【課題】水分を十分に除去した状態で成膜を行うことが可能な成膜装置を提供すること。
【解決手段】成膜装置１００は、クライオポンプ６３を含む第１排気手段６０と、ＭＢＰまたはＴＭＰを含む第２排気手段７０と、第１排気手段６０と第２排気手段７０とを切換えるバルブ切換部８２とを備えている。当該装置は、第１排気手段６０による水分除去が終わった後で、バルブ切換部８２によって第１排気手段６０から第２排気手段７０に切換えることにより、十分な水分除去と、成膜時におけるガスの排気とを両立させている。 （もっと読む）

【課題】有機発光層の劣化を抑制できる有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１は、基板２と、基板２上に形成された透明電極３と、透明電極３上に形成された有機発光層４と、有機発光層４上に形成された陰極５と、有機発光層４及び陰極５を覆うように、且つ、基板２側に向かって広がるテーパ部８が外周部に形成された樹脂からなる平坦化膜６と、平坦化膜６の上面に形成された無機物からなる封止膜７とを備えている。テーパ部８は、透明電極３または基板２と接する領域まで傾斜している。 （もっと読む）

ＯＬＥＤデバイスなどの温度および環境に敏感な素子を、第１および第２基板の間でフリット壁により包囲しレーザ封着するためのマスクである。このマスクは不透明であり、透明な細長い透過領域を有する。透過領域の幅はフリット壁の幅と実質的に等しい。不透明なマスク材料からなるストリップが、細長い透過領域の長手方向の中心線に略沿って延在している。このマスクは、レーザと第１基板または第２基板との間に位置付けられる。レーザはフリット壁の幅よりも大きい直径を有している概円形のビームを放出する。マスクの不透明部分によりレーザビームの一部は遮断されるが、透明な透過領域によりレーザビームの一部がマスクを通過してフリット壁に衝突し、フリット壁を溶融し、それにより第１および第２基板を結合させ、かつ第１および第２基板間に素子が気密封着されるように、レーザビームはマスクの透過領域を通して導かれる。このマスクを採用して、少なくとも１つのフリットにより分離されている第１基板および第２基板の間にこのような素子を封着するプロセスおよびシステムも開示される。
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フリットをガラス板に焼結する間の炉内の酸素レベルを制御する方法であって、焼結されたフリットおよびガラス板がその後に別のガラス板に封着されて密閉ガラスパッケージを形成する方法が記載されている。密閉ガラスパッケージの例としては、発光装置（例えば、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）装置）、光起電装置、食品容器、および薬品容器が挙げられる。
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【課題】互いに発光スペクトルの異なる複数の発光素子を低コストで製造することができる発光装置の製造方法および発光装置を提供すること、ならびに、低消費電力かつ低コストで高品位な画像を表示することができる表示装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】各発光素子の少なくとも陽極と正孔注入層と正孔輸送層とを形成する第１の工程と、複数の発光素子のうちの一部の発光素子の陽極と正孔注入層と正孔輸送層とに加熱処理を施すことにより、当該正孔注入層の正孔注入性を高める第２の工程とを有し、加熱処理が施された一部の発光素子の発光スペクトルと、加熱処理が施されていない他の発光素子の発光スペクトルとを互いに異ならせる。 （もっと読む）

