【課題】本発明は、構成の簡易化や製品歩留まりの向上を図ることができる転写装置、転写方法、転写体、及び有機エレクトロルミネセンスディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】レーザ発振手段と、前記レーザ発振手段から放射されたレーザ光の強度分布を制御する第１の強度分布制御手段と、を備え、前記第１の強度分布制御手段は、転写膜を有する転写体に対する照射範囲の中央部分を照射する前記レーザ光を透過させる第１の透過部と、前記照射範囲の周縁部分を照射する前記レーザ光を透過させる第２の透過部と、を有し、前記第２の透過部の透過率は、前記第１の透過部の透過率よりも相対的に高いこと、を特徴とする転写装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材に利用可能な、紫外線、可視光線、赤外線の透過率が高く、高純度で耐熱性の高く、Ｃｕイオンの拡散速度の遅い石英ガラスを安価に提供する。
【解決手段】１０５０℃、大気圧下で４時間、酸化銅蒸気に曝露させた時に、曝露表面から５ｍｍの深さにおけるＣｕの濃度が０．０１ｐｐｍ以下であり、ＬｉとＮａの含有量を総量で０．２ｐｐｍ以下、Ｋ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｃｕの含有量を各々０．１ｐｐｍ未満の石英ガラス。また、波長２４５ｎｍの紫外光に対する厚さ１０ｍｍでの内部透過率が９５％以上であり、１２１５℃における粘性率が１０^１１．５Ｐａ・ｓ以上であり、さらにＡｌを重量比で３ｐｐｍ以下含有することにより、粘性率が１０^１２．０Ｐａ・ｓ以上である。このような石英ガラスは、原料シリカ粉を予めクリストバライト化した後、非還元性雰囲気中で熔融することにより得ることができる。 （もっと読む）

【課題】加熱室に投入された支持基板の枚数、支持基板上における樹脂の有無、支持基板の履歴などが相違している場合でも、支持基板から水分を十分に除去した後、有機機能層の形成を行なうことのできる有機ＥＬ装置、およびその製造装置を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置１００を形成する際、第１電極層１４０を形成した後、正孔注入層１８１、正孔輸送層１８２、発光層１８３などの有機機能層を形成する前に真空加熱乾燥による水分除去工程をおこなう。この水分除去工程において、加熱室内の基板１枚当たりの水分量、あるいは加熱室内の単位時間当たりの水分減少量を示す監視値が所定レベルに到達した後、有機機能層工程を行なう。 （もっと読む）

【課題】マイクロヒーター、マイクロヒーターの製造方法、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】マイクロヒーターは、基板上に形成された金属パターン２０を含むことができる。金属パターン２０の下部には支持部３０が形成され、支持部３０によって、金属パターン２０を基板と離間させるとともに金属パターン２０を基板に固定することができる。スペーサ４０は基板から金属パターン２０の上面までの第２距離より大きい。上記マイクロヒーター及び金属パターン２０上に位置するターゲット基板と基板との間の距離は、スペーサ４０によって調節することができ、この結果、ターゲット基板上に細密なパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の発光層を成膜する工程において、基板とマスクを密着させるためのマグネットの磁力による影響が発光層に及ぶのを防ぐ。
【解決手段】基板２０に対して、複数のパターニング開口領域３１とフレーム領域３２から構成されたマスク３０をマグネット１０を用いて密着させて、有機発光素子の発光層を蒸着する。マグネット１０は、基板２０の裏面側において、マスク３０のフレーム領域３２のみを吸着する。マスク３０のパターニング開口領域３１にはマスク１０の磁力が作用しないため、磁力によって発光層に発光ムラが発生するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ装置の製造工程において、基板に付着した異物を効果的に除去する製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置の製造装置１００は、基体２０の表面に薄膜を形成する少なくとも一つの成膜装置１３０と、成膜装置１３０に接続され、基体２０に外力を加えることにより基体２０の表面に付着した異物を除去する除去手段が設けられた処理装置１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】所望の領域の材料のみが成膜されることを可能にし、微細パターンの形成を可能にすることを目的とする。また、成膜に要する時間を短縮し、生産性を向上させることを目的とする。
【解決手段】一方の面に、金属窒化物を含む光吸収層と、光吸収層に接して形成された材料層と、を有する第１の基板を用い、第１の基板の材料層が形成された面と、第２の基板の被成膜面とを対向させ、第１の基板の他方の面側から周波数１０ＭＨｚ以上、パルス幅１００ｆｓ以上１０ｎｓ以下のレーザ光を照射し、光吸収層と重なる位置にある材料層の一部を選択的に加熱し、材料層の一部を第２の基板の被成膜面に成膜する。 （もっと読む）

