【課題】自動車などの輸送機器や回転機械の部品であるベアリング、軸受けなど回転摩耗や粘着摩耗等を受ける摺動面の耐摩耗性および耐焼付き性を改善するレーザピーニング処理法を提供する。
【解決手段】各種金属材料及び樹脂部品１の表面に樹脂、金属、セラミックス、潤滑材、硬化材などの粉体および皮膜２を付着させた後、その上にレーザ吸収増強皮膜３を設けさらにその上にレーザ干渉膜を形成しその上から、短パルス高ピーク出力のレーザを集光して、レーザピーニング処理する。被加工物表面に微細なくぼみが生じ、そのくぼみに潤滑油溜まりができ、潤滑性や摺動性、耐摩耗性を向上させる。また、その表面では異物粉体が表面層に埋め込まれた改質層が形成する。その結果、表面には大きな圧縮残留応力の導入、表面積の拡大、組織の硬化、組織の微細化、表面直下の空洞の消滅など表面層の改質効果が起こる。 （もっと読む）

【課題】 所望の回路パターンを持つ多層基板等の導電性パターン基板を、精度良く、かつ、簡易にかつ安価に製造することができる、導電性パターン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 ベース基材上に所定の導電性パターンを持つ導電層１１及び絶縁層１２が形成された原板１０Ａ′を準備する。次いで、用原板１０Ａ′の絶縁層１２側から導電層１１の所望の部位に対してレーザ光２５を照射する。これにより、導電層１１の所望の部位及びそれに対応する絶縁層１２の対応部位が溶融され、絶縁層１２の対応部位に電気伝導性を示す溶融状態の溶融部２１ａが形成される。そして、絶縁層１２の表面の任意の箇所に、導電層１１に電気的に接続された固化状態でかつ電気伝導性の溶融部２１が形成され、電気伝導性の溶融部２１を介して導電層１１の所望の部位と外部とが電気的に接続可能にされた導電性パターン基板１０Ａが作製される。 （もっと読む）

【課題】 レーザビーム照射による加熱と冷却液噴射による冷却によって熱応力を惹起し、脆性材料の全厚さにわたるスクライブを発生させ、同スクライブのみにより材料割断を行うこと。
【解決手段】 脆性材料のレーザビームに対する吸収係数を制御し、同ビームが材料の全厚さを透過するか、あるいは裏面まで透過しなくとも十分な深さまで透過し、熱応力起因のスクライブ面を材料の全厚みで発生させる。吸収係数制御は、レーザ波長を材料の電子遷移あるいは格子振動吸収帯の範囲内において最適吸収強度に選択するか、あるいは低吸収帯を選択し、材料にレーザ光を吸収発熱し、かつ可視域の透過特性に影響せず、表示器用ガラスの表示特性を悪化させない照射レーザ光吸収用不純物を、添加することによって実現する。蛍光発光防止のためには消光用不純物を添加する。 （もっと読む）

【課題】ＬＩＴＩを用いた転写工程において転写層が劣化するのを防止することができ，段差が存在する部分でも，転写を良好に行うことができるレーザ照射装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係るレーザ照射装置は，パターニング用レーザ発生器２１１と，予熱用レーザ発生器２１２とを備える。パターニング用レーザ発生器２１１から発生する高強度のレーザビーム２４０を利用することによって，転写層１５３が劣化するのを防止することができると同時に，予熱用レーザ発生器２１２から発生するレーザビーム２４５で予熱することによって，アクセプタ基板１６０の段差が存在する部分でもエッジオープン不良が発生することなく，転写を良好に行うことができるという利点がある。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光の多光子吸収アブレーションにより被加工物を加工する場合に、高精細・高精度に加工でき、かつ分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制することのできるレーザー加工用保護シートを提供すること。また、前記レーザー加工用保護シートを用いたレーザー加工品の製造方法を提供すること。
【解決手段】 レーザー光の多光子吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用保護シートであって、前記保護シートは、少なくとも基材を有しており、かつ前記基材は、パルス幅が１０^−１２秒以下の超短パルスレーザー光を照射した際のエッチング率（エッチング速度／エネルギーフルエンス）が０．４〔（μｍ／ｐｕｌｓｅ）／（Ｊ／ｃｍ^２）〕以上であることを特徴とするレーザー加工用保護シート。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する場合に、高精細・高精度に加工でき、かつ分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制することのできるレーザー加工用粘着シートを提供すること。また、前記レーザー加工用粘着シートを用いて生産効率よくかつ容易にレーザー加工品を製造する方法を提供すること。
【解決手段】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用粘着シートにおいて、前記粘着シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、前記基材は、波長３００ｎｍ以下の紫外レーザー光を照射した際のエッチング率（エッチング速度／エネルギーフルエンス）が０．００６〔（μｍ／ｐｕｌｓｅ）／（Ｊ／ｃｍ^２）〕以下であることを特徴とするレーザー加工用粘着シート。 （もっと読む）

