113は、個別的、またはグループ別に圧力調節が可能である。本実施形態では、それぞれの第1真空ホール113は、第1真空ライン151と連結され、それぞれの第1真空ライン151には、吸入量を調節することができる真空調節バルブ152が設置される。真空調節バルブ152の調節により、第1真空ホール113の圧力を調節できる。他の実施形態として、第1真空ホール113を複数個のグループに区分してもよい。具体的には、いずれか1つのリング形状の溝112に沿って形成された第1真空ホール113を同一のグループに区分する。上部プレート111aの上面には、互いに離隔して3つのリング形状の溝112a、112b、112cが形成される(図4A参照)。第1溝112aと連結される第1真空ホール113aは、第1グループaを成し、第2溝112bと連結される第1真空ホール113bは、第2グループbを成し、更に、第3溝112cと連結される第1真空ホール113cは、第3グループcを成す。それぞれのグループa、b、cは、互いに異なる第1真空ライン151と連結され、それぞれの第1真空ライン151に設置された真空調節バルブ152の調節により、各グループa、b、cの第1真空ホール113a、113b、113cが一律に圧力調節される。第1真空ホール113が個別的、またはグループ別に圧力調節されるので、基板Wの領域によって吸着力を異にすることができる。例えば、基板Wに対する工程処理が進行される過程において、熱変形によって基板Wが曲がる場合(図4B参照)、曲がる領域及び曲げの程度によって、第1真空ホール113の圧力を調節することができる。基板Wの中心領域が曲がる場合、支持プレート111の中心領域に形成された第1真空ホール113aからエッジ領域に形成された第1真空ホール113cの順に減圧させることによって、基板Wを安全に吸着させることができる。また、支持プレート111のエッジ領域に形成された第1真空ホール113cの吸着力を、中心領域に形成された第1真空ホール113aの吸着力よりも高くして、基板Wを支持させることができる。
【0016】
下部プレート111bの上面には、上部プレート111aの下面を真空吸着する溝114が形成され、下部プレート111bには、それぞれの溝114と連結される第2真空ホール115が形成される。それぞれの溝114は、下部プレート111bの円周方向に沿って複数個のリング形状を有する。溝114によって形成されるそれぞれのリング形状は、同一中心で、直径が互いに異なる。下部プレート111bの中心から遠くなるほど、リング形状の直径は、大きくなる。第2真空ホール115は、それぞれの溝114に沿って離隔して複数個形成される。第2真空ホール115は、後述の第2真空ライン162と溝114とを連結し、溝114に留まる空気を外部に排出させる。この空気の排出により、溝114内部が減圧し、上部プレート111aの下面が下部プレート111bの上面に真空吸着される。
【0017】
支持プレート111には、支持プレート111の上部と下部とを連結する複数のホール116が形成される。複数のホール116は、リフトピン117が昇降する通路である。リフトピン117は、ホール116に沿って昇降し、基板Wを上部プレート111aの上面にローディング/アンローディングさせる。搬送ロボット(図示しない)によって上部プレート111aの上部に基板Wが搬送された後、駆動部(図示しない)によってリフトピン117が上昇して基板Wを保持する。その後、リフトピン117は、下降して基板Wを上部プレート111aの上面にローディングさせる。そして、基板Wに対する工程処理が完了した後、リフトピン117が上昇して基板Wを上部プレート111aの上面からアンローディングさせる。アンローディングされた基板Wは、リフトピン117によって保持され、搬送ロボットに伝達される。
【0018】
結合部材160は、上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とが密着ように、上部プレート111aと下部プレート111bとを結合させる。結合部材160は、第2真空ポンプ161と、第2真空ライン162とを含む。第2真空ライン162は、第2真空ホール115と第2真空ポンプ161とを連結する。第2真空ポンプ161は、第2真空ホール115及び第2真空ライン162を通じて下部プレート111bの上面に形成された溝114に留まる空気を外部に排出して溝内部を減圧させる。溝内部の減圧により、上部プレート111aの下面と下部プレート111bの下面とは、真空吸着される。
【0019】
ケース131は、支持プレート111の下部に位置し、支持プレート111を支持する。ケース131は、上部が開放された内部空間134を有するボウル(bowl)形状を有する。ケース131の上端は、その端が内部空間134に向けて曲げられている。支持プレート111は、ケース131の上端に結合されて支持される。ケース131の下部壁には、ガス排出口132が複数個形成される。ガス排出口132は、支持プレート111の冷却に提供された冷却ガスを外部に排出させる通路である。
【0020】