【課題】発光装置の作製において、製造に要する時間（タクトタイム）を短くし、生産性を向上させることを目的とする。
【解決手段】透光性支持基板の一方の面に、光吸収層と光吸収層上に湿式法を用いて形成した第１の材料層とを有する第１の成膜用基板と、第１の電極を有する素子基板とを用い、素子基板の第１の電極が形成された面と、第１の成膜用基板の第１の材料層が形成された面とを対向して配置し、第１の成膜用基板の透光性支持基板側から周波数１０ＭＨｚ以上、パルス幅１００ｆｓ以上１０ｎｓ以下のレーザ光を照射し、光吸収層に接している材料層を加熱し、材料層の少なくとも一部を第２の基板の第１の電極上に成膜する工程を有し、第１の成膜用基板を他の材料層が形成された第２の成膜用基板と交換し、工程を繰り返すことで、少なくとも第１の電極上に、複数の層を形成して発光装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】ガスバリア性と柔軟性とが両立された機能液供給チューブを備える液滴吐出装置を得る。
【解決手段】機能液３２を収納する機能液タンク４０と、機能液３２を対象物７１に吐出する液滴吐出ヘッド１２と、機能液３２を機能液タンク４０から液滴吐出ヘッド１２へ供給する機能液供給チューブ４４と、を備える液滴吐出装置１であって、機能液供給チューブ４４が、機能液３２が流動する内側チューブ４５と、内側チューブ４５の外周を囲むチューブであって機能液とは異なる第２の流体６１が流動する外側チューブ４６と、からなる二重構造を有することを特徴とする液滴吐出装置１。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子の異物やムラによる欠陥を有する画素に粘着剤を用いて修復する高性能な有機ＥＬ素子及び有機ＥＬ素子のリペア装置並びにリペア方法を提供すること。
【解決手段】透明電極と対向電極との間に有機エレクトロルミネッセンス層が介在されている有機エレクトロルミネッセンス素子からなる画素を複数備えた有機エレクトロルミネッセンス素子基板のうち欠陥を有する画素を修復するリペア装置において、有機エレクトロルミネッセンス素子基板を固定する定盤と、有機エレクトロルミネッセンス層を剥離する、粘着剤および剥離治具と、有機エレクトロルミネッセンス素子の画素を観察する観察装置と、有機エレクトロルミネッセンス材料を含むインキを補充する装置、を具備することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子のリペア装置。 （もっと読む）

【課題】異物によるスクリーン印刷室のステージでの吸着エラー、ステージの損傷、及び基体割れを防止すると共に、異物による有機エレクトロルミネッセンス装置の不具合を防止する。
【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置は、電極とガスバリア層との間に介在する緩衝層を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置で、減圧雰囲気でスクリーン印刷を行うことにより緩衝層を形成する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置であって、ステージ８６上に配置した基体３６の上方にスクリーンメッシュ８８を配置してスキージ９２により塗布材料をパターン印刷するスクリーン印刷室７０と、基体３６の裏面に付着した異物を除去するクリーニング部９４を有し、基体３６をスクリーン印刷室７０に搬送する基板搬送室７４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】有機電子材料から極性不純物を十分に除去することができる有機電子材料精製装置及びその精製方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る有機電子材料精製装置４９０は、有機電子材料を非水系の溶媒又は分散媒に含有させた液状体４２０に、対向する電極を介して電圧を印加する電圧印加装置と、前記液状体４２０から、前記電圧印加装置によって各電極側に引っ張られた極性不純物を分離する分離装置と、を有する。前記液状体４２０は貯留槽４１０に貯留される。前記電圧印加装置は、前記貯留槽４１０内の液状体４２０に浸漬された少なくとも２つの電極４４１，４４２と、電源４３０と、からなり、前記分離装置は、前記貯留槽４１０内の液状体４２０に浸漬され、前記電極間に形成された、一対のセパレータ４５１，４５２を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、フレキシブルな有機ＥＬパネルに対して、欠陥部分の周囲へのダメージを極力小さくしたリペア装置およびリペア方法を提供することにある。
【解決手段】リペア装置１０は、レーザー照射装置１２と熱吸収部材１４を備える。リペア方法は、（１）第１フィルム２２の前面に熱吸収部材１４を配置し、（２）レーザー照射装置１２を欠陥箇所３６の上まで移動させて、欠陥箇所３６にレーザー照射する。レーザー照射によって欠陥箇所３６の金属電極３４が蒸発し、欠陥箇所３６が発光しなくなる。 （もっと読む）

