【課題】半導体の製造において生成された有害ガスおよび微粒子を含む排ガスを軽減する排ガス軽減方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】まず、複数の顆粒体を提供し、顆粒体を反応温度に加熱する。次いで、有害ガスが分解して熱分解ガスを形成し、微粒子が顆粒体によって停滞されてろ過されるように、排ガスを導入して顆粒体と接触させる。顆粒体および微粒子を除去し、次いで顆粒を微粒子から分離する。一方、微粒子から分離された顆粒体と接触するように熱分解ガスを導入し、それにより顆粒体をリサイクルおよび再使用し、顆粒は、反応温度に加熱され、再び排ガスと接触するように導入される。最後に、分解ガスを除去するために、分解ガスをウォータースクラバープロセスに導入する。 （もっと読む）

【課題】燃焼処理室を囲む筒体を安価な材料で構成でき、且つ粉体が燃焼処理室内壁面に付着せず、腐食性ガスにより燃焼処理室内壁面が損傷せず、メンテナンスの手間とコストを低減できる燃焼式排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】処理対象排ガスの燃焼処理部１１と、燃焼処理部１１で燃焼処理した排ガスを冷却する冷却部２１と、処理対象排ガスの燃焼処理によって発生する処理反応副生成物を水洗にて捕集除去する水洗部３１を搭載した燃焼式排ガス処理装置１０であって、燃焼処理部１１は、排ガス処理用燃焼器１２と、金属材料からなり、内壁面に荒れ加工が施され、排ガスがその内部で燃焼処理される筒体１８と、筒体１８の内壁面に水膜Ａを形成する機構２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法により利用可能な、フッ素含有化合物ガスの分解性能が高いフッ素含有化合物ガスの分解用触媒；及びフッ素含有化合物ガス又はフッ素含有化合物ガスを含む排ガスの処理方法を提供する。
【解決手段】硫酸ジルコニウム（II）、アルコール及び担体の混合物からアルコールを留去し、次いで、これを焼成することによって得られるフッ素含有化合物ガス分解用担体担持含硫黄ジルコニウム酸化物触媒；並びにフッ素含有化合物ガス又はフッ素含有化合物ガスを含む排ガスの処理方法であって、上記の担体担持含硫黄ジルコニウム酸化物触媒の存在下、フッ素含有化合物ガス又はフッ素含有化合物ガスを含む排ガス、分子状酸素含有ガス及び水を加熱することによりフッ素含有化合物ガスを分解及び／又は酸化処理する工程を含む方法。 （もっと読む）

【課題】 ＣＨＦ_３を含む試料から、簡便で、効率よく、かつ選択的にＣＨＦ_３を処理する方法、処理ユニットおよび該処理ユニットを用いた試料処理システムを提供すること。
【解決手段】 酸化アルミニウムを主剤とする吸着剤の選択的吸着機能を利用することを特徴とする。また、２種類以上の吸着剤を用いて段階的に処理し、前段の１つに合成ゼオライトを主剤とする試剤を用い、後段に酸化アルミニウムを主剤とする試剤を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低濃度のＸｅが含まれるプラズマエッチング等の半導体製造プロセス排ガス中より、水分、ＣＯ_２およびＦＣ等を機能的に除去して高純度なＸｅを回収することが可能な、簡便で捕集効率の高い回収方法および回収装置を提供すること。
【解決手段】 キセノンおよびフルオロカーボンを含む試料について、少なくとも、細孔径４Å以下の合成ゼオライトおよび酸化アルミニウムを直列に配して充填された第１吸着手段（Ａ１）、シリコーン製あるいはポリエチレン製の中空糸ガス分離膜モジュール４からなるガス分離手段（Ａ２）、活性炭、細孔径５Å以上の合成ゼオライト、細孔径５Å以上のモレキュラーシービングカーボン、あるいはこれらの組合せのいずれかが充填された第２吸着手段（Ａ３）、反応剤としてカルシウム化合物が充填された反応手段（Ａ４）、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡便で、効率よく、かつ選択的に不飽和ＦＣを除去する方法、処理ユニットおよび該処理ユニットを用いた試料処理システムを提供すること。
【解決手段】 カルシウム化合物を主剤とする反応剤と該フルオロカーボンとの選択的化学反応を利用することを特徴とし、前記反応剤として、水酸化カルシウム，炭酸カルシウム，リン酸三カルシウム，ソーダ石灰を主剤とする試剤あるいはこれらの組合せを用いることを特徴とする不飽和ＦＣを除去する方法、処理ユニットおよび該処理ユニットを用いた試料処理システム。 （もっと読む）

