【課題】セラミックやガラスのような金属部材より割れ易い相手部材を破損しないような締付力で締め付けても、高いシール性を実現できるガスシール複合体及び該ガスシール複合体を備えた装置を提供すること。
【解決手段】ガスシール複合体７は、環状の一対のガスケット（先端側ガスケット４３、基端側ガスケット４５）とその両ガスケット４３、４５の間に挟まれた環状の金属箔部材４７とから構成されている。両ガスケット４３、４５は、膨張黒鉛からなる耐熱性のガスケットである。両ガスケット４３、４５は、前記空間４１内にて、押圧金具９の押圧によって圧縮された状態、従って周囲を押圧した状態に保持されているので、この空間４１における原料ガスの漏出を防止している。 （もっと読む）

【課題】水素透過膜の水素透過速度を精度にて予測することができる方法と、この方法を採用した水素製造装置及びその運転方法を提供する。
【解決手段】１次室に原料ガスを供給し、水素分離膜を透過した水素を２次室から取り出す水素分離プロセスにおける該膜の水素透過速度を推定する方法であって、１次室の水素分圧Ｐ_１、２次室の水素分圧Ｐ_２及び温度Ｔから求まる１次室と２次室との水素の化学ポテンシャル差Δμと、水素透過速度Ｊとの関係を求めておき、１次室の水素分圧をＰ’_１とし、２次室の水素分圧をＰ’_２としたときの水素透過速度をこの関係から求める。この方法で推定されるＪ値との積Ｊ・Ａが目標水素取出量となるように、１次室及び２次室のガス圧及び温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】原水から上澄水を引き抜く場合にも膜ろ過される原水の水量を減らさず、かつ、膜の目詰まりを防止することが可能な排水処理システムおよび排水処理方法を提供する。
【解決手段】上澄水引抜きポンプ１５０が駆動され、無酸素槽１０内の原水のうち上澄水が引き抜かれる。当該上澄水は配管１５４を流れ、配管１５４の注入口１５６から凝集剤が添加された後、ラインミキサ９０で混合され、さらに配管１５４を流れて、最初沈殿池７０に返送される。 （もっと読む）

【課題】
熱亀裂が防止されたゼオライト分離膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
アルミナ系原料、シリカ系原料、水酸化ナトリウムを水に溶かして水溶液を用意する段階と、水溶液を撹拌して水熱溶液を用意する段階と、ゼオライト粉体の湿式振動粉砕及び遠心分離を通して種結晶スラリーを用意する段階と、種結晶を真空ろ過法で前記支持体に通過させ、種結晶を支持体の表面に付着し、支持体の表面から深さが３μｍになる領域から支持体全体の厚さの５０％になる領域にまで付着する段階と、水熱溶液を水熱反応器に入れ、種結晶が付着された支持体を水熱溶液に浸して水熱処理を行い、支持体の表面だけでなく、支持体の内部にまで緻密なゼオライト分離層を成長させる段階とを提供することによって、ゼオライト分離層の熱亀裂が抑制され、加熱工程と加熱された目的工程温度で安定的かつ優れた分離性能を有するゼオライト分離膜を製造できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 パラジウム合金の薄膜を利用した水素精製において、装置を大きくすることなく、単位時間当たりの精製水素の取出し量を従来よりも大きくできる水素精製装置、さらに水素分離膜の厚みを薄くしても、水素分離膜の機械的強度の低下が少ない水素精製装置を提供する。
【解決手段】 一端が封じられた複数本のパラジウム合金細管と、該細管の開口端部において該細管を支持する管板とによって、セル内部が一次側空間と二次側空間に仕切られ、不純物を含む水素を一次側空間から導入し、パラジウム合金細管を透過させて二次側空間から精製水素を取出す水素精製装置であって、パラジウム合金細管が、開口端部、円筒中央部、及び閉口端部からなり、円筒中央部の筒径が開口端部の管板の位置における筒径よりも大きい水素精製装置とする。 （もっと読む）

