【課題】 梁部材の上方に形成された上部空間における清掃を、クリーン清掃でない通常の清掃で済ませるとともに、足場を組むなどして行う高所作業とすることなく行うことができるようにし、清掃の手間を小さくすることができるクリーンルームの天井構造およびその施工方法を提供する。
【解決手段】トラス構造３における下弦鉄骨１１の上には、デッキプレート４が載置されている。デッキプレート４は断面凹凸形状を有する折板形状をなしており、デッキプレート４のエンドクローズ部における凸部２２は、凹部２１の高さ位置まで押し潰されている。また、デッキプレート４のエンドクローズ部の側方には、Ｚ型金物５が配設されており、下弦鉄骨１１とＺ型金物５の天板５Ｂとの間には、端縁シール部材６が設けられている。端縁シール部材６により、下弦鉄骨１１とデッキプレート４との間の気密性を確保している。 （もっと読む）

【課題】容易に設置することができる清浄空気吹出装置を提供する。
【解決手段】清浄空気吹出装置は、清浄化された一様空気流を吹き出す空気流吹出面を有するプッシュフード２を備えている。プッシュフード２は、プッシュフード２を設置すると形成されるプッシュフード２の空気流吹出面２３の周縁方向において近接する周壁に対し、清浄空気の衝突気流を発生させるための側方空気吹出部２８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】広い清浄空気空間を形成することができる局所空気清浄化装置を提供する。
【解決手段】局所空気清浄化装置１は、清浄化された一様空気流を吹き出す空気流開口面２３を有するプッシュフード２、３と、プッシュフード２、３の空気流開口面２３側に設けられ、空気流開口面２３側から一様空気流の下流側に向かって延び、下流側端部に開口面４１、５１を形成する一対のガイド４、５と、を備えている。プッシュフード２、３は、それぞれの空気流開口面２３が対向するように配置されている。ガイド４、５は、その開口面４１、５１を互いに離間して対向させることにより、各ガイド４、５の開口面４１、５１間に開放した領域を形成する。空気流開口面２３から吹き出される清浄化された一様空気流は、開放した領域内で衝突して開放した領域外に流出することにより、ガイド４、５内及び開放した領域内を他の領域に比較して高い清浄度とする。 （もっと読む）

【課題】
空調用システムに用いるダクトにおいて、ダクトからの吹出し流の流速の均一化と流動抵抗の低減を図る。
【解決手段】
空調用または換気用のシステムは、室内の上部に配置され間隔を置いて複数の孔が形成された空気吹出し用ダクト２０と、この空気吹出し用ダクトに空気を送風する送風手段とを備える。空気吹出し用ダクトは、長手方向に間隔をおいて上記複数の孔２５が形成された多孔管と、この多孔管の内部に配置され平板を折り曲げた後に捩った形状の三角螺旋板２０と、前記多孔管の内部であって長手方向端部に配置された錐状の多孔吹出し管１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子機器を収容する建造物において、屋根部分の強度や剛性の増大を図りながら室内の熱を効率的に外部に放出し、さらに、建造物の増設や移設を容易とする。
【解決手段】建造物の屋根３の下方に中間天井板７を設け、電子機器を収納したラック６を中間天井板９の下側の電子機器収容室ＣＲ内に収める。中間天井板７を挟んで、電子機器収容室ＣＲに空気を冷却する熱交換器１０を下側に、排熱用の室外熱交換器１１を上側に設置するとともに、電子機器収容室ＣＲの長手方向に延びるビーム材８を設け、ビーム材８を、電子機器収容室ＣＲの端部壁又は建造物の両端部のフレーム枠体に固定する。建造物の屋根部分に作用する荷重は、ビーム材８を介して両端部のフレーム枠体に支持されるので、屋根部分の強度及び剛性が増加する。また、電子機器から発生する熱は、電子機器収容室ＣＲ内の熱交換器１０と室外熱交換器１１とにより外気へ放熱される。 （もっと読む）

