【課題】本発明は、液体、気体、流動粉体、分散、これらの組合せ等を含む１つ以上の処理流体によりマイクロエレクトロニクス半製品を処理する装置を提供する。
【解決手段】被処理半製品の上に配置され、そして少なくとも一部分を覆う下側表面１０２を有する隔壁板１０２であって、隔壁板１０２の下側表面１０６と半製品と間の距離は隔壁板１０２の外周に向かう方向において先細りとなる隔壁板１０２と、隔壁板１０２の下側表面１０６と流れが連通するように隔壁構造１４内に設けられた吸引通路であって、隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体を隔壁板１０２の下側表面１０６上から吸引して抜き取ることができる吸引通路と、吸引通路と流れが連通している真空源であって、真空源及び吸引通路は、真空源が吸引通路に適用されると隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体が隔壁板１０２の下側１０６から吸引されて抜き取られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体、気体、流動粉体、分散、これらの組合せ等を含む１つ以上の処理流体によりマイクロエレクトロニクス半製品を処理する装置を提供する。
【解決手段】被処理半製品の上に配置され、そして少なくとも一部分を覆う下側表面１０２を有する隔壁板１０２であって、隔壁板１０２の下側表面１０６と半製品と間の距離は隔壁板１０２の外周に向かう方向において先細りとなる隔壁板１０２と、隔壁板１０２の下側表面１０６と流れが連通するように隔壁構造１４内に設けられた吸引通路であって、隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体を隔壁板１０２の下側表面１０６上から吸引して抜き取ることができる吸引通路と、吸引通路と流れが連通している真空源であって、真空源及び吸引通路は、真空源が吸引通路に適用されると隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体が隔壁板１０２の下側１０６から吸引されて抜き取られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体、気体、流動粉体、分散、これらの組合せ等を含む１つ以上の処理流体によりマイクロエレクトロニクス半製品を処理する装置を提供する。
【解決手段】被処理半製品の上に配置され、そして少なくとも一部分を覆う下側表面１０２を有する隔壁板１０２であって、隔壁板１０２の下側表面１０６と半製品との間の距離は隔壁板１０２の外周に向かう方向において先細りとなる隔壁板１０２と、隔壁板１０２の下側表面１０６と流れが連通するように隔壁構造１４内に設けられた吸引通路であって、隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体を隔壁板１０２の下側表面１０６上から吸引して抜き取ることができる吸引通路と、吸引通路と流れが連通している真空源であって、真空源及び吸引通路は、真空源が吸引通路に適用されると隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体が隔壁板１０２の下側１０６から吸引されて抜き取られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に含まれる溶媒を凝縮して塗布膜を乾燥させる際に、冷却板と塗布膜の膜面との間隔を均一にし、且つ、搬送風の乱れを少なくすることでムラの発生を抑制することのできる乾燥方法、乾燥装置及び凝縮液の回収方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る乾燥方法は、シート状基材４に形成された塗布膜４ａから蒸発した溶媒を冷却板１で凝縮することで塗布膜４ａを乾燥させる方法である。そして、本乾燥方法は、シート状基材４の搬送方向に沿って複数配置され、且つ、塗布膜４ａの膜面と平行になるように配置された冷却板１に塗布膜４ａから蒸発した溶媒を凝縮して凝縮液とし、その凝縮液を冷却板１間の隙間を塞ぐ多孔質体ブロック２に含浸させる工程を含むものである。なお、冷却板１のそれぞれは、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離が同じである。また、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離は、塗布膜４ａと多孔質体ブロック２との間の距離と同じである。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の表面に生じるパーティクルを低減する。
【解決手段】本実施形態によれば、半導体基板の超臨界乾燥装置は、半導体基板を収容し、密閉可能なチャンバ２１０と、チャンバ２１０の内部を加熱するヒータ２１２と、チャンバ２１０に二酸化炭素を供給する供給部と、チャンバ２１０から二酸化炭素を排出する排出部と、チャンバ２１０を回転させる回転部２７０と、を備えている。回転部２７０は、チャンバ２１０を水平方向に対して９０°以上１８０°以下回転させる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上の金属材料やポリシリコンのエッチングを抑制し、半導体デバイスの電気的特性の劣化を防止することができる半導体基板の超臨界乾燥方法を提供する。
【解決手段】半導体基板の超臨界乾燥方法は、半導体基板を洗浄・リンスした後に、表面が水溶性有機溶媒で濡れた半導体基板をチャンバ内に導入する工程と、前記チャンバを密閉し、前記水溶性有機溶媒を超臨界状態にする工程と、前記チャンバ内の圧力を下げ、超臨界状態の前記水溶性有機溶媒を気体に変化させて、前記水溶性有機溶媒を前記チャンバから排出する工程と、前記チャンバ内の圧力が大気圧まで下がるに伴い、前記チャンバ内へ不活性ガスを供給する工程と、前記半導体基板を冷却する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】室内を乾燥させる乾燥装置において、換気扇では乾燥に時間がかかり、加熱装置を用いると消費電力が大きいという課題を有するため、単純な排気より乾燥が速く、加熱装置を使用しないので省エネとなる乾燥装置を提供する。
【解決手段】室内の高湿の空気を湿度交換素子２３内に通すことで、湿度交換素子２３に水を吸着させて低湿の空気を室内に返すと共に、湿度交換素子２３内に吸着した水を気化して室外へと排出する本乾燥装置は、室内側及び室外側それぞれの吸気口及び吐出口に、温度検知手段及び湿度検知手段を備え、各検知手段によって得られた温度及び湿度を元に、前記湿度交換素子２３に含まれる水分量を推定する前記水分量推定手段２７を備え、推定した前記水分量を元に、省エネで効率良く室内を乾燥させる乾燥運転を行う。 （もっと読む）