【課題】流動性材料が塗布される基板上の非塗布領域に流動性材料の付着を防止するマスク部材を粘着剤層を介して貼付するマスク部材貼付装置において、マスク部材の貼付時に粘着剤層が押し潰されて塗布領域にはみ出てしまうことを防止する。
【解決手段】マスク部材貼付装置では、マスク部材１２が基板９の非塗布領域９２に向けて押圧されることにより、マスク部材１２が、非塗布領域９２上に形成された粘着剤層１１を介して基板９上に貼付される。粘着剤層１１は、粘着材料１１１および粒状のスペーサ１１２を含んでいるため、マスク部材１２の基板９の主面９０からの高さはスペーサ１１２の直径におよそ等しくされる。また、マスク部材１２の貼付時に粘着剤層１１が押し潰されて塗布領域９１へとはみ出してしまうことを防止することができる。その結果、基板９の塗布領域９１に有機ＥＬ液を高精度に塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】非塗布領域に対する流動性材料の付着を防止するマスキングテープが貼付された基板において、非塗布領域と塗布領域との間の境界におけるメニスカスの発生を容易に防止する。
【解決手段】テープ貼付装置により基板９上に貼付されたマスキングテープ１では、第１マスキングテープ１１の第１下面エッジ１１２３が非塗布領域９２と塗布領域９１との間の境界９２０よりも非塗布領域９２の内側に位置しており、第２マスキングテープ１２の第１マスキングテープ１１から外側へと突出する庇部１２０が非塗布領域９２の露出領域９２１を覆う。これにより、基板９上に吐出された有機ＥＬ液が露出領域９２１に付着することが防止され、また、有機ＥＬ液が第１マスキングテープ１１の側面１１０３に付着してメニスカスを形成することも防止される。その結果、非塗布領域９２と塗布領域９１との間の境界９２０におけるメニスカスの発生を容易に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザー光の照射光による局所加熱に好適であるとともに、低軟化特性と高耐水性を両立させた封着用ガラス組成物を創案することにより、信頼性の高い有機ＥＬディスプレイを作製すること。
【解決手段】本発明の封着用ガラス組成物は、ガラス組成として、下記酸化物換算のモル％で、ＳｉＯ₂ ５〜３０％、Ｂ₂Ｏ₃ ３１〜５５％、ＺｎＯ １５〜５５％、ＣｕＯ＋Ｆｅ₂Ｏ₃＋Ｖ₂Ｏ₅＋ＴｉＯ₂＋ＭｎＯ₂ ０．１〜２５％含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空下、可撓性支持体にロール方式で多層薄膜形成を行う生産工程において支持体や成膜面にキズの発生しないガイドロール機構を組み込んだ真空成膜装置、及びこれを用い発光寿命の改善された生産性の高い有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】可撓性支持体（ウェブ）を支持し、真空中でウェブの搬送方向を３０度以上、２４０度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、かつ、少なくとも接触部分の一部において、可撓性支持体をガイドロール上に押さえる機構を設けたことを特徴とするガイドロール機構。 （もっと読む）

【課題】接合部材の接合部などに発生する応力を低減あるいは緩和できる接合構造体、接合方法及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】少なくともいずれかがレーザ光に対して透過性を有する第１及び第２の接合部材と、前記第１の接合部材と前記第２の接合部材との間にこれらに当接可能に設けられ、前記第１の接合部材と前記第２の接合部材との間の隙間を確保する小片部と、前記第１の接合部材と前記第２の接合部材とにそれぞれレーザ光により接合され、前記第１の接合部材と前記第２の接合部材とを結合する弾性体と、を備えたことを特徴とする接合構造体が提供される。 （もっと読む）

本発明は、水分及び／又は酸素に敏感な電子デバイス又は光電子デバイスをカプセル封じすることが可能な多層バリア膜を参照し、このバリア膜は、水分及び／又は酸素と相互作用することが可能な反応性ナノ粒子を含む少なくとも１つのナノ構造化層を備え、反応性ナノ粒子は、ポリマー結合剤内に分布しており、少なくとも１つの紫外光中和層が、紫外光を吸収することが可能な材料を含み、それによりバリア膜を紫外線が透過するのを制限する。 （もっと読む）

【課題】額縁領域を狭くすることが可能な有機ＥＬ装置の製造方法、有機ＥＬ装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置１の製造方法は、基板１０上に発光画素２を形成する発光画素形成工程と、基板１０上又は基板５０上に枠状のシール剤６を形成するシール剤形成工程と、基板１０上又は基板５０上のシール剤６に囲まれた領域に充填剤４６を塗布する充填剤塗布工程と、基板１０と基板５０とをシール剤６及び充填剤４６を介して貼り合わせる貼り合わせ工程と、シール剤６及び充填剤４６を硬化させる硬化工程と、シール剤６に囲まれた領域を通る切断線Ｌに沿って基板１０及び基板５０を切断する切断工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＥＬパネル組立てシステムでは複数の処理室と複数の基板搬送部との組み合わせで構成され、１つの処理室で発生した振動が他の処理室に伝達して、他の処理室における処理精度が低下するという課題がある。
【解決手段】パネルを組み立てるための基板に接着剤を塗布ための塗布装置やフィル剤を滴下する滴下装置、および基板の貼り合せを行なう貼り合せ装置の処理部を収納した複数の処理室と、前記処理室に基板を搬入出するための搬送ロボットを収納した複数の基板搬送部とから構成され、各処理室と各基板搬送部との間の接続部にゲートバルブと、ゴムシートを用いて接続することで、処理室内で装置が処理動作時に発生した振動が他の処理室に伝達しないように構成した。 （もっと読む）

【課題】フリットシーリングシステム及びそれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】フリットを利用して第１基板と第２基板とを接合するフリットシーリングシステムにおいて、第１基板が載置されるベッド部材と、第１基板と第２基板との間のフリットにレーザを照射するレーザ照射部材と、レーザが照射されて接合される第１及び第２基板の上部に配置されて、レーザが照射されて接合される基板を加圧する加圧部材と、を備えるフリットシーリングシステムである。 （もっと読む）

