【課題】滅菌装置等から導出された排ガス中の窒素酸化物を簡単な構成で効果的に除去することができる排ガス浄化装置を提供する。
【解決手段】高濃度の窒素酸化物を含むガスを使用して所定の処理を行う処理装置１の排ガスを浄化する排ガス浄化装置５０であって、前記排ガス中の窒素酸化物濃度を低下させるように調節する濃度調節部５２と、当該濃度調節部５２から導出された排ガス中の窒素酸化物をアンモニアと反応させることにより還元して無害化する還元処理部５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】脱臭剤を高効率で接触可能であり、消費量が少く、メインテナンスが簡単である、排気ガスの脱臭方法を提供する。
【解決手段】排気ガスの吸気のためのフード部内、または吸気された該ガスを排気口へ送るための排気ダクト部内に、気化された植物精油を導入することにより、該ガスを脱臭する。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置や工程を簡略化する。
【解決手段】排ガス処理装置１０は、複数の半導体製造装置２０から排出される排ガスを処理する排ガス処理装置１０であって、複数の半導体製造装置２０から排出されるそれぞれの排ガスを集めて混合し収容するガス収容部４０と、ガス収容部４０で混合された混合ガスを希釈ガスで希釈する希釈部５０と、混合ガスを除害する除害部５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】活性炭及び／又は触媒を用いた排オゾン処理装置において、安全に排オゾンを所定値以下に低減して信頼性を高め、かつ設備及び運転コストを低減すること。
【解決手段】オゾンなどを含む排ガス１が流路２に流入し活性炭塔４へ流入する。活性炭塔４では活性炭により排ガス１に含まれるオゾン等のガスが分解される。分解された排ガスの流路に設置されたガス濃度計３によりオゾンガス濃度が測定された後、空気等の希釈ガスが流れ込む分岐流路１１でオゾンを含む排ガスは空気により希釈され、ブロワ６によって大気中へ放出される。制御装置７は、ガス濃度計３の測定値と、入力手段８から受信した設定値である、大気放出オゾン規制値ＣＡ、活性炭が発火するオゾン濃度ＣＨに基づき、警報の発信９、排ガスの流入遮断１０、ガス流路の切替え、希釈用空気の流量調整１９などを行う。 （もっと読む）

【課題】
反応管内の温度に応じて含ハロゲン化合物を含む被処理ガスを可変定量して供給できるとともに、ガス化した含ハロゲン化合物が再液化することなく、安定して反応管内に供給することができる分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法及び分解処理装置を提供する。
【解決手段】
分解処理装置１０は、反応管２０内の温度に応じて、反応管２０に対し液体の含ハロゲン化合物をガス化した被処理ガスを可変定量可能に送出するチュービングポンプ７８を備え、分圧設定装置９０がチュービングポンプ７８と反応管２０の間の管路８４に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 廃棄物処理過程において生成される気体を除菌および脱臭して無害化した後に排気することを可能にする。
【解決手段】 本発明の廃棄物処理装置１は、廃棄物１０を加熱して滅菌する加熱滅菌槽４に、この加熱滅菌槽４おいて加熱により生成された気体１０ａを排出するための排気口４ｂが設けられるとともに、この排気口４ｂに接続して前記気体１０ａを外部に排出する排気流路５が設けられる。排気流路５には、除菌手段６３および脱臭手段６４を有する無害化処理部６が備えられて前記気体１０ａの無害化処理を行う。また、無害化処理部６の上流側には空気導入路７が連通されて、空気導入路７から流入させた空気９０により前記気体１０ａを希釈して無害化処理部６を通過する気体の適温化が図られる。 （もっと読む）