発熱体120は、外部から電源が供給され、基板Wに伝える熱を発生させる。発熱体120は、抵抗発熱体121と、導電線122と、電源(図示しない)とを含む。抵抗発熱体121は、下部プレート111bの下面に接合され、外部から印加される電源によって流れる電流に抵抗することによって熱を発生させる。抵抗発熱体121は、金属ペーストまたは導電性セラミックスを使った導電性ペーストを下部プレート111bの下面に印刷することによって形成される。これらペーストの中には、金属粒子または導電性セラミックス粒子が含有される。抵抗発熱体121は、導電線122と電気的に接続する。導電線122は、抵抗発熱体121と電源とを電気的に連結し、電源から抵抗発熱体121に電流を供給する。
【0021】
冷却部材170は、加熱された基板支持部110及び基板Wを所定温度まで速かに冷却させる。冷却部材170は、ガス噴射ノズル171と、ガス供給ライン172とを含む。ガス噴射ノズル171は、冷却ガスを噴射する噴射口がケース131の内部空間134に位置するようにケース131に挿入される。ガス噴射ノズル171は、ガス供給ライン172を通じてガス貯蔵部(図示しない)から冷却ガスが供給され、ケース131の内部空間134に噴射する。基板支持部110の冷却に使用される冷却ガスは、ガス排出口132を通じてガス排出ライン133に沿って外部に排出される。加熱された基板Wは、予め設定された温度に冷却され、次の工程に提供される。ここで、基板Wを自然冷却させる場合、基板Wが予め設定された温度に冷却されるまでには、時間がかかるので、工程時間が増えるという問題がある。そこで、これを解決するために、支持プレート111に冷却ガスを噴射して基板Wを速かに強制冷却させる。
【0022】
温度測定部材180は、基板Wに熱を伝達する支持プレート111の温度を測定する。温度測定部材180によって測定されたデータにより発熱抵抗体121に供給される電力量を制御し、基板Wの温度を調節する。温度測定部材180は、下部プレート111bの上面に形成された溝114に位置し、上部プレート111aの温度を測定する温度センサを含む。温度センサは、上部プレート111aから1〜5mm程度離れた上部プレート111aの下部に位置するのが、基板Wの温度制御に効率的である。
【0023】
図5は、本発明の一実施形態によって基板Wに熱が伝わる過程を示す図である。図5を参照すると、抵抗発熱体121で発生した熱は、支持プレート111を通じて基板Wに伝わる。基板Wに熱が伝わる過程において、支持プレート111のエッジ領域に提供された熱の一部は、外部空気と接触する支持プレート111の外周面で損失する。したがって、同一量の熱が支持プレート111の各領域に提供されても、支持プレート111のエッジ領域に提供された熱は、基板Wに伝わる過程で損失するので、中心領域に比べて少ない量の熱が基板Wに到逹する。したがって、基板Wが不均一に加熱される。しかしながら、本発明では、上部プレート111aは、下部プレート111bに比べて熱伝導度が高い材質であり、上部プレート111aのエッジ領域の厚さが中心領域より厚く形成されるので、基板Wの全体面に対して均一な熱を提供することができる。具体的には、下部プレート111bの各領域に一定量の熱が提供される場合、提供された熱は、下部プレート111bの下面から上面に伝わる。この時、下部プレート111bの中心領域がエッジ領域より厚く形成されるので、熱が下部プレート111bの中心領域の上面に到逹するのにかかる時間t1は、エッジ領域の上面に到逹するのにかかる時間t2よりも大きい(t1>t2)。その後、下部プレート111bの上面に到逹した熱は、上部プレート111aに伝わる。上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱伝導度が高い材質であるので、上部プレート111aの下面で熱拡散の屈折が発生する。これによって、上部プレート111aの熱の伝わる領域は、下部プレート111bの熱の伝わる領域よりも広く形成される。上部プレート111aは、エッジ領域の厚さが中心領域より厚く形成されるので、エッジ領域で基板Wに熱が伝わるのにかかる時間t4は、中心領域で基板に熱が伝わるのにかかる時間t3よりも大きい(t4>t3)。しかしながら、上部プレート111aは、下部プレート111bよりも熱伝導度が大きい材質であるので、上部プレート111aのエッジ領域で熱が伝わる時間t4は、下部プレート111bの中心領域で熱が伝わる時間t1に比べて短い(t1>t4)。すなわち、支持プレート111を通じて基板Wに熱が伝わるのにかかる全体時間は、エッジ領域では、中心領域より短い(t1+t3>t2+t4)。したがって、エッジ領域では、熱損失が多いものの、中心領域に比べて短時間で基板Wに熱が伝わるので、同一時間で基板Wに提供される熱量は、同一に維持される。このように、基板Wに提供される熱量が基板Wの各領域によって均一に維持されるので、基板Wの全体面が均一に加熱される。
【0024】
なお、上記説明では、基板加熱ユニット100がベーキング工程に使われる場合としたが、基板加熱ユニット100は、これに限定されず、アッシング工程、エッチング工程、及び蒸着工程のように基板Wを所定温度まで加熱する工程でも使用可能である。
【0025】