【課題】薄くて小さいものにすることができて衛生的であり、低コスト化を図ることができる乾燥用シートを提供すること。
【解決手段】複合紙１０を、乾燥重量で１０〜７０重量％のシリカゲル粒子１２と、残部の紙繊維１１とからなるように抄紙技術により形成して、厚さが０.３ｍｍ〜４.０ｍｍのシート状にし、この複合紙１０の表裏両面にフィルム２０を一体化することにより、少なくとも端面１３にて外気に触れるようにしたこと。 （もっと読む）

【課題】回転槽等を汚さず食品に付着等されている液体を遠心分離するための食品の液体分離装置を提供することにある。
【解決手段】
食品に付着等されている液体を分離する食品の液体分離装置であって、液体分離装置の本体１０と、本体に設けられ回転軸を回転するための回転駆動手段と本体に着脱可能に設けられ上部に開口部が形成され分離された液体を受けるための受け槽２０と、上部が開口している円筒状の槽であって受け槽に着脱可能に回転軸に係脱可能に設けられ受け槽内に装着されたとき、回転駆動手段に駆動されて本体に対して回転する回転槽３０と、受け槽に対して開閉可能に本体に設けられ閉状態のとき開口部を塞ぐための蓋体４０と、回転槽内に着脱可能に設けられ回転槽に装着されたとき回転駆動手段の回転を受けて回転するとともに、食品より分離された液体を吸いとる吸収槽５０と、回転駆動手段を制御するための制御部とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不織布ロールと同程度の吸液性能を有しつつ、耐摩耗性、高耐久性を有し、メンテナンス頻度が低減化でき、クリーンルームでの使用が可能になり、液体及び気体の吸液、吸引、吐出のいずれにも適用可能な、多孔質樹脂を構成要素とするロールを提供する。
【解決手段】空洞部７及び側壁に複数の貫通孔を有する円筒状の芯軸３と、ロール本体１１とを具備し、ロール本体１１が、多孔質樹脂により形成されているディスク状のロール片１を、前記芯軸３に当該ロール片１の中心孔を貫通させ、複数枚積層させたものである多孔質樹脂ロール。 （もっと読む）