【課題】 フッ素原料としての有価回収物として回収することのできる排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】 吸収剤移送式の反応器(５)と吸収剤固定式の除害器(10)とを具備する排ガス処理装置を使用する排ガス処理方法である。反応器(５)ではＰＦＣガスの分解により生成した分解生成ガスを吸収剤に作用させて反応させる。反応後の吸収剤を既反応分に富む表層部分と、未反応分に富む芯部分とに分離する。分離後の芯部分を反応器(５)に返送する。分離後の表層部分を分級手段(７)で細粒と中粒とに分級し、この分級後の細粒を回収するとともに、中粒にカルシウム系粉末を混合してフッ素吸収剤とする。フッ素吸収剤を除害器(10)に供給する。除害器(10)に導入するＰＦＣガスの分解により生成した分解生成ガスを希釈し、この希釈分解生成ガスに水分を調量添加し、この水分を添加した分解生成ガスを除害器(10)内のフッ素吸収剤と反応させる。 （もっと読む）

【解決課題】 被処理空気中の有機溶剤の濃度の急激な変動に対応可能な、有機溶剤含有空気の処理方法を提供すること、すなわち、有機溶剤の濃度が急激に変動しても、浄化空気（大気中へ放出される処理後の空気）中の有機溶剤の含有量が増えることがない、有機溶剤含有空気の処理方法を提供することにある。
【解決手段】 吸着除去工程、再生工程及び燃焼工程を同時に行う、有機溶剤含有空気の処理方法であって、該吸着除去工程により生じる吸着処理空気と、該燃焼工程により生じる燃焼炉排気ガスとを混合して、混合空気を得、次いで、該混合空気中の該有機溶剤を酸化分解することを特徴とする有機溶剤含有空気の処理方法。 （もっと読む）

【課題】燃焼排ガス中の二酸化炭素を効果的に分離すると共に、二酸化炭素の分離によって濃縮される他の排ガス成分を含む燃焼排ガスを大気中に排出できるようにする。
【解決手段】酸素分離装置８により空気７を酸素９と他の窒素主体ガス１０とに分離し、得られた酸素９と石炭１とを燃焼炉４のバーナ５で燃焼し、燃焼炉４からの燃焼排ガスを排ガス処理した後、燃焼排ガスの一部をバーナ５に再循環すると共に、再循環しない残りの燃焼排ガスを圧縮することにより液化二酸化炭素２９を取り出し、圧縮によって液化されない他の排ガス成分３１は、酸素分離装置８にて空気７から酸素９を分離した他の窒素主体ガス１０と混合し希釈して大気に排出する。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を含有する排ガスを処理するガス処理装置の小型化を目的とする。
【解決手段】有機溶剤ガスを含む排ガスは、配管４から本ガス処理装置に導入され配管５より排ガス中の有機溶剤ガスを実質的含まない状態に除去して大気中に排出される。吸着装置１および吸着装置２は、バルブ７からバルブ２１を介して配管によって接続されている。また、吸着装置１および吸着装置２には、脱着手段３が接続されている。脱着動作を終了した吸着装置を吸着動作中の吸着装置の後段に配置することによって、前段の吸着装置の排出ガスの濃度が高くなっても、後段の吸着装置によって除去することができる。そのため、吸着剤の使用量を削減できる。 （もっと読む）

【課題】 構成を極めて単純化することにより製造コスト及び設置コストを大幅に削減すると共に、ランニングコストも大幅に低減した排気ガスの消臭装置を提供する。
【解決手段】 内燃機関５０の排気ガスの放出経路４０又はその近傍の所望の箇所に取り付けられ、消臭剤若しくは芳香剤又はそれら双方を収容する収納容器２０と、この収納容器２０内の消臭剤若しくは芳香剤又はそれら双方を排気ガスの放出経路４０に供給すると共に、その供給口３２が排気ガスの放出経路４０に向けられた管状の供給管３０とを備え、排気ガスの流速を利用して、収納容器２０内の消臭剤若しくは芳香剤又はそれら双方を排気ガスに混合するようにした。
この場合、供給管３０の代わりに、吹き出しノズルを用い、噴霧効果を高めるようにしても良い。 （もっと読む）