また、上記説明では、上部プレート111aの下面が凹んだ曲面であるとしたが、本発明は、これに限定されない。図6A〜図6Cは、それぞれ本発明の互いに異なる実施形態に係る支持プレート111を示す図である。まず、図6Aを参照すると、上部プレート111aの下面は、中心領域とエッジ領域とが平面であり、中心領域とエッジ領域との間の領域は、傾斜面を有する。中心領域は、エッジ領域より高く、傾斜面は、上部プレート111aの中心から遠くなるほど下方向に傾くように形成される。下部プレート111bの上面は、上部プレート111aの下面に対応する形状を有する。全体的に、上部プレート111aのエッジ領域は、中心領域より厚く形成され、下部プレート111bのエッジ領域は、中心領域より薄く形成される。次に、図6Bを参照すると、上部プレート111aの下面は、中心領域とエッジ領域とが平面であり、中心領域がエッジ領域より高く位置するように段差を有する。下部プレート111bの上面は、上部プレート111aの下面に対応する形状を有するように中心領域がエッジ領域より高く位置するように段差を有する。上部プレート111aのエッジ領域は、中心領域より厚く形成され、下部プレート111bのエッジ領域は、中心領域より薄く形成される。更に、図6Cを参照すると、上部プレート111aの下面には挿入溝118が形成され、下部プレート111bは、挿入溝118に挿入される。挿入溝118と下部プレート111bとは、複数個形成され、1つの挿入溝118に1つの下部プレート111bが挿入される。挿入溝118は、下部プレート111bの外側形状に対応する形状を有する。例えば、下部プレート111bの断面が四角形状からなる場合、挿入溝118も、断面が四角形状である。それぞれの挿入溝118は、互いに異なる深さで形成される。具体的には、上部プレート111aの中心から遠くなるほど、挿入溝118の深さは、浅く形成される。したがって、上部プレート111aの中心領域は、エッジ領域よりも厚さが厚く形成される。それぞれの下部プレート111bは、挿入溝118から独立して分離可能である。例えば、いずれか1つの下部プレート111bと接合する抵抗発熱体121が十分な熱を発生することができない場合は、その抵抗発熱体121が接合された下部プレート111bのみを上部プレート111aから分離して修理及び交替することによって、容易に基板加熱ユニット110を修理することができる。
【0026】
また、上記説明では、上部プレート111aと下部プレート111bとが真空によって吸着結合すると記述したが、本発明は、これに限定されない。図7A及び図7Bは、本発明の他の実施形態に係る上部プレート111aと下部プレート111bとの結合構造を示す図である。まず、図7Aを参照すると、上部プレート111aと下部プレート111bとは、ボルト119によって物理的に結合する。支持プレート111には、下部プレート111bの下面から上部プレート111aの内部に対してボルト119が挿入される結合ホールが複数個形成される。ボルト119は、結合ホールに挿入され、上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面とが接触するように上部プレート111aと下部プレート111bとを結合させる。次に、図7Bを参照すると、上部プレート111aと下部プレート111bとは、コの字形状を有する結合体119によって物理的に結合する。結合体119は、支持プレート111の外周面に沿って離隔して複数個形成される。上部プレート111aと下部プレート111bとの外周部は、コの字形状の結合体119に挿入される。
【0027】
また、上部プレート111aと下部プレート111bとは、接着剤によっても結合可能である。上部プレート111aの下面と下部プレート111bの上面との間に接着剤を塗布し、上部プレート111aと下部プレート111bとを容易に結合させることができる。しかしながら、このように上部及び下部プレート111a、111bを結合する場合には、次のような問題点が発生する可能性がある。支持プレート111が高温で加熱されることにより、下部プレート111bでは、上部プレート111aに比べて熱変形が大きく発生する。このような熱変形は、上部プレート111aと下部プレート111bとを結合するボルト119(図7A)に応力を発生させて、ボルト119を損傷させる原因になる。そして、熱変形により、支持プレート111から結合体119(図7B)を離隔させて、上部プレートと下部プレートとを十分に結合させることができない。また、上部プレート111aと下部プレート111bとを接着させる接着剤は、高温状態で接着力が減少するので、支持プレート111bが高温で加熱される場合には、接着剤が上部プレート111aと下部プレート111bとを十分に結合させることができない。一方、上部プレート111aと下部プレート111bとが真空吸着される場合、支持プレート111が高温状態で加熱されるか、または加熱によって熱変形が発生しても、相変らず真空吸着状態が維持されるので、支持プレート111の温度に関わらず、上部プレート111aと下部プレート111bとを結合させることができるという長所がある。
【0028】
