【課題】処理槽内に充填された処理剤を効率よく交換することができるガス処理装置およびガス処理装置の処理剤交換方法を提供する。
【解決手段】ガス処理装置１０ａは、処理剤８０を充填する処理槽１１を備える。処理槽１１は、被処理ガスを処理槽１１に流入させるガス入口１５と、処理槽１１内のガスを処理槽１１から流出させるガス出口１６と、処理剤８０を処理槽１１に導入する処理剤導入口１７と、交換が必要となった処理剤８０を処理槽１１から排出する処理剤排出口１８と、導入された処理剤８０の高さ表面を均す充填促進機構２１ａとを有する。ガス処理装置１０ａは、さらに、処理剤導入口１７に設置され、被処理ガスを処理する処理剤８０の導入時に処理剤導入口１７を開閉する第１の開閉装置７１と、処理剤排出口１８に設置され、交換が必要となった処理剤８０の排出時に処理剤排出口１８を開閉する第２の開閉装置７２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＳＦ_６を効率よく分解する耐久性に優れた排ガスの処理方法を提供する。
【解決手段】平均粒子径（メディアン径）５５μｍ以上１６０μｍ以下のＡｌ（ＯＨ）_３とＣａ（ＯＨ）_２からなり、そのモル比が３：７〜５：５である混合物を成形して乾燥し、４３０℃よりも高く８９０℃以下の温度範囲で窒素流又は空気流中で焼成して得られるフツ素含有化合物処理剤と、ＳＦ_６を含む排ガスとを、５５０〜６５０℃の温度範囲で接触させることによりＳＦ_６を分解する処理方法であり、運転中にＳＦ_６除去率が９５％以下に低下したときに前記フッ素含有化合物処理剤を交換する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、かつ固形物の捕集効率を低下させることなく、排ガスの導入部での固形物の析出を抑制する。
【解決手段】固形物捕集装置は、固形物を含有する排ガスが導入される容器２と、容器２内に設置されたフィルターと、容器２を冷却する冷却器５とを有する。容器２にはガス導入口が開口し、そのガス導入口にガス導入管３が接続されている。ガス導入管３は、容器２との接続側端部３０が、内管部３１と外管部３２とを有する二重管構造とされる。内管部３１と外管部３２との隙間の大きさＣは、２．５ｍｍより大きく、かつ４０ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 排ガス中のフッ素含有化合物を効率よく分解することができ、耐久性に優れた処理剤及び排ガスの処理方法を提供する。
【解決手段】 平均粒子径（メディアン径）５５μｍ以上１６０μｍ以下のＡｌ（ＯＨ）_３とＣａ（ＯＨ）_２とのモル比が３：７〜５：５である混合物を、かさ密度が９５０ｇ／Ｌ以上に混練成形後に乾燥した成形物を、焼成して形成するか、又は、Ａｌ（ＯＨ）_３とＣａ（ＯＨ）_２の混合物を焼成して得られた複合酸化物を主成分とする処理剤を、０．６８ｋｇ／Ｌ以上の充填密度で充填したことを特徴とする排ガス中のフッ素含有化合物処理剤、及び、該剤をフッ素含有化合物を含む排ガスと、５５０℃〜８５０℃の温度で接触させる排ガス処理方法としたものである。 （もっと読む）

【課題】ＣｌＦ₃とＦ₂を含む混合ガスを湿式スクラバーによって除害処理する際、難分解性物質のＣｌＯ₃Ｆの発生を抑制することができる除害方法を提供すること。
【解決手段】ＣｌＦ₃とＦ₂を含む混合ガスを湿式スクラバーによって、除害処理する前段階において、加熱反応部を設け、混合ガスにハロゲンガスを添加することによって、未反応のフッ素ガスをハロゲンガスと反応させ、未反応のフッ素ガスを大幅に低減させることを利用する。 （もっと読む）

【課題】反応槽内でフッ素含有化合物処理温度に達しない温度領域を有効に活用して効率よく処理する排ガスの処理方法と処理剤を提供する。
【解決手段】フッ素含有化合物を含む排ガスの処理方法において、該排ガス１０の流れに沿って上流側にＣａ（ＯＨ）_２、Ｍｇ（ＯＨ）_２又はこれらの焼成品の1種以上を含有するアルカリ剤６を充填し、その下流側にＡｌ（ＯＨ）_３とＣａ（ＯＨ）_２の混合物を焼成して得られた複合酸化物からなるＰＦＣ処理剤７を充填した反応槽１に下向流で通すものであり、前記ＰＦＣ処理剤７は平均粒子径（メディアン径）５５μｍ以上１６０μｍ以下のＡｌ（ＯＨ）_３と、Ｃａ（ＯＨ）_２とのモル比が３：７〜５：５である混合物を成形して乾燥し、４３０℃よりも高く８９０℃以下の温度範囲で、焼成して得たものであり、前記反応槽１は、５００℃以上に加温されるのがよい。 （もっと読む）