酸化水銀変換器が、ガス試料中の酸化水銀を元素水銀に変換するときに、熱、減圧、及び希釈の組合せを用いる。変換器は、熱をガス試料に加えて、ガス試料中の酸化水銀を元素水銀と酸化成分とに熱的に変換し、その後、元素水銀が、ガス試料中に存在する他の酸化成分と、及び／又は、熱的変換による副生成物（例えば、酸化成分）と結合することを最小限にするために、ガス試料の圧力を低減する。こうして、変換器は、ガス試料中に存在する、酸化形態及び元素形態の両方の水銀の全量の正確な分析を、消耗品である試薬を水銀変換プロセスに用いることを必要とせずに可能にする。
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【課題】少なくとも１成分の特定ガスを含有する被処理ガスから特定ガスを安価で高純度に分離することができるガス分離装置及びガス分離方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１成分の特定ガスを含有する被処理ガスから特定ガスを分離するガス分離装置及びガス分離方法において、充填材が充填されたカラムの内部を減圧状態にしながら、被処理ガスを移送するためのガスを使用せずに被処理ガスをカラムに流通させることにより、特定ガスを安価で高純度に分離することができる。 （もっと読む）

【課題】有害物質を取り扱うことなく、加熱装置を必要とすることなく、一剤で飛灰等の固体廃棄物中のダイオキシン類および重金属類を同時処理することができ、従って、薬注設備の削減も可能な処理剤および処理方法を提供する。
【解決手段】熱により重合し、固体廃棄物表面をコーティングする薬剤を含む固体廃棄物中のダイオキシン類と重金属類の同時処理剤。この処理剤を、焼却炉煙道のうち、炉室出口から集塵装置までの間に供給する飛灰中のダイオキシン類と重金属類の同時処理方法。加熱条件下において、飛灰等の固体廃棄物表面にコーティング膜を形成することにより、固体廃棄物中のダイオキシン類および重金属類を閉じ込めてその毒性ないし溶出を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 １００〜２００℃の温度域における反応効率を向上させ、装置を大型化させることなく導入ガス温度に依存されずに安定的にフッ素を回収し得る方法の提供。
【解決手段】 ＰＦＣガスの分解により生成した分解生成ガスからフッ素を回収する方法において、前記分解生成ガスを、粉体除去装置（３）を通して該分解生成ガス中に含有されている固体粉末成分を除去して無塵ガスとなした後に、アルカリ土類金属の各種塩類，酸化物，水酸化物の単独若しくはこれらの混合物からなるフッ素吸収剤を充填した乾式フッ素回収装置（４）に供給し、その際、前記無塵ガス中に水分を添加量調節しながら添加することにより、前記分解生成ガス中のフッ素と吸湿常態下のフッ素吸収剤の前記アルカリ土類金属とを反応させてアルカリ土類金属フッ化物として回収する。 （もっと読む）

【課題】 除塵装置のフィルターを装置に取り付けたまま逆洗操作に依存することなく有効にクリーニング処理できて高除塵効率の長寿命維持を図らせる。
【解決手段】 原料ガスとしてシランガス等が、クリーニングガス等としてＰＦＣガスがそれぞれ使用される半導体製造ラインにおける排ガス抽出路１中に、希釈された未反応のシランガス等およびPFCガスを分解処理するための排ガス分解装置２を設け、その後段にフィルターを内蔵する除塵装置３を設けてなり、除塵装置３は、装置本体が気密構造に形成され、該装置本体の内壁材及び前記フィルターがフッ化化合物に対し高耐性を有する材料により形成される。また、排ガス抽出路１における前記除塵装置３の後段に、除塵装置３を経た前記分解生成ガスを無害化処理する除害装置４が付設される。

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【課題】 空気希釈されたアンモニアガスから成る混合気であっても、循環する処理水によって効率的に吸着でき、除害運転が能率的に行えるようにした新規なアンモニアガスの除害システムを提供する。
【解決手段】 本発明は、冷凍機ユニット２から漏洩した混合気を除害処理するにあたり、まず混合気をダクト２６によってケーシング２２からスクラバ３等の閉鎖空間に導き、この閉鎖空間において混合気を処理水に充分接触させて、混合気中のアンモニアガス成分を処理水に吸着させ、次いで、アンモニアガス成分を吸収した処理水には、炭酸ガスを供給し、アンモニア成分を中和することによってアンモニア濃度を下げた後、再度、この処理水を未処理の混合気と接触させ、処理水を循環使用できるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）