【課題】 除塵装置のフィルターを装置に取り付けたまま逆洗操作に依存することなく有効にクリーニング処理できて高除塵効率の長寿命維持を図らせる。
【解決手段】 原料ガスとしてシランガス等が、クリーニングガス等としてＰＦＣガスがそれぞれ使用される半導体製造ラインにおける排ガス抽出路１中に、希釈された未反応のシランガス等およびPFCガスを分解処理するための排ガス分解装置２を設け、その後段にフィルターを内蔵する除塵装置３を設けてなり、除塵装置３は、装置本体が気密構造に形成され、該装置本体の内壁材及び前記フィルターがフッ化化合物に対し高耐性を有する材料により形成される。また、排ガス抽出路１における前記除塵装置３の後段に、除塵装置３を経た前記分解生成ガスを無害化処理する除害装置４が付設される。

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【課題】 本発明は、第一に円筒状発熱体の内外表面に粉塵が付着しないようにすること、第二に円筒状発熱体内に乱流を発生させて円筒状発熱体内における排ガスの酸化分解反応を十分に促進させることをその課題とする。
【解決手段】
半導体製造装置(2)のチャンバ(1)バから排出された排ガス(F)を加熱分解処理する排ガス処理塔(20)を備えた半導体製造装置の排ガス除害装置(10)であって、
前記チャンバ(1)に接続された円筒状発熱体(30)が処理塔本体(21)内に立設されており、処理塔本体(21)の天井部分に垂設された回転アーム(35)に設けられた粉塵払い落としアーム(36b)により、円筒状発熱体(30)の内面に付着した粉塵が払い落とされるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｓｉ成分を含有する成膜系排ガスを排ガス処理工程に導入する場合、析出物付着による管の閉塞防止という本来の目的が達成でき、配管が必要以上に高温になるのを防止可能であり、かつ、管材とフッ素ラジカル等との反応物による配管の薄肉化および閉塞の防止が可能な排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】 Ｓｉ成分を含有する成膜系排ガスを排ガス処理工程１０５により処理する排ガス処理方法において、前記排ガスを、真空ポンプ１０２によって管１０３を通じて前記排ガス処理工程１０５に導入する場合、前記管１０３の途中には逆止弁１０４が設けられており、前記管１０３において、少なくとも前記真空ポンプ１０２から前記排ガス処理工程１０５の間を、ヒーター１０９(加温手段)により、前記排ガスから析出物が析出しない温度に維持し、かつ前記ヒーター１０９(加温手段)の設定温度を１３０〜１８０℃の範囲にする。 （もっと読む）

脱硫装置の運転停止時にＧＧＨ再加熱器９から放出される約９０〜１５０℃の高温の熱を効率的に外部に排出させ、機器や防食ライニング材の損傷を防ぎ、長期間安定した排ガス処理装置の運用を図るために、火炉から排出する排ガスのダクトに排ガスの流れ方向上流側から順に、少なくともＧＧＨ熱回収器５、吸収塔６、ミストエリミネータ（Ｍ／Ｅ）８、ＧＧＨ再加熱器９を配置した排ガス処理装置において、Ｍ／Ｅ８と再加熱器９の間の排ガスダクト７（Ｍ／Ｅ８と再加熱器９の間の排ガスダクト７にＳＧＨ１６を備えも良い。）に、再加熱器９からの放散熱を抑制する熱抑制機能を備えた放熱装置（放風弁１１、放風配管１２）などを設ける。
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エンジンの空気誘導システム用の蒸発放出物フィルタ。蒸発放出物フィルタが、直接的な空気流路の外側の空気誘導システム内に配置された炭化水素蒸気吸着部材を備える。空気誘導システム内で蒸発放出物フィルタを装着するための機構が提供される。エンジンの停止後に空気誘導システム内に存在する炭化水素蒸気は、エンジンの始動後に空気誘導システムを通って空気が流れるまで吸着部材内に実質的に保持される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でありながら、特殊な技能を必要とせず、短時間でバイオマスから様々な有価物を収穫できる多機能な移動式炭化窯を提供する。
【解決手段】バイオマスを炭化室２に投入し、炭化室に設けられた温度計４で炭化室の温度を管理し、燃焼ガス搬送パイプ３に設けられたバルブ１０で燃焼室５で生成された燃焼ガスの搬送を調整することにより、水分調整と製炭を可能とすると共に、炭化室の下部に設けられたロストル１２、及び煙突９の下部に設けられた酢液抽出口７、タール抽出口８により、炭化物、灰分、酢液及びタールを分離する。 （もっと読む）