【課題】処理槽交換時等であっても処理を継続でき、設置スペースがより小さい排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】処理剤が充填された処理槽に、被処理ガスを含む排ガスを通過させることにより被処理ガスを処理する排ガス処理装置１０ａであって、排ガスを通過させる主処理槽１１と、主処理槽１１に充填され被処理ガスを処理する第１の処理剤１２と、排ガスを通過させる、主処理槽１１よりも容量が小さい予備処理槽２１と、予備処理槽２１に充填され、被処理ガスを処理する、第１の処理剤１２とは異なる第２の処理剤２２と、排ガスの流れを主処理槽１１と予備処理槽２１との間で切り替える切替装置３１〜３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】消費電力を押さえかつ分解処理剤の活性をより高くすることにより、分解処理剤の処理能力を最大限に引き出す排ガス処理方法、排ガス処理装置の運転方法、および排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】所定の処理温度で排ガスを分解処理剤によって処理し、排ガス中の被分解ガスを分解する分解工程を備える排ガス処理方法であって、所定の処理温度を処理開始温度にして分解工程を開始し（ＳＴ０１）、分解処理剤が破過に近づいた状態を検知する（ＳＴ０３：Ｙ）度に、処理温度を破過に近づいた状態が検知された時点での処理温度より上昇させて（ＳＴ０４）、排ガス中の被分解ガスを分解する分解工程（ＳＴ０２）を、処理温度が予め定められた上限温度を超える（ＳＴ０５：Ｙ）まで繰り返す工程（ＳＴ０２〜ＳＴ０５）を備える。 （もっと読む）

排出物の削減に関するシステム及び方法を提供する。本発明の態様は、削減システムを高レベル設定で起動するステップと、望ましくない物質を含む排出物を削減システムにおいて受け取るステップと、削減システムを高レベル設定で使用して望ましくない物質を削減するステップと、排出物に関する情報を受け取るステップと、情報を分析して最適な設定を決定するステップと、高レベル設定を最適な設定に調整するステップと、より多くの望ましくない物質を含むより多くの排出物を受け取って、その後これを減衰させることができるステップとを含むことができる。最適な設定は、選択する設定効率に対応する。他にも数多くの態様を提供する。 （もっと読む）

【課題】フッ素化合物の熱分解時における反応器の内部の減肉を極小化して長期間連続して使用することのできるガス処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素化合物を含んだ処理対象ガスＦを囲繞し、その内部における高温の熱分解領域Ｒにて処理対象ガスＦの熱分解を行う反応器２４を備えるガス処理装置１０において、熱分解領域Ｒに面する反応器２４の内面に、酸化マグネシウム、酸化バリウムおよび酸化セリウムから選択された１種類以上の物質からなる耐火材を用いることにより、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置から排出される排ガス中に酸素や水分が含まれている場合に、排ガス処理装置に酸素や水分が流入することを抑制しながら排ガスを処理することができる排ガス処理システムを提供する。
【解決手段】 半導体製造装置８０から排出される排ガス中から酸素と水分の少なくとも一方を除去する除去装置３０と、除去装置３０通過後の排ガスを処理する排ガス処理装置２０を備える半導体製造装置８０の排ガス処理システム１０。 （もっと読む）

【課題】高効率でハロゲン系ガスを除害できるゼオライトからなる除害剤及びそれを用いたハロゲン系ガスの除害方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＯ_２／Ａｌ_２Ｏ_３モル比が２．０〜２．３であり、少なくともＫカチオンを３０ｍｏｌ％以上含有するフォージャサイト型ゼオライトを除害剤として用いる。Ｋカチオンは５０ｍｏｌ％以上、さらには８０ｍｏｌ％以上であることが好ましい。バインダーを用いて成型する場合、バインダーをゼオライト化して用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ＰＦＣ含有ガスを効率よく分解処理し、ＰＦＣ分解処理剤の交換回数をより低減させたガス処理装置を提供すること。
【解決手段】ガス処理装置１は、ＰＦＣ（パーフルオロ化合物）を含むガスを処理するガス処理装置１であって、ＰＦＣを含むガス中に含まれるＨ_２Ｏを低減させる水分除去装置１０と、水分除去装置１０でＨ_２Ｏが低減されたＰＦＣを含むガスを導入し、ＰＦＣを分解処理するＡｌ_２Ｏ_３とＣａＯの複合酸化物を含む分解処理剤が充填されたＰＦＣ処理装置２０を備える。 （もっと読む）