【課題】多孔質のセラミックを用いたガス分離装置において、ガスのシール部分における締付力を十分に高めてガスシール性を高めることができるガス分離装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】ガス分離装置は、一方の側から供給された原料ガスから分離対象となる所定のガスを分離して他方の側に供給するための部材であり、一端が閉塞された試験管状の筒状体である。このガス分離装置１の閉塞された先端側には、主として多孔質セラミックからなり、所定のガスを分離する機能を有する試験管状のガス分離部３が設けられ、その開放された基端側には、ガス透過性の無い緻密質セラミックからなる筒状の緻密部（封止部）５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】水素化物系ガスを含む混合ガスを高い回収率を維持しつつ分離して、水素化物系ガスを高純度に濃縮する。
【解決手段】気体分離膜が収容された密閉容器の未透過ガス排出口を閉止し、透過ガス排出口を開放した状態で、ガス供給口を開放して密閉容器内に混合ガスを供給し、充圧する第１の過程と、混合ガスの供給開始から所定時間が経過したとき又は密閉容器内が所定の圧力に到達したときに、ガス供給口を閉止して混合ガスの供給を停止し、当該状態を保持する第２の過程と、保持状態の開始から所定時間が経過したとき又は密閉容器内が所定の圧力に到達したときに、未透過ガス排出口を開放して水素化物系ガスを回収する第３の過程と、回収開始から所定時間が経過したとき又は密閉容器内が所定の圧力に到達したときに、未透過ガス排出口を閉止する第４の過程を備え、第１〜第４の過程を連続的に繰り返すことを特徴とするガス分離方法である。 （もっと読む）

【課題】水素選択性及び水素透過性が高い無欠陥化水素分離膜及びその製造方法、この無欠陥化水素分離膜を用いた水素分離方法を提供する。
【解決手段】多孔性支持体の表面細孔に実質的に侵入することなく前記多孔性支持体上に形成されたパラジウムからなる第１金属層と、前記第１金属層の上に該第１金属層表面に開口する欠陥を閉塞しつつパラジウムを堆積することで形成された第２金属層とを有する金属薄膜を備える無欠陥化水素分離膜。 （もっと読む）

【課題】パラジウム−銅合金膜の特性を活かした、水蒸気改質反応と水素の分離精製を効率良く行うことが可能な膜分離型反応器を提供する。
【解決手段】パラジウムと銅を含み、平均銅含有率が３８〜４８質量％の水素分離膜２と、炭化水素を水蒸気改質する水蒸気改質触媒からなり、前記水素分離膜２の外周側に配設された水蒸気改質触媒層３とを具え、前記水素分離膜２は、炭化水素と水蒸気の入口部を上流として、上流側半分２Ａと下流側半分２Ｂとの平均銅含有率の差が４〜１０質量％であることを特徴とする、膜分離型反応器１である。 （もっと読む）

【課題】高温下での水素透過率に優れたＣｕ−Ｐｄ合金を提供する。
【解決手段】Ｃｕ、Ｐｄ及びＡｌで構成される水素透過性銅合金であり、Ｃｕ、Ｐｄ及びＡｌの原子濃度（ａｔ％）をそれぞれ［Ｃｕ］、［Ｐｄ］及び［Ａｌ］とすると、［Ｐｄ］／（［Ｃｕ］＋［Ｐｄ］）＝４１〜５０％、［Ａｌ］／（［Ｃｕ］＋［Ｐｄ］）＝０．０５〜４．０％であって、式：［Ａｌ］／（［Ｃｕ］＋［Ｐｄ］）≦（２／９）×［Ｐｄ］／（［Ｃｕ］＋［Ｐｄ］）−（０．６４／９）
の関係を満たす水素透過性銅合金。 （もっと読む）

【課題】効率的に水蒸気改質反応を行いながら、水素分離膜による水素の分離精製を同一の反応器内で効率的に行うことが可能で、結果としてコンパクトでかつ高い収率で水素を製造することが可能な膜分離型反応器を提供する。
【解決手段】外表面に水素分離膜を有する水素分離膜管２と、水素分離膜管２の外側に配置された内管３と、内管３の外側に配置された中管４と、中管４の外側に配置された外管５とを具え、水素分離膜管２と内管３との間の空間が膜分離型反応器１の一端で内管３と中管４との間の空間と連通しており、内管３と中管４との間の空間が膜分離型反応器１の他の一端で中管４と外管５との間の空間と連通しており、中管４と外管５との間の空間には水蒸気改質触媒が充填されており、水素分離膜管２と内管３との間の空間には水蒸気改質触媒又はシフト反応触媒が充填されていることを特徴とする膜分離型反応器１である。 （もっと読む）

【課題】改質触媒一体化モジュールにおいて、より抵抗の大きい改質触媒兼支持体内の流路を短くしてガス圧損を低減し、エネルギー損失を抑えた水素製造装置を得る。
【解決手段】原料ガスの流路およびオフガスの流路となる中空部を持つ内挿管と、前記内挿管の外周に改質触媒兼支持体を配置するとともに、前記改質触媒兼支持体の外周面に水素分離膜を配置し、内挿管の内腔の横断面中心部に当該内腔を長手方向に仕切る仕切壁を設けて長手方向の二つの中空部を構成するとともに、各中空部の仕切壁と相対する側の一方の前記内挿管の長手方向に原料ガス噴出孔を設けるとともに、他方の前記内挿管の長手方向にオフガス流出孔を設ける等の構成を有する水素製造装置。 （もっと読む）