また、上記説明では、上部プレート111aのエッジ領域が中心領域より厚く形成されると説明したが、本発明は、これに限定されない。図8A及び図8Bに示すように、他の実施形態に係る上部プレート111aは、中心領域がエッジ領域より厚く形成される。例えば、上部プレート111aの下面は、下方向に凸の曲面(図8A)であり、下部プレート111bの上面は、上部プレート111aの下面に対応するように凹の曲面である。また、他の実施形態によると、上部プレート111aの下面の中心領域とエッジ領域とが平面であり、中心領域がエッジ領域より低く位置するように段差を有する(図8B)。
【0029】
更に、上記説明では、支持プレート111の下部に冷却ガスを噴射させて基板Wを冷却する技術を説明したが、他の実施形態によると、支持プレート111の内部に形成された冷却通路に冷却流体を供給することによって、基板Wを冷却させることができる。上部プレート111a、または下部プレート111bに形成された冷却通路に冷却流体を供給することによって、より効果的に基板W及び支持プレート111を冷却させることができる。
【0030】
次に、基板加熱ユニット100を使用して基板Wを加熱する過程を説明する。図2及び図5を参照すると、まず、搬送ロボットによって基板Wが支持プレート111の上部に搬送されると、支持プレート111に形成されたホール116に沿ってリフトピン117が上昇し、基板Wを保持する。基板Wを保持したリフトピン117が下降して上部プレート111aの上面に基板Wがローディングされる。ローディングされた基板Wは、支持プレート111に形成された第1真空ホール113が個別的、またはグループ別に順に減圧され、上部プレート111aの上面に真空吸着される。次に、導電線122を通じて電源から抵抗発熱体121に電流が流れると、抵抗発熱体121は、流れる電流に抵抗することによって、熱を発生させる。発生した熱は、下部プレート111bに伝わる。下部プレート111bは、中心領域がエッジ領域よりも厚く形成されるので、熱が下部プレート111bのエッジ領域の上面に到逹するのにかかる時間に比べて、中心領域の上面に到逹するのには時間がかかる(t1>t2)。下部プレート111bの上面に到逹した熱は、上部プレート111aに伝わる。上部プレート111aは、下部プレート111bより熱伝導度が高い材質からなるので、上部プレート111aで熱拡散が屈折され、下部プレート111bの熱が伝わる領域よりも広い領域に熱が伝わる。上部プレート111aは、エッジ領域の厚さが中心領域よりも厚く形成されるので、基板Wに熱が伝わるのにかかる時間は、エッジ領域では中心領域よりも大きい(t4>t3)。しかしながら、上部プレート111aは、下部プレート111bより熱伝導度が大きい材質からなるので、支持プレート111を通じて基板Wに熱が伝わるのにかかる全体時間は、エッジ領域では中心領域よりも短い(t1+t3>t2+t4)。したがって、エッジ領域では外部に対する熱損失が多いが、中心領域に比べて短時間内に基板Wに熱が伝わるので、一定時間で基板Wに提供される熱量は、同一に維持される。これによって、基板Wの全体面は、均一な温度で加熱される。加熱された基板Wが一定の温度を維持する間、基板Wに対する工程処理が進行する。工程処理が完了した後、次の工程のために、基板Wは、所定温度に冷却される。基板Wの冷却は、ガス噴射ノズル171を通じてケース131の内部空間134に噴射ガスを噴射し、支持プレート111を強制冷却させることによって実行される。冷却ガスによって支持プレート111が冷却し、冷却熱が基板Wに伝わり、基板Wは、速かに冷却される。所定温度で基板Wが冷却されれば、第1真空ホール113が常圧状態を維持し、基板Wの真空吸着が解除される。そして、リフトピン117がホールに沿って上昇し、基板Wが支持プレート111からアンローディングされる。基板Wは、支持プレート111の上部で搬送ロボットに載置され、次の工程に提供される。
【0031】
なお、以上の説明は、本発明を例示するものである。また、上記内容は、本発明の望ましい実施形態を示すものであり、本発明は、多様な他の組み合わせ、変更及び環境で使うことができる。すなわち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、開示内容と均等な範囲及び/または当業者の技術、または知識の範囲内で変更または、修正が可能である。上記実施形態は、本発明の技術的思想を実現するための最善の状態を説明するものであり、本発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は、開示された実施状態に本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付の請求範囲は、他の実施状態も含むと解釈されなければならない。
【符号の説明】
【0032】
110 基板支持部
111 支持プレート
112 溝
113 第1真空ホール
115 第2真空ホール
120 発熱体
160 結合部材
170 冷却部材
180 温度測定部材