【課題】熱処理において、基板の反りを抑制し、基板の局部的な温度変化によって生じる品質不良を抑制することを目的の一とする。
【解決手段】処理室と、処理室内に設けられた支持台と、支持台上に設けられ、被処理基板を支持する複数の支持体と、被処理基板を加熱する加熱手段とを設け、支持台に支持体を脱着可能な固定部を複数設け、複数の支持体を複数の固定部に選択的に取り付けることにより、複数の支持体の位置を可変可能とする。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせに係る不良を低減した均質な半導体基板を提供することを課題の一とする。
【解決手段】基板配置領域に複数の開口が設けられた基板支持台と、複数の開口の各々に配置された基板支持機構と、基板支持機構を昇降させる昇降機構と、基板支持台に対する基板支持機構と昇降機構の位置を調節する位置調節機構と、を有する基板貼り合わせ室の基板配置領域に第１の基板を配置し、第１の基板の上方に、第１の基板と接触しないように第２の基板を配置し、基板支持機構を上昇させることにより、第１の基板と前記第２の基板を接触させて、第１の基板と第２の基板の貼り合わせを行い、貼り合わせの後、第１の基板と前記第２の基板を搬送する前に、１５０℃以上４５０℃以下の加熱処理を施す。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ層のムラによる欠陥を有機ＥＬ素子基板全体を溶媒の雰囲気に曝すことにより修復する高性能な有機ＥＬ素子が製造できる有機ＥＬ素子のリペア装置及びリペア方法を提供すること。
【解決手段】透明電極と対向電極との間に有機エレクトロルミネッセンス層が介在されている有機エレクトロルミネッセンス素子からなる画素を複数備えた有機エレクトロルミネッセンス素子基板のうち欠陥を有する画素を修復するリペア装置において、密閉可能なチャンバーと、チャンバー内に１枚以上の有機エレクトロルミネッセンス素子基板を地面に対して水平方向に収納可能な基板収納部と、チャンバー内にガス状又は霧状の溶媒を導入する有機溶媒供給弁と、を備えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子のリペア装置。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子の構成部材が形成された基板の当該構成部材内の含有水分をより短時間で効率的に、かつ当該構成部材にダメージを与えることなく除去する有機ＥＬ表示装置の製造方法を得ることを目的する。
【解決手段】この有機ＥＬ表示装置の製造方法は、（ａ）有機ＥＬ素子の構成部材が形成された基板を減圧状態にして前記構成部材の表面の水分を除去する減圧乾燥工程と、（ｂ）前記基板を有機溶剤の蒸気に曝して前記構成部材の含有水分を前記有機溶剤に置換する有機溶剤置換工程と、（ｃ）前記基板を真空乾燥して前記構成部材内の前記有機溶剤を前記構成部材から放出する真空乾燥工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】帯状の可撓性基材の上に少なくとも第１電極と、発光層を含む多層からなる有機化合物層と、第２電極とを有する有機ＥＬパネルをロールツーロール方式により作製する際、有機ＥＬパネルを構成している第１電極、発光層を含む多層からなる有機化合物層と、第２電極にヒビワレ、変形がなく性能が安定した有機ＥＬパネルの製造方法の提供。
【解決手段】帯状の可撓性基材の上に少なくとも第１電極と、発光層を含む多層からなる有機化合物層と、第２電極と、封止層とを順次有する複数の層から構成される有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法であって、前記複数の層を形成する際に使用する、抱き角度をもつ搬送ローラーの直径は、層が増加するに従って順次１．０％〜５０．０％大きくなることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】所定の素子分離膜のテーパ形状を有する有機ＥＬデバイスの製造装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、基板と、駆動回路及び配線と、平坦化層と、下部電極と、素子分離膜と、有機層と、上部電極を有し、前記素子分離膜はドライエッチングによって形成されてなる有機ＥＬデバイスの製造装置において、前記素子分離膜のテーパ形状を検出する手段と、前記検出された信号に基づいて前記素子分離膜をドライエッチングする手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】再作動の時の追突、自動時の間違って入力されたデータによる棚の追突、及び受動時の作業者の間違いによる棚の追突などがあらかじめ防止されることができるとともに、駆動部による作動から離脱して落下または一方向への慣性力によって棚が超過移動されて隣接した棚と追突されるダメージが防止できるようになった蒸着源用追突防止装置を提供する。
【解決手段】駆動源と、駆動源によって動作するように設置された駆動軸と、駆動軸に垂直往復移動するように設置された１以上の棚と、この棚に固定された蒸着機が含まれてなる駆動部と、隣接した棚の距離が検知されるように設置されたセンサーが含まれてなる検知部と、検知部のセンサーから収集されたデータと前もって設定されたデータを比べて駆動部の作動を制御する制御部と、が具備されてなることを特徴とする蒸着源用追突防止装置を提供する。 （もっと読む）