【課題】改質触媒兼支持体の支持体として緻密中空支持体を用い、また水素分離膜の支持体として改質触媒兼支持体を用い、原料ガス、水素、オフガスの全ガスが改質触媒兼支持体を通過するようにしてなる水素製造装置を得る。
【解決手段】原料ガスの流路である中空部を持つ緻密中空支持体と、前記緻密中空支持体の外周面に多孔質からなる改質触媒兼支持体を密着させて配置するとともに、前記改質触媒兼支持体の外周面に水素分離膜を配置してなり、原料ガスを前記緻密中空支持体内側の中空部に通し、その流れ方向の先端部で折り返して前記改質触媒兼支持体中を流れながら原料ガスから改質ガスを生成し、生成改質ガスを水素分離膜により精製して高純度水素を製造するようにしてなることを特徴とする水素製造装置。 （もっと読む）

【課題】効率的に水蒸気改質反応を行いながら、水素分離膜による水素の分離精製を同一の反応器内で効率的に行うことが可能で、結果としてコンパクトでかつ高い収率で水素を製造することが可能な膜分離型反応器を提供する。
【解決手段】外表面に水素分離膜を有する水素分離膜管１１と、水素分離膜管１１の外側に配置された内管１２と、内管１２の外側に配置された外管１３とを具え、水素分離膜管１１と内管１２との間の空間が膜分離型反応器１０の一端で内管１２と外管１３との間の空間と連通しており、内管１２と外管１３との間の空間には水蒸気改質触媒が充填されており、水素分離膜管１１と内管１２との間の空間には水蒸気改質触媒又はシフト反応触媒が充填されていることを特徴とする、膜分離型反応器１０である。 （もっと読む）

【課題】外膜式円筒型反応管を含む水素製造装置における内挿管と改質触媒兼支持体との間に滞留するオフガスを取り除き、水素回収率を上げる水素製造装置を得る。
【解決手段】原料ガスの流路である中空部を持つ内挿管と、前記内挿管の外周面側に間隔を置いて改質触媒兼支持体を配置するとともに、前記改質触媒兼支持体の外周面に水素分離膜を配置し、原料ガスを前記内挿管の中空部に通し、その流れ方向の先端部で折り返して前記内挿管と前記改質触媒兼支持体との間を流れながら原料ガスから改質ガスを生成し、生成改質ガスを水素分離膜により精製して高純度水素を製造するようにしてなる水素製造装置であって、原料ガス排出側の流路を遮断することにより原料ガスを強制的に改質触媒兼支持体に流入させるようにしてなるとを特徴とする水素製造装置。 （もっと読む）

【課題】透過性能を維持しつつ分解性能を向上させるための、簡便なシリカ膜の処理方法を提供する。
【解決手段】多孔質基材上にシリカゾルを付着させ、シリカゾルを乾燥し、その後焼成することによりシリカ膜を得、そのシリカ膜に対し、その膜表面に水を接触させる水処理を施し、その後、３００℃以下で乾燥させる乾燥処理を行う処理方法である。水処理は、流下法で行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理するシステムを小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システム１００は、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。この排ガス処理システム１００は、半導体製造装置から排出された混合ガスを排気するポンプ部２と、ポンプ部２により排気された混合ガスを圧縮して後段へ送る圧縮機１１と、圧縮された混合ガスを集めて収容するガス収容部３と、ガス収容部３から供給された混合ガスの流量を制御する流量制御部４と、水素を選択的に透過させ、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部６と、を備える。これにより、半導体製造装置１から排出された混合ガスの圧力変動を緩和し、安定して排ガス処理システムを運転することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。排ガス処理システムは、水素を選択的に透過させる半透膜を有し、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部４と、膜分離部４によって分離された水素の回収率に関する情報を取得し、水素の回収率を算出する水素回収率取得手段と、水素回収率の変化に応じて膜分離部の透過側圧力を制御する圧力制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス分離体とこれ固定保持する部材との接合箇所でガスの漏出が生じにくいガス分離体固定構造体およびその使用方法を提供する。
【解決手段】多孔質基体１１とその表面上に設けられたガス分離膜１２と有するガス分離体３と、ガス分離体３を収容する凹部２４を有する収容部材２１と、ガス分離体３の外周面１８と側壁２６との隙間２８に設けられたシール部材２２と、隙間２８において軸２０方向でシール部材２２を挟み込み加圧する締付部材２３と、を備え、ガス分離体３の熱膨張率に対する収容部材２１の熱膨張率の比が０．５５以上０．９５以下であるガス分離体固定構造体１。 （もっと読む）