【課題】被処理水にガス又はガス溶解水を添加するガス成分添加手段と、該ガス成分添加手段からの水に紫外線を照射して水中の被処理物質を分解する紫外線照射装置とを有する超純水製造用水処理装置において、ガス添加量を適切なものにする。
【解決手段】超純水の原水は貯留槽２に貯められ、供給配管３、供給ポンプ４を経由して送水され、酸素供給装置５によって酸素が添加された後、ＵＶ照射装置６、膜脱気装置７、イオン交換装置８、限外濾過装置９でそれぞれ処理が行われ、ユースポイントへ超純水が供給される。ＵＶ照射装置６の一次側のＴＯＣ濃度挙動に応じて、溶存酸素計１３からの信号に基づいて酸素供給装置５からの酸素量を制御する。 （もっと読む）

【課題】ｐＨが７を超える被処理水中に存在する有機質不純物を紫外線照射とイオン交換樹脂の組合せにより除去するにあたり、紫外線照射による分解の効率を上げてランニングコストを低減させること。
【解決手段】微量の有機質不純物を含むｐＨが７以上の被処理水に、紫外線を照射して前記有機質不純物を有機酸及び／又は炭酸に分解し、しかる後前記有機酸及び／又は炭酸を除去する方法において、紫外線の照射に先立って被処理水のｐＨを７未満にすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】難分解性有機物を効率よく分解除去することができ、かつ後段における脱塩の負荷を抑制することができる一次純水製造プロセス水の処理方法を提供する。
【解決手段】ペルオキソ硫酸を生成させる生成工程と、一次純水製造プロセス水に対して該ペルオキソ硫酸を、ペルオキソ硫酸濃度が所定濃度となるように添加する添加工程と、該添加工程を経た該一次純水製造プロセス水に紫外線を照射し、該一次純水製造プロセス水に含まれる有機物を分解除去する分解工程とを含むことを特徴とする一次純水製造プロセス水の処理方法。ペルオキソ硫酸を用いているため、ペルオキソ硫酸塩を用いる場合のように後段でこの塩を脱塩する必要がなく、脱塩の負荷が抑制される。ペルオキソ硫酸の生成工程を有するため、自己分解の進んでいないペルオキソ硫酸を用いることができる。このため、難分解性有機物を効率よく分解除去することができる。 （もっと読む）

【課題】膜分離装置に供給される被処理水の水質の評価を高精度で行うことができる膜分離装置被処理水の評価方法と、この評価結果に基づいて運転することにより、分離膜の透過流束の低下を事前に回避し、長期間にわたって膜分離装置を安定して運転することができる水処理方法及び水処理装置を提供する。
【解決手段】膜ファウリング物質を含む被処理水を、膜ファウリング物質処理装置１及び膜分離装置２で順次処理する。該膜分離装置２からの濃縮水中の膜ファウリング物質を膜ファウリング物質濃度測定装置３で測定し、この測定結果に基づいて、膜ファウリング物質処理装置１を制御器４で制御する。被処理水中の膜ファウリング物質濃度が低くても、濃縮水に膜ファウリング物質が濃縮されるため、濃縮水中の膜ファウリング物質を精度よく測定することができる。 （もっと読む）

【課題】超純水中の溶存酸素濃度の増加を経済的にほぼ防止するとともに、全有機炭素濃度（ＴＯＣ）の低減を実現する超純水製造方法および超純水製造装置を提供する。
【解決手段】真空脱気塔８により溶存酸素を除去した被処理水に、紫外線照射装置９により紫外線を照射して第１の処理水を生成し、前記第１の処理水に対し混床式イオン交換塔１０によりイオン交換を実行して、第２の処理水を生成する超純水製造方法および超純水製造装置であり、少なくとも被処理水中のＴＯＣ濃度を測定し、前記測定の結果に基づいて被処理水に照射する前記紫外線の照射量を決定して該照射量の紫外線を被処理水に照射する超純水製造方法および超純水製造装置。 （もっと読む）