【課題】 排気ガス中に含まれる浮遊粒子物質，窒素酸化物および炭化水素を無害化することができ、安価で量産に適する排気ガス処理用セラミック部材および排気ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】 排気ガス処理用セラミック部材２は、セラミック基板の上下主面に排気ガスの流路としての断面が四角形状の溝２ａが形成されている。また、排気ガス処理装置１は、上記の排気ガス処理用セラミック部材２と、排気ガス処理用セラミック部材２の上下主面にそれぞれ当接するように配置された高圧の直流パルス電圧または高圧の交流電圧印加用の導体板３とを具備している。導体板３間の溝２ａにプラズマを発生させることにより、排気ガスを無害化することができる。 （もっと読む）

【課題】処理筒の小型化が可能である除害装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、配管１６中に存在する特殊材料ガスを含むパージガスを除害処理する除害装置１０において、配管１６中のパージガスを排出するエジェクタ２２と、エジェクタ２２の排出口に接続されたバッファ容器３４と、バッファ容器３４の出口部に設けられ、又はその出口部に直接接続されたオリフィス４０と、オリフィス４０に接続され、特殊材料ガスを除害処理する薬剤が充填された処理筒２６とを備えることを特徴とする。この構成においては、エジェクタからの高圧のガスをバッファ容器で一旦蓄積し、圧力を下げ、更に、オリフィスでガスの流れを絞って、処理筒に送ることができる。これにより処理筒に対する圧力負荷が緩和され、処理筒内の薬剤を流通するガスの流速を抑えることができ、薬剤の少量化、処理筒の小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】加熱用部材の使用寿命を長くし、装置の製造コストやメンテナンスコストなどの負担を軽減しつつ、ＰＦＣガスなどの所望の排ガスの熱分解処理を適切に行なうことが可能な排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】チャンバ１内に排ガスを導入して加熱用部材３Ａ，３Ｂを用いて加熱する排ガスの熱分解工程を有している、排ガス処理方法であって、加熱用部材３Ａ，Ｂとしては、この加熱用部材３Ａ，３Ｂの素地よりも耐熱性が高い酸化保護層が表面に形成されたものを使用し、上記熱分解工程を中止しているときに、上記排ガスに代えて、チャンバ１内に酸素または酸素を含む気体を導入させるとともに加熱用部材３Ａ，３Ｂを発熱させることにより、加熱用部材３Ａ，３Ｂの表面を酸化させ、上記熱分解工程時に劣化した酸化保護層を再生する保護層再生工程を有している。 （もっと読む）

【課題】 高電圧の作用により排ガスを浄化する排ガス浄化装置において、放電管の固定構造を簡素化して組立て工程を簡略化する。
【解決手段】 外周電極４ｂの外周面にセパレータ９を気密に固定し、該セパレータ９の外周面を中間ケース３内に配置されたアルミナマット３２の内周面に圧接させることで組立てを行う。容器内の気密性を付与しつつ組立て工程を簡略化することができる。外周電極４ｂは内部電極５の長手方向の端部から所定長さａ以上離間され、異常放電が抑制される。 （もっと読む）

本発明は、ガスまたはガス混合物、特にフッ素化ガス排出物の変換のための方法に関する。本発明によれば、ガスまたはガス混合物の少なくとも１つの分子の２つの原子間の少なくとも１つの結合を、ガスまたはガス混合物がさらされる電場および／または磁場の影響下で破断する。ガスまたはガス混合物の流れを、電場および／または磁場を通して非線形に注入し、ガス分子が場を通して移動する距離を増加させ、こうしてガスまたはガス混合物分子の変換の効果を増加させる。 （もっと読む）

本発明の主題は、点火補助を用いて紫外線を生成し且つ放射するための誘電体バリア放電（ＤＢＤ）ランプであり、ランプは、少なくとも内壁（５）及び外壁（４）によって少なくとも部分的に形成され且つ／或いは取り囲まれ、壁（４，５）の少なくとも一方は誘電性壁であり、壁（４，５）の少なくとも一方は少なくとも部分的に透明部を有する放電間隙（２）と、放電間隙（２）の内部に位置する充填体と、少なくとも２つの電気接触手段と、外壁（４）と関連して電気接触するための第一手段と、内壁（５）と関連して電気接触するための第二手段とを含み、案内補助として並びに点火補助として機能する少なくとも１つの多機能手段（３）が放電間隙（２）に隣接して配置される。
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【課題】環境に有害な弗化炭素ガスを簡単な処法で完全に且つ経済的に分解し無害化する。
【解決手段】パーフルオロカーボンまたはハイドロフルオロカーボンの気体を、炭素質固体材料とアルカリ土類金属化合物とからなる反応剤に、３００℃以上の温度で且つ２０vol.％以下（０％を含まず）の気体酸素の存在下で接触させることからなる弗化炭素類の分解法。 （もっと読む）