電子装置製造熱除害装置を動作させるための方法が提供され、この方法は、熱除害反応チャンバ内へ入口を通してガス状流出物を流入させ、上記流出物を除害し、上記熱除害反応チャンバから出口を通して上記除害された流出物を流出させ、入口圧力を測定するため圧力センサを使用し、出口圧力を測定するため上記同じ圧力センサを使用し、上記圧力センサが上記入口圧力及び上記出口圧力を順次に測定し、上記入口圧力と上記出口圧力との差を決定し、もし、上記入口圧力と上記出口圧力との間の上記差が所定の圧力を越えるならば、上記流出物の流れを上記入口からそらす、ことを含む。多くの他の態様も提供される。 （もっと読む）

非熱プラズマ（ＮＴＰ）および一体触媒システム（ＩＣＳ）は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）および／もしくはハロゲン化揮発性有機化合物（ＨＶＯＣ）の中和に使用される。これらの化合物の一部は、商業的および／もしくは産業的な空気の流れによって環境中に放出された臭気性を有するおよび／もしくは微細な有機粒子（煙）である排出物である。このシステムは、誘電体バリア放電（ＤＢＤ）電極および誘電設計を利用して、ＮＴＰフィールドを発生させ、触媒機能と組み合わせて十分な反応性酸素種（ＲＯＳ）、ヒドロキシル種および他の高イオン化分子および原子種を生成し、それによってその後環境中に放出可能なより単純な非汚染物質、無臭の化合物に分解すべき空気流中のＶＯＣおよび／もしくはＨＶＯＣおよび／もしくは微細な有機粒子状汚染物を酸化および／もしくは還元させる。このシステムは、汚染された、もしくは汚染されていない大気圧の空気および／もしくはガスを、ＤＢＤ装置によって生成されるＮＴＰフィールドを通して吸引し、この空気を処理されるべき空気および／もしくはガスと合わせることによって動作する。ＤＢＤ装置は、ＤＢＤセルに一体化した触媒材料、およびセルの直後に任意の追加触媒を備えた設計とされており、商業的もしくは産業的な処理に固有の大規模な空気流を通過させるよう設計されている。 （もっと読む）

【課題】除害効率を高くし、かつランニングコストを低くすることができる除害装置を提供することを目的とする。
【解決手段】水１８に有毒ガスを含む排ガスを溶解させ、かつ排ガスを溶解させた水１８から放出された排ガスを排出する湿式除害部１０１と、湿式除害部１０１から排出された排ガス中の有毒ガスを吸着剤に吸着させ、かつその後に残る排ガスを排出する乾式除害部１０２とを有し、湿式除害部１０１において所定の除害効率を設定して除害することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 珪素やタングステンのクリーニングやエッチングにおいて排出されるガス中のフッ素ガスを除去する方法において、高流量のフッ素含有ガスからフッ素を除去する方法を提供する。
【解決手段】 高流量のフッ素含有ガスからフッ素を除去する方法において、高流量のフッ素含有ガスを前段で珪素と接触させた後、後段で水酸化カルシウムを含有する固体アルカリを充填した除去筒、または水を使用した除去筒で処理する。さらに、フッ素含有ガスに酸素が含まれる場合においては、前段で銅添着を施した珪素を使用し、後段で固体アルカリを充填した除去筒、または水を使用した除去筒で処理する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、ドライエッチング排ガスの簡便且つ安全な処理をするために適した処理装置及び当該処理装置を用いたドライエッチング排ガス処理方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の課題は、排ガス導入口を下部、処理ガス導出口及びインジケーターを上部に備えた容器に、反応処理剤及び吸着剤を層状に充填されていることを特徴とする、ドライエッチング排ガス処理装置によって解決される。 （もっと読む）