【課題】被処理水中の有機化合物の分解効率を向上させるとともに、紫外線照射装置の後段に酸化剤除去装置を配置することを省略可能な水処理装置および水処理方法を提供する。
【解決手段】水処理装置が、被処理水に亜酸化窒素を添加する亜酸化窒素添加手段と、前記亜酸化窒素を添加された被処理水に紫外線を照射し、水中の有機化合物を分解する紫外線照射装置と、前記紫外線照射装置によって処理された被処理水を導入し、水中のイオンを除去するイオン交換樹脂装置と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】遠赤外線等の微弱エネルギーの特性・作用を有し、地球環境保護、人体の健康増進に寄与する遠赤外線放射波動水の製造方法及び遠赤外線放射波動水を提供する。
【解決手段】遠赤外線放射波動水の製造方法は、ミネラル含有液に光触媒の存在のもとに紫外線を照射して得られた転写可能な水溶液。 （もっと読む）

【課題】少ない炭酸ガスの使用量で発泡を生じることなく、しかも炭酸ガスを注入した超純水中にオゾンを溶解させる場合よりも安定化されたオゾン水の製造方法及びオゾン水の製造装置を提供する。
【解決手段】オゾンを溶解した炭酸水を超純水に溶解させた下流において、この超純水中に所定量の炭酸ガスをさらに溶解させる。さらに溶解させる炭酸ガスの量は、この溶解点とユースポイント間に超純水の電気伝導度を測定する比抵抗測定器又はｐＨ計からなる炭酸ガス濃度測定装置６を配置して、炭酸ガス濃度測定装置の出力信号により制御する。 （もっと読む）

【課題】確実にかつ安定して分離膜に抗菌性能を付与するために、効果的に分離膜を改質可能な分離膜の改質方法および装置、および、その方法により改質された分離膜、並びに、改質中であっても所望の純水を安定して製造可能な分離膜の運転方法および装置を提供する。
【解決手段】分離膜に、ポリフェノールを含む有機物質および銀イオンを含む水を加圧通水し、分離膜に前記有機物質を介して銀イオンを固定化し、分離膜の抗菌性能を向上させることを特徴とする分離膜の改質方法および装置、その方法により改質された分離膜、およびその分離膜の改質装置の後段に紫外線酸化装置およびイオン交換樹脂装置を接続した運転方法および装置。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、有機質分解手段は、光透過性を有する絶縁性材料により形成された管体と、管体の内周側又は外周側に積層され、かつ光透過性を有する導電層と、導電層上に積層され、かつ被処理水と接触する光触媒層と、この光触媒層を励起させる励起光を、管体の管壁部及び導電層を透過させつつ光触媒層に照射する発光ダイオードとを具備することを特徴とする超純水製造装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】電子部品などの洗浄に用いる特定ガスを所定濃度に溶解したガス溶解洗浄水を、使用するガスの量を節減し、効率よく、安定かつ安全に供給することができるガス溶解洗浄水の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】特定ガスを大気圧に対して加圧条件下で水に過飽和に溶解させる加圧溶解部と、特定ガスの過飽和分を除去する過飽和分除去部を有するガス溶解洗浄水の製造装置において、加圧溶解部の一次側に気体透過膜モジュールを備えた予備溶解部を有し、その気相室に特定ガスを給気するガス溶解洗浄水の製造装置、及び、貯留槽、水圧送ポンプ、異物を除去する浄化手段、加圧溶解部、過飽和分除去部を有する装置を用いるガス溶解洗浄水の製造方法において、加圧溶解部の一次側又は過飽和分除去部の二次側の溶存ガス濃度を測定し、その測定値に応じて、加圧溶解部に給気する特定ガスの流量又は圧力を調整し、所定濃度の特定ガス溶解水を発生させるガス溶解洗浄水の製造方法。 （もっと読む）

