【課題】 特許文献１及び特許文献２に記載の従来の技術は、被処理液内で平膜と攪拌板とが相対回転して被処理液を分離する構造で、被処理液中の分離すべき粒子が常に攪拌されて被処理液全体に再拡散し、粒子の濾過効率が悪く、粒子が微粒子化するほど顕著になる。
【解決手段】 遠心分離膜装置２０は、原料液が供給される回転容器１１と、この回転容器１１に回転力を付与する回転軸１２と、この回転軸１２に回転容器１１内に位置させて装着された分離膜モジュール１３とを備え、回転軸１２を介して回転容器１１を回転させて原料液に遠心力を付与し、この遠心力及び分離膜モジュール１３の作用で原料液中の微粒子を分離する。 （もっと読む）

【課題】 フォトレジスト含有排水を良好な凝集濾過性及び運転安定性で処理することのできるフォトレジスト含有排水の処理方法を提供する。
【解決手段】 フォトレジスト含有排水のｐＨを酸性に調整してから、フォトレジストの凝集沈殿に適するようにｐＨを調整してフォトレジストを凝集沈殿させ、膜処理を行う。排水中に銅が含まれる場合には、フォトレジストを凝集沈殿させるためのｐＨ調整前に、酸性へのｐＨ調整後のフォトレジスト含有排水のｐＨを一旦アルカリ性に調整する。 （もっと読む）

本明細書には、樹状高分子を用いた水浄化用に有用な組成物及び方法が記載されている。当該方法には、汚染物質と結合させるために樹状高分子（デンドリマー）を用いる段階、そして水を生成させるためにろ過を行う段階（汚染物質が除去又は変性される）が含まれる。上記方法に用いることができるデンドリマーの例には、カチオン結合性デンドリマー、アニオン結合性デンドリマー、有機化合物結合性デンドリマー、レドックス活性デンドリマー、生物学系化合物結合性デンドリマー、触媒性デンドリマー、殺菌性デンドリマー、ウイルス結合性デンドリマー、多機能性デンドリマー、及びそれらの組み合わせが含まれる。上記方法は、大規模実施化が簡易であり、そしてカスタマイズ向けの選択肢が多い。
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【課題】オゾンを簡易な方法で容易かつ確実に分解することができるオゾン分解方法、オゾン分解装置、および、排液中のオゾン濃度を低減可能な処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明のオゾン分解装置１は、流入口２１と流出口２２とを備える本体部２と、本体部２内の空間を、流入口２１側と流出口２２側とに仕切るように設けられた複数のフィルター部材３とを備えている。各フィルター部材３は、それぞれ、気体が通過可能な支持体３１と、支持体３１の表面に担持された触媒３２とで構成されている。オゾン分解装置１内では、触媒３２の表面で、オゾンと水素イオンとが接触することにより、オゾンが分解される。 （もっと読む）

ガス貯留層（１０４）を覆うガス透過層（１０２）を有する弾力性多層ゲッター（１００）。具体例では、前記透過層（１０２）はガス貯留層（１０４）の部分を覆っている。もう一つの具体例では、障壁（１０６）は前記ガス貯留層（１０４）の部分を覆っている。前記障壁は箔基材、不動態層又はガス透過層を含み得る。 （もっと読む）

【課題】非溶媒を混合して適度な溶解性の混合溶媒を用いることで、液−液相分離を生じさせて機械的強度等が良好な多孔質膜を実用的な方法で得ることができる多孔質膜、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくともポリフッ化ビニリデン系樹脂が相分離温度以上で溶媒に加熱溶解した製膜溶液を、相分離温度以下に冷却して凝固させる多孔質膜の製造方法において、
前記溶媒は、三次元溶解性パラメータを用いて、式（２）で定義される貧溶媒と式（３）で定義される非溶媒とを混合した混合溶媒であって、両者の溶媒が式（４）を満たすとともに、前記混合溶媒が式（１）を満たすことを特徴とする多孔質膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】濾過−逆洗サイクルを繰り返した場合であっても、円筒濾過体の表面にしわが発生せず、このしわによる、信頼性の低下を防止するとともに、濾過円筒体の長寿命化を可能とすると共に、メンテナンス作業での、円筒濾過体の損傷の発生防止や作業困難性の解消を可能とする円筒濾過体用支持体を提供する。
【解決手段】
柔軟な濾過部を有する円筒濾過体内部に挿入されて、該内部より該円筒濾過体を支持するための略円筒状の円筒濾過体用支持体において、該円筒濾過体用支持体の外側面に該円筒濾過体用支持体の軸方向に垂直な断面での外周の長さを該外周に外接する円の円周より長くするための凹部が設けられている円筒濾過体用支持体。 （もっと読む）