【課題】板状の乾燥材、脱酸素剤が開発されたにも関わらず、シリカゲル、石灰等を使用したものと同様に利用され、有効利用されていなかったので有効利用する事を提供する。
【解決手段】可変データを利用したデジタル印刷機の利用により板状の面に自由な印刷を施し、広告宣伝等有効利用をする。又、形状を、型を使用したカッター等の使用により利用者の要望、都合に合わせた形状にする事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】火力乾燥と比較して省エネ性を高く維持しながら、低温度領域において効率良く吸入空気を乾燥できる乾燥送風システムを提供する。
【解決手段】送風装置９により、第１空間Ａ１から第２空間Ａ２に至る乾燥経路Ｐ１に沿って吸入空気を送風しながら、圧縮機３、加温用凝縮器５、膨張弁１５、及び蒸発器６を備えているヒートポンプ２により、乾燥経路Ｐ１を通過している吸入空気を乾燥させる、乾燥送風システムにおいて、吸入空気内に水蒸気を放出する再生領域７ａと吸入空気から水蒸気を吸収する除湿領域７ｂとの間を循環するデシカントロータ７と、デシカントロータ７を再生するための再生用凝縮器４と、を備えており、乾燥経路Ｐ１に沿って、再生用凝縮器４、デシカントロータ７の再生領域７ａ、蒸発器６、デシカントロータ７の除湿領域７ｂ、及び加温用凝縮器５が、順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】生の草花から簡単な手順で押花を製作できるとともに、当該押花を素材とした原色鮮やかな押花絵の製作方法を提供する。
【解決手段】草花形成工程と、乾燥促進工程と、草花を吸湿性紙の上に重畳された通気性マット上に載置し、所定温度で一定時間加熱して草花を乾燥させる草花乾燥工程と、押花配置工程と、押花密封工程と、を有し、草花乾燥工程では、一定温度を保持することが可能な伝熱板を有する加熱機器を用い、所定温度に保持された伝熱板を一定時間草花の表面から押圧することにより、草花の表面からの水蒸気の発生を防止するとともに草花の裏面から水蒸気を発生させ、発生した水蒸気を、通気性マットを通過して当該通気性マットの下に敷設された吸湿性紙で吸収することを特徴とする押花絵の製作方法とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、煩雑な水切り溶剤の組成管理を必要とせず、かつ水切り性に優れた水切り乾燥方法、および水切り乾燥システムの提供を目的とする。
【解決手段】特定の条件を満たすハイドロフルオロカーボンおよびハイドロフルオロエーテルからなる群から選ばれる１種以上のフッ素系溶剤（Ａ）を含む沸騰状態の水切り溶剤に、水またはアルコール水が付着した物品を浸漬させて該物品に付着した水分を蒸発させ、該物品を乾燥させる水切り乾燥工程を有する水切り乾燥方法。また、該水切り乾燥方法に使用する水切り乾燥システム。 （もっと読む）