【課題】誘電体セラミックの表面に形成された導体膜の一部をレーザ加工して除去することにより誘電体セラミックが変質・劣化して低下した特性を、導体膜の酸化や導体膜材料の誘電体セラミックへの拡散などを引き起こすことなく回復させて、所望の特性を備えたセラミック電子部品を効率よく製造できるようにする。
【解決手段】誘電体セラミック（誘電体ブロック）１の表面に形成された導体膜（内導体４の一部領域４ａ）（場合によっては内導体４および／または外導体３の一部）をレーザ加工により除去した後、
酸素濃度：１．０×１０^-15ppm〜１．０×１０²ppm、
熱処理のピーク温度：導体膜に用いられる導電性材料の融点をＡ(Ｋ)とした場合において０．５１Ａ(Ｋ)〜０．８５Ａ(Ｋ)の範囲の温度条件
で熱処理を行い、レーザ加工することによって誘電体セラミック（誘電体ブロック）１が還元されることにより低下した誘電体セラミックの特性を回復させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ熱放射を被処理体上に直接照射することにより生じる，被処理体の表面損傷を防止できる乾式表面クリーニング装置を提供する。
【解決手段】本発明は，レーザ光線２を発生するレーザ装置と，レーザ光線２をクリーニングされる被処理体１０の周囲のレーザ焦点３に収束させることにより，レーザ焦点３の周囲でプラズマ衝撃波５を発生させ，プラズマ衝撃波５を被処理体１０に衝突させて，被処理体１０上の汚染物質を除去するために用いられる焦点レンズ１と，レーザ焦点３と被処理体１０との間に設置され，プラズマ衝撃波５の発生時に生成されるプラズマ熱放射６による被処理体１０上の表面損傷を防止する熱放射防御手段を含む。 （もっと読む）

内部キャビティ（５５）を有する弁部品内に孔を設ける方法であって、該方法は、上記キャビティ内に流体（５９）を充填しシールするステップと、部品を貫通して内部キャビティ内に孔をレーザ孔明け加工するステップと、を含む。上記方法は、弁棒（５４）に横穴を設けるために特に有利である。また、本発明は、弁棒を製造する方法に関し、該方法は、ａ）出口（５７）とともに通路を有する弁棒ワークを提供するステップと、ｂ）通路に流体を充填するステップと、ｃ）出口をシールするステップと、ｄ）ワークを貫通して通路内に横穴をレーザ孔明け加工するステップと、ｅ）出口のシールを解除するステップと、を含む。
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【課題】銅線と端子との接合強度の向上を図ると共に、メンテナンス作業等の管理の簡素化を図る。
【解決手段】電源と接続されるカプラ部に、銅合金材料からなるターミナル８２が内設され、前記ターミナル８２には、断面略Ｕ字状に折曲されたコイル接合部８４が形成されている。前記コイル接合部８４の内部に、コイルボビンに巻回されたコイル３０の端部３０ａが挿通され、前記コイル接合部８４をターミナル８２側に向かって押圧することにより、前記コイル３０がコイル接合部８４の内壁面８６に対して圧着される。そして、レーザ発振器よりコイル３０が加締められたコイル接合部８４及びコイル３０の少なくともいずれか一方にレーザ光を照射することにより、前記コイル３０の外周面の絶縁被膜が溶けてコイル接合部８４の内壁面８６と前記コイル３０とが溶着される。 （もっと読む）

【課題】 レーザ加工方法に関し、機能膜に影響を与えることなく、単結晶基板を高精度に且つ高効率に分割する。
【解決手段】 劈開性或いは裂開性を有する単結晶基板１の機能膜形成面２と反対側の面に設けられた光吸収膜３が焦点位置になるようにレーザ光４を局所的に照射・走査して溝５を形成する際に、溝５の形成工程に伴って生じる局所的な熱衝撃応力が、単結晶基板１の劈開或いは裂開破壊強度をわずかに超えるよう、レーザ光４のピークエネルギ及び走査速度、及び、光吸収膜３の材質及び膜厚を設定することによって、溝５の形成工程において単結晶基板１の厚さ方向にクラック７を誘発させる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハチャックが配置されたカップを水平方向に移動させ、ウエハの表面に液体を介在させてレーザー光により例えばダイシングを行い、その後に基板を回転させて液体を振り切る装置において、カップに接続される排気管の引き回しによる不利益を解消すること。
【解決手段】 カップの底部に廃液ポートと排気ポートとを設け、カップがＸ、Ｙ方向に移動するときの廃液ポートの移動領域をカバーするように廃液受け皿を設ける。またウエハを振り切り乾燥させる位置に対応して排気部を設け、振り切り乾燥を行う段階でその振り切り位置に移動したカップの排気ポートに排気部を接続する構成を採用して、排気管の引き回しを避けるようにする。 （もっと読む）

【課題】 部材の材料に限定されることなく確実に部材同士を接合させることができるレーザを用いた部材の接合方法を提供する。
【解決手段】 互いに重ね合わされた第１部材１６が半導体レーザ光を透過するアクリル材料で形成され、第２部材１７がスズ製である。第２部材の境界面がサンドペーパで荒された凹凸面１７ａにされている。第１部材及び第２部材の境界面に半導体レーザ光を照射することにより、第２部材の凹凸面において半導体レーザ光が吸収され、凹凸面付近のアクリル材料を局所的に溶融あるいは軟化させる。溶融あるいは軟化したアクリル樹脂が凹凸面に食い込むことによるアンカー効果によって、両部材間に強固な接合が形成される。 （もっと読む）

【課題】アディティブ用樹脂組成物層を表層に形成した基板へのブラインドビア孔、貫通孔の形成方法、及びこれを用いたプリント配線板の製造方法を得る。
【解決手段】内層板の表面に金属箔付きアディティブ用Ｂステージ樹脂組成物層を加熱して接着形成して硬化処理した後に、この金属箔張板の表面に直接レーザーを照射してブラインドビア孔及び／又は貫通孔を形成する。
【効果】樹脂組成物表面の汚染もないために、その後に表層金属箔全て及び内層銅箔に発生した銅箔バリを溶解除去し、デスミア処理した後の銅メッキでの凹凸も発生せず、細線の回路形成において、回路のショートや切断等の不良の発生もなく、良好な高密度のプリント配線板を作製することができた。また、加工速度はドリルであける場合に比べて格段に速く、生産性も良好で、経済性にも優れているものが得られた。 （もっと読む）