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Fターム[4D006PC01]の内容

半透膜を用いた分離 (123,001) | 利用分野、用途 (6,199) | 電子工業、半導体工業 (879)

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【課題】溶解物内の介在物の結晶の成長を抑止し、より介在物の低減を図り、短時間で簡単かつ確実に更なる薄膜化の可能な水素分離膜の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る水素分離膜の製造方法は、Pd合金等の素材金属を溶解し溶解物を得ると共に、前記溶解物中の介在物の削減を行なう第一の金属溶解工程(S101)と、前記第一の金属溶解工程(S101)において得られた前記溶解物を鋳型で急冷凝固して鋳造することにより前記溶解物内の介在物の集積を抑制し、微細分散させる急冷凝固鋳造工程(S102)と、前記急冷凝固鋳造工程(S102)において急冷凝固して得られた急冷凝固体を圧延加工することにより箔化を行う圧延加工工程(S103)とからなり、急冷凝固により圧延加工時の欠陥の原因である介在物の成長を抑制し微細化することで、水素分離膜の圧延加工時に発生する欠陥の防止を図る。 (もっと読む)


【課題】製造した処理水(純水)の温度を精度良く一定に安定化することができる純水製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】熱交換器4を通して温度制御した原水をRO装置6に通して純水を製造する純水製造装置において、原水を送給する供給ポンプ3と、熱交換器4と、受入槽5と、RO装置6とをこの順に接続し、かつ受入槽5から熱交換器4の上流側に原水を戻す戻し経路8及び循環ポンプ9と、受入槽5内の水位を検出する水位センサ10と、受入槽5内の原水の温度を検出する水温センサ11と、水位センサ10の検出水位に応じて供給ポンプ3を作動制御し、水温センサ11の検出温度に応じて循環ポンプ9を作動制御する制御部12を設けた。 (もっと読む)


微多孔膜に隣接し、かつ微多孔膜に任意に結合されたナノウェブを有する複合媒体を備えた液体フィルタ。この膜は、定格の粒度において3.7のLRV値を特徴とし、このナノウェブは、膜の定格の粒度において0.95を超える分別ろ過効率を有する。また、このナノウェブは、当該効率において0.01を超える厚さ効率比を有する。このナノウェブは、膜に深層ろ過機能を与え、粒子を予備ろ過し、膜の寿命を延ばす働きをする。 (もっと読む)


【課題】軟水装置を備えた純水製造システムにおいて、硬度分に起因するスケールにより、電気式脱イオン装置の目詰まりが起きることを防止する。
【解決手段】機器への給水ライン2に、軟水装置4、逆浸透膜装置5および電気式脱イオン装置6を設けた純水製造システム1であって、前記軟水装置4の上流側の前記給水ライン2に原水硬度測定装置7を接続し、また前記軟水装置4の下流側の前記給水ライン2に流量測定装置8を接続し、さらに所定間隔で測定された前記原水硬度測定装置7の測定値と前記流量測定装置8によって測定された前記軟水装置4における通水開始からの積算通水量との積が、前記軟水装置4の最大除去硬度質量に達したとき、前記軟水装置4へ再生作動指令を出力する制御部9を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】リンを含む含リン系廃水の処理において、水のリサイクルとリン酸資源のリサイクルとを簡便且つ確実に行うことができ、資源保全或いは環境保全に高く寄与することが可能な資源回収方法を提供する。
【解決手段】本発明の資源回収方法は、リンを含む含リン系廃水に鉄塩を加えて凝集化を行う凝集化工程と、前記凝集化工程後、固形物と液状物とを分離する固液分離工程と、分離した前記固形物をリン酸塩に転換して回収するリン酸塩回収工程と、分離した前記液状物を、逆浸透膜を通した後にリサイクル水として回収するリサイクル水回収工程と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


粒状形状で、第1表面及び第2表面によって定義される積層に配置される伝導性材料を備える脱イオン化装置に使用する電極。電極は、第1表面に対して配置される基板と、第2表面に対して配置され、粒状伝導性材料によるイオンの吸収を許容するために、流体が第1部材を通って粒状伝導性材料と接触することを許容するように形成される第1部材とを備える。
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【課題】設備を大型化しなくても、低コスト、短時間で中空糸膜中に残存する親水性ポリマーを十分に除去する方法の提供。
【解決手段】疎水性ポリマーと親水性ポリマーとを含む製膜原液を凝固液中で凝固させ、中空糸膜10を形成する凝固工程と、中空糸膜10中に残存する親水性ポリマーを除去する親水性ポリマー除去工程とを有する中空糸膜10の製造方法において、親水性ポリマー除去工程として、中空糸膜10の外周側を減圧して、親水性ポリマーを中空糸膜10の外周側へ排出させる減圧工程を少なくとも行う。この際、洗浄液に浸漬された中空糸膜10に対して、減圧工程を行うことが好適である。 (もっと読む)