【課題】構造的に安定である難分解性の有機物を含む水を高効率にて分解することができる紫外線酸化装置と、この紫外線酸化装置を備えた有機物除去装置を提供する。
【解決手段】紫外線酸化装置２０は、有機物含有水を通水する筒形容器２１と、該筒形容器２１内に同軸状に配置された保護菅２２と、該保護菅２２内に配置された紫外線ランプ２３とを有している。保護菅２２の外周面と該筒形容器２１の内周面との間隔Ｙは、８ｍｍ以下である。これにより、難分解性の有機物が効率良く酸化分解され、ＴＯＣ除去率が向上する。この紫外線酸化装置２０の前段に、ペルオキソ二硫酸塩注入装置３１が設けられている。また、この紫外線酸化装置２０の後段に、酸化剤除去装置２３、微粒子除去膜装置３３、第１のイオン交換装置３４、熱交換器３５、脱気装置３６及び第２のイオン交換装置（交換型の非再生式イオン交換装置）３７がこの順に設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で高い浄化機能を有する水浄化装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる水浄化装置１は、導入口９から導入された原水を滞留して導出口１１から導出する水処理槽３と、水処理槽３内に配置される紫外線ランプ５と、円柱状を成して中央部に紫外線ランプ５を挿通するフィルタ７とを備えている。ファイルタ７には基材２３に酸化チタンを担持してあると共に多数の通水孔２５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な設備で希薄尿素様窒素化合物濃度の被処理水中から尿素様窒素化合物を十分に除去することができる手段を備えた純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水に紫外線を照射する紫外線酸化装置４を有する純水製造装置において、被処理水は尿素様窒素化合物を含有しており、該紫外線酸化装置４の前段又は後段に尿素様窒素化合物を吸着する酸化セルロース、フェノール樹脂等の尿素様窒素化合物吸着剤を有した尿素様窒素化合物吸着装置３が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜装置と脱気装置とを組み合わせて成る純水製造装置であって、低コストで純水を製造でき、かつ、溶存炭酸ガス濃度を一層低減できる高性能な純水製造装置を提供する。
【解決手段】純水製造装置は、原水からイオン類およびコロイダル物質と共に溶存炭酸ガスを除去して純水を製造する純水製造装置であり、第１の逆浸透膜装置（２）、第１の脱気装置（３）、第２の逆浸透膜装置（６）及び第２の脱気装置（７）が順次に配置されている。また、第１の逆浸透膜装置（２）及び第２の脱気装置（７）として、疎水性の微多孔中空糸膜を使用した脱気膜装置が使用される。 （もっと読む）

【課題】脱炭酸膜を通じて透過水中に空気等の気体を混入させてしまうことがなく、良好に純水の製造を行うことができる脱炭酸装置及び脱炭酸方法を提供すること。
【解決手段】この脱炭酸装置Ｂは、逆浸透膜装置Ａとイオン交換樹脂ボンベＣとの間に接続され、逆浸透膜装置Ａを透過した透過水４中の炭酸ガス４ａを脱気してイオン交換樹脂ボンベＣに向けて透過水４を送水する脱炭酸装置Ｂであって、脱炭酸膜Ｂ３と、脱炭酸膜Ｂ３の上流側に設けられ、透過水４の逆流を防止する逆止弁Ｖ１と、逆止弁Ｖ１の下流側に設けられ、脱気水５を陽圧状態に保持するリリーフ弁Ｖ２とを有している。 （もっと読む）

【課題】酸等の薬品を添加することなく電気脱イオン装置の炭酸カルシウムのスケールの発生を防止することができ、かつ電気脱イオン装置により所定のレベル（水質）の純水を安定的に製造することができる純水製造装置を提供する。
【解決手段】純水製造装置１は、原水Ｗが供給される前処理装置２と、前処理装置２からの処理水Ｗ４が供給され、当該処理水Ｗ４中のイオン性物質を除去する電気脱イオン装置３とを有し、前処理装置２は、脱炭酸装置２１と、逆浸透膜２３と、脱気膜２４とをこの順に備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 高溶解度・高濃度気体混合液を効率よく簡単に生成することのできる気体混合液生成方法を提供する。
【解決手段】 小径路（２３４）を有するベンチュリ管（２３１）に被処理液を通過させ、小径路（２３４）に臨む位置に開口端を配した気体供給パイプ（２３９）を介して気体を供給することにより気体混合液を生成する気体混合液生成方法であって、ベンチュリ管（２３１）の少なくとも小径路及び／又は小径路近傍に磁力を作用させる。 （もっと読む）

【課題】ＴＯＣ分解処理を行うにあたって、ＤＯの発生を抑制する。
【解決手段】紫外線ランプを収納した紫外線透過管を複数配置し、該紫外線透過管を透過した紫外線を被処理液体に照射する紫外線照射装置において、複数の紫外線透過管のうちの一部の管の紫外線透過特性が２２０ｎｍ以下（典型的には１８５nm）の波長の紫外線を吸収する特性のものからなるものとする。ＤＯが増加したとき、前記一部の管のランプのみを点灯することで、被処理液体中のＯＨラジカルの生成を抑制し、ＤＯの増加を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良否を簡易且つ迅速に判定することができるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限外ろ過膜を装填した限外膜ろ過装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該カラムから流出したカラム流出水をウエハを装填したウエハホルダに供給してウエハと接触させ、接触後のウエハの表面状態を測定することにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）