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を載置し、半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、
前記上部プレートの下部に位置する下部プレートと、
前記下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体と、
を含むことを特徴とする基板加熱ユニット。
【請求項2】
前記上部プレートの下面は、曲面であり、
前記下部プレートの上面は、前記上部プレートの下面に対応する形状を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項3】
前記上部プレートのエッジ領域は、前記上部プレートの中心領域より厚さが厚いことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板加熱ユニット。
【請求項4】
前記上部プレートの下面は、凹形状を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項5】
前記上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域より高く位置するような段差を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項6】
前記上部プレートの下面は、下方向に凸形状を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項7】
前記上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域より低く位置するような段差を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項8】
前記上部プレートの材質及び前記下部プレートの材質のうちのいずれか1つは、他の1つよりも熱伝導度が高いことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項9】
前記上部プレートの材質は、前記下部プレートの材質よりも熱伝導度が高いことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項10】
前記上部プレートの材質は、窒化物セラミックス、または炭化物セラミックスであり、
前記下部プレートの材質は、絶縁体セラミックスであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項11】
前記上部プレートの上面には、前記基板の領域によって圧力が異なるように個別的、またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが、前記上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、
前記基板加熱ユニットは、
第1真空ポンプと、
前記第1真空ポンプと前記第1真空ホールとを連結する第1真空ラインと、
を更に含むことを特徴とする請求項8に記載の基板加熱ユニット。
【請求項12】
前記上部プレートの下面、または前記下部プレートの上面には、溝が形成され、
前記下部プレートには、前記溝と連結される第2真空ホールが形成され、
前記基板加熱ユニットは、
第2真空ポンプと、
前記第2真空ポンプと前記第2真空ホールとを連結する第2真空ラインと、を含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項13】
前記溝は、リング形状で複数個形成され、
前記リングは、同一中心で、直径が互いに異なるように形成されることを特徴とする請求項12に記載の基板加熱ユニット。
【請求項14】
前記発熱体は、前記下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって前記熱を発生させる抵抗発熱体を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項15】
前記上部プレートの下面には、挿入溝が形成され、
前記下部プレートは、前記挿入溝に挿入されることを特徴とする請求項8に記載の基板加熱ユニット。
【請求項16】
前記下部プレートは、複数個形成され、
前記それぞれの下部プレートは、前記挿入溝から独立して分離可能であることを特徴とする請求項15に記載の基板加熱ユニット。
【請求項17】
前記下部プレートは、少なくとも1つ以上の前記下部プレートを有する複数個のグループに区分され、
前記複数個のグループは、そのグループを成す前記下部プレートが互いに組み合わせられ、1つのリング形状で配置されたグループを含むことを特徴とする請求項16に記載の基板加熱ユニット。
【請求項18】
前記溝に位置し、前記上部プレートの温度を測定する温度測定部材を更に含むことを特徴とする請求項12に記載の基板加熱ユニット。
【請求項19】
内部空間を有する工程チャンバーと、
前記内部空間に位置し、基板を支持し、そして半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、