【課題】 低濃度のXeが含まれるプラズマエッチング等の半導体製造プロセス排ガス中より、水分、COおよびFC等を機能的に除去して高純度なXeを回収することが可能な、簡便で捕集効率の高い回収方法および回収装置を提供すること。
【解決手段】 キセノンおよびフルオロカーボンを含む試料について、少なくとも、細孔径4Å以下の合成ゼオライトおよび酸化アルミニウムを直列に配して充填された第1吸着手段(A1)、シリコーン製あるいはポリエチレン製の中空糸ガス分離膜モジュール4からなるガス分離手段(A2)、活性炭、細孔径5Å以上の合成ゼオライト、細孔径5Å以上のモレキュラーシービングカーボン、あるいはこれらの組合せのいずれかが充填された第2吸着手段(A3)、反応剤としてカルシウム化合物が充填された反応手段(A4)、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


ガス流を処理する方法において、水性スクラビング液を、この液体の酸性度を減少させる電気化学ユニット(48)を有する本質的に閉じられたループ(20)中に循環させる。循環中の液体の一部分を閉ループ(20)からガススクラビングユニット(10)にそらす。ガス流は、ガススクラビングユニット(10)に入り、ここでガス流中の酸、例えばHF及び固体粒子、例えばSiO粒子がそらされた液体中に溶ける。次に、そらされた液体を閉ループ(20)に戻し、かかる液体を閉ループ(20)からそらされた新鮮な液体によってガススクラビングユニット(10)内に補給する。閉ループ(20)内の所与の場所の液体の酸性度をモニタする装置(46)が設けられている。電気化学セル(48)による液体の酸性度の減少は、モニタされた濃度に応じて制御される。液体の酸性度を制御することにより、液体のそらされた部分中の固体粒子の溶解度を最適化することができる。これにより、電気化学ユニット(48)の上流側で閉ループ(20)内に配置された1つ又は2つ以上のフィルタカートリッジ(42)の寿命を延ばすことができる。
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例えば、無機膜のためのαアルミナ支持体を製造するための組成物が記載されている。結果として得られるαアルミナ無機膜支持体の所望の気孔率、細孔径分布および強度特徴を助長させる、アルミナと細孔形成剤の粒径および他のプロセス変量を制御する方法が記載されている。 (もっと読む)


【課題】電子部品などの洗浄に用いる特定ガスを所定濃度に溶解したガス溶解洗浄水を、使用するガスの量を節減し、効率よく、安定かつ安全に供給することができるガス溶解洗浄水の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】特定ガスを大気圧に対して加圧条件下で水に過飽和に溶解させる加圧溶解部と、特定ガスの過飽和分を除去する過飽和分除去部を有するガス溶解洗浄水の製造装置において、加圧溶解部の一次側に気体透過膜モジュールを備えた予備溶解部を有し、その気相室に特定ガスを給気するガス溶解洗浄水の製造装置、及び、貯留槽、水圧送ポンプ、異物を除去する浄化手段、加圧溶解部、過飽和分除去部を有する装置を用いるガス溶解洗浄水の製造方法において、加圧溶解部の一次側又は過飽和分除去部の二次側の溶存ガス濃度を測定し、その測定値に応じて、加圧溶解部に給気する特定ガスの流量又は圧力を調整し、所定濃度の特定ガス溶解水を発生させるガス溶解洗浄水の製造方法。 (もっと読む)


【課題】高い粒子捕捉性を有し、かつ、透過性に優れたフィルターおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】高分子量PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)未焼結粉末と液状潤滑剤のペースト押出によって得られる成形体を、縦方向に10倍〜40倍、横方向に20倍〜60倍の延伸倍率で延伸してフィルムとする工程と、前記延伸されたフィルムを焼結する工程と、を備えている製造方法としてフィルターを製造しており、該フィルターは、平均孔径が0.01〜0.20μm、かつ、IPA流量(sec)(A)とIPAバブルポイント(kPa)(B)の測定値で示される(A)/(B)の値が0.08以下である。 (もっと読む)


【課題】フルオロカーボンと二酸化炭素との混合物から二酸化炭素を除去するための方法を提供すること。
【解決手段】フルオロカーボンと二酸化炭素との混合物を半透過性ポリイミド膜と接触させ、二酸化炭素の増大した濃度を有する少なくとも1つの流出流と、二酸化炭素の減少した濃度を有する少なくとも1つの流出流とを形成させる方法。 (もっと読む)


【課題】 中空糸膜束の交換作業が容易な浸漬濾過方式の中空糸膜モジュールの提供。
【解決手段】 中空糸膜束30の両端は上部集水キャップ31と下部集水キャップ35に固定され、上部集水キャップ31のみが、接続部材40を介して第1枝管21、第2枝管に着脱自在に接続されている。接続部材40と共に上部集水キャップ31のみを外すことで、中空糸膜束30を外すことができるので、交換作業が容易である。 (もっと読む)