【課題】ダイオキシン類の生成を抑えつつ、廃棄物を熱分解処理できる、コスト性に優れた新規な構造の熱分解炉、および熱分解方法を提供する。
【解決手段】熱分解炉５０への熱分解用空気の流入量を制限し、排気ガスの排出量を少量化して限界酸素濃度を管理するとともに、熱分解炉５０内部にスノコ状の棚を設け、供給される空気との 熱が均一作用し熱分解効率を向上させることができ、上部空気供給管４および下部空気供給管５に対向配置された永久磁石１５によって磁界処理された熱分解用の空気を利用することによって、僅かな空気で、継続的かつ、効率的な熱分解を実現することができ、排気ガスに含まれるダイオキシン類や有害物質などの生成を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＨ_４、Ｓｉ_２Ｈ_６、ＴＥＯＳ、ＳｉＦ_４などのように、燃焼分解により粉体（ＳｉＯ_２等）を生成するシラン系物質およびＣＦ_４、ＳＦ_６、ＮＦ_３などのフロン系難燃性物質を含むプロセス排ガスに対して、高い燃焼分解効率のもとで無害化処理することができ、かつ処理効率を低下させることなく長時間運転を継続することを可能な難燃性物質分解バーナを提供する。
【解決手段】一端が閉じている燃焼筒体２の周側壁に、燃焼筒体内に火炎を形成するための複数個の燃焼バーナ５０と、燃焼筒体内に難燃性物質を含むプロセス排ガスを導入する複数個のプロセス排ガス導入ポート６０とを取り付ける。各燃焼バーナ５０はそれぞれの噴出火炎ｆが燃焼筒体２の中心軸線Ｌ上のほぼ同じ点Ｐ１ａで収束できるように軸線Ｌ１を下流側に傾斜させて取り付けられ、各プロセス排ガス導入ポート６０はその軸線Ｌ２の延長線が前記噴出火炎ｆの収束域よりも上流側の点Ｐ２において燃焼筒体２の中心軸線Ｌ上のほぼ同じ点で交わるように軸線Ｌ２を下流側に傾斜させて取り付ける。 （もっと読む）

【課題】ＰＦＣ含有ガス中に水及び又は他のガスと反応して固形物を生成する気体化合物が含まれても、触媒層の目詰まり、或いは湿式除去装置及び排水ラインの閉塞が起こらないようにする。
【解決手段】ＰＦＣ含有ガスに含まれる水及び／又は他のガスと反応し固形物を形成する気体化合物を湿式除去装置の下流側から供給し、湿式除去装置内で固形物を形成することを防ぐ。湿式除去装置内で固形物が生成することを防ぐことで、除去されなかった固形物による触媒層の目詰まり、或いは生成固形物による湿式除去装置内及び排水ラインの閉塞を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】過弗化物の分解装置の前段で粉体や粉体を生成する物質の除去効率を上げることで、処理性能を向上させる。
【解決手段】粉体又は粉体を生成する物質と過弗化物を含むガスを、粉体除去装置１のミキシング部１４に供給する。ミキシング部には粉体又は粉体を生成物質と過弗化物を含むガスを供給する配管１５と、循環ポンプ１２からミキシング部に水を供給する配管１３が設けられており、ミキシング部に供給した水の流れを利用し、粉体又は粉体を生成物質と過弗化物を含むガスを吸引し、水と混合する。ミキシング部では、ガスを微細な気泡にすることで水との接触効率を上げ、粉体又は粉体を生成する物質の除去を行う。粉体又は粉体を生成する物質を除いた後の過弗化物を含むガスは、過弗化物分解装置に供給し、過弗化物を分解処理する。 （もっと読む）