前記上部プレートの下部に位置し、前記上部プレートの下面と相応する上面を有する下部プレートと、
前記下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体と、を含み、
前記上部プレートの材質は、前記下部プレートの材質に比べて熱伝導度が高いことを特徴とする基板処理装置。
【請求項20】
前記上部プレートは、中心から遠くなるほど厚さが徐々に厚くなることを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
【請求項21】
前記上部プレートは、中心領域がエッジ領域に比べて厚さが厚いことを特徴とする請求項20に記載の基板処理装置。
【請求項22】
前記上部プレートの下面は、凹形状を有することを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
【請求項23】
前記上部プレートの上面には、前記基板の領域によって圧力が異なるように個別的またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが前記上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、
前記基板加熱ユニットは、
第1真空ポンプと、
前記第1真空ポンプと前記第1真空ホールとを連結する第1真空ラインと、を更に含むことを特徴とする請求項19〜22のいずれか1項に記載の基板処理装置。
【請求項24】
前記上部プレートの下面、または前記下部プレートの上面には、溝が形成され、
前記下部プレートには、前記溝と連結される第2真空ホールが形成され、
前記基板処理装置は、
第2真空ポンプと、
前記第2真空ポンプと前記第2真空ホールとを連結する第2真空ラインと、を含むことを特徴とする請求項19〜22のいずれか1項に記載の基板処理装置。
【請求項25】
前記発熱体は、前記下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって前記熱を発生させる抵抗発熱体を含むことを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
【請求項1】
基板を載置し、半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、
前記上部プレートの下部に位置する下部プレートと、
前記下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体と、
を含むことを特徴とする基板加熱ユニット。
【請求項2】
前記上部プレートの下面は、曲面であり、
前記下部プレートの上面は、前記上部プレートの下面に対応する形状を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項3】
前記上部プレートのエッジ領域は、前記上部プレートの中心領域より厚さが厚いことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板加熱ユニット。
【請求項4】
前記上部プレートの下面は、凹形状を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項5】
前記上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域より高く位置するような段差を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項6】
前記上部プレートの下面は、下方向に凸形状を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項7】
前記上部プレートの下面は、中心領域がエッジ領域より低く位置するような段差を有することを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項8】
前記上部プレートの材質及び前記下部プレートの材質のうちのいずれか1つは、他の1つよりも熱伝導度が高いことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項9】
前記上部プレートの材質は、前記下部プレートの材質よりも熱伝導度が高いことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項10】
前記上部プレートの材質は、窒化物セラミックス、または炭化物セラミックスであり、
前記下部プレートの材質は、絶縁体セラミックスであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項11】
前記上部プレートの上面には、前記基板の領域によって圧力が異なるように個別的、またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが、前記上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、
