【課題】逆浸透膜や軟化器などを前段に設置せずとも、脱塩室内の硬度スケールの析出を防止する省電力型のＥＤＩの運転方法及びＥＤＩを提供すること。
【解決手段】陽極側がアニオン交換膜で区画され陰極側がカチオン交換膜で区画され且つアニオン交換膜とカチオン交換膜の間に位置する中間のカチオン交換膜で区画されるメッシュ状スペーサーが装填された第１小脱塩室とイオン交換体が充填される第２小脱塩室を内包する脱塩室と、脱塩室と脱塩室の間に配置された濃縮室を備える電気式脱イオン水製造装置を用い、硬度成分を含有する被処理水を第１小脱塩室と第２小脱塩室にこの順序で直列に通水させ脱イオン水を得ると共に、脱塩室の硬度スケールの析出を防止する。 （もっと読む）

【課題】熱効率の向上と小形化を図った電気化学セルを提供する。
【解決手段】電解質２の両面に電極３、４を配した電気化学セル１において、前記電極３、４の外側にガス透過性を有する熱反射層６、７を一体的に設ける。熱反射層６、７は、表面の放射率が０．１以下である多孔質金属層２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】厚みが比較的厚くてもＰＦ値が大きいＰＴＦＥ多孔質膜を提供する。
【解決手段】本発明のＰＴＦＥ多孔質膜の製造方法は、熱可塑性樹脂を含む殻内に前記熱可塑性樹脂の軟化点よりも沸点が低い揮発性膨張剤が封入された熱膨張性マイクロカプセルとポリテトラフルオロエチレン微粉末とを含む混合物をシート状物へ加工した後、前記シート状物を少なくとも１軸方向に、前記熱可塑性樹脂の軟化点未満の温度で延伸する工程を含み、前記工程において、前記シート状物を得た後に、前記揮発性膨張剤の沸点以上前記熱可塑性樹脂の軟化点未満の温度で、前記熱膨張性マイクロカプセルを加熱することにより、前記殻を膨張させることを特徴とする。 （もっと読む）

可燃性ガスを含むガス流を排出するためのシステムは、固体酸化イオン伝導膜（２０）と、ガス流を、減圧で、膜の一方の側に引くための真空ポンプ（３６）と、を含む。膜の他方の側は、酸化ガスに暴露しており、反応性酸化種が膜に浸透し、可燃性ガスと反応して少なくとも水蒸気を生成するように電位差が膜に加えられる。ガス流は、続いて真空ポンプ（３６）に受け入れられる。真空ポンプは、ガス流を水に暴露する排気機構を有していてもよく、水蒸気は、ガス流から凝縮される。変形例として、凝縮器（１４）を、ガス流から水蒸気を凝縮するために、ポンプと膜の間に設けてもよい。
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【課題】液晶製造工場や半導体製造工場の回収プロセスにおいて生じるアンモニアを含む排水の処理方法において、塩化ナトリウムなどの塩素含有薬剤の使用量を低減し、イオン負荷の増加を抑えて各種装置の大型化を抑制し、廃棄物の量および電力消費量を削減する。
【解決手段】アンモニア含有水の処理を、少なくともアンモニアを含む排水に、イオン交換処理、逆浸透膜処理または電気式脱イオン処理を施すことにより、被処理液を得る被処理液調製工程Ａと、前記被処理液を電解して前記アンモニアを分解・除去し、処理廃液を得る電解工程Ｂと、で行う。 （もっと読む）