【課題】多額の初期投資及び大規模な追加設備を必要とせずに有害微量元素の含有率が高い安価な石炭種を使用するために集塵装置の集塵効率を向上する方法を提供する。
【解決手段】排ガス中の有害微量元素を捕捉する方法は、石炭を燃焼させる微粉炭燃焼部１６と、微粉炭燃焼部１６の下流に設けられ石炭灰のうちフライアッシュを集塵する集塵装置１８２と、を備えた微粉炭燃焼施設１において、石炭灰を微粉炭燃焼部１６に供給する石炭供給工程Ｓ１０から集塵装置１８２によってフライアッシュが集塵される排水・排ガス処理工程までの間の系内に、微粉炭燃焼施設１とは異なる他の微粉炭燃焼施設において燃料を燃焼させたときに生じる燃焼灰を添加する。 （もっと読む）

フッ素化ガスをガス流(1)から除去するための方法であって、フッ素化ガスを含有するガス流(1)を燃焼領域(2)に運ぶ工程、該フッ素化ガスを該燃焼領域(2)で分解する工程、該フッ素化ガスの分解生成物と反応することのできるカルシウム塩(4)を該ガス流に同伴させ、該フッ素化ガスの分解生成物と反応させてフッ化カルシウムを形成する工程、及び該フッ化カルシウムの塩を該ガス流から除去(10)する工程を含む方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマトーチを用いた廃ガス処理装置に関するものである。
【解決手段】本発明によれば、ボディー内部に空き空間として設けられた主燃焼室に向けて処理対象の廃ガスが流入されるための廃ガス流入口が形成され、廃ガス流入口を介して流入された廃ガスに火炎伝播が行われるようにプラズマトーチが形成された廃ガス処理装置において、プラズマトーチのノズルを介して放射される火炎に向けて高温の水蒸気が噴霧できるように備えられたスチーム噴射口と、主燃焼室の下側にチューブ状に長く延長されて形成され、プラズマトーチのノズル圧力により誘導された廃ガスと反応促進化合物との化学反応が起こる反応チューブとを含めてなされることを特徴とするプラズマトーチを用いた廃ガス処理装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】 フッ素原料としての有価回収物として回収することのできる排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】 吸収剤移送式の反応器(５)と吸収剤固定式の除害器(10)とを具備する排ガス処理装置を使用する排ガス処理方法である。反応器(５)ではＰＦＣガスの分解により生成した分解生成ガスを吸収剤に作用させて反応させる。反応後の吸収剤を既反応分に富む表層部分と、未反応分に富む芯部分とに分離する。分離後の芯部分を反応器(５)に返送する。分離後の表層部分を分級手段(７)で細粒と中粒とに分級し、この分級後の細粒を回収するとともに、中粒にカルシウム系粉末を混合してフッ素吸収剤とする。フッ素吸収剤を除害器(10)に供給する。除害器(10)に導入するＰＦＣガスの分解により生成した分解生成ガスを希釈し、この希釈分解生成ガスに水分を調量添加し、この水分を添加した分解生成ガスを除害器(10)内のフッ素吸収剤と反応させる。 （もっと読む）

【課題】希薄なＰＦＣを効率良く、ガス流路の切り替えなしに濃縮し、効率よくＰＦＣを分解する。
【解決手段】ＰＦＣと、Ｎ₂ 等を含有する希薄ＰＦＣガスの濃縮方法であって、多孔体層の両側に圧力差を発生させ、高圧側に希薄ＰＦＣ含有ガスを導入し、低圧側からＰＦＣより分子の小さいガスを排出する。多孔質をフッ素化することにより、分離効率を向上させる。上記のＰＦＣガスの濃縮工程と、ＰＦＣの分解工程と、後処理工程を有するＰＦＣ分解システムを提供可能である。 （もっと読む）