【課題】 加工熱による被加工物の品質低下を防止するとともに、液柱内を導光されたレーザビームによって被加工物に形成されるレーザ加工溝の幅を狭くできるレーザ加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段とを備えたレーザ加工装置であって、該レーザビーム照射手段は、レーザビーム発生手段と、加工ヘッドとを含み、該加工ヘッドは、該レーザビーム発生手段から発生されたレーザビームを集光する集光レンズと、被加工物に液体を噴射して、該集光レンズで集光されたレーザビームが導光される液柱を形成する液体噴射手段と、該液体噴射手段で形成された該液柱が通過するパイプと、該パイプ内に該液柱を囲繞する気体を流入させる気体流入路とを備え、該パイプに流入した該気体が該パイプを通過する該液柱を囲繞して整流することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接合部分を冷却せずに継続して余熱を行うことができる光熱接合装置を提供する。
【解決手段】光１を発生する光発生手段２と、前記光発生手段２からの光１を接合部材３に照射する照射手段４と、前記接合部材３と前記照射手段４からの照射光５を相対移動させる駆動手段６と、前記駆動手段６を制御する制御手段７と、前記接合部材３に熱風８を吹き付けるノズル９を備え、前記駆動手段６による前記照射光５の進行方向の前方に前記ノズル９からの熱風８が吹きつけられる角度で前記ノズル９を配置したもので、この構成により、常に余熱用の熱風８が照射光５の進行方向に吹き付けられるので、照射光５が照射されている接合部分に熱風８が流れず、接合部分を冷却することがなく、継続して余熱を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】レーザースクライブ時に発生する発塵物の基板表面への付着を低減して、太陽電池モジュール等の製造における歩留まりの向上を図ることのできるレーザースクライブ装置を得ること。
【解決手段】レーザー光源１１からのレーザー光２を走査させて被加工物１をレーザースクライブするレーザースクライブ装置２０であって、被加工物へのレーザー光の照射位置近傍に向けて、レーザー光の走査方向の両側から気流を噴出する気流噴出ノズル３と、被加工物へのレーザー光の照射位置の近傍で気流を吸引する吸引ノズル４と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル本体内部の整流構造を煩雑な機械加工によらず簡便な手段で形成する。
【解決手段】アルミニウムからなるコーン型のマスタ１の表面にノズル本体２の内壁に形成する整流構造３の形状に対応した形状の凹凸部４を形成し、このマスタ１の表面に電気めっき法の原理で銅の皮膜５を形成する。そして、この皮膜５形成後に、ノズル本体２の外形研削を行い、ノズル本体２を形成したマスタ１をそのまま希硝酸等の酸性溶液、又はアルカリ性溶液に浸漬し、マスタ１のみを溶解する。すると、内壁に整流構造３を形成したノズル本体２が形成できる。この一連の工程においては、この整流構造３の形成に機械的な加工手段を用いないので、その構造が複雑であっても、簡便に作製することができる。 （もっと読む）

【課題】シールドカバーの劣化を抑制することができ、長期に亘り安定的に水中における溶接作業を実行することのできる水中溶接装置を提供する。
【解決手段】レーザ発振器およびシールドガス供給源に接続され、溶接ワイヤ供給系と、レーザ光を集光する光学系とを有する水中溶接ヘッドを具備し、当該水中溶接ヘッドを水中に配置して水中で構造物の被溶接部を溶接する水中溶接装置において、前記水中溶接ヘッド先端側に位置しレーザ光を射出するノズル部の周辺に、レーザ光の反射光を吸収する反射光吸収体を設けるとともに、前記反射光吸収体の周囲に、弾性部材からなり、前記水中溶接ヘッドの先端側に気中を形成するためのシールドカバーを設けた水中溶接装置。 （もっと読む）