【課題】測定性能の向上・省エネルギー化・省スペース化・温度慣らし時間の短縮・設備費用の低減を行なえるサーマルクリーンチャンバーを提供する。
【解決手段】サーマルクリーンチャンバー１であって、フラットパネルディスプレイ検査・製造装置３を収容し、クリーンルーム２内に配置され、クリーンルーム２からの被加工用ガラス基板４を受け入れる出入口５及びそれに連なるガラス基板搬送路５ａを設け、該出入口５の上部には、所定温度で高精度に安定したエアーを供給するダクト７を設け、該ダクト７には、前記ガラス基板搬送路５ａ上の加工用ガラス基板４の進行方向に向け上方から噴気流を斜めに吹き付ける傾斜噴気口７ａと、噴気流を下方向に吹き付け噴気流により前記検査・製造装置を囲繞するようにした垂直噴気口７ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】循環風量が少なくても、必要なダウンフローの風速を確保でき、しかもフィルタリーク試験も簡単に行えるクリーンルームを提供する。
【解決手段】クリーンルーム１０のクリーンゾーン１１の温調された清浄空気の吹出口が、複数のプレートノズル２０で形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】清浄な空気環境を必要とする製造設備内において、汚染空気が清浄な空気環境を要する空間に漏れ出さないように改善された汚染空気の拡散防止装置を提供する。
【解決手段】室内を清浄な空気環境に維持する製造設備と、製造設備の一部として室内に配され、空気環境を悪化させる汚染空気の発生源となり得る機械駆動部と、機械駆動部を囲繞して室内の空間から隔離する隔離箱と、隔離箱の一部に形成され、隔離箱内と室内空間とを空気流動可能に連通する開口部と、隔離箱内の空気を室外に排出する排気ダクトとを備え、開口部の端部には、端部から隔離箱の内方に向かう曲面が開口部の長手方向に沿って形成され、曲面の基端部から曲面に沿って流れる薄層状の圧縮空気を吐出するスリット部が配設されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率がよく、メンテナンスコストが安価な手術室用の空調システムを提供する。
【解決手段】本発明は、手術台２０５が設置された手術室の空調を行うための空調システムであって、前記手術台２０５の天井部に設置され、第１の風速でＨＥＰＡフィルタによって浄化された空気を吹き出すＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０と、前記ＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０の周囲に設置され、前記第１の風速より遅い第２の風速で空気を吹き出すＨＥＰＡフィルタ内蔵エアーカーテン吹き出し口２２０と、を有し、鉛直方向の投影を行ったとき、前記ＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０が形成するＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０投影面が、前記手術台２０５が形成する手術台２０５投影面を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液晶モジュールやＰＤＰの製造工程では、製造装置などの障害物があっても、塵埃や有機溶剤が拡散・停留しないように、速やかに排気することができる実質的な層流を発生させる必要がある。しかし、単にダウンフローを発生させるクリーンルームでは、部屋全体に層流を発生させることは困難であった。
【解決手段】障害物があっても実質的な層流となるダウンフローの風量は０．１ｍ／ｓｅｃ乃至０．１５ｍ／ｓｅｃの風速が必要である。本発明のクリーンルーム１は、その風速のダウンフローを得るために、天井した高さ１８００ｍｍの場所に全面フィルタからなるチャンバー２５を配し、さらに、天井８から６００乃至９００ｍｍの場所に整流手段２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】フィルタで浄化されかつイオンを含む浄化空気を、室内に容易に拡散させることを可能にする。
【解決手段】ファンフィルタユニット１０は、ケーシング１１と、ケーシング１１内部に配置された、送風機１２、高圧損フィルタ１３、低圧損フィルタ１４Ａ〜１４Ｄ、及びイオン発生器１５Ａ〜１５Ｄを備える。低圧損フィルタ１４Ａ〜１４Ｄ及び高圧損フィルタ１３は、送風機１２から送られた空気を通過させて、それぞれの下流側に空気を送り出す。イオン発生器１５Ａ〜１５Ｄそれぞれを、低圧損フィルタ１４Ａ〜１４Ｄそれぞれの下流側に配置する。 （もっと読む）

【課題】 位置変更を可能にする空気濾過システムを提供する。
【解決手段】 空気濾過システムは、プレナム内に位置変更可能に位置付けられるハウジングを有し、プレナムはハウジングと部屋との間において流体連通にある。ハウジング内においては、ファンが配置され、汚染された空気をプレナムから吸い込むように構成されている。少なくとも１つのフィルタ部材がハウジング内に位置付けられ、汚染された空気を濾過するように構成されている。フレキシブルダクトが、濾過された空気を、ハウジングから部屋へ導くように構成されている。フレキシブルダクトは、ハウジングに位置変更の可能性を与えるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 箱形ユニットの作製には設備を備えた組立てラインと精通した熟練作業員を必要とし、輸送時の衝突，衝撃，相互間のこすりなどによる損傷を防止するために頑健な資材にて梱包しなければならず、しかも箱形ユニットはその形状から嵩ばってコンテナに積載できる個数が非常に少なくなるために輸送回数がふえて輸送コストを高くするとともに発散するＣＯ₂の排出量を増大させているという社会的な課題があり、また設置現場に大小の箱形ユニットの大きな保管場所を確保せねばならないという多くの課題がある。
【解決手段】 本発明はクリーンエアー吹出しの共用型モジュウルを収容し取付けする大小の箱形ユニットにおいて、外箱を四角形板とその四周に傾斜側板を設けた逆角皿形に形成して多数枚を積み重ねて嵩ばらずに設置現場に向けて輸送し、設置現場においてビス止めにより大小の箱形ユニットを簡単に組立てられるようにして、上記したすべての課題を解決するようにしたのである。 （もっと読む）