本発明は、液体／固体分離ステップ（１）と、前記ステップに続いて少なくとも１つの濾過ステップ（２）を含む水処理方法に関する。本発明は、液体／固体分離ステップ（１）が１５ｍ／ｈより多い表面速度にて実施される沈降ステップを含み、濾過ステップ（２）が少なくとも１つの精密濾過または限外濾過膜で直接実施されることを特徴とする。
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【課題】 被処理水の制菌処理用に特別の機器を設けることなく制菌処理を行うことのできる、電気脱イオン装置を備えた水処理システム、及び当該水処理システムを用いた被処理水の制菌方法を提供する。
【解決手段】 水処理システム１は、電気脱イオン装置２と、前記電気脱イオン装置２の陰極室２２からの排水を前記電気脱イオン装置２の前段の所定の場所に通水する返送管９とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用済みエッチングガスを処理する際に生成する水を再利用し、排水量を大幅に削減する。
【解決手段】処理装置１００は、エッチング装置７２から排出される使用済みエッチングガスを燃焼させる除害施設７４と、除害施設７４にて排出されるガスに水を接触させ反応させてフッ化水素を生成させるスクラバー５３と、スクラバー５３にて生成されるフッ化水素をカルシウム化合物と反応させフッ化カルシウム含有処理液２２を生成させる生成槽２０と、生成槽２０からのたフッ化カルシウム含有処理液２２を膜濾過して固液を濾別する処理槽３０と、処理槽３０にて沈殿したフッ化カルシウムを回収するフィルタプレス３６と、フィルタプレス３６にて回収されたフッ化カルシウムに酸を添加し反応させてフッ化水素を生成させる再生槽４０と、処理槽３０にて濾別された濾過水をスクラバー５３に戻す水再利用ラインと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 機械的強度が高く、かつ透水性能が高い中空糸状半透膜の提供。
【解決手段】 中空糸状の組紐の外表面に半透膜層を有する中空糸状半透膜であり、組紐と半透膜層の間に組紐に半透膜層の一部が入り込んだ複合層を有し、半透膜層が平均孔径０．０１〜５μｍの範囲の空孔を有しており、前記半透膜層の厚さが前記組紐の厚さの１／３以下である中空糸状半透膜。 （もっと読む）

【課題】高ＴＯＣ含有ＣＭＰ排水を処理して良好な水質の水を効率的に回収する。
【解決手段】高ＴＯＣ含有ＣＭＰ排水をＵＦ膜分離処理した後濾過水をｐＨ１１〜１２で第１ＲＯ膜分離処理し、その透過水をｐＨ６．５〜７．５で第２ＲＯ膜分離処理する高ＴＯＣ含有ＣＭＰ排水からの水回収方法。第１ＲＯ膜分離処理では、高アルカリ条件でＴＯＣ濃縮による膜フラックスの低下とスライム発生を抑制し、第２ＲＯ膜分離処理で水質を高める。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤中へのゼオライト膜の原料に由来する不純物の混入を十分抑制しうるゼオライト分離膜及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、支持体と、支持体に設けられるゼオライト膜とを備えるゼオライト分離膜の製造方法において、支持体とゼオライト膜の原料を含む反応液とを接触させ、支持体の表面上に、ゼオライト結晶からなるゼオライト膜素体を形成する膜素体形成工程と、ゼオライト膜素体を洗浄する洗浄工程と、洗浄工程後に、ゼオライト膜素体を水中に浸漬させて、ゼオライト膜を得る浸漬工程と、を備えることを特徴とするゼオライト分離膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高度な微粒子捕捉性能と透過流速を実現し、優れた膜モジュールの完全性を実現した中空糸膜モジュールとその製造方法を提供する。
【解決手段】ポリエチレン樹脂から成る中空糸膜１を複数結束して、この中空糸膜１の結束端部をポッティングして封止部４を設けた中空糸膜モジュールである。前記中空糸膜１は膜断面において最も平均孔径の小さい緻密層２を最外層に有し、該緻密層２よりも平均孔径が大きい支持層３を中間層或いは最内層に有する。高度な分離機能を担う前記緻密層２を、分離機能を備えた前記支持層３で支持して構成される中空糸膜モジュールである。 （もっと読む）

【課題】ろ過効率が高くフィルタ寿命も長く安価に製造できるカートリッジフィルタ装置を提供する。
【解決手段】プリーツ折りしたろ材、コア、スリーブ、及び二つのエンドキャップ（上下蓋部）とを有するカートリッジフィルタ装置において、プリーツ折りに直交するフィルタ材断面中には、コア側にスリーブに至らない山折線部を設け、スリーブ側に前記山折線部よりもコア側に接近した谷折線部を設け、それによりこれらの山折線部と谷折線部がプリーツを介して互いに重畳することによりフィルター材の座屈を防止した。 （もっと読む）

