【課題】循環型の純水製造装置を用いて純水を製造する場合に、ＴＯＣ（全有機炭素）濃度が極めて低い純水を得る場合においても有機物分解効率を向上させ、装置の小型化と高速処理を可能にし、ランニングコストを抑える。
【解決手段】ＴＯＣが１０ｐｐｂ以下である被処理水に対して紫外線を照射する照射工程と、照射工程ののち被処理水中に含まれる過酸化水素を除去する工程と、を少なくとも備えて純水を生成し、ユースポイントにおける使用量を超過した分の純水が被処理水の少なくとも一部として照射工程に循環される純水製造方法において、照射工程の前段に、被処理水に対して過酸化水素を添加する工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】被処理水にガス又はガス溶解水を添加するガス成分添加手段と、該ガス成分添加手段からの水に紫外線を照射して水中の被処理物質を分解する紫外線照射装置とを有する超純水製造用水処理装置において、ガス添加量を適切なものにする。
【解決手段】超純水の原水は貯留槽２に貯められ、供給配管３、供給ポンプ４を経由して送水され、酸素供給装置５によって酸素が添加された後、ＵＶ照射装置６、膜脱気装置７、イオン交換装置８、限外濾過装置９でそれぞれ処理が行われ、ユースポイントへ超純水が供給される。ＵＶ照射装置６の一次側のＴＯＣ濃度挙動に応じて、溶存酸素計１３からの信号に基づいて酸素供給装置５からの酸素量を制御する。 （もっと読む）

【解決課題】
消耗部品の交換による運転停止が最小限ですみ、かつ装置構成を小型化可能な液浸露光用超純水の製造方法及び装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
液浸露光装置における投影光学系の最下面とレジスト間の露光光通過空間に供給される液浸露光用の超純水を製造するにあたり、流路に沿って複数の紫外線照射装置を直列配置し、その下流にイオン交換装置を配置して、ＴＯＣ１０ｐｐｂ以下の一次超純水を供給し、紫外線照射装置の一つを使用して液浸露光用の超純水を連続的に製造するとともに使用中の紫外線照射装置の性能を監視する。この紫外線照射装置の性能が所定のレベル以下になったとき、他の紫外線照射装置に切替えて連続運転を続ける。 （もっと読む）

【課題】金属成分が溶出しない、超純水製造装置用のステンレス及び超純水製造装置を提供する。
【解決手段】ステンレスを超純水製造装置用の構成部材の構造に成形する工程と、バフ研磨及び電解研磨を行うことなく、硝酸、フッ酸、塩酸、及び硫酸からなる群から選択された少なくとも一種の酸を含む酸溶液を用いてステンレスを洗浄する工程と、により製造した超純水製造装置用のステンレスを使用した超純水製造装置。 （もっと読む）

【課題】被処理水中のＴＯＣ（全有機炭素）濃度が低い場合であっても、装置の小型化と高速処理が可能であって、ランニングコストを抑えることができ、有機物分解効率が向上した純水製造方法を提供する。
【解決手段】ＴＯＣが１０ｐｐｂ以上１００ｐｐｂ以下である被処理水に対し、過酸化水素（Ｈ₂Ｏ₂）をＴＯＣに対して物質量比で１以上１０以下となるように添加し、紫外線酸化装置（ＵＶ）１６内で紫外線を照射する工程を少なくとも設ける。 （もっと読む）

【課題】被処理水中のＴＯＣ（全有機炭素）濃度が低い場合であっても、装置の小型化と高速処理が可能であって、装置規模を小さくできかつ消費電力を小さくできてランニングコストを抑えることができ、有機物分解効率が向上した純水製造方法を提供する。
【解決手段】ＴＯＣが１０ｐｐｂ以下である被処理水に対し、過酸化水素（Ｈ₂Ｏ₂）を２０ｐｐｂ以上４００ｐｐｂ以下となるように添加し、紫外線酸化装置（ＵＶ）１６内で紫外線を照射する工程を少なくとも設ける。 （もっと読む）

【課題】金属濃度が低いイオン交換処理水を得ることができ、しかも通水圧力を高くすることができるイオン交換装置と、このイオン交換装置を用いた超純水製造装置用サブシステムを提供する。
【解決手段】被処理水の流入口及び処理水の流出口を有した容器５０と、該容器内に収容されたイオン交換樹脂５２とを有するイオン交換装置において、少なくとも処理水流出部が耐圧仕様の合成樹脂にて構成されていることを特徴とするイオン交換装置。このイオン交換装置を超純水製造装置用サブシステムの紫外線酸化装置の後段に設置し、その流出水を昇圧用ポンプを経ることなくＵＦ膜装置に通水して超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】溶存酸素などの不純物濃度が極めて低い超純水を、長期に渡って製造できる超純水製造装置を提供すること。
【解決手段】一次純水を導入し、超純水を製造する超純水製造装置１の紫外線酸化装置３の後段に、触媒担体と強塩基性アニオン交換樹脂とが混合されて充填されている触媒混合塔４を配置する。触媒混合塔４の後段には、さらに、膜脱気装置５および脱塩装置６を配置する。紫外線酸化装置３で生成された過酸化水素などは、触媒混合塔４に充填された触媒担体と接触して分解され、強塩基性アニオン交換樹脂の分解が抑制される。このため、触媒混合塔４からの溶出物質を低減し、超純水の水質を向上させるとともに、後段に設けられる脱塩装置６の負荷を低くできる。 （もっと読む）