【課題】 微細加工を高精度に実行することが可能なレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ−Ｙ−θテーブル１２により支持されたウエハ１の表面に純水を供給する純水供給ノズル１４と、ウエハ１の表面に供給された純水の表面に空気を供給する空気供給ノズル１５と、この空気供給ノズル１５の上方に配設された合成石英板１６と、水滴吸引ノズル１７と、ウエハ１に対してレーザービームＬを照射するレーザービーム照射機構２０とを備える。このとき、空気供給ノズル１５における純水流側のスリットから、純水流が流れる方向に空気流を噴出することにより、純水流の膜厚を極めて小さいものとすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】レーザによる熱応力割断の有する高品質を実現しながら、切り残しが残らずに、割断予定線の全長にわたって真直線状にフルボディ割断させることができる割断装置および割断方法を提供する。
【解決手段】脆性材料１１を、第１のレーザビーム２２を略円形に整形した第１ビーム照射領域１３と第２のレーザビーム２６を割断予定線１２に沿った方向が直角方向よりも細長い形状に整形した第２ビーム照射領域１４で加熱し、第１ビーム照射領域１３を第２ビーム照射領域１４に対し割断予定線１２に沿った方向の前方に位置させ、第２ビーム照射領域１４の後端から所定位置だけ離れた位置を冷却点１５として冷却装置３０で局所的に冷却し、冷却点１５が割断予定線１２の終端を通過した後、脆性材料１１の割断予定線１２の終端に気体噴射装置３４で気体流を吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】 排気室の排気口近傍に排煙を到達させられるだけの風量を排気室に送り込むことができるようにする。
【解決手段】 切断機は、テーブル（１２）内部を仕切って並設された複数の排気室（３４A−３４F）と、各排気室の一端側に設けられた送風口（１２６A−１２６F）と、各排気室の他端側に設けられた排気口（１３６A−１３６F）と、テーブルの外側に移動しながら、少なくとも一つの排気室にその排気室の送風口から風を送る、移動方向に並べられた複数のファン（１５１A−１５１F）とを備える。複数のファンは、一つの排気室の送風口に二以上のファンが対向するような間隔で並べられており、それら二以上のファンにより同時に一つの排気室に風を送るようになっている。 （もっと読む）

【課題】レーザビームによってスクライブラインを形成する装置において、冷却ノズルに供給される冷却媒体の漏れを抑える。
【解決手段】この装置は、冷却ノズル２０と、モータ３０と、筒状の回転部材３１と、４つの軸受３２〜３５と、配管５１〜５５と、軸受用配管継ぎ手４３〜４６と、を備えている。冷却ノズル２０はガラス基板に冷却媒体を吐出して冷却スポットを形成する。モータ３０は冷却ノズル２０を旋回軸の回りに旋回させる。筒状の回転部材３１は、先端に冷却ノズル２０が支持されるとともに、モータ３０によって回転駆動され、内部をレーザビームが通過する。各軸受３２〜３５は内輪が回転部材３１に固定されるとともに外輪が自由に回転し得る。配管５１〜５５は冷却媒体を冷却ノズル２０に導く。軸受用配管継ぎ手４３〜４６は、軸受３２〜３５の外輪に装着され、配管が連結される。 （もっと読む）

【課題】ノズルへの液体の付着を防止し、レーザーの伝送効率を向上させることができるレーザー加工装置、このレーザー加工装置の製造方法、及びレーザー加工方法を提供する。
【解決手段】レーザー加工装置１は、レーザーを発生するレーザー発振器１４と、被加工物Ｗに噴流液体を噴射するノズル１０とを備え、ノズル１０から噴射された噴流液柱Ｆ内に導かれたレーザーによって被加工物Ｗを加工するレーザー加工装置１であって、ノズル１０と被加工物Ｗとの間に配置され、噴射された噴流液体のはね返りからノズル１０及び噴流液柱Ｆを保護するカバー３０を備え、カバー３０は、貫通孔３６を有する。 （もっと読む）

【課題】溶接ワイヤを使用して溶接品質のよい開先レーザ溶接を行うレーザ溶接装置，レーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】開先を設けた被溶接材１を溶接するためのレーザ溶接装置であって、開先内に溶接ワイヤ２０を供給するワイヤ送給ノズルと、レーザ光を集光させるレーザ加工ヘッド３０と、レーザ光の照射位置を移動させるための加工機と、溶融池の酸化防止雰囲気を維持するシールドガスを供給するシールドノズルにおいて、シールドノズルの内径は、（開先の底幅＋１.０mm）の寸法以上とし、且つ、シールドノズルは、溶接進行方向に沿って、レーザ加工ヘッドの前方に配置され、且つ、シールドノズルの出口にガス圧力を、０.０１kPa〜０.４kPaに設定することを特徴とするレーザ溶接装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ溶接箇所に直接ガス体を吹き付けることなく、ワークから生じたスパッタの排出を効果的に行う。
【解決手段】スパッタ付着防止機構付クランプ装置１０ａは、装置本体１２と、開口部１４と、第１流体導出部１６と、第２流体導出部１８とを有している。第１流体導出部１６から開口部１４へ流入する加圧ガス体３２によりスパッタ３０を排出することができるのに加え、加圧ガス体３２で排出しきれなかったスパッタ３０を、加圧ガス体３２とは別異の流体で、乱流３４を発生させ、開口部１４へ導出させることでスパッタ３０を排出することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光加工の状態を早期に検出し、それに基づいてレーザ光加工時の条件を早期にフィードバックし、不良発生率を低減できるようにする。
【解決手段】この発明は、レーザ光を照射してワークに加工を施し、その直後にその加工箇所の画像を取得してその画像に基づいて加工状態を検査するようにしたものである。この発明のように、レーザ光加工直後の画像に基づいてレーザ光による加工状態をリアルタイムで認識し、それをフィードバックすることによって、加工条件を最適化して、不良発生率を著しく低減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】飛散物の回収のための専用の吸引ノズルを設けることなく飛散物の回収ができるレーザ加工装置と、これに用いる吸着機構を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板Ｗの上方からレーザ光Ｌを照射するとともに基板Ｗの下部に対してレーザ加工を行うレーザ加工部５と、
基板Ｗの下部側から基板Ｗを吸着保持する吸着機構６と、
この吸着機構６とレーザ加工部５を相対的に移動させ、基板Ｗをレーザ加工部５による加工位置に位置決めするＸ軸リニアモータ３およびＹ軸リニアモータ４と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 （もっと読む）