【課題】半導体回路パターンの測定装置の性能を確保できるＦＦＵのモータ駆動ファンの振動吸収・抑制装置を得る。
【解決手段】ＦＦＵ筐体上のモータ駆動ファンをリング状に取り囲む位置に、リング状に薄い金属板を多層に積み重ねることにより剛性を低下させたリング状多層金属板を設置し、モータ駆動ファンからＦＦＵ筐体へ伝達される振動エネルギーを熱エネルギーとして消費し、振動を吸収・抑制する。多層金属板をＦＦＵに採用することにより、固有振動のＱ値が低くなり、共振しにくくなるとともに、モータ駆動ファン取り付け部の重量が増し、振動が抑制され、ＦＦＵ筐体への振動の伝播が低減される。 （もっと読む）

【課題】ファンフィルタユニットの上面に集積された埃が室内に落下する心配の無い取り付け構造を提供する。
【解決手段】上面１２に吸い込み口１３が設けられ、下面１４に吹き出し口１５が設けられたファンフィルタユニット２を、室の天井板１から隙間を空けて吊り下げたファンフィルタユニット２の取り付け構造であって、ファンフィルタユニット２の周囲を囲んで多孔板３０が配置され、かつ、多孔板３０は、上方に向かってファンフィルタユニット２の外側に広がるように傾斜し、多孔板３０の下端は、ファンフィルタユニット２の周面に隙間無く接している。 （もっと読む）

【課題】給気ダクトへの余分な空気の流入を防ぐことができるダクト収容ボックスを提供する。
【解決手段】ダクト収容ボックス１０Ａは、工場の内外を隔てる壁１５の開口１６に取り付けられたガラリ１２と、ガラリ１２に連接されて壁１５の内側に施設され、クリーンルームに空気を送り込む給気装置の給気ダクト１１の延出端部２２がつながるチャンバー１３とを有する。チャンバー１３は、頂底壁１７，１８および両側壁１９，２０と、ガラリ１２に対向する後側壁２１とから形成されている。後側壁２１には、ガラリ１２からチャンバー１３に進入した空気の圧力に応じてチャンバー１３内の空気をチャンバー１３外に排出する逆止弁ダンパ２８Ａを備えた第１排気ユニット２９が設置されている。 （もっと読む）

【課題】チャンバールームの天壁に他の製造機器を配設することを可能にし、
チャンバールーム内の塵埃を効率良く排出することができる。
【解決手段】チャンバールーム２６内に、クリーンエアーを供給するエアー供給機構２７と、一端がエアー供給機構２７に連通し、他端がチャンバールーム２６内に開放された送気口手段と、チャンバールーム２６の下部に形成した排気口６１から、チャンバールーム２６内のエアーを排気するエアー排気機構３０と、を備え、送気口手段は、チャンバールーム２６内に鉛直軸周りの旋回流を発生させる複数の縦送気口ユニット２９を有している。 （もっと読む）

【課題】天面に付着した塵埃を除去することができると共に、適切なエアーの流れを効率良く作ることができる。
【解決手段】チャンバールーム２６内に、クリーンエアーを供給するエアー供給機構と、一端がエアー供給機構に連通し、他端がチャンバールーム２６内に開放された送気口手段と、チャンバールーム２６の下部に形成した排気口６１から、チャンバールーム２６内のエアーを排気するエアー排気機構３０と、を備え、送気口手段は、チャンバールーム２６の天面にクリーンエアーを吹き付ける複数の横送気口ユニット２８を有している。 （もっと読む）

【課題】エアチャンバーの積載効率が高く、搬送性、据付性の優れたファンフィルタユニットを提供する。
【解決手段】ファンフィルタユニットは、上側の送風装置１と、下側のフィルタ３と、両者に挟まれたエアチャンバー２とを備えている。エアチャンバー２を送風装置１とフィルタ３とに対して分割構造とし、エアチャンバー２の構造を縦断面で台形形状としているので、嵩張るエアチャンバー２を互いに入り込む入れ子式に積層して積載効率を向上し、搬送・貯蔵することができる。ファンフィルタユニットの設置場所において、送風装置１をエアチャンバー２に対して、その上部に設けられている開口部８に上パッキンを介してパチン錠７で気密に接続することで、容易に組み立てて設置することができる。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームＣ１，Ｃ２の設備２Ａ，２Ｂに使用する消費電力を低コストかつ容易に削減する。
【解決手段】クリーンルームＣ１，Ｃ２の清浄度を取得する清浄度取得部７１と、クリーンルームＣ１，Ｃ２の風量を取得する風量取得部７２と、取得した前記清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出する必要送風量算出部７６と、該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する送風制御パターン生成部７７とを備えた送風制御パターン作成装置３を提供する。 （もっと読む）