【課題】排水に含まれるカルシウム、リン酸及びＴＯＣをＲＯ膜ろ過工程の前工程で効率よく除去し、ＲＯ膜の目詰まりを抑制すること。
【解決手段】リン酸イオンとＴＯＣとを含有する排水を、液分離工程、砂ろ過工程、ＵＦ膜ろ過工程、ＲＯ膜ろ過工程の順で処理する排水回収システムにおいて、固液分離工程での炭酸塩凝集沈殿槽３での沈降分離工程における沈殿促進助剤として炭酸カルシウムを主成分とする粉末を循環使用する。また、砂ろ過工程後の排水を貯留する第１の貯留槽１０において、微細気泡を発生する微細気泡発生装置１１が、気体と共に水を微細気泡発生部２３へ高速で送水して微細気泡を発生させ、当該微細気泡発生部２３へ送水するためのポンプとしてＵＦ膜ろ過装置１３の供給ポンプ１２と併用して用いる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ切断工程に用いた後の廃液中に含まれる切削屑を効率良く除去し、切削屑除去後の水を再利用できるようにする。
【解決手段】廃液に高圧直流電界を印加してシリコン粒子の表面電荷を変化させ、シリコン粒子同士またはフィルタに対して吸着しやすい状態とし、シリコン平均粒子径よりもやや大きい流路を形成した一次フィルタ６にこの廃液を通し、次に、一次フィルタを通過した廃液をシリコン最小粒子径よりもやや小さい流路が形成された二次フィルタ７を通過させて、二次フィルタ通過後の液を半導体ウェーハ切断工程の溶媒として再利用するようにした。 （もっと読む）

【課題】微粒子を効率良く捕捉することができ、目詰まりがなく、濾過寿命が長い結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を効率良く製造することができる結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタの提供。
【解決手段】互いに異なる２種以上の結晶性ポリマーからなる単層構造の結晶性ポリマー層と、該結晶性ポリマー層の厚み方向に貫通した多数の孔部とを有する結晶性ポリマー微孔性膜であって、前記結晶性ポリマーの組成比が前記結晶性ポリマー層の厚み方向に変化しており、かつ前記孔部の平均孔径が前記結晶性ポリマー層の厚み方向に変化している結晶性ポリマー微孔性膜及び該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタである。 （もっと読む）

【課題】微粒子を効率良く捕捉することができ、目詰まりがなく、濾過寿命が長い結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を効率良く製造することができる結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタの提供。
【解決手段】結晶性ポリマーからなる結晶性ポリマー層を２層以上積層してなる積層体と、該積層体の厚み方向に貫通した多数の孔部とを有し、前記孔部の平均孔径が、前記結晶性ポリマー微孔性膜の厚み方向に変化している結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタである。 （もっと読む）

【課題】微粒子を効率良く捕捉することができ、目詰まりがなく、粒子捕捉能の耐擦過性が向上し、濾過寿命が長い結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を効率良く製造することができる結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタの提供。
【解決手段】結晶性ポリマーからなる単層構造の結晶性ポリマー層と、該結晶性ポリマー層の厚み方向に貫通した多数の孔部とを有し、前記孔部の平均孔径が両端開口平均孔径よりも小さい小径部位が、前記結晶性ポリマー層の内部に存在する結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタである。 （もっと読む）

【課題】 透過膜のフラックスを高くした状態で無機物および有機物、特に低分子量の有機物に対する阻止率を向上させ、これらの向上効果を高い状態で維持することができ、これにより有機物、特に低分子量の有機物の除去効果が高く、長期間にわたって安定処理が可能な透過膜の阻止率向上方法、透過膜および透過膜装置を得る。
【解決手段】 分子量６５以下の親水性有機化合物を含む水性溶液に透過膜を接触させて、３５〜９８℃の温度で加熱処理を行い、必要によりさらに透過膜を冷却し、水溶性の高分子からなる阻止率向上剤を接触させて透過膜の阻止率を向上させる阻止率向上剤処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ピンホールの発生を抑止し、膜厚が薄く、水素透過性が良好である水素透過膜の製造方法を提供する。
【解決手段】スパッタリング法で基板上に第１のＰｄ層またはＰｄ合金層を形成する工程（Ｓ２）と、該第１のＰｄ層またはＰｄ合金層を洗浄する工程（Ｓ３）と、該洗浄した第１のＰｄ層またはＰｄ合金層の上に、スパッタリング法で第２のＰｄ層またはＰｄ合金層を積層する工程（Ｓ４）と、前記第１のＰｄ層またはＰｄ合金層と前記第２のＰｄ層またはＰｄ合金層とを有する一体構造膜を前記基板から剥離する工程（Ｓ６）と、前記一体構造膜を４００〜１２００℃の温度にて、真空中または不活性雰囲気中で熱処理する工程（Ｓ７）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高い非対称度と高い流量を有する微多孔性ポリ二弗化ビニリデン膜の提供。
【解決手段】内部親水性のポリ二弗化ビニリデンポリマー膜であって、最小の孔を含む第１表面、最大の孔を含む第２表面、および表面の間に厚さ部分を有し、最小の孔は第１平均直径を有し、最大の孔は第２平均直径を有し、厚さ部分はポリ二弗化ビニリデンを含むポリマー材料のフィラメント状ウェブを含み、当該ポリマー材料は当該膜を本質的に水で濡らし得るようにするのに十分な、一体的に配置された親水性ポリマーを有しており、当該親水性ポリマーは、１５０，０００〜３６０，０００ダルトンの平均分子量を有する種類を含むポリビニルピロリドンを含む膜。 （もっと読む）