前記基板加熱ユニットは、
第1真空ポンプと、
前記第1真空ポンプと前記第1真空ホールとを連結する第1真空ラインと、
を更に含むことを特徴とする請求項8に記載の基板加熱ユニット。
【請求項12】
前記上部プレートの下面、または前記下部プレートの上面には、溝が形成され、
前記下部プレートには、前記溝と連結される第2真空ホールが形成され、
前記基板加熱ユニットは、
第2真空ポンプと、
前記第2真空ポンプと前記第2真空ホールとを連結する第2真空ラインと、を含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板加熱ユニット。
【請求項13】
前記溝は、リング形状で複数個形成され、
前記リングは、同一中心で、直径が互いに異なるように形成されることを特徴とする請求項12に記載の基板加熱ユニット。
【請求項14】
前記発熱体は、前記下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって前記熱を発生させる抵抗発熱体を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板加熱ユニット。
【請求項15】
前記上部プレートの下面には、挿入溝が形成され、
前記下部プレートは、前記挿入溝に挿入されることを特徴とする請求項8に記載の基板加熱ユニット。
【請求項16】
前記下部プレートは、複数個形成され、
前記それぞれの下部プレートは、前記挿入溝から独立して分離可能であることを特徴とする請求項15に記載の基板加熱ユニット。
【請求項17】
前記下部プレートは、少なくとも1つ以上の前記下部プレートを有する複数個のグループに区分され、
前記複数個のグループは、そのグループを成す前記下部プレートが互いに組み合わせられ、1つのリング形状で配置されたグループを含むことを特徴とする請求項16に記載の基板加熱ユニット。
【請求項18】
前記溝に位置し、前記上部プレートの温度を測定する温度測定部材を更に含むことを特徴とする請求項12に記載の基板加熱ユニット。
【請求項19】
内部空間を有する工程チャンバーと、
前記内部空間に位置し、基板を支持し、そして半径方向に沿って厚さが異なる上部プレートと、
前記上部プレートの下部に位置し、前記上部プレートの下面と相応する上面を有する下部プレートと、
前記下部プレートに設置され、熱を発生させる発熱体と、を含み、
前記上部プレートの材質は、前記下部プレートの材質に比べて熱伝導度が高いことを特徴とする基板処理装置。
【請求項20】
前記上部プレートは、中心から遠くなるほど厚さが徐々に厚くなることを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
【請求項21】
前記上部プレートは、中心領域がエッジ領域に比べて厚さが厚いことを特徴とする請求項20に記載の基板処理装置。
【請求項22】
前記上部プレートの下面は、凹形状を有することを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
【請求項23】
前記上部プレートの上面には、前記基板の領域によって圧力が異なるように個別的またはグループ別に圧力調節が可能な第1真空ホールが前記上部プレートの半径方向に沿って複数個形成され、
前記基板加熱ユニットは、
第1真空ポンプと、
前記第1真空ポンプと前記第1真空ホールとを連結する第1真空ラインと、を更に含むことを特徴とする請求項19〜22のいずれか1項に記載の基板処理装置。
【請求項24】
前記上部プレートの下面、または前記下部プレートの上面には、溝が形成され、
前記下部プレートには、前記溝と連結される第2真空ホールが形成され、
前記基板処理装置は、
第2真空ポンプと、
前記第2真空ポンプと前記第2真空ホールとを連結する第2真空ラインと、を含むことを特徴とする請求項19〜22のいずれか1項に記載の基板処理装置。
【請求項25】
前記発熱体は、前記下部プレートの下面に接合され、印加される電源によって前記熱を発生させる抵抗発熱体を含むことを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【公開番号】特開2010−287573(P2010−287573A)
【公開日】平成22年12月24日(2010.12.24)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−133511(P2010−133511)
【出願日】平成22年6月11日(2010.6.11)
【出願人】(500376449)セメス株式会社 (61)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年12月24日(2010.12.24)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年6月11日(2010.6.11)
【出願人】(500376449)セメス株式会社 (61)
【Fターム(参考)】
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