ガス流中の二酸化炭素分圧が２００ミリバール未満であるようなガス流から二酸化炭素を除去する方法であって、ガス流を（Ａ）第３脂肪族アミンおよび（Ｂ）Ｒ¹がＣ₁〜Ｃ₆−アルキルを表わし、Ｒ²がＣ₂〜Ｃ₆−アルキレンを表わすような一般式Ｒ¹−ＮＨ−Ｒ²−ＮＨ₂の活性剤の水溶液を含む液状吸収剤と接触させることにより、ガス流から二酸化炭素を除去する方法が記載されている。この方法は、特に煙道ガスの処理のために適している。本発明は、吸収剤にも関する。 （もっと読む）

湿式スクラバー又は他の装置との入口パイプ（１４）のためのアタチメント（１０）は、入口パイプのフランジ付端（１２）に着脱自在に連結されるようになった開口端（１８）を有するスリーブ（１６）を含む。シャフト（３０）がスリーブ（１６）内で移動でき、スクレーパ（３４）がシャフト（３０）の一端に取り付けられる。シャフト（３０）は、該シャフト（３０）の他端に取り付けられた空気シリンダ（４０）の一部を成す。使用中、シャフト（３０）を往復移動させてスクレーパ（３４）がパイプ（１４）内に付着した粒状物を取り除く。窒素又は乾燥空気のような加熱ガスをスリーブ（１６）に注入して洗浄液体がスリーブ（１６）内で凝縮するのを防止し、かくして、スリーブ内での粒状物の付着を抑制する。
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本発明は、有害物質を含む廃気を浄化するための装置であって、光酸化原理に係る反応段を有するものに関する。この反応段は、管状紫外発光素子が廃気の流れ方向に沿って内側に配置された、少なくとも１つの空気路を含む。廃気路内における分解効率を簡単な方法で高めるために、前記少なくとも１つの空気路の断面が、少なくとも５つの辺を有する正多角形として具体化される。

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【課題】吸脱着処理した比較的低濃度（１０００ｐｐｍ以下）の塩化メチレンを主溶剤とする排気ガスを多量に、かつ、安価にしかも手軽に有害物質を生成することなく分解する方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも一種類のハロゲンを有する化合物を含有する排気ガスを放電により分解処理することを特徴とする排気ガスの処理方法。 （もっと読む）

【課題】 ドライクリーニング等の廃液中に含まれる塩素系有機物を分解、除去するための廃液処理方法および廃液処理装置であって、処理効率に優れ、塩素系ガス等の２次副産物の排出を抑制し得る廃液処理方法および廃液処理装置を提供する。
【解決手段】 塩素系有機物を含有する廃液を気化処理し、これによって生じた塩素系有機物を含む気化ガスを、光触媒顆粒体がガス流通管路に充填されてなる光触媒反応部に送入し、この光触媒反応部に紫外線光源から光を照射することによって、気化ガスを光酸化分解させ、該光酸化分解によって生成された分解生成ガスを、処理剤によって吸収、吸着、中和させる。 （もっと読む）

【課題】 減圧処理室から未反応の原料ガスや反応副生成物ガスを排気するための真空ポンプの安定稼動を保証するとともに、反応副生成物を効率良く回収して資源の有効利用およびランニングコストの低減をはかること。
【解決手段】 この減圧ＣＶＤ装置は、減圧ＣＶＤ法によって銅の成膜を行うための処理室１０と、この処理室１０に原料ガスとして有機銅化合物たとえばＣｕ（I）ｈｆａｃＴＭＶＳを供給するための原料ガス供給部１２と、処理室１０を真空引きして排気するための真空排気部１４とで構成されている。真空排気部１４は、真空ポンプ２６と、その前段および後段にそれぞれ設けられた高温トラップ装置２８および低温トラップ装置３０とで構成されている。高温トラップ装置２８では処理室１０からの排気ガスに含まれている未反応のＣｕ（I）ｈｆａｃＴＭＶＳが分解して金属銅がトラップされ、低温トラップ装置３０では反応副生成物のＣｕ（II）（ｈｆａｃ）2がトラップされる。 （もっと読む）