【課題】高濃度の炭酸水を簡易かつ迅速に製造することができる炭酸水の製造装置及び製造方法と、この製造装置で製造された炭酸水で電子材料部材を洗浄する方法を提供する。
【解決手段】原水を、原水配管１１を経由して脱気膜モジュール１の液相室１ｂに供給する。真空ポンプ３を作動させて気相室１ｃ内を減圧する。原水に溶解している溶存ガスが、気体透過膜１ａを透過し、気相室及び排気配管１３を経由して系外に排出される。脱気水は、脱気水配管１２を経由して炭酸ガス溶解膜モジュール２の液相室２ｂ内に流入する。また、炭酸ガス供給器４から、炭酸ガス配管１５を経由して気相室１ｃに炭酸ガスを供給する。所定量の炭酸ガスが、気体透過膜２ａを透過し、液相室２ｂ内の脱気水に溶解する。この炭酸ガスを溶解させた脱気水は、炭酸水配管１４から流出する。 （もっと読む）

【課題】少ない工程数で且つ高純度の酸を硝フッ酸廃液から回収する方法を提供する。
【解決手段】陽極及び陰極の間に、１対のアニオン交換膜Ａを配置し、一対のアニオン交換膜Ａの間に陽極側から順にカチオン交換膜Ｃと一価選択性カチオン交換膜ＣＩＭＳを配置し、アニオン交換膜Ａとカチオン交換膜Ｃとの間に形成されている脱塩脱酸室５に、硝フッ酸廃液を供給するとともに、脱塩脱酸室５に隣接し且つカチオン交換膜Ｃと一価選択性カチオン交換膜ＳＣとの間に形成されている排液室７に酸水溶液を供給しながら電気透析を行ない、脱塩脱酸室５に隣接し且つ一価選択性カチオン交換膜ＳＣとアニオン交換膜Ａとの間に形成されている酸室９から、硝酸及び／又はフッ酸を回収する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、均一なパターン形成を可能とするろ過性の良好なフォトレジスト組成物を提供することを目的とし、長期的に安定なフォトレジスト用樹脂溶液、つまり長期間保管してもろ過性能が低下しないフォトレジスト用樹脂溶液を提供する事にある。
【解決手段】
本発明は、酸によりアルカリ可溶となるフォトレジスト用樹脂を含む溶液を３０〜９０℃において、３０分以上加熱熟成後、細孔径１μｍ以下のろ材によりろ過することを特徴とするフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被ろ過液を中心部内側流路→底部流路→側部流路へと流すタイプのフィルタユニットにおいて、底部流路に対するエア除去性能を高めることができるフィルタユニットを提供する。
【解決手段】フィルタ部材１１の中心部が、入口３１に接続する中心部内側流路４０と、出口３２に接続する中心部外側流路４３とに分けられ、フィルタ部材１１の底部とハウジング２０の底部との間に底部流路４１が、フィルタ部材１１の側部とハウジング２０の側部との間に側部流路４２がそれぞれ形成され、入口３１から導入された被ろ過液が、中心部内側流路４０から底部流路４１へ、次いで側部流路４２へと流れ、ここから中心部外側流路４３へとフィルタ部材を通過してろ過されるフィルタユニット１において、底部流路４１の上方壁面４１ａを、中心部内側流路４０の壁面４０ａに対し９０度未満で接続させ、かつ水平に対し全域にわたって傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】臭気発生量が少なく高い処理効率で、コンパクトな生物処理を行うことができる有機硫黄化合物含有水の処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】有機硫黄化合物を含有する原水を浸漬膜活性汚泥法で処理する有機硫黄化合物含有水の処理方法および処理装置である。 （もっと読む）

【課題】オゾン溶解用等に用いられる分離膜モジュールにおいて、低発塵性を高める。
【解決手段】複数のフッ素樹脂製分離膜の端部を集束してフッ素樹脂で封止し一体化した分離膜エレメントが、筒材及び該筒材の軸線方向の両端開口を閉じるキャップを備えたフッ素樹脂製のハウジング内に収納されるオールフッ素樹脂製膜モジュールにおいて、上記筒材の一端に取り付ける上記キャップに上記ハウジング内への流体流入路と分離膜エレメントに流体流入路を設けている一方、他端の上記キャップに上記ハウジング内からの流体流出路と分離膜エレメントに流体流出路を設け、上記両端のキャップの流体流入路及び流体流出路の配管連結側を突設して継ぎ手部を一体的に設け、該継ぎ手部の外周面に雄ねじを形成し、キャップ外面に突設した上記継ぎ手部に配管先端を外嵌してネジ締めで連結している。 （もっと読む）