【課題】
溝を有する部材の溶接に於いて、シールドガスによるシールド性を向上すると共にシールドガスの消費量を抑制して溶接コストの低減を図る。
【解決手段】
溶接線４に沿ってスリット状のシールドガス吐出口１７を対峙させ、該シールドガス吐出口より被溶接部材２，３の表面に沿って層状にシールドガスを吐出し、溶接部をガスシールドする。
（もっと読む）

【課題】切断ユニット内でのパイプの支持部分の振れを抑えて加工品質を維持することができると共に、送り移動して再位置決めするときの位置ずれを防止して加工精度を上げることができる。
【解決手段】熱切断加工ヘッド１２およびパイプ送り機構１６を備えた切断ユニット１０と、切断ユニットのパイプ送り方向の後方に配置され、切断ユニット外へ延びるパイプの後端側を支持するパイプ支持台５０と、パイプ支持台に支持されたパイプの内部にパイプの後端から挿入されるホース１５０と、ホースの先端に取り付けられ、熱切断加工ヘッドによるパイプの切断箇所の内側に挿入されることで、加工ヘッドから照射される熱切断ビームの通過を遮蔽すると共に、パイプ内部に冷却媒体を供給する冷却媒体供給ヘッド１００と、冷却媒体供給ヘッドの位置を熱切断加工ヘッドの位置に対応させるようにホースを繰り出したり引き戻したりするホース移動装置６０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】電線を電極に確実に接触させられる電線の接続方法及びそれに用いる電極の支持体を提供する。
【解決手段】支持体（基板２）の表面に設けられた電極３に電線（中心導体８）をレーザ溶接し該電極を電気的に接続する電線の接続方法において、上記支持体の表面に穴６を設け、上記電線を電極３の表面に沿わせ、その電線の先端を穴６に落とし込むことにより、上記電線を電極３の縁に接触させ、この接触部分をレーザ溶接する。 （もっと読む）

【課題】 レーザ照射による１つの工程だけで、物理的なブレイク力をガラスに作用させることなく、ガラス板を短時間かつ高品質に切断することができるガラス板の切断方法及び同方法に好適なガラス板切断用テーブル装置を提供すること。
【解決手段】 ガラス板上のレーザビーム照射点が切断予定線に追従移動する際に、レーザビーム照射点の近傍にあって、切断予定線を挟んで存在する一対のテーブルエレメントの双方を真空吸引を介してその上に載置されたガラス板に吸着させ、かつそれら一対のテーブルエレメントのいずれか一方又は双方に、切断予定線から離れる方向への力を加える。 （もっと読む）

【課題】溶接装置において、ノズルの先端が溶接面に向いているか否かを目視で確認しなければならず、細密な溶接のために、照明を溶接面に正確にセットし直さなければならなかった。
【解決手段】本発明は、フレキシブルチューブ３の先端に、ノズル４が取り付けられ、このノズル４内に光源８を配置してノズル４先端から光が照射すると共に、チューブ３からの流体がノズル４から噴射するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】取り回しが容易であると共に良好な溶接部を形成できるレーザ溶接装置を提供する。
【解決手段】レーザ溶接装置４では、アシストガス供給ノズル５の内部にフィラーワイヤ供給ノズル６が通っていることにより、フィラーワイヤ供給ノズル６とアシストガス供給ノズル５とがレーザ加工ヘッド２を挟んで両側に配置された場合に比べて、レーザ加工ヘッド２周りがシンプルな構成となるので、狭隘部や円弧部分等を溶接するときでも、取り回しが容易となる。また、アシストガス供給ノズル５の先端面から見て、アシストガス供給ノズル５とフィラーワイヤ供給ノズル６とが同軸になっているので、アシストガス供給ノズル５を通るアシストガスＧの乱流を抑制できる。これにより、良好な溶接部７を形成できる。 （もっと読む）