【課題】 多孔質支持体膜の孔径を小さくした改質多孔質支持体膜及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 少なくとも、孔径構造を有する多孔質支持体膜、及び、該支持体膜を形成する物質とは異質の高分子からなる改質多孔質支持体膜の製造方法であって、該支持体膜内部に、該高分子を溶媒に溶解した高分子溶液を透過させる透過工程、及び、該支持体膜の該孔径構造表面に付着した該溶液から溶媒を蒸発させることにより、該高分子が付着した高分子付着層を該孔径構造表面に形成する高分子付着工程を含むことを特徴とする改質多孔質支持体膜の製造方法、並びに、改質多孔質支持体膜。 （もっと読む）

【課題】複数成分のガスを含有する被処理ガスから特定ガスを安価で高純度に分離することができるガス分離装置及びガス分離方法を提供する。
【解決手段】複数成分のガスを含有する被処理ガスから特定ガスを分離、濃縮するガス分離装置において、内部を減圧状態にしたカラムに被処理ガスを流通させることにより、被処理ガスに含まれるガスの分子量の差に応じて特定ガスを安価で高純度に分離することができる。 （もっと読む）

【課題】 ディフェクトの発生が抑制されたレジスト組成物が得られるレジスト組成物の製造方法、該製造方法に好適に使用できるろ過装置、該ろ過装置を搭載したレジスト組成物の塗布装置、およびディフェクトの発生が抑制されたレジスト組成物の提供。
【解決手段】 酸の作用によりアルカリ可溶性が変化する樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を有機溶剤（Ｓ）に溶解してなるレジスト組成物を、ポリエチレン製の中空糸膜を備えたフィルタ（ｆ１）を通過させる。 （もっと読む）

【課題】特別な工程や添加剤等を必要とせずに、種々の仕様用途に応じて制御された細孔径や気孔率等を有する炭化珪素系多孔質成形体、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素系多孔質成形体の表面にＳｉＣＯからなる層を形成することにより、細孔を制御した炭化珪素系多孔質成形体を製造する。炭化珪素系多孔質成形体としては、平均細孔径０．２〜２ｎｍ、平均気孔率３０〜７０％、比表面積１０〜１０００ｍ^２／ｇの成形体を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 適切な口径の固体電解質筒状体にて実質的有効に処理できるガス流量を増大させたガスポンプの提供。
【解決手段】 直径が大小異なる複数本の円形固体電解質筒状体１０ａ、１０ｂを同心に組み付けてユニット化した固体電解質筒状体ユニット１０’の複数ユニットを、各々の中心軸を鉛直にして等間隔で同心円上に設置する。複数の固体電解質筒状体ユニット１０’で囲まれる空間に蓄熱部材のダミーパイプ１５を設置する。複数の各固体電解質筒状体ユニット１０’の回りにリング状加熱装置のヒーター４０を同心に配設する。各ユニット１０’内に被処理ガスＧ１を軸方向に流す。 （もっと読む）

【課題】安価な材料を用い、低価格な水素透過合金膜を提供する。
【解決手段】Ｔｉを１０〜４０ａｔ％含有し、残部がＦｅからなる水素透過合金膜とする。該水素透過合金膜の膜厚は、１〜５０μｍであることが好ましい。また、該水素透過合金膜の両表面に、膜厚０．０１〜１μｍのＰｄ膜を被覆することが好ましい。
該水素透過合金膜は、高価な貴金属を使用しておらず、安価な材料を用いているので、低価格である。さらに、該水素透過合金膜は、燃料電池の燃料として用いる水素ガスを精製・分離する装置への適用が可能な程度の水素透過性能を有する。 （もっと読む）

【課題】 電極腐食を伴うことなく、安定してフッ素含有排水を電気透析することができる電気透析装置を提供する。
【解決手段】 電気透析装置は、陽極２を有する陽極室１０と、陰極３を有する陰極室５０と、供給された排水からフッ素イオンを除去して処理水を生成する脱塩室４０と、脱塩室４０から移動した排水中のフッ素イオンを濃縮して濃縮水を生成する濃縮室３０と、排水中のフッ素イオンが濃縮室３０から直接陽極室１０に流入しないように遮断するバッファ室２０とを備えている。また、電気透析装置は、陽極室１０に純水を供給する経路と、陽極室１０から出た流出水をバッファ室２０に供給する経路とを有している。 （もっと読む）