【課題】フィルタを搬送して移動させながらフィルタの洗浄、水洗、脱水、乾燥をコンパクトな構成により短時間で連続処理するフィルタ洗浄乾燥システム及びフィルタ洗浄方法を提供する。
【解決手段】フィルタ洗浄乾燥システム１は、フィルタ２を搬入口８から搬出口９に移送するフィルタ搬送装置３と、洗浄液１７を噴射する洗浄液噴射ノズル１０、及び洗浄液噴射ノズル１０の下流側で高圧ガス１８のみを噴射する高圧ガス噴射ノズル１１を有するフィルタ洗浄装置４と、洗浄水１９を噴射する洗浄水噴射ノズル１２を有するフィルタ水洗装置５と、吸水手段、及び吸水手段に設けられた吸水材１４によりフィルタ２の内部に含まれた水分を吸収させる押し当て機構１５を有するフィルタ乾燥装置６と、を備えてフィルタ２を連続的に洗浄乾燥する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ばら積み品、特に、粒状体、粉状体、穀粒状体、薄片状体、小片状体、またはその種の他の物のような固形物、有利には、合成樹脂の粒状体を乾燥するための装置に関する。空気流によって、貫通流動される乾燥サイロが設けられており、且つ、この乾燥サイロが、この乾燥サイロから流出する排気空気流、もしくは帰還空気の乾燥のために、プロセス送風機を介して、乾燥剤もしくは吸着剤を内に備える、ホイール形乾燥機と結合されており、このホイール形乾燥機が半径方向の隔室を備える回転可能なドラムを有している。このホイール形乾燥機内において、排気空気流が乾燥され、吸着剤が再生され、且つ引き続いて冷却され、および、この排気空気流が、乾燥空気流として、乾燥サイロに再び供給可能である。
【解決手段】 ホイール形乾燥機１のドラム２の個別の隔室２１が、薄板から形成されており、その際、このドラム２の、半径方向で外側カバー部２２および内側カバー部２３に隣接する、１つの隔室２１の締付け薄板２４が、Ｕ字形の断面を有しており、且つ、軸線方向に、ドラム２の内側壁に沿って設けられている。上記Ｕ字形の締付け薄板２４の脚部２５が、外方へと傾斜されている。個別の隔室２１の分離壁として設けられている分離薄板２６が、２つの、互いに隣接しているＵ字形の締付け薄板２４の、隣接する脚部２５の締付け作用によって位置決めされ、且つ、隔室状に封隙する。
（もっと読む）

【課題】フィルタの濾材内部に含まれる水分を短時間に脱水し、大量のフィルタを連続的に乾燥させるフィルタ乾燥装置を提供する。
【解決手段】フィルタ乾燥装置１は、洗浄されたフィルタ２をフィルタ乾燥装置１まで移送するコンベア３と、水分を吸収する吸水材１４が巻き付けられた下部吸水ローラ４及び上部吸水ローラ５と、吸水ローラ４，５をフィルタ２に押し付けてフィルタ２の内部に含まれた水分を吸収させるための昇降装置９を有する押し当て機構１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】袋内の空気の脱気精度を向上させた押し花素材の保管方法を提供する。
【解決手段】押し花素材の乾燥方法は、逆止弁Ｖ付きの袋１の開放した端部から、少なくとも、押し花素材を載せた乾燥シートを袋１内に入れ、前記開放した端部を封止し、封止後、袋１内の空気を前記逆止弁を介して外部へ放出させ、その放出の程度は、押し花素材が移動できない程度に袋１が押し花素材に密着するものであり、放出後、前記逆止弁により袋１内の空気の外部への流出を阻止し、押し花素材の水分を乾燥シートに吸収させるものである。 （もっと読む）

【課題】従来のベーキング工程では十分に除去しきれなかった電子部材の水分を除去すると共に、該工程中に進行していた酸化の進行を抑制する電子部材の乾燥方法を提供する。
【解決手段】電子部材を酸素吸収機能の発現に水を必要としない酸素吸収剤及び脱湿剤と共に、ガスバリア性容器内に収納後密閉し、該電子部材を加熱する電子部材の乾燥方法とする。 （もっと読む）

【課題】立体的形状の濾材から水分を効率良く除去することができるフィルタ脱水装置を得る。
【解決手段】この発明に係る空調用フィルタ脱水装置は、フィルタ１を載置して搬送する搬送機構と、フィルタ１の搬送経路の途中に設けられ濾材３の面と対面する吸水材４ａ，４ｂと、この吸水材４ａ，４ｂを濾材３の面に対して垂直方向に往復移動し、吸水材４ａ，４ｂを濾材３と接触し、また離間させる移動機構と、吸水材４ａ，４ｂを圧縮、変形させて吸水材４ａ，４ｂに含まれる水分を絞り出す絞り機構とを備え、吸水材４ａ，４ｂは、濾材３の面と面接触する吸水面を有する弾性体で構成されている。 （もっと読む）