【課題】原水の尿素分解除去効率を向上させ、ＴＯＣ濃度の低い超純水を安定して製造することができる超純水製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】有機物特に尿素を含有する原水を前処理システム１０で前処理した後、反応槽１１に導入し、水溶性臭化物塩と次亜塩素酸塩を添加して尿素を酸化分解処理する。この酸化分解処理水を活性炭塔１２に通水して残留する次亜塩素酸塩を除去し、次いで脱炭酸塔１３に通水し、脱炭酸と共にトリハロメタン除去を行う。この脱炭酸塔１３の流出水を一次純水システム２０及びサブシステム３０で処理することにより超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜装置を用いる純水製造装置において、低コストで高純度な純水を製造することができる純水製造装置を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る純水製造装置１０は、正荷電型又は負荷電型の逆浸透膜を有し、被処理水が供給される二段以上の逆浸透膜装置１５，１８と、最終段の逆浸透膜装置１８における逆浸透膜の荷電と同符号の固定イオンを持つイオン交換体のみを有し、逆浸透膜装置１８の処理水が供給される単独のイオン交換装置１９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低分子窒素化合物を含むＴＯＣ成分をより一層高度に除去することにより、高純度な超純水を製造する。
【解決手段】有機物を含有する原水を、溶存酸素の存在下に、水素を吸着させた金属を含む有機物除去触媒カラム４に通水して有機物を除去するにあたり、原水をＨ_２Ｏ_２分解触媒カラム１に通水して過酸化水素を除去した後、ガス溶解膜モジュール２でＤＯ濃度を調整し、その後、低圧ＵＶ酸化器３で有機物を分解した後、有機物除去触媒カラム４に通水する。更にイオン交換樹脂カラム５に通水してイオン交換処理する。 （もっと読む）

【課題】高純度液体に含まれるバクテリア等の微量な有機物を除去するとともに、簡易に設置することができる液体浄化装置を提供すること。
【解決手段】液体浄化装置１２を構成する流路ブロック２１は、透明に形成されている。流路ブロック２１に形成された液体流路３２の内面には、光触媒層３６が設けられている。流路ブロック２１の管状部３７にはＬＥＤ４１の取付基板４２が設けられ、流路ブロック２１と光照射部２２とが一体的に組みつけられている。ＬＥＤ４１が発した紫外光は透明な管状部３２を透過して光触媒層３６に照射され、光触媒層３６を活性化させる。 （もっと読む）

【課題】超純水製造システムから金属不純物を効率よく除去でき、しかも洗浄時間も短くて済む超純水製造システムの洗浄方法を提供する。
【解決手段】１次純水タンク２１に塩酸を添加し、ポンプ２２によって熱交換器２３、紫外線酸化装置２４、バイパスライン３０，３１，３２、流路６ａ、ユースポイント４及び流路６ｂの順に循環させ、次いで浸漬状態とする。その後、タンク２１内を１次純水とし、同一の順番にて１次純水を通水し、洗浄液を流路６ｂの末端から系外に排出する。酸洗浄に際し、脱ガス装置２５、イオン交換樹脂塔２６、ＵＦ装置２７をバイパスさせる。ＵＦ装置２７をバイパスすることにより、塩酸含有液の押し出し洗浄時間が短縮される。 （もっと読む）