【課題】気密封止の際に、レーザを照射して加熱し、その結果、流動性を有するようになったフリットを物理的に加圧することにより、フリットの接着力を向上させ、ひいては、有機電界発光表示装置の信頼性を向上させる気密封止装置及び気密封止方法を提供する。
【解決手段】フリットを用いて第１基板と第２基板とを貼り合わせる気密封止装置において、前記第１基板の上面に配置されたガラスマスクと、該ガラスマスクの上面に配置された支持部材と、前記ガラスマスクの上面に離隔して位置し、前記第１基板の下面の外郭領域に閉曲線状に配置された前記フリットに対して、前記閉曲線に対応する軌跡を移動しながら、レーザを照射して前記フリットを加熱するレーザ照射部材と、前記第２基板の下面の外郭領域に配置され、前記第２基板を支持する複数の下部支持部材と、該下部支持部材の下面に配置されており、前記下部支持部材に上方に加圧力を加えることにより、加熱された前記フリットを加圧する加圧部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ表示装置は、凹状に加工された封止用基板と基板との空隙に封止されるよう配置される。封止用基板には凹状に加工されたガラス板を用いるが、極めて平面精度の高いガラス板に、その平坦性を乱す事無く凹状の加工を行うためには高度な加工技術が必要となる。加えて、フレーム部のみを残して凹状にガラス板を加工することで、機械的強度は低下し、容易に破損を受け、歩留まりの低下を招くという問題がある。
【解決手段】スペーサ１６５で保たれた基板１６１と封止用基板１６４との空隙を囲うべく、封止部１６６が配置される。封止部１６６は、例えば基板１６１の組成を有するガラスで構成され、レーザカット工程で発生するデブリにより製造される。そのため、基板１６１と同等の機密性が得られる。高い気密性を有する封止部１６６を用いることで、信頼性の高い有機ＥＬ表示装置１６０を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】異物によるスクリーン印刷室のステージでの吸着エラー、ステージの損傷、及び基体割れを防止すると共に、異物による有機エレクトロルミネッセンス装置の不具合を防止する。
【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置は、電極とガスバリア層との間に介在する緩衝層を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置で、減圧雰囲気でスクリーン印刷を行うことにより緩衝層を形成する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置であって、ステージ８６上に配置した基体３６の上方にスクリーンメッシュ８８を配置してスキージ９２により塗布材料をパターン印刷するスクリーン印刷室７０と、基体３６の裏面に付着した異物を除去するクリーニング部９４を有し、基体３６をスクリーン印刷室７０に搬送する基板搬送室７４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 有機発光装置が備える有機発光素子の特性の経時的な劣化を抑制または防止することができる有機発光装置、および、かかる有機発光装置を備える電子機器を提供することにある。
【解決手段】有機ＥＬ装置１は、基板２と、基板２上に設けられた有機ＥＬ素子５と、有機ＥＬ素子５を封止する封止部材４と、基板２と封止部材４とを接合する接合膜３とを有し、接合膜３は、金属原子と、該金属原子と結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、この接合膜３は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現する接着性によって、封止部材４と基板２とを接合している。 （もっと読む）

【課題】使用環境によらず、耐久性に優れ、信頼性の高い有機発光装置、および、かかる有機発光装置を備える電子機器を提供することにある。
【解決手段】表示装置１０は、基材１と、基材１上に設けられた有機ＥＬ素子２と、有機ＥＬ素子２を封止する封止フィルム５と、有機ＥＬ素子２が有する封止フィルム５とを接合する接合膜４とを有し、接合膜４は、金属原子と、該金属原子と結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、この接合膜４は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現する接着性によって、封止フィルム５と基材１とを接合している。 （もっと読む）

【課題】表示装置の製造歩留まりの低下を防止することが可能であるとともに、信頼性の高い表示装置を製造することが可能な製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】自発光素子４０を備えた画素ＰＸによって構成された表示エリア１０２を有する一対の基板と、表示エリア１０２を囲むように枠状に配置され、一対の基板を貼り合せるフリットガラス３００と、を備えた表示装置１を製造するための製造装置８０であって、一対の基板がフリットガラス３００を介して対向して配置されている状態において、一方の基板側からフリットガラス３００を溶融するレーザを照射するレーザ照射部８４と、レーザ照射部８４と連動し、一方の基板のフリットガラス３００を挟んだ両側に圧力を印加しながらフリットガラス３００に沿って移動するように構成された圧力印加部８１と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）