【課題】除害用加熱部において発生する熱を利用しながら排ガス処理を行う排ガス処理装置及びその排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る排ガス処理装置は、半導体製造装置から排ガスを吸引する真空ポンプ１と、前記排ガスを加熱して分解する除害用加熱部３と、前記真空ポンプによって吸引された前記排ガスを前記除害用加熱部に送るための配管２と、前記除害用加熱部によって分解された排ガスを水で冷却する水スクラバー５と、を具備し、前記水スクラバーで前記排ガスによって加熱された温水により前記配管２を加熱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フロン破壊ガス、または、ドライエッチング排ガス中の塩化水素、および、フッ化水素を、ナトリウム化合物を用いて乾式法により選択的に固定化し、塩素分は塩化ナトリウムの固形物として、フッ素分はフッ化ナトリウム、および／または、酸性フッ化ナトリウムとして回収・再利用する方法を提供する。
【解決手段】塩素を含有するフロンを破壊処理して生成したガス、または、ドライエッチング排ガス中の塩化水素、および、フッ化水素を、炭酸水素ナトリウムを主成分とする多段の固形物層を用いた乾式法により、前方の層では塩素分だけを選択的に固定化した塩化ナトリウムとして回収し、後方の層ではフッ素分を固定化したフッ化ナトリウム、および／または、酸性フッ化ナトリウムとして回収する。そして、これらの回収物を工業用原料として再利用する。 （もっと読む）

【課題】吸収液循環ポンプの動力を大幅に増大させることなく、排ガス中の水銀やフッ素化合物などの微量成分を効率よく除去することで、運転コストが低い湿式二段脱硫方法と装置を得ること。
【解決手段】下向きに排ガスを流通させ、排ガス流れに対して複数段のスプレノズル３を設けたアドバンスドベンチュリスクラバ２を吸収塔１の上流側に設置し、アドバンスドベンチュリスクラバ２の最上流側のスプレノズル３に供給する吸収液として、排ガスと初めて接触する補給水を用いる湿式二段脱硫方法と装置である。
また、補給水の供給量をアドバンスドベンチュリスクラバでの水の蒸発量相当分に設定することが望ましい。 （もっと読む）

本明細書では改善された流出物処理装置が提供される。幾つかの実施形態において、除去システムは、流出ストリームが貫通して流れる排出導管と、流出ストリームから非排出可能流出物を除去するために排出導管内に配置される複数の充填床と、流出ストリームから非排出可能流出物を除去するために流出処理剤を隣接する充填床間に提供する１つ又はそれ以上の噴霧ジェットと、最上充填床上で排出導管内に配置され、大きな液滴の流出処理剤を提供して、微細液滴を実質的に形成することなく最上充填床の上側表面から粒子状物質を湿潤させリンスするドリッパーと、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】処理水等をスムーズにドレインタンクへ流れ込むようにすることで、ドレインタンク流入口での水流の停滞による異常水位検出センサの誤動作を防止するのに好適な除害装置を提供する
【解決手段】除害装置Ｍ１は、外部から隔離された除害処理室１と、除害処理室に処理水を散布する処理水散布手段２と、除害処理室の下方に設けたドレインタンク３と、除害処理室の底部からその室内に排ガスや微粒子ダストを導入する配管４と、配管から下向きに分岐してドレインタンク内の上部空間に連通するドレイン管５と、ドレイン管の内側に挿入された連通管６とからなり、連通管６の下端部には、ドレインタンクの上部空間に開口した下端側開口部６０を設け、連通管６の上端部には、ドレイン管と配管との境界線Ｌより高い位置に開口した上端側開口部６１を設ける。 （もっと読む）

ガス洗浄装置及びガス洗浄方法が提供される。本発明によるガス洗浄装置は、 反応ガスが流入される反応管と、反応管と連結され、流入された反応ガスをプラズマ化させる反応器と、反応器内のプラズマに水を注入するための水注入部とを備え、別途のヒーターを使用せず、プラズマの熱源を利用して水を蒸気化させるため、非常に経済的なガス洗浄が可能である。さらに、プラズマ化した反応ガスが排出される最適の領域で水を直接蒸気化させて反応ガスを洗浄するため、ガス洗浄の効率も向上する。
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【課題】 ＰＦＣガスのプラズマ分解処理において、排ガスに与えたエネルギーを有効利用する方法およびプラズマ分解処理で生成したガスの再結合を防止する方法を提供する。
【解決手段】 排ガス中のパーフルオロコンパウンドガス（ＰＦＣガス）を分解するためのプラズマ処理を用いて該排ガスの処理を行う際に、該プラズマ処理により生じるプラズマにより電磁流体発電を行うことによりエネルギー回収を図ることを特徴とする、パーフルオロコンパウンドガスを含有する排ガスの処理方法。 （もっと読む）