【課題】燃料電池発電システムにおいて凝縮器から滴下する凝縮水を受けて純水化できる水浄化装置の提供。
【解決手段】水浄化装置１は、外筒２に底板部３を嵌め込んだ容器４と、導水管５を底上げ支持して流れ変向空間Ｓを確保するとともに、複数の開口を有し下位側の通水開口率が上位側の通水開口率よりも大きい下部円錐状通水板６と、下部円錐状通水板６を収納底として外筒２と導水管５との間の収納空間に充填したイオン交換樹脂粒７と、収納空間を覆う上部通水板８と、容器４を覆う蓋体９を備え、蓋体９は、凝縮水Ｗ_１を、受け口９ａを介して導水管５の上部へ流す縦連通路９ｂ、凝縮水Ｗ_１をオーバーフローさせる溢流路９ｃ、及び上部通水板８から溢れ出る純水Ｗ_２を導出する導出路９ｄを有し、導出路９ｄは上部通水板８から溢れ出る純水Ｗ_２を導出可能なように溢流路９ｃよりも落差Ｄだけ低い位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】導電率が低い純水などを被処理水とし、光触媒と紫外線照射とを組み合わせることによって被処理水に含まれる微量のＴＯＣ成分を分解する有機物分解装置において、簡単な構造で、後段における処理負荷を小さくして、低コストで、極微量にまでＴＯＣ（全有機炭素）濃度を低減できるようにする。
【解決手段】有機物分解装置は、反応容器と、反応容器内に配置され、透水性を有するように貫通する孔部を有し、光触媒が担持された第１電極と、第１電極と対をなし前記被処理水の流れに接するように配置された第２電極と、第１電極が正となり第２電極が負となるように第１電極と第２電極との間に電圧を印加する電源装置と、第１電極に対して紫外線を照射する紫外線光源と、を備える。被処理水は、第１電極を透過して流れるように、反応容器に供給される。 （もっと読む）

【課題】パーテイクルフリーでメタルフリーなナノバブル水を、より安定に製造し、又、ナノバブル量を制御することにより、半導体、液晶をはじめとする電子産業分野に使用可能である。
【解決手段】純水を脱気して脱気純水を生成し、脱気純水に溶解目的のガスを加圧し溶解してガス飽和の溶解純水を生成し、ガス溶解工程において溶解目的のガスの圧力を制御し、ガス溶解工程を経たガス飽和の溶解純水の圧力を減圧して飽和ガス含有ナノバブル水を生成する。 （もっと読む）

【課題】イオン交換樹脂を超純水と接触させてコンディショニングするのに用いた洗浄水を有効に回収することが可能なイオン交換樹脂精製装置用の超純水製造装置を提供する。
【解決手段】イオン交換樹脂精製装置１の流入側は、超純水製造システム４に接続されている一方、排出管３にはＴＯＣモニター５が設けられている。この排出管３の回収管路３Ｂは回収前処理システム６に接続していて、その末端は原水タンク１１に連通している。さらにこの原水タンク１１の流入側には、純水製造装置１２が接続されている一方、流出側は超純水製造システム４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも処理を安定させることができる排水処理方法を提供しようとするもの。
【解決手段】排水（４）と酸化剤含有水（５）とを混合して汚れ評価指標を略0ppmに処理する混合工程と、処理水（８）の少なくとも一部を電気分解して残留塩素濃度を向上させる電解工程とを有し、前記残留塩素濃度を向上させた処理水を酸化剤含有水（５）として排水（４）と混合するようにした。酸化作用が及ぼされた処理水（８）の少なくとも一部を塩素ガス分離槽（12）に送ってその残留塩素を塩素ガスとして揮発せしめるようにすることもできる。 （もっと読む）

【課題】安全に紫外線ランプが交換可能な安全機構を具備した紫外線分解装置を提供する。
【解決手段】紫外線を遮光する材料で形成された廃液収容器４２と、該廃液収容器の中に隙間をもって設置され、紫外線を透過する材料で形成された紫外線ランプ収容器５０と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを阻害する閉位置と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを可能とする開位置との間で選択的に位置付け可能なカバー６０と、電源７２と、該電源及び該紫外線ランプに接続され、該紫外線ランプを選択的に該電源に通電して発光させるスイッチ７４と、該電源と該スイッチと該紫外線ランプとが直列に接続された電気回路上に設置され、該カバーが開位置に位置づけられている際に該電気回路を遮断し、該カバーが閉位置に位置づけられた際に該電気回路を接続して閉回路とするインターロック機構６５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ユースポイントに移送される超純水中に僅かに混入する微粒子とイオン成分の両方を除去し、モジュールの交換頻度を著しく低減する超純水製造装置を提供する。
【解決手段】超純水を配管移送してユースポイントに供給する超純水製造装置において、該超純水を移送する配管の途中に、連続骨格相と連続空孔相からなる有機多孔質体と、該有機多孔質体の骨格表面に固着する直径４〜４０μｍの多数の粒子体又は該有機多孔質体の骨格表面上に形成される大きさが４〜４０μｍの多数の突起体との複合構造体であって、水湿潤状態での孔の平均直径１０〜１５０μｍ、全細孔容積０．５〜５ｍｌ／ｇであり、水湿潤状態での体積当りのイオン交換容量０．２ｍｇ当量/ｍｌ以上であるモノリス状有機多孔質イオン交換体を充填したモジュールを設置し、該モジュールで超純水を更に処理する。 （もっと読む）