【課題】安価な装置によって過硫酸水溶液を製造することができるウェハ洗浄液の製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】陰極２に最も近接してバイポーラ膜５が配置され、陰極２とこのバイポーラ膜５との間に陰極室６が形成されている。このバイポーラ膜５から陽極に向ってカチオン交換膜４とバイポーラ膜５とがこの順に交互に配列されている。陽極５に最も近接してバイポーラ膜５が配置されている。１対のバイポーラ膜５の間に配置されたカチオン交換膜４の陰極２側にカチオン移動室７が配置され、該カチオン交換膜４の陽極３側に処理室８が形成されている。循環用タンク１５内の過硫酸塩水溶液は、ポンプ１６及び配管１１を介して各処理室８に供給される。 （もっと読む）

【課題】短期間での陰イオン交換膜の劣化が有効に抑制され、膜交換を行うことなく、長期間にわたって高純度の水酸化第４級アンモニウムを安定して製造することが可能な方法を提供する。
【解決手段】電極間に陰イオン交換膜と陽イオン交換膜を配置し、該陰イオン交換膜の陰極側に面する原液室にハロゲン化第４級アンモニウム塩の水溶液を供給して電解を行うことにより、水酸化第４級アンモニウムを製造する方法において、陰イオン交換膜として、基材層３１と基材層３１の一方側の表面に形成された架橋密度の高い表面層３３とからなる膜を使用し、該陰イオン交換膜を、表面層が陽極１側に位置するように配置して電解を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来の濾材に比べて、構成する繊維の直径が細く、使用の際に化学物質などの溶出や繊維の脱落の無い、高捕集性、高寿命のフィルター濾材を提供する。
【解決手段】 静電紡糸法により製造された、平均繊維径が１０〜１０００ｎｍであるナノファイバーと、平均繊維径が５μｍより大きい繊維で構成された不織布または織布からなる基材とが積層されたシートであり、以下（１）〜（３）の条件を全て満足することを特徴とする液体フィルター用濾材。
（１）平均ポアサイズが０．１〜１０μｍであること、
（２）ＪＩＳ１１種ダストの捕集効率が９０％以上であること、
（３）シートの縦方向および横方向の引張強力Ｂ（ｋｇｆ／１５ｍｍ）が目付Ａ（ｇ／ｍ^２）に対して下式を満足すること。
（１００×Ｂ）／Ａ≧１．０ （もっと読む）

【課題】 膜性能が十分に発揮され、工業的に実施可能な膜分離装置を提供すること。
【解決手段】 膜分離装置内部に、一端が封止された複数の管状分離膜を並列に配置収容し、管状分離膜の他端は本体に固定した管板に嵌合支持されて、本体片端のみに設けられた開口部に開放され、膜分離装置内部には、管状分離膜を支持するとともに流体の流れが管状分離膜を横断して装置内を蛇行して流れるように、一部が切り欠かれたバッフルを複数備えた膜分離装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

特定の細孔充填剤を使用して多孔性担体上に多孔性無機コーティングを調製する方法、および多孔性無機コーティングによりコーティングされた多孔性担体。多孔性無機コーティングは、例えば液体−液体、液体−微粒子、気体−気体、または気体−微粒子分離用途に有用な膜として利用し得る。
（もっと読む）

【課題】電気脱イオン装置を長時間停止して、濃縮室に無機炭酸や硬度成分が残留した水が拡散逆流してきたとしてもスケールの発生を防止することが可能な電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置１は、複数のカチオン交換膜４及びアニオン交換膜５間にそれぞれ形成された複数の脱塩室２と濃縮室３とを有し、濃縮室３は、バイポーラ膜１０により陰極側濃縮室３Ａと陽極側濃縮室３Ｂとに区画されている。脱塩室２には被処理水Ｗ１の流路Ｒ１が接続され、脱塩室２出口側は脱イオン水（処理水）Ｗ２の流路Ｒ２となっている。流路Ｒ２は分岐し、分岐流路Ｒ３及び各流路Ｒ３ａ〜Ｒ３ｄがそれぞれ陰極側濃縮室３Ａ、陽極側濃縮室３Ｂ等に連通しており、脱塩室２の脱イオン水Ｗ２の一部が濃縮室３に導入される。濃縮室３の循環水を脱イオン水で希釈した状態で逆止弁２０を備えた各排出流路Ｒ４ａ〜Ｒ４ｄ及び合流排出路Ｒ４から濃縮水Ｗ３を排出する。 （もっと読む）