【課題】 簡単な装置と操作により、飽和濃度未満の任意の一定濃度のガスを溶解し、超音波洗浄の洗浄水として用いる際のキャビテーション力を調整することが可能な高純度の超純水を製造できる超純水製造装置および方法をする。
【解決の手段】 一次純水システムAにおいて、原水を脱塩および脱気して一次純水を製造し、一次純水システムAで得られる一次純水およびユースポイントから循環する二次純水を二次純水貯留槽11において、窒素ガスでシールして貯留し、二次純水貯留槽11から得られる窒素濃度が異なる二次純水を膜脱気装置14で脱気して窒素を除去し、ガス溶解装置16で脱気処理水にガスを添加してガスを溶解させる際、ガス溶解装置16に供給するガス流量をガス流量制御装置17により所定の流量に制御し、超純水を製造する。 (もっと読む)


【課題】 簡単な構成と操作により、高濃度の液状で運搬可能であり、回収物として有用な高純度のリン酸を、リン酸含有水から低コストで、かつ効率よく回収できるリン酸を回収する方法および装置を提案する。
【解決手段】リン酸含有水をカチオン交換後、pH3以下の条件下で逆浸透装置4に供給して逆浸透処理を行い、リン酸以外の酸を水とともに透過液室4b側に透過させ、リン酸を濃縮液室4c側に濃縮し、透過液をアニオン交換樹脂5aに接触させてリン酸イオン以外の酸を除去して純水6aを回収し、濃縮液を第2のアニオン交換樹脂7aに接触させてリン酸イオン以外の酸を除去し、蒸発濃縮装置8で水とともに揮発性成分を除去してリン酸濃縮液9aを回収する。 (もっと読む)


【課題】逆浸透膜装置と脱気装置とを組み合わせて成る純水製造装置であって、低コストで純水を製造でき、かつ、溶存炭酸ガス濃度を一層低減できる高性能な純水製造装置を提供する。
【解決手段】純水製造装置は、原水からイオン類およびコロイダル物質と共に溶存炭酸ガスを除去して純水を製造する純水製造装置であり、第1の逆浸透膜装置(2)、第1の脱気装置(3)、第2の逆浸透膜装置(6)及び第2の脱気装置(7)が順次に配置されている。また、第1の逆浸透膜装置(2)及び第2の脱気装置(7)として、疎水性の微多孔中空糸膜を使用した脱気膜装置が使用される。 (もっと読む)


【課題】半導体・液晶・電子部品製造に使用されるPFC(パーフロロコンパウンズ)ガスの除害後の排水処理とくに排水中のフッ素化合物の再利用方法およびそのための装置を提供する。
【解決手段】フッ素含有排水の処理方法であって、フッ素含有排水にCa系アルカリを加えてpHを6〜10に調整する工程と、pHが調整されたフッ素含有排水に晶析促進剤としてフルオロアパタイト粒子を加え、該フルオロアパタイト粒子の表面にフッ化カルシウムや珪フッ化物を吸着、析出させて不溶化分離させる晶析工程と、晶析工程で得られた処理物を、上部に浸漬型膜分離装置を、下部にエアレーション手段を備えた流動床式種晶充填槽に投入し、エアレーションをしながら膜分離操作により分離した水を系外へ放流する一方、処理物中のフッ化カルシウムや珪フッ化物を析出成長させる工程、とを備える。 (もっと読む)


【課題】濃縮室及び脱塩室にてスケール等の発生を防止し、長期間安定的に運転することのできる電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置1は、陰極11と陽極12との間に、複数のアニオン交換膜13とカチオン交換膜14とを交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成してなり、濃縮室15にバイポーラ膜20を設けて濃縮室15内を陰極側と陽極側とに区画してなる。脱塩室16に充填されるアニオン交換樹脂30A及びカチオン交換樹脂30Bは、ナトリウム型又は塩素型であり、小粒径、具体的には湿潤時の平均粒径が500μm以下である。また、濃縮室15に充填されるイオン交換樹脂31(アニオン交換樹脂31A及びカチオン交換樹脂31B)のうち、アニオン交換樹脂31Aは、弱塩基性交換基又はII型の交換基を有する。 (もっと読む)


部分的に陰イオン透過膜(18)を境界とし、また部分的に陽イオン透過膜(20)を境界とする濃縮室(12)と、濃縮室内に配設された第1のイオン交換材料ドメイン(14、16、141、161)とを含んでなる電気脱イオン装置であって、第1のイオン交換材料ドメインは陰イオン透過膜及び陽イオン透過膜の一方の濃縮室側側面の少なくとも一部分に接触し、かつ陰イオン透過膜及び陽イオン透過膜の他方から離隔している電気脱イオン装置が提供される。第1のイオン交換材料ドメインが接触している濃縮室側側面の少なくとも一部分を有する陰イオン透過膜及び陽イオン透過膜の一方が陰イオン透過膜である場合、第1のイオン交換材料ドメインは陰イオン交換材料優勢ドメインである。第1のイオン交換材料ドメインが接触している濃縮室側側面の少なくとも一部分を有する陰イオン透過膜及び陽イオン透過膜の一方が陽イオン透過膜である場合、第1のイオン交換材料ドメインは陽イオン交換材料優勢ドメインである。 (もっと読む)


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