【課題】 イオン交換膜の使用量を低減すると共に、装置からの水漏れのない電気式脱イオン水製造装置を提供すること。
【解決手段】交互に配設される複数枚の陽イオン交換膜６と陰イオン交換膜９の間に、窓状の開口４１、５１を有する枠体４、５を介在させて濃縮室と脱塩室を交互に積層して形成される電気式脱イオン水製造装置１０において、窓状の開口の包囲部４７、５７に被処理水、脱塩水及び濃縮水が流れる連通孔４２、４３、４４をそれぞれ形成し、イオン交換膜６、９の外縁の寸法を枠体４、５の外縁の寸法より小さく且つ連通孔４２、４３、４４を回避する大きさとし、イオン交換膜６、９の外側にフィルム状膜包囲スペーサー７を配設する。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、且つ上記した密着力の低下の問題が改善された除湿素子およびその製造方法を提案することを課題とする。
【解決手段】除湿素子１０は、除湿膜１１、陽極給電体１２、陰極給電体１３、第一部材１４、第二部材１５、機械的固定部材の一例としての２個のハトメ１６、絶縁皮膜１７、粘着板１８、およびリード線１９を含む。２個のハトメ１６のうちの一個は、陽極給電体１２と電気的に接触して陽極端子１２１として機能し、その頂部にはリード線１９が半田付けされている。残るハトメ１６は、陰極給電体１３と電気的に接触して陰極端子１３１として機能し、その頂部にはリード線１９が半田付けされている。 （もっと読む）

【課題】 循環式の処理装置において、装置の耐食性を高め、運転上の信頼性を確保する。
【解決手段】 処理部１５と該処理部１５に向けてダウンフロー気流を吹出すダウンフロー発生部１６を設けた処理ユニットＵ１と、処理ユニットＵ１の処理部１５内の有害物質を含む汚染空気を浄化して清浄な還流空気としてこれをダウンフロー発生部１６へ還流させる空気浄化ユニットＵ２を備えた処理装置において、処理ユニットＵ１と空気浄化ユニットＵ２間の空気循環系に存在する部位及び部材を耐薬品性及び耐腐食性を備えた構成とする。係る構成によれば、処理装置のうち、有害物質を含んだ汚染空気の循環系に存在して該有害物質による腐食が懸念される部位及び部材にそれぞれ所要の腐食対策を施すことで、処理装置全体としての耐食性能が向上し、装置運転上の信頼性が確保されるものである。 （もっと読む）

【課題】海水等塩素成分を含有する水を被処理水として陽極側電解室Ｒ1にて電解処理し、電解処理にて生成された処理水を脱気膜にて脱気処理し、脱気処理にて生成された処理水を陰極側電解室Ｒ2にて電解処理することからなる除菌水の製造において、陽極側電解室Ｒ1と陰極側電解室Ｒ2間で生じる圧力差に起因して発生する各問題を解消する。
【解決手段】陽極側電解室Ｒ1と陰極側電解室Ｒ2とを区画形成する隔膜として、透水性で気液分離能を有する透水性脱気膜２２を採用してなる有隔膜電解槽を採用し、被処理水を陽極側電解室Ｒ1にて電解処理し、電解処理にて生成された電解生成水を透水性脱気膜２２を透過して脱気処理し、脱気処理された電解生成水を陰極側電解室Ｒ2にて電解処理することによって除菌水を製造する。 （もっと読む）

【課題】 供給した原料ガスをセル全体に十分に行き渡らせることができ、しかも装置を小型化できる電気化学式ガス濃縮器を提供すること。
【解決手段】 酸素濃縮スタック（１）は、３枚の円盤状のセル（９）が、１ｍｍ以下の間隙（４１）を介して、板厚方向に軸中心を揃えて積層配置されたものである。また、空気はセル（９）の中央部にある空気導入管（１３）から間隙（４１）に供給される構成であり、一方、濃縮された酸素は、セル（９）の中央部にある酸素取出管（１１）から取り出される構成である。 （もっと読む）

【課題】 気液分離エレメントとしての強度を十分に確保しつつ、不必要な加湿を行うことなく、汚染ガス除去を目的とした純水の利用効率を向上させる。
【解決手段】 多孔質膜１を介して気液接触を行うことにより非清浄空気Ａ′中の汚染ガスＧを液体（純水Ｗ）中に分離除去する気液分離エレメントにおいて、前記多孔質膜１の空気側に、補強用の保護シート３を貼設して、流速の遅い液側の境界部における流れが良くなって、液の流れの中心部と多孔質膜１の付近との溶存ガス濃度勾配が緩和されるようにしている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】
処理水中の残留処理剤のモニタ方法であって、フルオレセイントレーサで標識又は追跡した少なくとも２つの異なる投与量の処理剤で、水の蛍光強度が処理剤の残留濃度（ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏ）と相関している方法。また、異なる処理剤投与量での蛍光応答を用いて、継続的に最適な処理剤投与量を自動で決定し、それによって処理剤投与量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハや表示装置の製造方法に於いて、フィルタの表面に形成される第２のフィルタ膜が目詰まりを起こす事等によるフィルタの濾過能力低下を阻止するために、気泡発生装置により第２のフィルタ膜をコントロールするが、その方法が困難である課題があった。
【解決手段】 本発明の半導体ウェハの製造方法に於いて、または表示装置の製造方法に於いて、原水タンク１底部に散気管２６、２７、２８を設置する。そして、散気管２６、２７、２８の両端から同圧力で空気を送り込むことで、散気管２６、２７、２８から発生する気泡を均一にする。そのことで、フィルタ４表面に形成される第２のフィルタ膜２１を調整し、フィルタの濾過能力を常に、一定の最適値に維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来のような大規模な排水回収装置を設置する必要がなく、省スペース化が図れるか、あるいは更に、排水を劇的に低減できる排水回収方法及び排水回収装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置２０で得られた超純水を各ユースポイント１４に供給し、各ユースポイント１４から排出される排水のうち、０．０１〜１０００ｍｇ/ｌ濃度の無機イオン成分を含有する排水を、電気脱イオン装置１５へ供給して脱イオン処理を行い、電気脱イオン装置１５の処理水を超純水製造装置２０に返送する。 （もっと読む）

本発明は、トラックエッチングメンブレン、メンブレンカード、メンブレンスタック、分離要素、分離装置、及び分離プラントの製造方法、液体やガス媒体から粒子を分離するためのこれらの使用方法、及びメンブレン細孔の最大直径の決定方法に関する。本発明のトラックエッチングメンブレンの製造方法は、ポリマーフィルムに重イオン攻撃を及ぼしてポリマーフィルム中に決定されたトラック密度を形成するステップと、このようにして得ることができる多孔質トラックエッチングメンブレンを接着剤の使用により多孔質基材上に積層してメンブレンカードを製造するステップとを有する。メンブレンスタック及びターブュライザを、分離装置が形成されるような仕方で、処理済み液体（ガス）媒体の収集のためのコレクタ管に螺旋に巻き付ける。分離装置は、分離プラント中に組み込まれ、分離プラントは、処理済み液体（ガス）媒体コレクタ、初期未処理及び処理済み液体（ガス）媒体のパイプライン、未処理及び処理済み液体（ガス）媒体のパイプラインに連結されていて、初期処理済み液体（ガス）媒体から抽出された重要であると考えられる量の粒子がメンブレン上に集められたときに、分離プラントをバックフラッシュモードに切り換える圧力センサを更に有する。 （もっと読む）

【課題】電子デバイス製造工場、その他各種の分野から排出される高濃度ないし低濃度の有機物と酸化剤とを含有する排水を活性炭塔とＲＯ膜分離装置を用いて処理・回収する際、ＲＯ膜分離装置内での有機物の膜面付着によるフラックスの低下、活性炭塔及びＲＯ膜分離装置内でのバイオファウリングを防止して長期にわたり安定な処理を行うと同時に、水中ＴＯＣ濃度を効率的に低減して高水質の処理水を得る。
【解決手段】有機物及び酸化剤含有排水に、水中のカルシウムイオン濃度の５重量倍以上のスケール防止剤を添加すると共に、アルカリを添加してｐＨを９．５以上に調整した後、活性炭塔１及びＲＯ膜分離装置３に通水する。ＡＣ給水のｐＨを９．５以上にすることにより活性炭塔１及びＲＯ膜分離装置３でのバイオファウリングを防止し、また、非イオン性界面活性剤のＲＯ膜面付着を防止してフラックスの低下を防止する。スケール防止剤の添加により、高ｐＨ条件での炭酸カルシウムスケールによるＲＯ膜面閉塞を抑制する。 （もっと読む）

脱気用の装置と固形粒子用フィルタ装置を別々に必要とした従来の処理液濾過装置の省スペース化と低コスト化をはかる。 被処理液の導入口５、濾過液の吐出口７及び脱気用の吸引口９を有するヘッド部３、前記ヘッド部に一体又は着脱自在に気密結合されたハウジング１、前記ハウジング内の上流側に収容された複数の脱気用中空糸３３、及び前記ハウジング内において前記脱気用中空糸の下流側に収納されたフィルタエレメント１３よりなり、前記導入口５は前記中空糸３３の外面側に連通し、前記吐出口７は前記フィルタエレメント１３の下流側に連通し、前記吸引口９は前記中空糸３３の内部通路に連通している、フィルタユニット。
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【課題】 排水が無機イオンを含有していても、逆浸透膜で透過水と濃縮水とに分離する際の膜面にスケールが付着することがない排水の処理装置を提供する。
【解決手段】 有機窒素化合物及び／又はアンモニア態窒素と無機イオンとを含有する排水の供給手段５と、供給手段５からの排水を受け入れ、曝気処理により有機窒素化合物を微生物分解すると共に硝化を行う曝気槽３２と、曝気槽３２内の混合液を固液分離する固液分離手段３３と、固液分離手段３３で分離された分離水を軟化する軟化手段２と、軟化手段２からの流出液を逆浸透膜により透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離手段３と、前記濃縮水を生物学的に脱窒処理して脱窒処理水を得る脱窒手段４とを備える構成により、上記課題を解決した。 （もっと読む）